CN104384053B - 用于清洗修整器的防溅射装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于清洗修整器的防溅射装置,所述修整器包括摆臂和设在所述摆臂上的修整头,所述防溅射装置包括环形的防溅射挡板,所述防溅射挡板内具有容纳腔,所述容纳腔的上端和下端均敞开,所述防溅射挡板上设有排液口,其中所述防溅射挡板的形状与所述修整器的形状适配。根据本发明实施例的用于清洗修整器的防溅射装置可以防止清洗液溅射到防溅射装置外。

Description

用于清洗修整器的防溅射装置
技术领域
本发明涉及一种用于清洗修整器的防溅射装置。
背景技术
现有的修整器在使用一段时间后,需要用清洗装置进行清洗。在利用现有的清洗装置清洗修整器时,喷射到修整器上的清洗液会四处溅射,溅射到抛光盘上会造成二次污染。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明提出一种用于清洗修整器的防溅射装置,所述防溅射装置可以防止清洗液溅射到防溅射装置外,避免造成二次污染。
所述修整器包括摆臂和设在所述摆臂上的修整头,根据本发明实施例的用于清洗修整器的防溅射装置包括环形的防溅射挡板,所述防溅射挡板内具有容纳腔,所述容纳腔的上端和下端均敞开,所述防溅射挡板上设有排液口,其中所述防溅射挡板的形状与所述修整器的形状适配。
根据本发明实施例的用于清洗修整器的防溅射装置可以防止清洗液溅射到防溅射装置外。
另外,根据本发明上述实施例的用于清洗修整器的防溅射装置还可以具有如下附加的技术特征:
根据本发明的一个实施例,所述排液口的下端敞开。
根据本发明的一个实施例,所述排液口为多个,多个所述排液口沿所述防溅射挡板的周向间隔开地设置。
根据本发明的一个实施例,所述防溅射挡板包括与所述修整头相对的左挡板和与所述摆臂相对的右挡板,所述左挡板的第一右侧沿与所述右挡板的第一左侧沿相连,所述左挡板的第二右侧沿与所述右挡板的第二左侧沿相连,其中所述左挡板的上表面位于所述右挡板的上表面的下方以便形成用于容纳所述修整头的凹部,所述左挡板的形状与所述修整头的形状适配,所述左挡板的轮廓大于所述修整头的轮廓,所述防溅射挡板的形状与所述摆臂的形状适配,所述防溅射挡板的轮廓大于所述摆臂的与所述防溅射挡板相对的部分的轮廓。
根据本发明的一个实施例,所述左挡板位于所述修整头的下方,所述左挡板与所述修整头在上下方向上的间距小于等于20毫米。
根据本发明的一个实施例,所述右挡板位于所述摆臂的下方,所述右挡板与所述摆臂在上下方向上的间距小于等于20毫米。
根据本发明的一个实施例,所述修整头的边沿位于所述左挡板的内沿的内侧,所述修整头的边沿与所述左挡板的内沿的间距小于等于5毫米。
根据本发明的一个实施例,所述摆臂的边沿位于所述防溅射挡板的内沿的内侧,所述摆臂的边沿与所述防溅射挡板的内沿的间距小于等于5毫米。
根据本发明的一个实施例,所述左挡板包括半圆形板、第一前板和第一后板,所述第一前板的左侧沿与所述半圆形板的前端相连,所述第一后板的左侧沿与所述半圆形板的后端相连。
根据本发明的一个实施例,所述右挡板包括第二前板、第二后板和右侧板,所述第二前板的左侧沿与所述第一前板的右侧沿相连且右侧沿与所述右侧板的前沿相连,所述第二后板的左侧沿与所述第一后板的右侧沿相连且右侧沿与所述右侧板的后沿相连,所述右侧板垂直于所述第二前板和所述第二后板。
附图说明
图1是根据本发明实施例的用于清洗修整器的清洗装置的防溅射挡板的结构示意图;
图2是根据本发明实施例的用于清洗修整器的清洗装置的结构示意图;
图3是根据本发明实施例的用于清洗修整器的清洗装置的剖视图;
图4是根据本发明实施例的用于清洗修整器的清洗装置的局部剖视图;
图5是根据本发明实施例的用于清洗修整器的清洗装置的使用状态图;
图6是根据本发明实施例的用于清洗修整器的清洗装置的使用状态图;
图7是根据本发明实施例的用于清洗修整器的清洗装置的使用状态图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
下面参考附图描述根据本发明实施例的用于清洗修整器200的防溅射装置。其中,修整器200包括摆臂201和设在摆臂201上的修整头202。如图1-图7所示,根据本发明实施例的用于清洗修整器200的防溅射装置包括环形的防溅射挡板102。防溅射挡板102具有容纳腔1021,容纳腔1021的上端和下端均敞开,防溅射挡板102上设有排液口1022。其中,防溅射挡板102的形状与修整器200的形状适配。
如图1-图7所示,清洗液由清洗液通道1033的进液口1031进入到清洗液通道1033内,进而喷嘴101将清洗液喷射到摆臂201和修整头202上。从摆臂201和修整头202上溅射回来的清洗液被容纳腔1021的壁(即防溅射挡板102的内表面)挡住,不会溅射到防溅射挡板102之外。清洗液沿着容纳腔1021的壁向下流动,并从排液口1022排出。
根据本发明实施例的用于清洗修整器200的防溅射装置通过设置形状与修整器200的形状适配的防溅射挡板102,从而在对摆臂201和修整头202清洗时可以防止清洗液溅射到防溅射装置外。由此可以避免清洗液溅射到抛光盘300上,避免造成二次污染。
如图1-图7所示,根据本发明的一些实施例的清洗装置100包括基座103、环形的防溅射挡板102和喷嘴101。
在本发明的一个实施例中,如图2和图3所示,基座103包括本体1034和设在本体1034的下表面上的凸台1035。其中,本体1034内具有清洗液通道1033,凸台1035内具有进液通道1036,进液通道1036的下端敞开且进液通道1036的上端与清洗液通道1033的进液口1031相连。由此可以使基座103的结构更加合理。
如图3所示,在本发明的一个示例中,清洗液通道1033沿左右方向延伸,清洗液通道1033的左端和右端中的至少一个敞开。由此可以降低清洗液通道1033的加工难度。其中,左右方向如图3中的箭头A所示。
清洗装置100进一步包括堵头104,堵头104封堵清洗液通道1033的左端和右端中的所述至少一个。由此可以防止清洗液泄露。
有利地,本体1034和凸台1035可以一体形成,即基座103可以是一体件。由此可以降低基座103的制造难度和制造成本。
其中,本体1034的上表面上设有与清洗液通道1033连通的安装孔1032,喷嘴101安装在安装孔1032内。由此可以降低喷嘴101的安装难度。
如图3所示,清洗液通道1033沿左右方向延伸,喷嘴101为多个,多个喷嘴101沿左右方向等间距地设置。换言之,安装孔1032为多个,多个安装孔1032沿左右方向等间距地设置,其中多个喷嘴101一一对应地安装在多个安装孔1032内。由此可以提高清洗装置100的清洗效率和清洗效果。
有利地,喷嘴101为扇形喷嘴101。由此喷嘴101可以喷出扇形的清洗液,从而可以提高清洗效果。
如图1和图2所示,排液口1022为多个,多个排液口1022沿防溅射挡板102的周向间隔开地设置。由此可以使清洗液更加快速地排出。
有利地,每个排液口1022的下端敞开。由此可以降低排液口1022的加工难度。
如图1-图7所示,在本发明的一些示例中,防溅射挡板102包括与修整头202相对的左挡板1023和与摆臂201相对的右挡板1024。左挡板1023的第一右侧沿与右挡板1024的第一左侧沿相连,左挡板1023的第二右侧沿与右挡板1024的第二左侧沿相连。
其中,左挡板1023的上表面位于右挡板1024的上表面的下方以便形成用于容纳修整头202的凹部,即修整头202容纳在该凹部内。换言之,左挡板1023的上表面相对于右挡板1024的上表面向下凹陷以便形成台阶部。左挡板1023的形状与修整头202的形状适配,左挡板1023的轮廓大于修整头202的轮廓。防溅射挡板102的形状与摆臂201的形状适配,防溅射挡板102的轮廓大于摆臂201的与防溅射挡板102相对的部分的轮廓。由此可以使防溅射挡板102的结构更加合理。
具体而言,右挡板1024与摆臂201的未安装修整头202的部分相对。
有利地,左挡板1023位于修整头202的下方,左挡板1023与修整头202在上下方向上的间距小于等于20毫米。右挡板1024位于摆臂201的下方,右挡板1024与摆臂201在上下方向上的间距小于等于20毫米。由此在对摆臂201和修整头202清洗时,可以进一步防止清洗液溅射到清洗装置100外,从而可以进一步避免清洗液溅射到抛光盘300上,避免造成二次污染。
修整头202的边沿位于左挡板1023的内沿的内侧,修整头202的边沿与左挡板1023的内沿的间距小于等于5毫米,摆臂201的边沿位于防溅射挡板102的内沿的内侧,摆臂201的边沿与防溅射挡板102的内沿的间距小于等于5毫米。
也就是说,修整头202在水平面上的投影落在左挡板1023在水平面上的投影的内侧,摆臂201在水平面上的投影落在防溅射挡板102在水平面上的投影的内侧。由此在对摆臂201和修整头202清洗时,可以进一步防止清洗液溅射到清洗装置100外,从而可以进一步避免清洗液溅射到抛光盘300上,避免造成二次污染。
而且,由于防溅射挡板102将修整器200的摆臂201和修整头202容纳在其中,因此清洗液可以更集中地喷射到摆臂201和修整头202上进行清洗,从而可以进一步提高清洗装置100的清洗效果。
如图1所示,在本发明的一个具体示例中,左挡板1023包括半圆形板10231、第一前板10232和第一后板10233,第一前板10232的左侧沿与半圆形板10231的前端相连,第一后板10233的左侧沿与半圆形板10231的后端相连。
右挡板1024包括第二前板10241、第二后板10242和右侧板10243,第二前板10241的左侧沿与第一前板10232的右侧沿相连且右侧沿与右侧板10243的前沿相连,第二后板10242的左侧沿与第一后板10233的右侧沿相连且右侧沿与右侧板10243的后沿相连,右侧板10243垂直于第二前板10241和第二后板10242。由此可以使防溅射挡板102的结构更加合理。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本发明的限制,本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (9)

1.一种用于清洗修整器的防溅射装置,所述修整器包括摆臂和设在所述摆臂上的修整头,其特征在于,所述防溅射装置包括环形的防溅射挡板,所述防溅射挡板内具有容纳腔,所述容纳腔的上端和下端均敞开,所述防溅射挡板上设有排液口,其中所述防溅射挡板的形状与所述修整器的形状适配,所述防溅射挡板包括与所述修整头相对的左挡板和与所述摆臂相对的右挡板,所述左挡板的第一右侧沿与所述右挡板的第一左侧沿相连,所述左挡板的第二右侧沿与所述右挡板的第二左侧沿相连,其中所述左挡板的上表面位于所述右挡板的上表面的下方以便形成用于容纳所述修整头的凹部,所述左挡板的形状与所述修整头的形状适配,所述左挡板的轮廓大于所述修整头的轮廓,所述防溅射挡板的形状与所述摆臂的形状适配,所述防溅射挡板的轮廓大于所述摆臂的与所述防溅射挡板相对的部分的轮廓。
2.根据权利要求1所述的用于清洗修整器的防溅射装置,其特征在于,所述排液口的下端敞开。
3.根据权利要求1所述的用于清洗修整器的防溅射装置,其特征在于,所述排液口为多个,多个所述排液口沿所述防溅射挡板的周向间隔开地设置。
4.根据权利要求1所述的用于清洗修整器的防溅射装置,其特征在于,所述左挡板位于所述修整头的下方,所述左挡板与所述修整头在上下方向上的间距小于等于20毫米。
5.根据权利要求1所述的用于清洗修整器的防溅射装置,其特征在于,所述右挡板位于所述摆臂的下方,所述右挡板与所述摆臂在上下方向上的间距小于等于20毫米。
6.根据权利要求1所述的用于清洗修整器的防溅射装置,其特征在于,所述修整头的边沿位于所述左挡板的内沿的内侧,所述修整头的边沿与所述左挡板的内沿的间距小于等于5毫米。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的用于清洗修整器的防溅射装置,其特征在于,所述摆臂的边沿位于所述防溅射挡板的内沿的内侧,所述摆臂的边沿与所述防溅射挡板的内沿的间距小于等于5毫米。
8.根据权利要求1所述的用于清洗修整器的防溅射装置,其特征在于,所述左挡板包括半圆形板、第一前板和第一后板,所述第一前板的左侧沿与所述半圆形板的前端相连,所述第一后板的左侧沿与所述半圆形板的后端相连。
9.根据权利要求8所述的用于清洗修整器的防溅射装置,其特征在于,所述右挡板包括第二前板、第二后板和右侧板,所述第二前板的左侧沿与所述第一前板的右侧沿相连且右侧沿与所述右侧板的前沿相连,所述第二后板的左侧沿与所述第一后板的右侧沿相连且右侧沿与所述右侧板的后沿相连,所述右侧板垂直于所述第二前板和所述第二后板。
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