CN104459884A - 一种波分复用与解复用器制作方法 - Google Patents

一种波分复用与解复用器制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种波分复用与解复用器制作方法，属于波分复用技术领域，意在提供一种产品部件结构少，产品的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用的一种波分复用与解复用器制作方法。采用半导体技术在芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波缺口，在每个滤波缺口内安装一片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。

Description

一种波分复用与解复用器制作方法
技术领域
本发明涉及波分复用技术领域，尤其涉及一种波分复用与解复用器制。
背景技术
随着数据业务的飞速发展，网络融合的速度在加快，城域网正成为当前网络建设的热门，而且市场竞争的压力使得电信运营商对网络的成本（包括建设成本和运维成本）更加敏感。针对市场的这种需求，城域网的WDM(波分复用)产品应运而生。
WDM能有效节省光纤资源和组网成本，它解决了光纤短缺和多业务透明传输两个问题，主要应用在城域网汇聚和接入层，并且可在短时间建设网络并开展业务。
目前波分复用产品缺点：现在商业化粗波分复用与解复用器多准直器、输入输出端、固定套管等独立光学器件多次组装而成，每个器件只能实现单个波长的复用和解复用。产品的损耗大，特别是多通道时，产品的均匀性差，不适用于多通道的复用与解复用。
发明内容
本发明是为了解决现有波分复用产品部件结构多，每个器件只能实现单个波长的复用和解复用，产品的损耗大，特别是多通道时，产品的均匀性差，不适用于多通道的复用与解复用的这些不足，提供一种产品部件结构少，产品的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用的一种波分复用与解复用器制作方法。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种波分复用与解复用器制作方法，包括如下步骤：
（1-1），制作衬底层、下包层和芯层；
先是采用衬底材料制作上表面为水平面的衬底层，然后采用包层材料在衬底层的上表面上沉积制作上表面为水平面的下包层，再采用芯层材料在下包层的上表面上沉积制作上表面为水平面的芯层；
（1-2），在芯层上制作波导光路；
（1-2-1），如果设芯层上输入的总信号光中包含的分信号光的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路、N-1条滤波波导光路和一条入射波导光路；
（1-2-2），采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路的后端和最后一条反射波导光路的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；
（1-2-3），采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；
（1-2-4），采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路；
（1-2-5），采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；
（1-3），制作滤波缺口；
采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处设置滤波缺口；
（1-4），安装滤光片；
在每个滤波缺口内安装一片滤光片，并且每个滤光片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉，并能让该处过滤掉的分信号光在对应的滤波波导光路上继续传输，把其余的分信号光反射到对应的反射波导光路上继续传输；
（1-5），制作上包层；
在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路、滤光片以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层；
（1-6），切割封装。
本方案采用半导体技术在芯层上制作波导光路，该波导光路使得产品部件结构少，光在传输的过程中的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用。本方案采用半导体技术在芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波缺口，在每个滤波缺口内安装一片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。通过本方案制作得到的一种波分复用与解复用器在使用时，假如总信号光包括五条分信号光。当包括五条分信号光的总信号光从入射波导光路射入后，五条分信号光中的一号分信号光经第一个滤波片过滤后从滤波波导光路射出；另外的四条分信号光经第一个滤光片反射后进入第一条反射波导光路。然后这四条分信号光中的二号分信号光经第二个滤波片过滤后从滤波波导光路射出，另外的三条分信号光经第二个滤光片反射后进入第二条反射波导光路。然后这三条分信号光中的三号分信号光经第三个滤波片过滤后从滤波波导光路射出，另外的两条分信号光经第三个滤光片反射后进入第三条反射波导光路。然后这两条分信号光中的四号分信号光经第四个滤波片过滤后从滤波波导光路射出，另外的一条分信号光经第四个滤光片反射后进入最后一条反射波导光路。根据光的可逆性原理，如果把与滤波片对应的分信号光从对应的滤波片所在的滤波波导光路射入，则各个分信号光最终从入射波导光路射出，从而实现总信号光与分信号光的复用与解复用。
作为优选，还包括如下步骤：
（2-1），制作辅助凹槽；
在制作完上包层后，采用光刻和刻蚀在上包层上的每条反射波导光路前端的后侧方的上包层内分别设有一个槽底落在下包层上的辅助凹槽，每个辅助凹槽离对应的反射波导光路的距离为2-6μm，每个辅助凹槽离对应处的滤光片的距离为2-16μm，每个辅助凹槽的长度为对应滤光片滤除的分信号光半波长的整数倍；
（2-2），制作辅助导波；
在每个辅助凹槽内通过CVD方法填满沉积制作辅助导波，辅助导波材料的折射率等于芯层材料的折射率。
与对应分信号光的半波长的整数倍的辅助导波会与对应波长的分信号光发生耦合，该分信号光在该辅助导波出会出现朝该辅助导波方向偏转一定的角度，使得该处需要滤除的分信号光入射到滤光片上的角度尽量大，分信号光的入射角度越大，反射越小，从滤光片射出的光越多，分信号光的损耗小，分光均匀性更好。波分复用与解复用的效果更好。因为不从该滤光片过滤的其它分信号光由于波长与该辅助导波的长度不是其半波长的整数倍，因此不从该滤光片过滤的其它分信号光就不会与该辅助导波发生耦合，其它分信号光还是沿着原有路径照射到滤波片上并经滤波片反射后继续传输。
作为优选，在步骤（1-4）中，先把滤光片放置在滤波缺口内，并使滤波片的反射面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直，然后用UV紫外固化胶将滤波片固定在滤波缺口内。这种结构保证分信号光在反射波导光路中的传输路径与反射波导光路的轴心线平行，传输效果较好，损耗较小，进而使得本发明的复用与解复用效果较佳。
作为优选，在滤波片与滤波波导光路之间的滤波缺口内还用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的凸透镜，且凸透镜的平面朝向滤波片布置，凸透镜的弧形曲面朝向滤波波导光路布置，并且凸透镜的平面与滤波片平行。凸透镜与滤光片配合，让滤除的分信号光在滤波波导光路传输的路径比较集中，从而让分信号光损耗小，传输效果更好。
一种根据波分复用与解复用器制作方法制作的一种波分复用与解复用器，
包括衬底层，通过CVD方法在衬底层的上表面上沉积制作下包层，通过CVD方法在下包层的上表面上沉积制作芯层；
采用光刻和刻蚀在芯层上制作波导光路；
如果设芯层上输入的总信号光中包含的分信号光的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路、N-1条滤波波导光路和一条入射波导光路；
采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路的后端和最后一条反射波导光路的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；
采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；
采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路；
采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；
采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处设置滤波缺口；
在每个滤波缺口内安装一片滤光片，并且每个滤光片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉，并能让该处过滤掉的分信号光在对应的滤波波导光路上继续传输，把其余的分信号光反射到对应的反射波导光路上继续传输；
先在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路、滤光片以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层，然后通过封装技术进行贴盖板封装。
作为优选，采用光刻和刻蚀在上包层上的每条反射波导光路前端的后侧方的上包层内分别设有一个槽底落在下包层上的辅助凹槽，每个辅助凹槽离对应的反射波导光路的距离为2-6μm，每个辅助凹槽离对应处的滤光片的距离为2-16μm，每个辅助凹槽的长度为对应滤光片滤除的分信号光半波长的整数倍；
在每个辅助凹槽内通过CVD方法填满沉积制作辅助导波，辅助导波材料的折射率等于芯层材料的折射率。
作为优选，用UV紫外固化胶将滤波片固定在滤波缺口内，并且使滤波片的反射面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直。
作为优选，在滤波片与滤波波导光路之间的滤波缺口内还用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的凸透镜，且凸透镜的平面朝向滤波片布置，凸透镜的弧形曲面朝向滤波波导光路布置，并且凸透镜的平面与滤波片平行。
本发明能够达到如下效果：
1、本发明采用半导体技术制造芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波缺口，在每个滤波缺口内安装一片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。
2、本发明通过封装耦合技术将输入光纤输入的总信号光耦合进入入射波导光路，把从滤波波导光路的分信号光耦合上对应的输出光纤，把最后一条反射波导光路前端输出的分信号光也耦合上对应的输出光纤。从而实现光波长的复用与解复用。
3、本发明的产品成本低，集成度高、均匀性好，封装方便，插入损耗低。
附图说明
图1是本发明作衬底层、下包层和芯层的一种位置关系连接结构示意图。
图2是本发明作衬底层、下包层、波导光路和上包层的一种剖面连接结构示意图。
图3是本发明采用光刻和刻蚀在芯层上制作出波导光路后的一种俯视连接结构示意图，其中波导光路包括：入射波导光路、反射波导光路和滤波波导光路。
图4是在图3的基础上，在波导光路上制作出滤波缺口后的一种俯视连接结构示意图。
图5是在图4的基础上，在滤波缺口中安装好滤波片后的一种俯视连接结构示意图。
图6是总信号光从图5所示的波导光路上输入，除其中一条分信号光从最后一条反射波导光路传输出去外，其它的给条分信号光分别从对应的滤波波导光路传输出去的一种俯视连接结构示意图。
图7是在图5的基础上制作有辅助导波后的一种俯视连接结构示意图。
图8是总信号光从图7所示的波导光路上输入，除其中一条分信号光从最后一条反射波导光路传输出去外，其它的给条分信号光分别从对应的滤波波导光路传输出去的一种俯视连接结构示意图。
图9是在制作完上包层后，采用光刻和刻蚀在上包层上的每条反射波导光路前端的后侧方的上包层内分别设有一个槽底落在下包层上的辅助凹槽的一种截面连接结构示意图。
图10是在图9的每个辅助凹槽内通过CVD方法填满沉积制作出辅助导波后的一种截面连接结构示意图。
图11是在图5的基础上制作有凸透镜后的一种俯视连接结构示意图。
图12是总信号光从图11所示的波导光路上输入，除其中一条分信号光从最后一条反射波导光路传输出去外，其它的给条分信号光分别从对应的滤波波导光路传输出去的一种俯视连接结构示意图。
图中：入射波导光路1，反射波导光路2，二号分信号光3，滤波波导光路4，下包层5，滤波缺口6，滤光片7，辅助导波8，凸透镜9，上包层10，衬底层11，芯层12，总信号光13，分信号光14，辅助凹槽15，第一条反射波导光路21，第二条反射波导光路22，第三条反射波导光路23，最后一条反射波导光路24，滤波波导光路41，滤波波导光路42，滤波波导光路43，滤波波导光路44。
具体实施方式  
下面通过实施例，并结合附图，对本发明的技术实例作进一步具体的说明。
实例1：一种波分复用与解复用器制作方法，参见图1、图2、图3、图4、图5 、图6所示，包括如下步骤：
步骤（1-1），制作衬底层11、下包层5和芯层12；
先是采用衬底材料制作上表面为水平面的衬底层，然后采用包层材料在衬底层的上表面上沉积制作上表面为水平面的下包层，再采用芯层材料在下包层的上表面上沉积制作上表面为水平面的芯层。
步骤（1-2），在芯层上制作波导光路；
步骤（1-2-1），如果设芯层上输入的总信号光13中包含的分信号光3的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路2、N-1条滤波波导光路4和一条入射波导光路1；
步骤（1-2-2），采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路21的后端和最后一条反射波导光路24的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；
步骤（1-2-3），采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；
步骤（1-2-4），采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路4；
步骤（1-2-5），采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；
步骤（1-3），制作滤波缺口6；
采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处设置滤波缺口；
步骤（1-4），安装滤光片7；
在每个滤波缺口内安装一片滤光片，并且每个滤光片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉，并能让该处过滤掉的分信号光在对应的滤波波导光路上继续传输，把其余的分信号光反射到对应的反射波导光路上继续传输；
步骤（1-5），制作上包层10；
在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路、滤光片以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层；
步骤（1-6），切割封装。
采用实例1的方案所制作出的一种波分复用与解复用器，包括衬底层，通过CVD方法在衬底层的上表面上沉积制作下包层，通过CVD方法在下包层的上表面上沉积制作芯层；采用光刻和刻蚀在芯层上制作波导光路，如果设芯层上输入的总信号光中包含的分信号光的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路、N-1条滤波波导光路和一条入射波导光路；采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路的后端和最后一条反射波导光路的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路；采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处设置滤波缺口；在每个滤波缺口内安装一片滤光片，并且每个滤光片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉，并能让该处过滤掉的分信号光在对应的滤波波导光路上继续传输，把其余的分信号光反射到对应的反射波导光路上继续传输；
先在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路、滤光片以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层，然后通过封装技术进行贴盖板封装。
实例1采用半导体技术在芯层上制作波导光路，该波导光路使得产品部件结构少，光在传输的过程中的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用。实例1采用半导体技术在芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波缺口，在每个滤波缺口内安装一片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。通过实例1制作得到的一种波分复用与解复用器在使用时，假如总信号光13包括五条分信号光。当包括五条分信号光14的总信号光13从入射波导光路1射入后，五条分信号光中的一号分信号光经第一个滤波片过滤后从滤波波导光路41射出；另外的四条分信号光经第一个滤光片反射后进入第一条反射波导光路21。然后这四条分信号光中的二号分信号光3经第二个滤波片过滤后从滤波波导光路42射出，另外的三条分信号光经第二个滤光片反射后进入第二条反射波导光路22。然后这三条分信号光中的三号分信号光经第三个滤波片过滤后从滤波波导光路43射出，另外的两条分信号光经第三个滤光片反射后进入第三条反射波导光路23。然后这两条分信号光中的四号分信号光经第四个滤波片过滤后从滤波波导光路44射出，另外的一条分信号光经第四个滤光片反射后进入最后一条反射波导光路24。根据光的可逆性原理，如果把与滤波片对应的分信号光从对应的滤波片所在的滤波波导光路射入，则各个分信号光最终从入射波导光路射出，从而实现总信号光与分信号光的复用与解复用。
实例2：一种波分复用与解复用器制作方法，参见图1、图2、图3、图4、图5 、图7、图8、图9、图10所示，实例2与实例1的不同在于，还括如下步骤：
步骤（2-1），制作辅助凹槽15；
在制作完上包层后，采用光刻和刻蚀在上包层上的每条反射波导光路前端的后侧方的上包层内分别设有一个槽底落在下包层上的辅助凹槽，每个辅助凹槽离对应的反射波导光路的距离为2-6μm，每个辅助凹槽离对应处的滤光片的距离为2-16μm，每个辅助凹槽的长度为对应滤光片滤除的分信号光半波长的整数倍；
步骤（2-2），制作辅助导波；
在每个辅助凹槽内通过CVD方法填满沉积制作辅助导波8，辅助导波材料的折射率等于芯层材料的折射率。
与实例2对应的一种波分复用与解复用器和实例1的一种波分复用与解复用器不同在于，还采用光刻和刻蚀在上包层上的每条反射波导光路前端的后侧方的上包层内分别设有一个槽底落在下包层上的辅助凹槽，每个辅助凹槽离对应的反射波导光路的距离为2-6μm，每个辅助凹槽离对应处的滤光片的距离为2-16μm，每个辅助凹槽的长度为对应滤光片滤除的分信号光半波长的整数倍；在每个辅助凹槽内通过CVD方法填满沉积制作辅助导波，辅助导波材料的折射率等于芯层材料的折射率。
实例2不仅能够实现实例1的全部功能，而且与对应分信号光半波长的整数倍的辅助导波会与对应波长的分信号光发生耦合，该分信号光在该辅助导波出会出现朝该辅助导波方向偏转一定的角度，使得该处需要滤除的分信号光入射到滤光片上的角度尽量大，分信号光的入射角度越大，反射越小，从滤光片射出的光越多，分信号光的损耗小，分光均匀性更好。波分复用与解复用的效果更好。因为不从该滤光片过滤的其它分信号光由于波长与该辅助导波的长度不是其半波长的整数倍，因此不从该滤光片过滤的其它分信号光就不会与该辅助导波发生耦合，其它分信号光还是沿着原有路径照射到滤波片上并经滤波片反射后继续传输。
实例3：一种波分复用与解复用器制作方法，参见图1、图2、图3、图4、图5 、图11、图12所示，实例3与实例1的不同在于，还括如下步骤：
在步骤（1-4）中，先把滤光片放置在滤波缺口内，并使滤波片的反射面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直，然后用UV紫外固化胶将滤波片固定在滤波缺口内。在滤波片与滤波波导光路之间的滤波缺口内还用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的凸透镜9，且凸透镜的平面朝向滤波片布置，凸透镜的弧形曲面朝向滤波波导光路布置，并且凸透镜的平面与滤波片平行。
与实例3对应的一种波分复用与解复用器和实例1的一种波分复用与解复用器不同在于，采用UV紫外固化胶将滤波片固定在滤波缺口内，并且使滤波片的反射面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直。在滤波片与滤波波导光路之间的滤波缺口内还用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的凸透镜，且凸透镜的平面朝向滤波片布置，凸透镜的弧形曲面朝向滤波波导光路布置，并且凸透镜的平面与滤波片平行。
实例3不仅能够实现实例1的全部功能，而且这种结构制造简单，可靠性高，便于对滤波片进行调节，能保证分信号光在反射波导光路中的传输路径与反射波导光路的轴心线平行，传输效果较好，损耗较小，进而使得本发明的复用与解复用效果较佳。凸透镜与滤光片配合，让滤除的分信号光在滤波波导光路传输的路径比较集中，从而让分信号光损耗小，传输效果更好。
上面结合附图描述了本发明的实施方式，但实现时不受上述实施例限制，本领域普通技术人员可以在所附权利要求的范围内做出各种变化或修改。

Claims (4)

1.一种波分复用与解复用器制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1-1）制作衬底层（11）、下包层（5）和芯层（12）；
先是采用衬底材料制作上表面为水平面的衬底层，然后采用包层材料在衬底层的上表面上沉积制作上表面为水平面的下包层，再采用芯层材料在下包层的上表面上沉积制作上表面为水平面的芯层；
（1-2）在芯层上制作波导光路；
（1-2-1）如果设芯层上输入的总信号光（13）中包含的分信号光（14）的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路（2）、N-1条滤波波导光路（4）和一条入射波导光路（1）；
（1-2-2）采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路（21）的后端和最后一条反射波导光路（24）的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；
（1-2-3）采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；
（1-2-4）采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路（4）；
（1-2-5）采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；
（1-3）制作滤波缺口（6）；
采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处设置滤波缺口；
（1-4）安装滤光片（7）；
在每个滤波缺口内安装一片滤光片，并且每个滤光片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉，并能让该处过滤掉的分信号光在对应的滤波波导光路上继续传输，把其余的分信号光反射到对应的反射波导光路上继续传输；
（1-5）制作上包层（10）；
在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路、滤光片以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层；
（1-6）切割封装。
2.根据权利要求1所述的一种波分复用与解复用器制作方法，其特征在于，还包括如下步骤：
（2-1）制作辅助凹槽（15）；
在制作完上包层后，采用光刻和刻蚀在上包层上的每条反射波导光路前端的后侧方的上包层内分别设有一个槽底落在下包层上的辅助凹槽，每个辅助凹槽离对应的反射波导光路的距离为2-6μm，每个辅助凹槽离对应处的滤光片的距离为2-16μm，每个辅助凹槽的长度为对应滤光片滤除的分信号光半波长的整数倍；
（2-2）制作辅助导波；
在每个辅助凹槽内通过CVD方法填满沉积制作辅助导波（8），辅助导波材料的折射率等于芯层材料的折射率。
3.根据权利要求1所述的一种波分复用与解复用器制作方法，其特征在于，在步骤（1-4）中，先把滤光片放置在滤波缺口内，并使滤波片的反射面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直，然后用UV紫外固化胶将滤波片固定在滤波缺口内。
4.根据权利要求3所述的一种波分复用与解复用器制作方法，其特征在于，在滤波片与滤波波导光路之间的滤波缺口内还用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的凸透镜（9），且凸透镜的平面朝向滤波片布置，凸透镜的弧形曲面朝向滤波波导光路布置，并且凸透镜的平面与滤波片平。
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