CN104360639A - 基于vme自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法 - Google Patents
基于vme自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104360639A CN104360639A CN201410469166.8A CN201410469166A CN104360639A CN 104360639 A CN104360639 A CN 104360639A CN 201410469166 A CN201410469166 A CN 201410469166A CN 104360639 A CN104360639 A CN 104360639A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- state
- vme
- self
- motion control
- grating scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/414—Structure of the control system, e.g. common controller or multiprocessor systems, interface to servo, programmable interface controller
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Information Transfer Systems (AREA)
Abstract
Description
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410469166.8A CN104360639A (zh) | 2014-09-16 | 2014-09-16 | 基于vme自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410469166.8A CN104360639A (zh) | 2014-09-16 | 2014-09-16 | 基于vme自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104360639A true CN104360639A (zh) | 2015-02-18 |
Family
ID=52527907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410469166.8A Pending CN104360639A (zh) | 2014-09-16 | 2014-09-16 | 基于vme自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104360639A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104950768A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-09-30 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法 |
CN105004264A (zh) * | 2015-07-22 | 2015-10-28 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法 |
CN105137873A (zh) * | 2015-08-22 | 2015-12-09 | 哈尔滨工业大学 | 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590372A (en) * | 1992-07-14 | 1996-12-31 | International Business Machines Corporation | VME bus transferring system broadcasting modifiers to multiple devices and the multiple devices simultaneously receiving data synchronously to the modifiers without acknowledging the modifiers |
CN1588235A (zh) * | 2004-09-15 | 2005-03-02 | 上海微电子装备有限公司 | 步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和系统 |
CN1648890A (zh) * | 2005-02-05 | 2005-08-03 | 上海微电子装备有限公司 | 步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线及总线平台 |
CN102147603A (zh) * | 2011-05-23 | 2011-08-10 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的多轴运动控制装置 |
CN102621826A (zh) * | 2012-04-23 | 2012-08-01 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法 |
CN102739486A (zh) * | 2011-03-31 | 2012-10-17 | 上海微电子装备有限公司 | 一种同步数据传输总线系统及方法 |
-
2014
- 2014-09-16 CN CN201410469166.8A patent/CN104360639A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590372A (en) * | 1992-07-14 | 1996-12-31 | International Business Machines Corporation | VME bus transferring system broadcasting modifiers to multiple devices and the multiple devices simultaneously receiving data synchronously to the modifiers without acknowledging the modifiers |
CN1588235A (zh) * | 2004-09-15 | 2005-03-02 | 上海微电子装备有限公司 | 步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和系统 |
CN1648890A (zh) * | 2005-02-05 | 2005-08-03 | 上海微电子装备有限公司 | 步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线及总线平台 |
CN102739486A (zh) * | 2011-03-31 | 2012-10-17 | 上海微电子装备有限公司 | 一种同步数据传输总线系统及方法 |
CN102147603A (zh) * | 2011-05-23 | 2011-08-10 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的多轴运动控制装置 |
CN102621826A (zh) * | 2012-04-23 | 2012-08-01 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
耿长青: "工件台掩膜台运动控制卡设计及同步方法研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库(电子期刊)信息科技辑》 * |
谷林: "光刻机工件台与掩模台同步控制研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库(电子期刊)信息科技辑》 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104950768A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-09-30 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法 |
CN105004264A (zh) * | 2015-07-22 | 2015-10-28 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法 |
CN105137873A (zh) * | 2015-08-22 | 2015-12-09 | 哈尔滨工业大学 | 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN203480022U (zh) | 一种超高速通用雷达信号处理板 | |
CN104950768A (zh) | 基于vme总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法 | |
CN102929836A (zh) | 一种航天专用asic芯片系统 | |
CN104408002B (zh) | 串口主从通信控制系统及方法 | |
CN103984240A (zh) | 一种基于反射内存网的分布式实时仿真方法 | |
CN104360639A (zh) | 基于vme自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法 | |
CN104834620A (zh) | 串行外设接口spi总线电路、实现方法以及电子设备 | |
CN203455835U (zh) | 一种应用于pxi测试平台的总线型触发背板 | |
CN103246588A (zh) | 一种自校验串行总线控制器和自校验串行总线实现方法 | |
CN104898466B (zh) | 一种激光跟踪仪的通信控制电路 | |
CN205004841U (zh) | 智能变电设备及其数据传输系统 | |
CN108206683A (zh) | 一种动态补偿脉冲电路 | |
TW201723708A (zh) | 功能單元及控制裝置 | |
CN201548484U (zh) | 通用多路数字图像模拟源 | |
CN204086871U (zh) | 一种基于fpga的多路信号同步采样控制电路 | |
CN203658772U (zh) | 激光打标卡数据采集及标刻图像验证装置 | |
CN203151515U (zh) | 智能多时钟源时间同步装置 | |
CN104464254A (zh) | 一种分布式数据同步采集装置及方法 | |
CN204536452U (zh) | 一种通用自动化元器件应用验证装置 | |
CN204706031U (zh) | 串行外设接口spi总线电路以及电子设备 | |
CN103064461B (zh) | 一种时钟使能信号的产生方法及装置 | |
CN102541797B (zh) | 一种支持多种主机接口的实现方法及其系统 | |
CN204406391U (zh) | 一种基于spi的光纤陀螺数据收发装置 | |
CN202145308U (zh) | 抗恶劣环境计算机的多主模块管理接口模块 | |
CN104698960A (zh) | 一种液压机自动化控制系统用数据交换技术 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C53 | Correction of patent of invention or patent application | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Chen Xinglin Inventor after: Song Fazhi Inventor after: Wei Kai Inventor after: Fan Wenchao Inventor after: Xu Jiayan Inventor after: Liu Fazhi Inventor after: Liu Yang Inventor before: Chen Xinglin Inventor before: Wei Kai Inventor before: Song Fazhi Inventor before: Fan Wenchao Inventor before: Xu Jiayan Inventor before: Liu Fazhi Inventor before: Liu Yang |
|
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: CHEN XINGLIN WEI KAI SONG FAZHI FAN WENCHAO XU JIAYAN LIU FAZHI LIU YANG TO: CHEN XINGLIN SONG FAZHI WEI KAI FAN WENCHAO XU JIAYAN LIU FAZHI LIU YANG |
|
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20150218 |