CN104423283A - 电气设备的模拟通道参数配置方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种电气设备的模拟通道参数配置方法及系统。其中方法包括在半导体制造中电气设备的通道驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；增加对数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中的模拟通道参数进行设置；当数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所述配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；根据所述新数据对半导体制造中电气设备实施控制操作。本发明当电气设备参数更改时，不对驱动文件进行更改，无需再次对驱动文件的源文件进行测试、编译，缩短电气设备参数更改所用时间，提高半导体设备加工的生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造工艺领域，尤其涉及一种电气设备的模拟通道参数配置方法及系统。
背景技术
半导体制造工艺是一个涉及到多种学科交叉的复杂制造领域。刻蚀工艺的过程就是在既定的工艺条件下，如工艺腔室加热到一定温度，工艺腔室的压力稳定在工艺要求的范围内，按照一定的比例对腔室通入多种气体，然后对射频设备加一定的功率，通过电离工艺气体对硅片进行刻蚀的工艺过程。
Devicenet是一种基于控制器局域网络（Controller Area Network，CAN）技术的开放型、符合全球工业标准的低成本、高性能的通信网络。半导体制造中电气设备控制的装置基于该网络与半导体工艺加工腔室的各电气设备进行通信。电气设备控制的装置中包含了大量的用于与电气设备通信，以实施各项控制操作的模拟通道，称为AI，AO通道，即模拟输入和模拟输出通道。设备工控机的下位机通过设置这些通道的值实现对设备的操作。例如需要加电吸附需要进行工艺加工的晶圆时，就需要设定静电卡盘(electrostatic chuck，ESC)设备的电压值，下位机通过设定电气设备控制的装置中名为SCDCSPAO的AO通道值实现对静电卡盘设备电压值的设定。这时ESC电源设备就会向ESC静电卡盘输出相应的电压值将晶圆吸附。同时电气设备控制的装置的AI通道DCOutputAI（实际电压输出通道）会显示ESC电源设备实际输出的电压值。
传统的半导体制造中电气设备控制的装置中包括驱动文件，在制造过程中根据驱动文件中的数据生成对硬件设备，即电气设备，有意义的具体数值，从而实现对电气设备的控制。当对电气设备实施各项控制操作的模拟通道的数量，编号，或者其他参数发生变化时，需要对电气设备控制的装置中的驱动文件的源文件进行更改，耗费大量时间。
发明内容
基于上述问题，本发明提供了一种电气设备的模拟通道参数配置方法及系统，避免半导体制造中电气需求发生变化时对电气设备驱动源文件的更改。
为实现本发明目的提供的一种电气设备的模拟通道参数配置方法，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，包括以下步骤：
在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；
增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置；
当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；
根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。
较佳地，作为一种可实施方式，所述驱动文件中还包括数据结构数据更改文件，所述配置文件通过调用所述数据结构数据更改文件，对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置。
较佳地，作为一种可实施方式，所述数据结构包括通道号及通道最大范围。
较佳地，作为一种可实施方式，所述配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列。
较佳地，作为一种可实施方式，所述当所述数据结构中的数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据，包括以下步骤：
当需要增加对电气设备实施控制操作的新的模拟通道时，在配置文件中增加对所述新的模拟通道进行设置的新的数据；
当需要删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中删除对需要删除的对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据；
当需要更改一对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值时，在配置文件中对需要更改的对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值进行更改；
当需要调换两个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中调换对所述需要调换的两个对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据。
较佳地，作为一种可实施方式，所述根据所述新数据对所述半导体制造中电气设备实施控制操作，包括以下步骤：
读取半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值；
根据所述半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值，及所述新数据，计算得到需要向所述对所述电气设备实施控制操作的模拟通道输入的控制数值，输入到所述电气设备，并控制所述电气设备实施操作。
基于同一发明构思的一种电气设备的模拟通道参数配置处理系统，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，包括数据结构设置模块，配置文件设置模块，数据更改模块及控制模块，其中：
所述数据结构设置模块，用于在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；
所述配置文件设置模块，用于增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置；
所述数据更改模块，用于当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；
所述控制模块，用于根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。
较佳地，作为一种可实施方式，所述数据更改模块包括第一更改子模块，第二更改子模块、第三更改子模块及第四更改子模块，其中：
所述第一更改子模块，用于当需要增加对电气设备实施控制操作的新的模拟通道时，在配置文件中增加对所述新的模拟通道进行设置的新的数据；
所述第二更改子模块，用于当需要删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中删除对需要删除的对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据；
所述第三更改子模块，用于当需要更改一对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值时，在配置文件中对需要更改的对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值进行更改；
所述第四更改子模块，用于当需要调换两个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中调换对所述需要调换的两个对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据。
较佳地，作为一种可实施方式，所述数据结构包括通道号及通道最大范围；
所述配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列。
较佳地，作为一种可实施方式，所述控制模块包括数据读取子模块及操作子模块，其中：
所述数据读取子模块，用于读取半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值；
所述操作子模块，用于根据所述半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值，及所述新数据，计算得到需要向所述对所述电气设备实施控制操作的模拟通道输入的控制数值，输入到所述电气设备，并控制所述电气设备实施相应操作。
本发明的有益效果包括：
本发明提供的一种电气设备的模拟通道参数配置方法及系统，通过在电气设备的驱动文件中加入包括对电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构，当需要更改电气参数时，通过配置文件更改数据结构中的参数，从而避免了对驱动文件中源文件的更改，无需再次对驱动文件的源文件进行测试、编译，缩短电气设备参数更改所用时间，提高半导体设备加工的生产效率。
附图说明
图1为本发明一种电气设备的模拟通道参数配置方法的一具体实施例的流程图；
图2为本发明一种电气设备的模拟通道参数配置处理系统的一具体实施例的系统结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例的电气设备的模拟通道参数配置方法及系统的具体实施方式进行说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明实施例的一种电气设备的模拟通道参数配置方法，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，包括以下步骤：
S100，在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；
本发明实施例在传统电气设备驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构，后续可以通过在其关联文件中对数据结构中参数具体数值进行设置，从而达到对模拟通道相关数据的更改，而无需对驱动文件的源文件进行更改。
较佳地，作为一种可实施方式，所述数据结构为对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数，包括通道号及通道最大范围。
较佳地，作为一种可实施方式，使用Map(Key,Value)数据结构，模拟通道的通道号为Key，通道最大范围为Value。
较佳地，作为一种可实施方式，所述驱动文件中还包括数据结构数据更改文件，后续配置文件通过调用所述数据结构数据更改文件，对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置。
例如，半导体制造中的电器设备的上RF电源，可以设定该电源的输出功率，设其对应的AO通道是301，功率最大值是3000W，那么此部分对应电气设备驱动代码PMAIAODevice.cpp中的如下部分：
较佳地，作为一种可实施方式，对驱动文件中增加使用数据结构及数据结构更改文件，添加方法setAOChlMaxValue(double maxValue)，如下所示：
m_AOStartPos+m_AOChlNum++，表示模拟通道的通道号，该方法被调用一次，通道号自动加1。maxValue表示该模拟通道最大范围。
对电气设备的驱动文件进行更改后得到对应此部分新的驱动文件如下所示：
S200，增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置；
在控制系统中增加对驱动文件中增加的数据结构进行设置的配置文件，配置文件根据预设数据对驱动文件中数据结构的参数的具体数值，即对电气设备实施控制操作的模拟通道参数的具体数值，进行设定。
此处需要说明的是，预设数据是半导体制造中，在对晶圆进行工艺加工之前根据工艺流程设定的电气设备的性能参数值。
较佳地，作为一种可实施方式，所述配置文件通过调用驱动文件中的数据结构数据更改文件，设置对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的具体数值。
较佳地，作为一种可实施方式，配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列。
较佳地，作为一种可实施方式，增加配置文件PMAIAOInfo.xml，并将每个AI，AO通道按照通道号的递增的方式排列。
例如，半导体制造中的电器设备的上RF电源的输出功率设置在配置文件中的数据如下所示：
<!-->SRFSetpointAO<-->
<setAOChlMaxValue type=“method”>3000</setAOChlMaxValue>
假如SRFSetpointAO排序在第301个，当解析<setAOChlMaxValue type=”method”>3000</setAOChlMaxValue>时会调用驱动文件PMIODevice.cpp的setAOChlMaxValue，m_mapAOChlMaxValue变量中就会插入数据(301，3000)，当机台设备做工艺时，驱动文件操作的channelNum（通道号）是301。
S300，当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；
较佳地，作为一种可实施方式，步骤S300包括以下步骤：
S310，当需要增加对电气设备实施控制操作的新的模拟通道时，在配置文件中增加对所述新的模拟通道进行设置的新的数据；
例如在上RF电源输出功率通道后增加一个下RF电源输出功率通道BRFSetpointAO，只需在配置文件中上RF电源输出功率通道数据后添加对下BF电源输出功率通道进行设置的数据，得到包括原对上述BF电源输出功率通道进行设置的数据及新增数据的部分配置文件如下所示：
而对配置文件中的其他数据不进行任何更改，也不用对驱动文件中的数据或代码进行改动，从而使新增电气通道更加方便快捷，避免了对电气设备驱动文件的更改，不用再对驱动文件进行重新的测试、编译，节省时间，提高了生产效率。
较佳地，作为一种可实施方式，在配置文件中，对电气设备进行设置的数据是按模拟通道的通道号进行排序的，增加一个电气设备设置数据之后，配置文件中所有对电气设备进行设置的数据还是按模拟通道的通道号升序排列，新增的电气设备的设置数据的通道号比其前一对电气设备进行设置对应的模拟通道的通道号大1，相应的，配置文件中在新增设置数据之后的原有数据对应的模拟通道的通道号比原来通道号大1。
S320，当需要删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中删除对需要删除的对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据；
当需要删除一个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，即去掉此电气设备对半导体工艺加工的影响，则在配置文件中删除对该电气设备对应的模拟通道进行设置的数据，则该电气设备对应的模拟通道的通道号变为配置文件中下一数据对应的电气设备的模拟通道的通道号，删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的配置文件数据之后，配置文件中剩余的设置数据所对应的模拟通道的通道号仍然按递增顺序排列。
S330，当需要更改一对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值时，在配置文件中对需要更改的对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值进行更改；
当需要更改一对电气设备实施控制操作的模拟量的参数值，即更改数据结构中该模拟通道的通道号或者通道的最大范围时，可直接更改配置文件中对该模拟通道进行设置的数据，如将上述BF的最大功率由3000降低到1500，只需要将下面配置文件代码中的3000改为1500。
<!-->SRFSetpointAO<-->
<setAOChlMaxValue type=“method”>3000</setAOChlMaxValue>
同样，不需要更改驱动文件中的数据，因此，不用对驱动文件进行测试、编译，缩短参数更改占用时间，提高半导体制造生产效率。
此处需要说明的是，在配置文件中，对半导体制造中电气设备对应模拟通道的参数进行设置的数据可根据不同名称进行区分，对一电气设备对应的模拟通道参数具体数值进行设置时，可直接更改配置文件中对应电气设备名称下的数据，对通道的通道号根据递增的顺序进行排列，移动配置文件中对电气设备对应模拟通道的参数进行设置的数据的位置，即改变排序，则更改电气设备对应的模拟通道的通道号。
S340，当需要调换两个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中调换对所述需要调换的两个对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据。
当两个电气设备对应的模拟通道，即两个对电气设备实施控制操作的模拟通道，需要调换时，则在配置文件中调换对应两个电气设备对应的模拟通道进行设置的数据。
此处需要说明的是，对电气设备实施控制操作的模拟通道和配置文件中对模拟通道进行设置的数据时一一对应的，且模拟通道的通道号根据对该模拟通道进行设置的配置文件中的数据在配置文件中的位置确定，如对上述BF电源对应的模拟通道进行设置的数据在配置文件排序中的第301个，则该上述BF电源对应的模拟通道的通道号为301，因此调换配置文件中两个对模拟通道参数进行设置的配置文件中的数据，则所调换的配置文件中的数据对应的模拟通道的通道号也会对应进行调换。
S400，根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。
较佳地，作为一种可实施方式，步骤S400，包括以下步骤：
S410，读取半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值；
在半导体制造中，在工艺加工开始前，会对工艺加工过程中电气设备的各项输入值进行设置，因此首先读取工艺加工过程中电气设备各项预设输入值，后续根据所读取的电气设备预设输入值对电气设备进行设置和控制。
所述电气设备预设输入值，即为驱动文件中驱动代码内的value。
S420，根据所述半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值，及所述新数据，计算得到需要向所述对所述电气设备实施控制操作的模拟通道输入的控制数值，输入到所述电气设备，并控制所述电气设备实施操作。
根据所读取的电气设备的预设输入值，及更新后的数据结构中的新数据，计算得到应向电气设备所对应的模拟通道发送的世纪模拟值，并发送到相应的模拟通道，控制电气设备根据预设值工作。
例如，当机台设备做工艺时，驱动文件操作的channelNum（通道号）301，则根据驱动文件中驱动代码内描述的value（功率值）/m_mapAOChlMaxValue[301](变量m_mapAOChlMaxValue当Key=301时，它的值等于上RF电源最大功率3000)*32768（最大模拟量值）公式，根据电气设备的上RF电源预先设定值value，计算得出需要向上RF电源发送的实际模拟值temp，发送到上述BF电源，并控制其实施操作。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供一种电气设备的模拟通道参数配置处理系统，由于此方法解决问题的原理与前述一种电气设备的模拟通道参数配置方法相似，因此，该系统的实施可以根据前述方法的具体步骤实现，重复之处不再赘述。
本发明实施例的一种电气设备的模拟通道参数配置处理系统，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，包括数据结构设置模块100，配置文件设置模块200，数据更改模块300及控制模块400，其中：
所述数据结构设置模块100，用于在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；
较佳地，作为一种可实施方式，所述数据结构包括通道号及通道最大范围。
较佳地，作为一种可实施方式，使用Map(Key,Value)数据结构，模拟通道的通道号为Key，通道最大值为Value。
较佳地，作为一种可实施方式，所述驱动文件中还包括数据结构数据更改文件，配置文件设置模块通过调用所述数据结构数据更改文件，对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置。
所述配置文件设置模块200，用于增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置；
此处需要说明的是，预设数据是半导体制造中，在对晶圆进行工艺加工之前根据工艺流程设定的电气设备的性能参数值。
较佳地，作为一种可实施方式，配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列。
所述数据更改模块300，用于当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；
较佳地，作为一种可实施方式，所述数据更改模块300，包括第一更改子模块310，第二更改子模块320，第三更改子模块330及第四更改子模块340，其中：
所述第一更改子模块310，用于当需要增加对电气设备实施控制操作的新的模拟通道时，在配置文件中增加对所述新的模拟通道进行设置的新的数据；
较佳地，作为一种可实施方式，在配置文件中，对电气设备进行设置的数据是按模拟通道的通道号进行排序的，增加一个电气设备设置数据之后，配置文件中所有对电气设备进行设置的数据还是按模拟通道的通道号升序排列，新增的电气设备的设置数据的通道号比其前一对电气设备进行设置对应的模拟通道的通道号大一，相应的，配置文件中在新增设置数据之后的原有数据对应的模拟通道的通道号比原来通道号大一。
所述第二更改子模块320，用于当需要删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中删除对需要删除的对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据；
当需要删除一个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，即去掉此电气设备对半导体工艺加工的影响，则在配置文件中删除对该电气设备对应的模拟通道进行设置的数据，则该电气设备对应的模拟通道的通道号变为配置文件中下一数据对应的电气设备的模拟通道的通道号，删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的配置文件数据之后，配置文件中剩余的设置数据所对应的模拟通道的通道号仍然按递增顺序排列。
所述第三更改子模块330，用于当需要更改一对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值时，在配置文件中对需要更改的对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值进行更改；
所述第四更改子模块340，用于当需要调换两个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中调换对所述需要调换的两个对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据。
较佳地，作为一种可实施方式，所述数据更改模块通过配置文件对驱动文件中的数据结构中的数据进行更改时，通过配置文件调用驱动文件中的数据结构数据更改文件对数据结构中需要更改的数据进行设置。
所述控制模块400，用于根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。
较佳地，作为一种可实施方式，所述控制模块400，包括数据读取子模块410及操作子模块420，其中：
所述数据读取子模块410，用于读取半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值；
所述操作子模块420，用于根据所述半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值，及所述新数据，计算得到需要向所述对所述电气设备实施控制操作的模拟通道输入的控制数值，输入到所述电气设备，并控制所述电气设备实施相应操作
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种电气设备的模拟通道参数配置方法，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，其特征在于，包括以下步骤：
在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；
增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置；
当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；
根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。
2.根据权利要求1所述的电气设备的模拟通道参数配置方法，其特征在于：
所述驱动文件中包括数据结构数据更改文件；
所述配置文件通过调用所述数据结构数据更改文件，对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置。
3.根据权利要求1所述的电气设备的模拟通道参数配置方法，其特征在于：
所述数据结构包括通道号及通道最大范围。
4.根据权利要求3所述的电气设备的模拟通道参数配置方法，其特征在于，所述配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列。
5.根据权利要求1所述的电气设备的模拟通道参数配置方法，其特征在于，所述当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据，包括以下步骤：
当需要增加对电气设备实施控制操作的新的模拟通道时，在配置文件中增加对所述新的模拟通道进行设置的新的数据；
当需要删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中删除对需要删除的对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据；
当需要更改一对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值时，在配置文件中对需要更改的对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值进行更改；
当需要调换两个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中调换对所述需要调换的两个对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据。
6.根据权利要求1至5任一项所述的电气设备的模拟通道参数配置方法，其特征在于，所述根据所述新数据对所述半导体制造中电气设备实施控制操作，包括以下步骤：
读取半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值；
根据所述半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值，及所述新数据，计算得到需要向所述对所述电气设备实施控制操作的模拟通道输入的控制数值，输入到所述电气设备，并控制所述电气设备实施操作。
7.一种电气设备的模拟通道参数配置处理系统，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，其特征在于，包括数据结构设置模块，配置文件设置模块，数据更改模块及控制模块，其中：
所述数据结构设置模块，用于在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；
所述配置文件设置模块，用于增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置；
所述数据更改模块，用于当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；
所述控制模块，用于根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。
8.根据权利要求7所述的电气设备的模拟通道参数配置处理系统，其特征在于，所述数据更改模块包括第一更改子模块，第二更改子模块、第三更改子模块及第四更改子模块，其中：
所述第一更改子模块，用于当需要增加对电气设备实施控制操作的新的模拟通道时，在配置文件中增加对所述新的模拟通道进行设置的新的数据；
所述第二更改子模块，用于当需要删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中删除对需要删除的对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据；
所述第三更改子模块，用于当需要更改一对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值时，在配置文件中对需要更改的对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值进行更改；
所述第四更改子模块，用于当需要调换两个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中调换对所述需要调换的两个对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据。
9.根据权利要求7所述的电气设备的模拟通道参数配置处理系统，其特征在于：
所述数据结构为对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数,包括通道号及通道最大范围；
所述配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列。
10.根据权利要求7至9任一项所述的电气设备的模拟通道参数配置处理系统，其特征在于，所述控制模块包括数据读取子模块及操作子模块，其中：
所述数据读取子模块，用于读取半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值；
所述操作子模块，用于根据所述半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值，及所述新数据，计算得到需要向所述对所述电气设备实施控制操作的模拟通道输入的控制数值，输入到所述电气设备，并控制所述电气设备实施相应操作。
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