CN104373811A - 同性气体的输送系统 - Google Patents

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transporting system
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胡昌勇
何先明
王汉刚
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SHANGHAI JUDING SEMICONDUCTOR EQUIPMENT Co Ltd
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Abstract

本发明公开了同性气体的输送系统，包括第一输送装置，所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置，第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。本发明提供的同性气体的输送系统，整体空间缩小，彻底消除安全隐患，实现连续供气，提高产品质量和工艺的稳定性，大大降低生产和物流成本。

Description

同性气体的输送系统
技术领域
本发明涉及气体的输送系统，特别涉及同性气体的输送系统。
背景技术
气体输送设备在各工业部门应用极为广泛，气体源瓶通常单独设在在柜体内，如有多种性质相同的气体，通常分别置放于多个气柜内，其成本费用比较高，整体暂用空间较大，如气体源瓶发生故障，需要及时的更换气体源瓶，因此，对现有的同性气体的输送系统进行改进是本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本发明目的是克服上述缺陷，提供同性气体的输送系统，整体空间缩小，节约成本。
本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供同性气体的输送系统，包括第一输送装置，所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置，第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。
上述的同性气体的输送系统，其中，所述第二输送装置和第三输送装置分别包括钢瓶、第一压力表、第一气动隔膜阀、调压阀、第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀，钢瓶连接第一压力表、第一气动隔膜阀；第一气动隔膜阀与调压阀的进口连接，调压阀的出口与第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀连接。
上述的同性气体的输送系统，其中，所述第一气动隔膜阀进口端和第二气动隔膜阀的进口端分别设有用于过滤气体的过滤器。
上述的同性气体的输送系统，其中，所述第一气动隔膜阀进口端的过滤器为垫片式过滤器。
上述的同性气体的输送系统，其中，所述第二气动隔膜阀的进口端的过滤器为管线式过滤器。
上述的同性气体的输送系统，其中，所述钢瓶为圆筒形，顶部设有钢瓶阀。
本发明提供的同性气体的输送系统，整体空间缩小，彻底消除安全隐患，实现连续供气，提高产品质量和工艺的稳定性，大大降低生产和物流成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有的同性气体的输送系统的结构示意图。
图2为本发明的同性气体的输送系统的结构示意图。
其中，1、第一压力表；2、第一气动隔膜阀；3、调压阀；4、第二压力表；5、第二气动隔膜阀；6、手动隔膜阀；7、垫片式过滤器；8、管线式过滤器；9、钢瓶。
具体实施方式
本发明提供了同性气体的输送系统，为了使本发明的目的、技术方案以及优点更清楚、明确，以下将结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
如图1所示的现有的气体的输送系统，包括一个输送装置，所述的输送装置包括钢瓶9、第一压力表1、第一气动隔膜阀2、调压阀3、第二压力表4、第二气动隔膜阀5、手动隔膜阀6，钢瓶9连接第一压力表1、第一气动隔膜阀2、第一气动隔膜阀2与调压阀3的进口连接，调压阀3的出口与第二压力表4、第二气动隔膜阀5、手动隔膜阀6连接。
如图2所示的本发明提供的同性气体的输送系统，包括第一输送装置，所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置，第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。
其中，第二输送装置和第三输送装置分别包括钢瓶9、第一压力表1、第一气动隔膜阀2、调压阀3、第二压力表4、第二气动隔膜阀5、手动隔膜阀6，钢瓶9连接第一压力表1、第一气动隔膜阀2、第一气动隔膜阀2与调压阀3的进口连接，调压阀3的出口与第二压力表4、第二气动隔膜阀5、手动隔膜阀6连接。
为了进一步提高本发明，所述第一气动隔膜阀2进口端和第二气动隔膜阀5的进口端分别设有用于过滤气体的过滤器；其中，所述第一气动隔膜阀2进口端的过滤器为垫片式过滤器7；所述第二气动隔膜阀5的进口端的过滤器为管线式过滤器8。
为了进一步提高本发明，所述钢瓶9为圆筒形，顶部设有钢瓶阀。
本发明的工作原理为：打开存贮气体的钢瓶9的钢瓶阀后，释放钢瓶9内的高压气体，通过第一压力表1显示钢瓶9压力，气源到达第一气动隔膜阀2进口端；所述第一压力表1为高压压力表，第一气动隔膜阀2为高压气动隔膜阀。在第一气动隔膜阀2进口端设有有一个垫片式过滤器7，将气源气体进行粗过滤；打开第一气动隔膜阀2，气源进入调压阀3前端；打开调压阀3，实现从高压往低压的转变；通过第二压力表4显示调压阀3调出的压力，所述第二压力表4为低压压力表；调压后的气源到达第二气动隔膜阀5前端，打开第二气动隔膜阀5，第二气动隔膜阀5为低压气动隔膜阀，气源通过管线式过滤器8，对气源精密过滤，过滤精度达到9N；过滤后的气体通过后端的手动隔膜阀6供给机台设备，完成系统供气流程。
本发明提供的同性气体的输送系统，整体空间缩小，彻底消除安全隐患，实现连续供气，提高产品质量和工艺的稳定性，大大降低生产和物流成本。
虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本发明的保护范围当以权利要求书所界定的为准。

Claims (6)

1.同性气体的输送系统，包括第一输送装置，其特征在于：所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置，第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。
2.根据权利要求1所述的同性气体的输送系统，其特征在于：所述第二输送装置和第三输送装置分别包括钢瓶、第一压力表、第一气动隔膜阀、调压阀、第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀，钢瓶连接第一压力表、第一气动隔膜阀；第一气动隔膜阀与调压阀的进口连接，调压阀的出口与第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀连接。
3.根据权利要求2所述的同性气体的输送系统，其特征在于：所述第一气动隔膜阀进口端和第二气动隔膜阀的进口端分别设有用于过滤气体的过滤器。
4.根据权利要求3所述的同性气体的输送系统，其特征在于：所述第一气动隔膜阀进口端的过滤器为垫片式过滤器。
5.根据权利要求3所述的同性气体的输送系统，其特征在于：所述第二气动隔膜阀的进口端的过滤器为管线式过滤器。
6.根据权利要求2所述的同性气体的输送系统，其特征在于：所述钢瓶为圆筒形，顶部设有钢瓶阀。
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