CN104536172A - 一种检测装置和检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种检测装置和检测方法，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述光源模块用于以预定的角度向薄膜发射光线，所述接收模块用于接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光，所述图像生成模块用于根据所述干涉光形成干涉条纹图像，所述判断模块用于根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述检测装置能够对薄膜厚度的均匀性进行高精度检测，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。

Description

一种检测装置和检测方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种检测装置和检测方法。
背景技术
为使液晶材料在玻璃基板的表面能够预先形成规则性的排列和配向，需要在所述玻璃基板的表面预先形成配向膜。首先，将配向膜材料通过印刷方式设置在所述玻璃基板表面，再对所述配向膜材料进行配向处理，例如，光配向、电压配向或者摩擦配向，以使配向膜材料呈现配向状态，从而形成配向膜。然而，通过上述工艺形成的配向膜可能出现厚度不均匀的问题，从而影响显示面板的显示质量。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种检测装置和检测方法，用于解决现有技术中形成的配向膜可能出现厚度不均匀，从而影响显示面板的显示质量的问题。
为此，本发明提供一种检测装置，包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述图像生成模块分别与所述接收模块和判断模块连接；所述光源模块用于以预定的角度向薄膜发射光线；所述接收模块用于接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光；所述图像生成模块用于根据所述干涉光形成干涉条纹图像；所述判断模块用于根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
可选的，还包括修正模块，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；所述修正模块用于根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正，所述预定的灵敏度为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值；所述判断模块用于根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
可选的，还包括存储模块，所述存储模块用于存储所述预定的灵敏度的信息。
可选的，还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；所述对比度加强模块用于加强所述干涉条纹图像的对比度；所述判断模块用于根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
可选的，还包括转化模块，所述转化模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；所述转化模块用于将所述干涉条纹图像转化为数字信号；所述判断模块用于将所述干涉条纹图像的数字信号与标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，以判断所述薄膜的厚度是否均匀。
可选的，还包括滤波处理模块，所述滤波处理模块分别与所述接收模块和所述图像生成模块连接；所述滤波处理模块用于过滤预定的频率范围之外的干涉光；所述图像生成模块用于根据过滤后的干涉光形成干涉条纹图像。
本发明还提供一种利用检测装置进行的检测方法，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述图像生成模块分别与所述接收模块和判断模块连接；所述检测方法包括：所述光源模块以预定的角度向薄膜发射光线；所述接收模块接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光；所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像；所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
可选的，所述检测装置还包括修正模块，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括：所述修正模块根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正；所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括：所述判断模块根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
可选的，所述检测装置还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括：所述对比度加强模块加强所述干涉条纹图像的对比度；所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括：所述判断模块根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
可选的，所述检测装置还包括转化模块，所述转化模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括：所述转化模块将所述干涉条纹图像转化为数字信号；所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括：所述判断模块将所述干涉条纹图像的数字信号与标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，以判断所述薄膜的厚度是否均匀。
可选的，所述检测装置还包括滤波处理模块，所述滤波处理模块分别与所述接收模块和所述图像生成模块连接；所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像的步骤之前包括：所述滤波处理模块过滤预定的频率范围之外的干涉光；所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像的步骤包括：所述图像生成模块根据过滤后的干涉光形成干涉条纹图像。
本发明具有下述有益效果：
本发明提供的检测装置和检测方法中，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述光源模块用于以预定的角度向薄膜发射光线，所述接收模块用于接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光，所述图像生成模块用于根据所述干涉光形成干涉条纹图像，所述判断模块用于根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述检测装置能够对薄膜厚度的均匀性进行高精度检测，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的一种检测装置的结构示意图；
图2为薄膜厚度均匀时形成的一种干涉条纹的示意图；
图3为薄膜厚度不均匀时形成的一种干涉条纹的示意图；
图4为薄膜厚度不均匀时形成的另一种干涉条纹的示意图；
图5为本发明实施例二提供的一种利用检测装置进行的检测方法的流程图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的检测装置和检测方法进行详细描述。
实施例一
图1为本发明实施例一提供的一种检测装置的结构示意图。如图1所示，所述检测装置包括光源模块101、接收模块102、图像生成模块103和判断模块104，所述图像生成模块103分别与所述接收模块102和判断模块104连接。所述光源模块101以预定的角度向薄膜105发射光线，所述接收模块102接收所述薄膜101的上表面反射的第一反射光与所述薄膜102的下表面反射的第二反射光形成的干涉光。由于所述薄膜102的上表面的第一反射光和下表面的第二反射光源自同一入射光，只是经历不同的路径而具有恒定的相位差，因此所述第一反射光和所述第二反射光源是相干光。上述干涉光经透镜聚焦后，由所述图像生成模块103形成干涉条纹图像。可选的，所述透镜为凸透镜106，所述图像生成模块103设置在所述凸透镜106的聚焦平面上。所述判断模块104根据所述干涉条纹图像可以判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述检测装置能够对薄膜厚度的均匀性进行高精度检测，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
本实施例中，光源模块101发出的入射光的波长和入射角度是确定的，同一厚度的薄膜对应于同一级别的条纹。因此，所述图像生成模块103形成的干涉条纹为等厚干涉条纹。图2为薄膜厚度均匀时形成的一种干涉条纹的示意图。如图2所示，当所述薄膜105的厚度均匀时，所述图像生成模块103形成的干涉条纹为平行等距直条纹。当所述薄膜105的厚度不均匀时，所述图像生成模块103形成的干涉条纹会发生相应的弯曲。根据干涉条纹的弯曲方向和弯曲度就可以判断所述薄膜105的偏差趋势和偏差大小。
优选的，所述检测装置还包括转化模块，所述转化模块分别与所述图像生成模块103和所述判断模块104连接。所述转化模块将所述干涉条纹图像转化为数字信号，所述判断模块将所述干涉条纹图像的数字信号与标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，以判断所述薄膜的厚度是否均匀。图3为薄膜厚度不均匀时形成的一种干涉条纹的示意图。如图3所示，所述图像生成模块103形成的干涉条纹发生弯曲，而且弯曲方向向左，通过将图3中的干涉条纹图像的数字信号与图2中的标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，可以判断出所述薄膜105的厚度不均匀而且向下凹陷。图4为薄膜厚度不均匀时形成的另一种干涉条纹的示意图。如图4所示，所述图像生成模块103形成的干涉条纹发生弯曲，而且弯曲方向向右，通过将图4中的干涉条纹图像的数字信号与图2中的标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，可以判断出所述薄膜105的厚度不均匀而且向上凸起。通过将图像信号转化为数字信号进行比较，可以提高判断的精准度。
本实施例中，通过接收所述薄膜反射的干涉光而获得干涉条纹图像，并基于所述干涉条纹图像检测所述薄膜的厚度是否均匀。然而，由于干涉光的反射率相对于所述薄膜的厚度的变化会发生变化，因此，基于所述干涉光形成的干涉条纹图像往往不能高精度地检测所述薄膜的厚度是否均匀。在实际应用中，光源模块101以预定的角度向薄膜105发射光线，光线在所述薄膜105的反射率相对于所述薄膜105的厚度发生变化。所述反射率发生变化的原因在于：所述薄膜105的反射光实际上是所述薄膜105的上表面反射的第一反射光与所述薄膜105的下表面反射的第二反射光形成的干涉光。这里，将薄膜的厚度设为x，可以将反射率y表示为如下函数：
y＝fy(x)，其中所述薄膜105的折射率、空气的折射率以及光线的入射角是预先设定的。灵敏度S＝(dy)/(dx)＝fy′(x)，也就是说，利用薄膜的厚度x对函数fy(x)进行微分从而获得函数fy′(x)。因此，所述灵敏度S可以表示为如下函数：
S＝fy′(x)，其中所述薄膜105的折射率、空气的折射率以及光线的入射角是预先设定的，从而可以将灵敏度定义为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值。
本实施例通过修正模块来消除所述薄膜的厚度的变化对干涉光的反射率的影响。所述检测装置还包括修正模块，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接。所述修正模块根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正，所述预定的灵敏度为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值，所述判断模块根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。优选的，所述检测装置还包括存储模块，所述存储模块与所述修正模块连接。所述存储模块存储所述预定的灵敏度的信息。通过所述预定的灵敏度，所述修正模块能够对一部分干涉条纹图像进行修正，这部分干涉条纹图像的干涉光具有预定范围之外的灵敏度，从而降低干涉光的反射率的变化对形成干涉条纹图像的影响，提高所述检测装置对薄膜厚度的均匀性检测的准确度，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
在实际应用中，所述检测装置还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接。所述对比度加强模块用于加强所述干涉条纹图像的对比度。所述判断模块根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述对比度加强模块对所述干涉条纹图像的对比度进行强调，从而提高所述干涉条纹图像的对比度，以提高所述检测装置对薄膜厚度的均匀性检测的准确度，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
优选的，所述检测装置还包括滤波处理模块，所述滤波处理模块分别与所述接收模块和所述图像生成模块连接。所述滤波处理模块用于过滤预定的频率范围之外的干涉光。所述图像生成模块根据过滤后的干涉光形成干涉条纹图像。所述薄膜105反射的第一反射光和第二反射光形成的干涉光中，可能会出现预定的频率范围之外的光线，从而影响所述干涉光形成干涉条纹。通过所述滤波处理模块的滤波处理后，只有预定的频率范围之内的干涉光可以透过所述滤波处理模块而被所述接收模块接收，从而扣除了其它杂光对所述干涉光形成干涉条纹的干扰，提高了所述检测装置对薄膜厚度的均匀性检测的准确度，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
本实施例提供的检测装置中，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述光源模块用于以预定的角度向薄膜发射光线，所述接收模块用于接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光，所述图像生成模块用于根据所述干涉光形成干涉条纹图像，所述判断模块用于根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述检测装置能够对薄膜厚度的均匀性进行高精度检测，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
实施例二
图5为本发明实施例二提供的一种利用检测装置进行的检测方法的流程图。如图5所示，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述图像生成模块分别与所述接收模块和判断模块连接。
所述检测方法包括：
步骤5001、所述光源模块以预定的角度向薄膜发射光线。
步骤5002、所述接收模块接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光。
参见图1，由于所述薄膜102的上表面反射的第一反射光和下表面反射的第二反射光源自同一入射光，只是经历不同的路径而具有恒定的相位差，因此所述第一反射光和所述第二反射光源是相干光。
步骤5003、所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像。
上述干涉光经透镜聚焦后，由所述图像生成模块103形成干涉条纹图像。可选的，所述透镜为凸透镜106，所述图像生成模块103设置在所述凸透镜106的聚焦平面上。
本实施例中，光源模块101发出的入射光的波长和入射角度是确定的，同一厚度的薄膜对应于同一级别的干涉条纹。因此，所述图像生成模块103形成的干涉条纹为等厚干涉条纹。参见图2，当所述薄膜105的厚度均匀时，所述图像生成模块103形成的干涉条纹为平行等距直条纹。当所述薄膜105的厚度不均匀时，所述图像生成模块103形成的干涉条纹会发生相应的弯曲。根据干涉条纹的弯曲方向和弯曲度就可以判断所述薄膜105的偏差趋势和偏差大小。
优选的，所述检测装置还包括滤波处理模块，所述滤波处理模块分别与所述接收模块和所述图像生成模块连接。所述滤波处理模块用于过滤预定的频率范围之外的干涉光。所述图像生成模块根据过滤后的干涉光形成干涉条纹图像。所述薄膜105反射的第一反射光和第二反射光形成的干涉光中，可能会出现预定的频率范围之外的光线，从而影响所述干涉光形成干涉条纹。通过所述滤波处理模块的滤波处理后，只有预定的频率范围之内的干涉光可以透过所述滤波处理模块而被所述接收模块接收，从而扣除了其它杂光对所述干涉光形成干涉条纹的干扰，提高了所述检测装置对薄膜厚度的均匀性检测的准确度，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
步骤5004、所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
本实施例中，所述检测装置还包括转化模块，所述转化模块分别与所述图像生成模块103和所述判断模块104连接。所述转化模块将所述干涉条纹图像转化为数字信号，所述判断模块将所述干涉条纹图像的数字信号与标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，以判断所述薄膜的厚度是否均匀。参见图3，所述图像生成模块103形成的干涉条纹发生弯曲，而且弯曲方向向左，通过将图3中的干涉条纹图像的数字信号与图2中的标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，可以判断出所述薄膜105的厚度不均匀而且向下凹陷。参见图4，所述图像生成模块103形成的干涉条纹发生弯曲，而且弯曲方向向右，通过将图4中的干涉条纹图像的数字信号与图2中的标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，可以判断出所述薄膜105的厚度不均匀而且向上凸起。通过将图像信号转化为数字信号进行比较，可以提高判断的精准度。
本实施例中，通过接收所述薄膜反射的干涉光而获得干涉条纹图像，并基于所述干涉条纹图像检测所述薄膜的厚度是否均匀。然而，由于干涉光的反射率相对于所述薄膜的厚度的变化会发生变化，因此，基于所述干涉光形成的干涉条纹图像往往不能高精度地检测所述薄膜的厚度是否均匀。在实际应用中，光源模块101以预定的角度向薄膜105发射光线，光线在所述薄膜105的反射率相对于所述薄膜105的厚度发生变化。所述反射率发生变化的原因在于：所述薄膜105的反射光实际上是所述薄膜105的上表面反射的第一反射光与所述薄膜105的下表面反射的第二反射光形成的干涉光。这里，将薄膜的厚度设为x，可以将反射率y表示为如下函数：
y＝fy(x)，其中所述薄膜105的折射率、空气的折射率以及光线的入射角是预先设定的。灵敏度S＝(dy)/(dx)＝fy′(x)，也就是说，利用薄膜的厚度x对函数fy(x)进行微分从而获得函数fy′(x)。因此，所述灵敏度S可以表示为如下函数：
S＝fy′(x)，其中所述薄膜105的折射率、空气的折射率以及光线的入射角是预先设定的，从而可以将灵敏度定义为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值。
本实施例通过修正模块来消除所述薄膜的厚度的变化对干涉光的反射率的影响，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接。所述修正模块根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正，所述预定的灵敏度为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值，所述判断模块根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。优选的，所述检测装置还包括存储模块，所述存储模块与所述修正模块连接。所述存储模块存储所述预定的灵敏度的信息。通过所述预定的灵敏度，所述修正模块能够对一部分干涉条纹图像进行修正，这部分干涉条纹图像的干涉光具有预定范围之外的灵敏度，从而降低干涉光的反射率的变化对形成干涉条纹图像的影响，提高所述检测装置对薄膜厚度的均匀性检测的准确度，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
在实际应用中，所述检测装置还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接。所述对比度加强模块用于加强所述干涉条纹图像的对比度。所述判断模块根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述对比度加强模块对所述干涉条纹图像的对比度进行强调，从而提高所述干涉条纹图像的对比度，以提高所述检测装置对薄膜厚度的均匀性检测的准确度，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
本实施例提供的检测方法中，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述光源模块以预定的角度向薄膜发射光线，所述接收模块接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光，所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像，所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述检测方法能够对薄膜厚度的均匀性进行高精度检测，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种检测装置，其特征在于，包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述图像生成模块分别与所述接收模块和判断模块连接；
所述光源模块用于以预定的角度向薄膜发射光线；
所述接收模块用于接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光；
所述图像生成模块用于根据所述干涉光形成干涉条纹图像；
所述判断模块用于根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括修正模块，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；
所述修正模块用于根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正，所述预定的灵敏度为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值；
所述判断模块用于根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，还包括存储模块，所述存储模块与所述修正模块连接；
所述存储模块用于存储所述预定的灵敏度的信息。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；
所述对比度加强模块用于加强所述干涉条纹图像的对比度；
所述判断模块用于根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括转化模块，所述转化模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；
所述转化模块用于将所述干涉条纹图像转化为数字信号；
所述判断模块用于将所述干涉条纹图像的数字信号与标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，以判断所述薄膜的厚度是否均匀。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括滤波处理模块，所述滤波处理模块分别与所述接收模块和所述图像生成模块连接；
所述滤波处理模块用于过滤预定的频率范围之外的干涉光；
所述图像生成模块用于根据过滤后的干涉光形成干涉条纹图像。
7.一种利用检测装置进行的检测方法，其特征在于，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述图像生成模块分别与所述接收模块和判断模块连接；
所述检测方法包括：
所述光源模块以预定的角度向薄膜发射光线；
所述接收模块接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光；
所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像；
所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括修正模块，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；
所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括：
所述修正模块根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正；
所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括：
所述判断模块根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
9.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；
所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括：
所述对比度加强模块加强所述干涉条纹图像的对比度；
所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括：
所述判断模块根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
10.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括转化模块，所述转化模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接；
所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括：
所述转化模块将所述干涉条纹图像转化为数字信号；
所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括：
所述判断模块将所述干涉条纹图像的数字信号与标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，以判断所述薄膜的厚度是否均匀。
11.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括滤波处理模块，所述滤波处理模块分别与所述接收模块和所述图像生成模块连接；
所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像的步骤之前包括：
所述滤波处理模块过滤预定的频率范围之外的干涉光；
所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像的步骤包括：
所述图像生成模块根据过滤后的干涉光形成干涉条纹图像。
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