CN104455617A - 放气系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种放气系统，该放气系统包括：放气阀(1)、缓冲板(2)、锁室(3)以及盖板(4)，其中，所述盖板(4)用于封闭所述锁室(3)，所述放气阀(1)贯穿所述盖板(4)并能够控制打开或关闭；所述缓冲板(2)固接于所述锁室(3)的内部，且止挡所述放气阀(1)冲入的气体。该放气系统可以在不破坏基片的前提下快速把系统回复到大气状态。

Description

放气系统

技术领域

本发明涉及一种放气装置，具体地，涉及一种放气系统。

背景技术

在现有技术中，对于真空室进行放气的系统常常会因为放气打坏基片，对于基片来说，由于每次放气都会产生很大的气压层会产生很大的气流，对于基片来说，很容易就被打坏了。那么设计一种新的放气系统成为一种亟需解决的问题。

发明内容

本发明的目的是克服了现有技术中的放气系统容易打坏基片的问题，提供一种放气系统，该放气系统可以在不破坏基片的前提下快速把系统回复到大气状态。

为了实现上述目的，本发明提供了一种放气系统，该放气系统包括：放气阀、缓冲板、锁室以及盖板，其中，所述盖板用于封闭所述锁室，所述放气阀贯穿所述盖板并能够控制打开或关闭；所述缓冲板固接于所述锁室的内部，且止挡所述放气阀冲入的气体。

优选地，该放气系统还包括：过滤器，所述过滤器设置于所述放气阀中。

优选地，所述放气阀设置为多个，且多个所述放气阀均匀分布在所述锁室的外表面上。

优选地，该放气系统包括：储气罐，所述储气罐中的空气能够通过所述放气阀进入所述锁室中。

优选地，所述空气为干燥空气。

优选地，所述放气阀设置为可调节放气阀。

优选地，该放气系统还包括：引导管，所述引导管的一端连通于所述放气阀，另一端将冲入的气体引导至所述缓冲板上。

通过上述实施方式，本发明的放气系统可以选择性地实现快速放气，空气通过手动调节的放气阀进入锁室，充分调节这个放气阀，就可以在不破坏基片的前提下快速地把系统的气压回复到大气状态。放气阀直接安装在盖板上，它把充入的气体直接引导到缓冲板上，缓冲板固定在盖板的内侧，它的作用是把空气均匀地分布在真空室的每一个室壁上。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是说明本发明的放气系统的具体实施方式的结构示意图。

附图标记说明

1 放气阀 2 缓冲板

3 锁室   4 盖板

5 基片   6 驱动系统。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指附图所述的上下左右。“内、外”是指具体轮廓上的内与外。“远、近”是指与某个部件相对的远近。

本发明提供一种放气系统，该放气系统包括：放气阀1、缓冲板2、锁室3以及盖板4，其中，所述盖板4用于封闭所述锁室3，所述放气阀1贯穿所述盖板4并能够控制打开或关闭；所述缓冲板2固接于所述锁室3的内部，且止挡所述放气阀1冲入的气体。

通过上述实施方式，本发明的放气系统可以选择性地实现快速放气，空气通过手动调节的放气阀1进入锁室，充分调节这个放气阀1，就可以在不破坏基片5的前提下快速地把系统的气压回复到大气状态。放气阀1直接安装在盖板4上，它把充入的气体直接引导到缓冲板2上，缓冲板2固定在盖板4的内侧，它的作用是把空气均匀地分布在锁室3的每一个室壁上。

以下结合附图1对本发明进行进一步的说明，在本发明中，为了能够尽量的避免基片5的损坏，我们通过以下方式来更好地实现。

在本发明的一种具体实施方式中，在生产过程中，由于有抽真空和放气的过程，但是，对于放入的气，由于不确定性，很有可能放入了污染性的气体，对产品的成型有很大的影响，为了克服这个问题，该放气系统还包括：过滤器，所述过滤器设置于所述放气阀1中，过滤器保证了空气中没有微小颗粒。

在该种实施方式中，为了实现本发明的宗旨，实现将空气均匀地分布在锁室3中，所述放气阀1设置为多个，且多个所述放气阀1均匀分布在所述锁室3的外表面上。

在该种实施方式中，该放气系统包括：储气罐，所述储气罐中的空气能够通过所述放气阀1进入所述锁室3中，通过上述的实施方式，在本发明中，可以铜鼓哦在储气罐中防止干燥的空气，这样当气体进入的时候，一方面可以减小内外的压差，另一方面也避免潮湿空气的进入，影响到本发明中的基片5的生产。

在该种实施方式中，为了实现上述的功能，所述空气为干燥空气，也可以防止放气阀1接触潮湿空气后灵明度受到影响。

在本发明的一种具体实施方式中，所述放气阀1设置为可调节放气阀，在该种放气阀1下可以调节充入气体的速度，从而更加方便操作者的操作，操作者可以根据阀门的大小来控制冲入的气体。

在该种实施方式中，该放气系统还包括：引导管(未在附图1中进行标注，其结构简单，可以通过描述得到具体结构)，所述引导管的一端连通于所述放气阀1，另一端将冲入的气体引导至所述缓冲板2上，引导管的设置，使得本发明的气体更容易分配均匀。

在本发明的使用方法中：

首先，本发明中的放气阀仅用很小的横截面导入空气(软放气)，当经过一段时间以后，开放大放气阀1的截面使室体快速回复到大气状态，这种逐步张开放气阀1的管路横截面的动作是通过依次打开多级控制阀来实现的，这样就可以找到快速放气而不打破基片的最好途径，当然在本发明中，还通过缓冲板2的设计使得本发明的放气系统可以将冲入的气体直接引导到缓冲板2上，把空气均匀地分布在锁室3中，放气系统中的驱动系统6带动基片5进行运动，在基片5的上方都设置有缓冲板2以止挡冲入的空气，从而避免了基片5的损坏。

以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (7)

1.一种放气系统，其特征在于，该放气系统包括：放气阀(1)、缓冲板(2)、锁室(3)以及盖板(4)，其中，所述盖板(4)用于封闭所述锁室(3)，所述放气阀(1)贯穿所述盖板(4)并能够控制打开或关闭；所述缓冲板(2)固接于所述锁室(3)的内部，且止挡所述放气阀(1)冲入的气体。

2.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，该放气系统还包括：过滤器，所述过滤器设置于所述放气阀(1)中。

3.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，所述放气阀(1)设置为多个，且多个所述放气阀(1)均匀分布在所述锁室(3)的外表面上。

4.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，该放气系统包括：储气罐，所述储气罐中的空气能够通过所述放气阀(1)进入所述锁室(3)中。

5.根据权利要求4所述的放气系统，其特征在于，所述空气为干燥空气。

6.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，所述放气阀(1)设置为可调节放气阀。

7.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，该放气系统还包括：引导管，所述引导管的一端连通于所述放气阀(1)，另一端将冲入的气体引导至所述缓冲板(2)上。