CN104465932A - 光电半导体元件及其制作方法 - Google Patents

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CN104465932A CN201310426331.7A CN201310426331A CN104465932A CN 104465932 A CN104465932 A CN 104465932A CN 201310426331 A CN201310426331 A CN 201310426331A CN 104465932 A CN104465932 A CN 104465932A
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Abstract

本发明公开一种光电半导体元件及其制作方法。光电半导体元件包括基材、第一实心介层插塞、光电半导体芯片、荧光层以及封胶体。其中,第一实心介层插塞贯穿基材。光电半导体芯片封胶体,具有一第一电极,对准并与第一实心介层插塞电连接。荧光层覆盖于光电半导体芯片的至少一表面上。封胶体包覆基材、光电半导体芯片以及荧光层。

Description

光电半导体元件及其制作方法
技术领域
本发明涉及一种半导体封装结构及其制作方法,且特别是涉及一种光电半导体元件及其制作方法。
背景技术
发光半导体元件具有低耗电量、低发热量、操作寿命长、耐撞击、体积小、反应速度快、无汞以及可发出稳定波长的色光等良好光电特性,随着光电科技的进步,已被视为新世代光源的较佳选择之一。
以白光发光二极管(Light Emitting diode;LED)元件为例,传统上是在封装设计中是采用焊线(Wire bonding)来进行芯片的串接。然而,因打线制作工艺上的限制,芯片与芯片之间必须预留焊线距离,不仅造成封装结构尺寸大幅增加,而限制了芯片矩阵的构装数量,不利于元件的微小化。再者,当使用芯片矩阵进行多颗芯片封装时,由于芯片排列较为分散,更容易影响荧光层涂布的均匀性,不仅会造成元件后续制作工艺良率偏低的问题,更会因为荧光层混光不均匀,造成白光发光二极管元件偏光或偏色的问题。
因此,有需要提供一种先进的光电半导体芯片封装结构及其制作方法,解决现有技术所面临的问题。
发明内容
为解决上述问题,本发明一方面是提供一种光电半导体元件,其包括基材、第一实心介层插塞、光电半导体芯片、荧光层以及封胶体。其中,第一实心介层插塞贯穿基材。光电半导体芯片,具有一第一电极,对准并与第一实心介层插塞电性接触。荧光层覆盖于光电半导体芯片的至少一表面上。封胶体包覆基材、光电半导体芯片以及荧光层。
在本发明的一实施例之中,光电半导体元件还包括:位于基材第一表面上的第一图案化金属层,以及位于基材第二表面上的第二图案化金属层。其中第二表面位于基材上相对于第一表面的相反一侧。第一图案化金属层,具有至少一第一焊垫,对准且与第一实心介层插塞直接连触;第二图案化金属层,具有至少一第二焊垫,对准且与第一实心介层插塞直接接触。
在本发明的一实施例之中,第一电极是经由第一焊垫与第一实心介层插塞电连接。
在本发明的一实施例之中,光电半导体元件还包含:与基材结合的一承载基板,通过承载基板和封胶体,可将基材、发光二极管芯片以及荧光层与外部空气隔离。
在本发明的一实施例之中,承载基板具有与第二焊垫直接接触的金属线路。
在本发明的一实施例之中,光电半导体元件还包含:贯穿基材的第二实心介层插塞,对准且与光电半导体芯片的第二电极电性接触。
本发明另一方面是提供一种光电半导体元件的制作方法,包含下述步骤:首先提供一基材以及贯穿基材的第一实心介层插塞。接着,将光电半导体芯片的第一电极,对准并与第一实心介层插塞电性接触。然后,于光电半导体芯片的至少一个表面,涂布荧光层。后续,以封胶体包覆基材、发光半导体芯片以及荧光层。
在本发明的一实施例之中,提供基材与第一实心介层插塞的歩骤,还包括:于基材的第一表面上,形成具有至少一个第一焊垫的第一图案化金属层,使第一焊垫对准且与第一实心介层插塞直接接触;以及于基材的第二表面上,形成具有至少一个第二焊垫的第二图案化金属层,对准且与第一实心介层插塞直接接触,其中第二表面位于基材上相对于第一表面的相反一侧。
在本发明的一实施例之中,提供基材与第一实心介层插塞的歩骤,还包括于第一图案化金属层之上,形成一图案化绝缘层,将第一焊垫暴露于外。
在本发明的一实施例之中,将光电半导体芯片的第一电极,对准并与第一实心介层插塞电性接触的步骤,包括使用锡球来连接第一电极与第一焊垫。
在本发明的一实施例之中,光电半导体元件的制作方法还包括,将一承载基板与基材结合,并使第二焊垫与该承载基板的金属线路电连接。
在本发明的一实施例之中,将承载基板与基材结合的步骤,包括使用锡球,连接承载基板的金属线路与第二焊垫。
在本发明的一实施例之中,将封胶体包覆基材、光电半导体芯片以及荧光层的步骤,包括以封胶体包覆基材、光电半导体芯片、荧光层以及一部分的承载基板,用于将基材、光电半导体芯片以及荧光层与外部空气隔离。
在本发明的一实施例之中,光电半导体元件的制作方法还包括,提供贯穿基材的第二实心介层插塞,使光电半导体芯片的至少一个第二电极,对准且与第二实心介层插塞电连接。
根据上述实施例,本发明是提供一种光电半导体元件,其是采用倒装接合(flip chip bonding)方式,将至少一光电半导体芯片的电极,对准并且使其与贯穿基材的实心介层插塞焊垫电连接。之后,再将荧光层覆盖于光电半导体芯片的至少一表面上,并以封胶体包覆基材、光电半导体芯片以及荧光层。
相比较于现有打线封装技术,光电半导体芯片在进行封装时,封装结构必须横向延伸,方能使打线与基材的焊垫电连接。采用倒装封装结构的光电半导体芯片,其与芯片电极是纵向对准下方的实心介层插塞接触,所需要的封装尺寸较小,有利于光电半导体元件的微小化。
另外,由于封装尺寸较小,可使光电半导体芯片排列更加紧密,当进行荧光层涂布与封装时,还可增加各个光电半导体元件的荧光层的均匀性,解决现有光电半导体元件偏光或偏色的问题。再加上,本发明的倒装封装技术,所采用的实心介层插塞,可有效率地将光电半导体芯片所产生的热,传导到基材背面,相较于现有的打线封装技术,其散热效果更佳,可提升光电半导体元件的效能。
附图说明
图1A至1G是根据本发明的一实施例所绘示的制作光电半导体元件100的结构剖视图;
图2是根据本发明的另一实施例所绘示,同时在多个光电半导体芯片上涂布荧光层的结构剖视图;
图3是根据本发明的一实施例所绘示的光电半导体元件的结构剖视图。
符号说明
100: 光电半导体元件    101:基材
101a:基材的第一表面  101b:基材的第二表面
102a:实心介层插塞    102b:实心介层插塞
103: 图案化金属层    103a:焊垫
103b:焊垫            104:图案化金属层
104a:焊垫            104b:焊垫
105: 图案化绝缘层    106:光电半导体芯片
106a:光电半导体芯片的电极
106b:光电半导体芯片的电极
106c:光电半导体芯片的上表面
106d:光电半导体芯片的侧壁
107: 锡球            108:承载基板
108a:金属线路        109:荧光层
110: 锡球            111:绝缘胶
112: 封胶体          201:基材
209 :荧光层          212:晶片切割步骤
300: 光电半导体元件  308:承载基板
312:封胶体体
具体实施方式
本发明提供一种具有较小封装尺寸的光电半导体元件及其制作方法,可增加光电半导体元件的荧光层的均匀性,解决现有光电半导体元件因荧光层混光不均,所造成的偏光或偏色等问题。为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举数个较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
请参照图1A至1G,图1A至1G是根据本发明的一实施例所绘示的制作光电半导体元件100的结构剖视图。制作光电半导体元件100的方法包括下述步骤:
首先提供具有一第一表面101a以及第二表面101b的基材101(如图1A所绘示)。其中,第二表面101b位于基材101上,相对于第一表面101a的相反一侧。在本发明的一些实施例之中,基材101可以是导线架(lead frame)、印刷电路板(Printing Circuit Board,PCB)、软性电路板、陶瓷基板或其他任何的管芯承载器(die carrier)。而在本实施例之中,基材101是一印刷电路板,其材质可以例如是双马来酰亚胺-三氮杂苯树脂(bismaleimide-triazine resin,BT),或者是其他类似材料。
之后,于基材101之中,形成至少一个贯穿基材101的实心介层插塞,例如实心介层插塞102a和102b,由基材101的第一表面101a延伸至第二表面101b(如图1B所绘示)。在本发明的一些实施例之中,实心介层插塞102a和102b,则是贯穿基材101的金属(例如铜质或铝质)插塞。
然后,于基材101的第一表面101a上,形成一图案化金属层103,其中图案化金属层102至少包含一个焊垫(例如焊垫103a和103b),并且使焊垫103a和103b分别对准实心介层插塞102a和102b,且与实心介层插塞102a和102b直接连接。并于基材101的第二表面101b上,形成另一个图案化金属层104,其中图案化金属层103至少包含一个焊垫(例如焊垫104a和104b),使焊垫104a和104b分别对准实心介层插塞102a和102b,且与实心介层插塞102a和102b直接连接(如图1B所绘示)。
而值得注意的是,虽然在本实施例之中,实心介层插塞102a和102b,是先于图案化金属层103和104形成。但在其他实施例之中,实心介层插塞102a和102b及图案化金属层103或104的形成先后,并不以此为限。也可以在基材101的表面上先形成图案化金属层103或104,使焊垫103a和103b分别对准焊垫104a和104b。之后,再形成贯穿基材101的实心介层插塞102a和102b,使其对准且直接连接焊垫103a、103b、104a和104b。
接着,可选择性的在金属层103之上,形成一图案化绝缘层105,将焊垫103a和103b暴露于外(如图1C所绘示)。在本发明的一些实施例之中,构成图案化绝缘层105的材质,可以是例如二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、环氧树脂(epoxy resin)或类似的绝缘材质。在本发明的另一些实施例之中,也可以不要制作此绝缘层105,将图案化金属层103暴露于外,直接定义焊垫103a和103的范围,以节省成本。
后续,提供至少一个光电半导体芯片106,并将光电半导体芯片104的电极106a和106b,分别对准实心介层插塞102a和102b,并与实心介层插塞102a和102b电性接触(如图1D所绘示)。在本发明的一些实施例之中,光电半导体芯片106可以是发光二极管(Light-Emitting Diode,LED)芯片、有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)芯片或激光二极管(laser diode)芯片、光二极管(photodiode)芯片、电荷耦合元件(Charge-CoupledDevice,CCD)芯片或太阳电池(solar cell)芯片。在本实施例之中,光电半导体芯片106是一发光二极管芯片,且此一发光二极管芯片的阴极与阳极电极(即电极104a和104b),是位于光电半导体芯片106的相同一侧。
而使光电半导体芯片106的电极106a和106b,分别对准并与实心介层插塞102a和102b电性接触的方式,是将光电半导体芯片106放置于图案化绝缘层105上,并使用锡球107将半导体芯片106的电极106a和106b,和暴露于外的焊垫103a和103b联结。由于焊垫103a和103b是分别对准且直接连接实心介层插塞102a和102b;因此与焊垫103a和103b联结的电极106a和106b,即可分别对准并与实心介层插塞102a和102b电性接触。
然后,于光电半导体芯片106的至少一个表面,涂布荧光层109。在本发明的一些实施例之中,在涂布荧光层109之前,较佳会在锡球107以及电极106a和106b周边,形成一绝缘胶111。之后,再于未被绝缘胶111覆盖的光电半导体芯片106的上表面106c以及侧壁106d上,涂布荧光层109(如图1E所绘示)。
值得注意的是,前述的荧光层109涂布步骤,可同时实施于多个光电半导体芯片106上。参照图2,图2是根据本发明的另一实施例所绘示,同时在多个光电半导体芯片106上涂布荧光层209的结构剖视图。首先,通过晶片级制作工艺(wafer-level processing),采用如图1A至1D所示的步骤,将多个光电半导体芯片106,以阵列型式排列并固定于基材101上。再同步地在多个光电半导体芯片106上,进行如图1E所示的荧光层209涂布步骤。后续,进行晶片切割(wafer dicing)步骤212,形成类似图1E所示的结构。由于晶片级制作工艺,可将多个光电半导体芯片106,紧密排列于基材101上,缩短相邻二个光电半导体芯片106之间的间距。故而,在进行荧光层109涂布步骤时,可增加各个光电半导体元件106的荧光层109的均匀性。
接着请再参照图1E,将与光电半导体芯片106结合的基材101,固定于承载基板108上。在本发明的一些实施例之中,使用锡球110将基材101第二表面101的焊垫104a和104b与位于承载基板108上的金属线路108a连接,并且使光电半导体芯片106和承载基板108产生电性接触(如图1F所绘示)。在本发明的一些实施例之中,承载基板108可以是金属核心的印刷电路板(Metal Core Printed Circuit Board,MCPCB)、陶瓷电路板(ceramic circuitboard)或具有良好的热传导效果的基板。
由于本发明的实施例,是采用倒装封装结构,来对光电半导体芯片106进行封装。亦即是采用纵向对准,且直接和实心介层插塞102a和102b接触的锡球107以及110,来使光电半导体芯片106固定于承载基板108上,并且与承载基板108的金属线路108a产生电连接。因此封装结构并不需要横向延伸,所需要的封装尺寸较小,有利于光电半导体元件100的微小化。且可使更多的光电半导体芯片106,紧密排列于承载基板108上,大幅提高光电半导体元件100的封装密度(packaging density)。
后续,以封胶体112包覆基材101、光电半导体芯片106、荧光层109以及一部分的承载基板108,用于将基材101、发光半导体晶106片以及荧光层109与外部空气隔离,形成如图1G所绘示的光电半导体芯片封装结构100。
其中,光电半导体元件100包括基材101、实心介层插塞102a和102b、光电半导体芯片106、荧光层109、承载基板108以及封胶体112。其中,实心介层插塞102a和102b贯穿基材101。光电半导体芯片106,具有电极106a和106b,对准并与实心介层插塞102a和102b电性接触。荧光层109覆盖于光电半导体芯片106的上表面106c以及侧壁106d上。基材101固定于承载基板108之上。封胶体112包覆基材101、光电半导体芯片106、荧光层109以及一部分的承载基板108上,用于将基材101、发光半导体晶106片以及荧光层109与外部空气隔离。
在本发明的一些实施例中,封胶体112的材质,较佳可以是环氧树脂、硅胶或聚亚酰胺(Polyimide,PI)等透明的封胶体化合物(MoldingCompounds)。凝固后的封胶体112,除可保护光电半导体元件100外,还可形成半球形的透明微透镜结构,用来增进光电半导体元件100的光学效率。
虽然在本实施例中,封胶体112单一透明微透镜结构,仅包覆一个由基材101、发光半导体晶106,但本发明的其他实施例中并不以此为限。例如请参照图3,图3是根据本发明的一实施例所绘示的光电半导体元件300的结构剖视图。其中,光电半导体元件300光电半导体芯片106的结构大致与光电半导体元件100相似,差别在于,光电半导体元件300中,由封胶体312所构成的单一透明微透镜结构,可同时包覆多个固定于承载基板208上的发光半导体晶106。
根据上述实施例,本发明是提供一种光电半导体元件,其是采用倒装接合方式,将至少一光电半导体芯片的电极,直接与贯穿基材的实心介层插塞焊垫结合。之后,再将荧光层覆盖于光电半导体芯片的至少一表面上,并以封胶体包覆基材、光电半导体芯片以及荧光层。
相较于现有打线封装技术,光电半导体芯片在进行封装时,封装结构必须横向延伸,方能使打线与基材的焊垫电连接。采用倒装封装结构的光电半导体芯片,其与芯片电极是纵向对准下方的实心介层插塞接触,所需要的封装尺寸较小,可使光电半导体芯片排列更加紧密有利于光电半导体元件的微小化。
另外,当进行荧光层涂布与封装时,还可增加各个光电半导体元件的荧光层的均匀性,解决现有光电半导体元件偏光或偏色的问题。再加上,本发明的倒装封装技术,所采用的实心介层插塞,可有效率地将光电半导体芯片所产生的热,外扇到基材背面,相较于现有的打线封装技术,其散热效果更佳,可提升光电半导体元件的效能。
虽然已结合以上较佳实施例公开了本发明,然而其并非用以限定本发明。任何该领域中熟悉此技术者,在不脱离本发明的精神和范围内,可作些许的更动与润饰。因此本发明的保护范围应以附上的权利要求所界定的为准。

Claims (14)

1.一种光电半导体芯片封装结构,包括:
基材;
第一实心介层插塞,贯穿该基材;
光电半导体芯片,具有一第一电极,对准并与该第一实心介层插塞电连接;
荧光层,覆盖于该光电半导体芯片的至少一表面;以及
封胶体,包覆该基材、该光电半导体芯片以及该荧光层。
2.如权利要求1所述的光电半导体芯片封装结构,还包括:
第一图案化金属层,位于该基材的一第一表面上,具有至少一第一焊垫,对准且与该第一实心介层插塞直接接触;以及
第二图案化金属层,位于该基材的一第二表面上,具有至少一第二焊垫,对准且与该第一实心介层插塞直接接触;其中该第二表面,位于该基材上相对于该第一表面的相反一侧。
3.如权利要求2所述的光电半导体芯片封装结构,其中该第一电极经由该第一焊垫,与该第一实心介层插塞电连接。
4.如权利要求2所述的光电半导体芯片封装结构,还包含承载基板,与该基材结合;通过该承载基板和该封胶体,将该基材、该发光二极管芯片以及该荧光层与外部空气隔离。
5.如权利要求4所述的光电半导体芯片封装结构,其中该承载基板具有一金属线路,与该第二焊垫直接接触。
6.如权利要求1所述的光电半导体芯片封装结构,还包含第二实心介层插塞,贯穿该基材,且对准并与该光电半导体芯片的一第二电极电连接。
7.一种光电半导体芯片的封装方法,包含下述步骤:
提供一基材以及一第一实心介层插塞,贯穿该基材;
将一光电半导体芯片的一第一电极,对准并与该第一实心介层插塞电性接触;
于该光电半导体芯片的至少一表面,涂布一荧光层;以及
以一封胶体包覆该基材、该发光半导体芯片以及该荧光层。
8.如权利要求7所述的的光电半导体芯片封装方法,其中提供该基材与该第一实心介层插塞的歩骤,还包括:
于该基材的一第一表面上,形成具有至少一第一焊垫的一第一图案化金属层,使该第一焊垫对准且与该第一实心介层插塞直接接触;以及
于该基材的一第二表面上,形成具有至少一第二焊垫的一第二图案化金属层,对准且与该第一实心介层插塞直接接触,其中该第二表面,位于该基材上相对于该第一表面的相反一侧。
9.如权利要求8所述的的光电半导体芯片封装方法,其中提供该基材与该第一实心介层插塞的歩骤,还包括于该图案化第一金属层之上,形成一图案化绝缘层,将该第一焊垫暴露于外。
10.如权利要求8所述的光电半导体芯片封装方法,其中将该光电半导体芯片的该第一电极,对准并与该第一实心介层插塞电性接触的步骤,包括使用一锡球来连接该第一电极与该第一焊垫。
11.如权利要求8所述之光电半导体芯片封装方法,还包括将一承载基板与该基材结合,并使该第二焊垫与该承载基板的一金属线路电连接。
12.如权利要求11所述的光电半导体芯片封装方法,其中将该承载基板与该基材结合的步骤,包括使用一锡球,连接该金属线路与该第二焊垫。
13.如权利要求11所述的光电半导体芯片封装方法,其中在将该封胶体包覆该基材、该发光半导体芯片以及该荧光层的步骤,包括以该封胶体包覆该基材、该光电半导体芯片、该荧光层以及一部分该承载基板,用于将该基材、该光电半导体芯片以及该荧光层与外部空气隔离。
14.如权利要求7所述的光电半导体芯片封装方法,还包括:
提供一第二实心介层插塞,贯穿该基材,使该光电半导体芯片的至少一第二电极,对准且与该第二实心介层插塞电连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN106875853A (zh) * 2017-01-22 2017-06-20 深圳晗竣雅科技有限公司 一种数字化阵列光源芯片及制造方法以及投影装置

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