CN104465981A - 一种用于压力传感器的压电薄膜结构 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于压力传感器的压电薄膜结构，包括外保护层、内保护层、PZT层和基载层。本发明提供的压电薄膜结构以硅胶和聚乙烯复合物分别作为内、外保护层，能够有效缓解PZT层磨损、延长薄膜使用寿命，同时上述材质的保护层不影响薄膜对压力的灵敏感知以及电信号传输。此外，该技术具有结构简单、成本较低、应用前景广泛的优点。
Description
技术领域
本发明涉及压力传感器技术领域，尤其涉及一种用于压力传感器的压电薄膜结构。
背景技术
压力传感器技术广泛应用于社会生产活动的方方面面，在该技术中，压力传感器感知压力作用，并将其转化为电信号输出，从而实现对压力的快速识别。在该技术中，确保传感器能够精确感知压力是关键环节之一，其中压电薄膜作为一种轻便、灵敏的压力感知部件广泛应用于压力传感器技术。但是，薄膜本身比较脆弱长期外露容易损坏，如果外覆保护层又会影响薄膜的灵敏度，因此有必要开发一种能够有效避免压电薄膜磨损同时又能保证其灵敏度的压电薄膜结构。
发明内容
未解决现有技术的技术缺陷，本发明提供一种能够有效避免压电薄膜磨损同时又能保证其灵敏度的用于压力传感器的压电薄膜结构。
为实现以上技术目的，本发明采用以下技术方案：
一种用于压力传感器的压电薄膜结构，包括外保护层、内保护层、PZT层和基载层，其中PZT层外覆于基载层表面并与基载层紧密贴合，内保护层外覆于PZT层另一面并与PZT层紧密贴合，外保护层外覆于内保护层另一面并与内保护层紧密贴合。在上述结构中，外保护层的厚度小于PZT层的厚度；内保护层的厚度小于PZT层的厚度；外保护层的材质为聚乙烯复合物；内保护层的材质为硅胶。
本发明提供的压电薄膜结构以硅胶和聚乙烯复合物分别作为内、外保护层，能够有效缓解PZT层磨损、延长薄膜使用寿命，同时上述材质的保护层不影响薄膜对压力的灵敏感知以及电信号传输。此外，该技术具有结构简单、成本较低、应用前景广泛的优点。
附图说明
图1为本发明的结构示意图
图中：
1、外保护层 2、内保护层 3、PZT层 4、基载层
具体实施方式
取成型完毕的基载层4、PZT层3、内保护层2、外保护层1，其中内保护层2的材质为硅胶、外保护层1的材质为聚乙烯复合物、其中外保护层1的厚度与内保护层2的厚度均小于PZT层3。将PZT层3外覆于基载层4表面并与基载层4紧密贴合，内保护层2外覆于PZT层3另一面并与PZT层3紧密贴合，外保护层1外覆于内保护层2另一面并与内保护层2紧密贴合。至此，即完成本发明的具体实施。
以上对本发明的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明。凡在本发明的申请范围内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种用于压力传感器的压电薄膜结构，包括PZT层（3）和基载层（4），其特征在于还包括外保护层（1）和内保护层（2），其中PZT层（3）外覆于基载层表面并与基载层（4）紧密贴合，内保护层（2）外覆于PZT层（3）另一面并与PZT层（3）紧密贴合，外保护层（1）外覆于内保护层（2）另一面并与内保护层（2）紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的压电薄膜结构，其特征在于所述外保护层（1）的厚度小于PZT层（3）的厚度。
3.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的压电薄膜结构，其特征在于所述内保护层（2）的厚度小于PZT层（3）的厚度。
4.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的压电薄膜结构，其特征在于所述外保护层（1）的材质为聚乙烯复合物。
5.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的压电薄膜结构，其特征在于所述内保护层（2）的材质为硅胶。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201310439233.7A CN104465981A (zh) | 2013-09-24 | 2013-09-24 | 一种用于压力传感器的压电薄膜结构 |
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Publications (1)
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| CN104465981A true CN104465981A (zh) | 2015-03-25 |
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ID=52911698
Family Applications (1)
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| CN201310439233.7A Pending CN104465981A (zh) | 2013-09-24 | 2013-09-24 | 一种用于压力传感器的压电薄膜结构 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN104465981A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2013
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20150325 |
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |