CN104267576A - 掩膜板、柱状隔垫物的制作方法和基板的制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种掩膜板、柱状隔垫物的制作方法和基板的制作方法，涉及显示技术领域，可以同时兼顾主、副柱状隔垫物之间的段差和副柱状隔垫物的尺寸。该掩膜板包括第一透光区域、第二透光区域、第三透光区域和第四透光区域；第一、第三透光区域的宽度均为d1，第二、第四透光区域的宽度均为d2，相邻两个第一透光区域之间依次设置有一个第二透光区域、一个第三透光区域和一个第四透光区域；第二透光区域与第一透光区域之间、第四透光区域与第一透光区域之间的遮光区域的宽度均为d3，第三透光区域与第二透光区域之间、第四透光区域与第三透光区域之间的遮光区域的宽度均为d4，其中d4＝1/2(d1+d2+4d3)。

Description

掩膜板、柱状隔垫物的制作方法和基板的制作方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板、柱状隔垫物的制作方法和基板的制作方法。

背景技术

彩膜基板或阵列基板上具有柱状隔垫物，该柱状隔垫物包括主柱状隔垫物和副柱状隔垫物。示例性地，当主柱状隔垫物和副柱状隔垫物位于彩膜基板上时，主柱状隔垫物的顶端直接接触阵列基板，用以维持彩膜基板和阵列基板之间的间隙；副柱状隔垫物与主柱状隔垫物之间具有段差，使得副柱状隔垫物与阵列基板之间具有一段间隔，用以在基板受到挤压时支撑两个基板以加快基板的恢复。

柱状隔垫物的制作方法如图1所示，首先，在基板1’上涂覆一层光刻胶2’，该基板1’可以为彩膜基板或阵列基板；接着，使用具有透光区域3’的掩膜板4’遮盖光刻胶2’，对光刻胶2’进行曝光；然后，对曝光后的光刻胶2’进行显影以在基板1’上形成主柱状隔垫物5’和副柱状隔垫物6’。在上述方法中，通过调节对应于主柱状隔垫物5’和副柱状隔垫物6’的透光区域3’的宽度之间的差异来调节主柱状隔垫物5’和副柱状隔垫物6’之间的段差。其中，上述差异越大，形成的主柱状隔垫物5’和副柱状隔垫物6’之间的段差越大。

发明人发现，当利用上述方法制作具有较大段差的主、副柱状隔垫物5’、6’时，对应于主柱状隔垫物5’和副柱状隔垫物6’的透光区域3’的宽度之间的差异较大，进而导致形成的副柱状隔垫物6’的尺寸(具体为平行于基板1’方向的横截面的尺寸)较小，从而影响副柱状隔垫物6’对基板1’的支撑效果。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种掩膜板、柱状隔垫物的制作方法和基板的制作方法，可以同时兼顾主、副柱状隔垫物之间的段差和副柱状隔垫物的尺寸。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种掩膜板采用如下技术方案：

一种掩膜板，包括第一透光区域、第二透光区域、第三透光区域和第四透光区域；

所述第一透光区域的宽度为d1，第二透光区域的宽度为d2，第三透光区域的宽度为d1，第四透光区域的宽度为d2，相邻两个所述第一透光区域之间依次设置有一个所述第二透光区域、一个所述第三透光区域和一个所述第四透光区域；

所述第二透光区域与所述第一透光区域之间的遮光区域的宽度为d3，所述第三透光区域与所述第二透光区域之间的遮光区域的宽度为d4，其中d4＝1/2(d1+d2+4d3)，所述第四透光区域与所述第三透光区域之间的遮光区域的宽度为d4，所述第四透光区域与所述第一透光区域之间的遮光区域的宽度为d3。

d1等于d2或者d1不等于d2。

本发明所要解决的另一个技术问题在于提供一种柱状隔垫物的制作方法，该方法包括：

在基板上形成一层光刻胶；

使用如上所述的掩膜板作为第一掩膜板遮盖所述光刻胶，对所述光刻胶进行第一次曝光；

使用第二掩膜板遮盖所述光刻胶，对所述光刻胶进行第二次曝光，其中，所述第二掩膜板包括第五透光区域、第六透光区域、第七透光区域和第八透光区域，所述第五透光区域与所述第一掩膜板的第三透光区域相对应，所述第六透光区域与所述第一掩膜板的第四透光区域相对应，所述第七透光区域与所述第一掩膜板的第一透光区域相对应，所述第八透光区域与所述第一掩膜板的第二透光区域相对应。

所述第二掩膜板为所述第一掩膜板沿所述第一透光区域的宽度方向平移d1+d2+d3+d4的奇数倍所得。

所述第一次曝光的曝光量与所述第二次曝光的曝光量相同或不同。

使用本发明实施例中的掩膜板和柱状隔垫物的制作方法制作柱状隔垫物时，首先，在基板上形成一层光刻胶；其次，使用本发明实施例中的掩膜板作为第一掩膜板遮盖光刻胶，对光刻胶进行第一次曝光；再次，使用第二掩膜板遮盖光刻胶，对光刻胶进行第二次曝光。在两次曝光过程中，主柱状隔垫物对应区域的光刻胶经过两次曝光，而第一副柱状隔垫物和第二副柱状隔垫物对应区域的光刻胶只经过一次曝光，因此，用于形成主柱状隔垫物的透光区域的宽度和用于形成第一副柱状隔垫物和第二副柱状隔垫物的透光区域的宽度之间相差较小或相同即可保证主、副柱状隔垫物之间的段差，从而可以同时兼顾主、副柱状隔垫物之间的段差和副柱状隔垫物的尺寸。

本发明实施例还提供一种基板的制作方法，包括上述柱状隔垫物的制作方法。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的柱状隔垫物的制作过程示意图；

图2为本发明实施例中的掩膜板的示意图；

图3为本发明实施例中的柱状隔垫物的示意图；

图4为本发明实施例中的柱状隔垫物的制作方法流程图；

图5为本发明实施例中对光刻胶进行第一次曝光的示意图；

图6为本发明实施例中的掩膜板中d4与d1、d2和d3之间的关系示意图；

图7为本发明实施例中第二掩膜板及其与第一掩膜板的相对应关系的示意图；

图8为本发明实施例中第二掩膜板和第一掩膜板相对位置示意图；

图9为本发明实施例中对光刻胶进行第二次曝光的示意图。

附图标记说明：

1—掩膜板/第一掩膜板；   2—第一透光区域；        3—第二透光区域；

4—第三透光区域；        5—第四透光区域；        6—柱状隔垫物；

7—主柱状隔垫物；        8—第一副柱状隔垫物；    9—第二副柱状隔垫物；

10—光刻胶；             11—第二掩膜板；         12—第五透光区域；

13—第六透光区域；       14—第七透光区域；       15—第八透光区域。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供了一种掩膜板，如图2所示，该掩膜板1包括：第一透光区域2、第二透光区域3、第三透光区域4和第四透光区域5；第一透光区域2的宽度为d1，第二透光区域3的宽度为d2，第三透光区域4的宽度为d1，第四透光区域5的宽度为d2，相邻两个第一透光区域2之间依次设置有一个第二透光区域3、一个第三透光区域4和一个第四透光区域5；第二透光区域3与第一透光区域2之间的遮光区域的宽度为d3，第三透光区域4与第二透光区域3之间的遮光区域的宽度为d4，其中d4＝1/2(d1+d2+4d3)，第四透光区域5与第三透光区域4之间的遮光区域的宽度为d4，第四透光区域5与第一透光区域2之间的遮光区域的宽度为d3。可选地，d1等于d2或者d1不等于d2。

上述掩膜板用于制作如图3所示的柱状隔垫物6，该柱状隔垫物6包括主柱状隔垫物7以及位于相邻两个主柱状隔垫物7之间的两个副柱状隔垫物，为了便于区分，两个副柱状隔垫物分别称为第一副柱状隔垫物8和第二副柱状隔垫物9。

具体地，如图4所示，使用具有上述结构的掩膜板制作柱状隔垫物的方法包括：

步骤S401、在基板上形成一层光刻胶。

步骤S402、使用具有上述结构的掩膜板作为第一掩膜板遮盖光刻胶，对光刻胶进行第一次曝光。

具体地，如图5所示，在第一次曝光中，第一掩膜板1的第一透光区域2对应于主柱状隔垫物7，从而使得主柱状隔垫物7对应区域的光刻胶10曝光；第二透光区域3对应于第一副柱状隔垫物8，从而使得第一副柱状隔垫物8对应区域的光刻胶10曝光；由于第三透光区域4与第二透光区域3之间的遮光区域的宽度为d4，其中d4＝1/2(d1+d2+4d3)，所以第四透光区域5与第三透光区域4之间的遮光区域会遮盖第二副柱状隔垫物9对应区域的光刻胶10；第三透光区域4对应于主柱状隔垫物7，从而使得主柱状隔垫物7对应区域的光刻胶10曝光；由于第四透光区域5与第三透光区域4之间的遮光区域的宽度也为d4，所以第四透光区域5与第三透光区域4之间的遮光区域会遮盖第一副柱状隔垫物8对应区域的光刻胶10；第四透光区域5对应于第二副柱状隔垫物9，从而使得第二副柱状隔垫物9对应区域的光刻胶10曝光。因而第一次曝光中，仅对主柱状隔垫物7和相邻两个主柱状隔垫物7之间的一个副柱状隔垫物对应区域的光刻胶10进行曝光。

进一步地，为了便于本领域技术人员理解为何d4＝1/2(d1+d2+4d3)时第一次曝光能够实现如上所述的效果，下面对d4与d1、d2和d3之间的关系的计算方法进行详细描述：

如图6所示，第三透光区域4与第二透光区域3之间的遮光区域以及第四透光区域5与第三透光区域4之间的遮光区域的作用在于遮挡住一个副柱状隔垫物，从而使得在第一次曝光中，该副柱状隔垫物对应区域的光刻胶不曝光，由于相邻两个柱状隔垫物的中心之间的距离相同，因此，第三透光区域4的中心与第二透光区域3的中心之间的距离和第四透光区域5的中心与第三透光区域4的中心之间的距离为第二透光区域3的中心与第一透光区域2的中心之间的距离的2倍，即2*(1/2(d1+d2)+d3)＝1/2(d2+d1)+d4，由此可得d4＝1/2(d1+d2+4d3)。

可选地，上述d1等于d2或者d1不等于d2，d1和d2的大小关系可以根据主柱状隔垫物和副柱状隔垫物之间的段差的需求进行选择。

步骤S403、使用第二掩膜板遮盖光刻胶，对光刻胶进行第二次曝光。

具体地，如图7所示，第二掩膜板11包括第五透光区域12、第六透光区域13、第七透光区域14和第八透光区域15，其中，第五透光区域12与第一掩膜板1的第三透光区域4相对应，第六透光区域13与第一掩膜板1的第四透光区域5相对应，第七透光区域14与第一掩膜板1的第一透光区域2相对应，第八透光区域15与第一掩膜板1的第二透光区域3相对应，从而在第二次曝光中仅对主柱状隔垫物和相邻两个主柱状隔垫物之间的另一个副柱状隔垫物对应区域的光刻胶曝光。

其中，上述“相对应”具体表现为：第五透光区域12的宽度与第三透光区域4的宽度相同，第六透光区域13的宽度与第四透光区域5的宽度相同，第七透光区域14的宽度与第一透光区域2的宽度相同，第八透光区域15的宽度与第二透光区域3的宽度相同；第六透光区域13与第五透光区域12之间的遮光区域的宽度为d4，即与第四透光区域5与第三透光区域4之间的遮光区域的宽度相同，类似地，第七透光区域14与第六透光区域13之间的遮光区域的宽度为d3，第八透光区域15与第七透光区域14之间的遮光区域的宽度为d3，第八透光区域15与第五透光区域12之间的遮光区域的宽度为d4；第五透光区域12与第一透光区域2的位置相同，第七透光区域14与第三透光区域4的位置相同。

进一步地，如图8所示，第二掩膜板11可以为第一掩膜板1沿第一透光区域2的宽度方向平移d1+d2+d3+d4的奇数倍所得，也可以为单独制作的一个掩膜板。优选地，第二掩膜板11为第一掩膜板1沿第一透光区域2的宽度方向平移d1+d2+d3+d4的奇数倍所得，以降低柱状隔垫物的制作成本。

具体地，如图9所示，在第二次曝光中，第二掩膜板11的第五透光区域12对应于主柱状隔垫物7，从而使得主柱状隔垫物7对应区域的光刻胶10曝光；由于第六透光区域13与第五透光区域12之间的遮光区域的宽度为d4，其中d4＝1/2(d1+d2+4d3)，所以第六透光区域13与第五透光区域12之间的遮光区域会遮盖第一副柱状隔垫物8对应区域的光刻胶10；第六透光区域13对应于第二副柱状隔垫物9，从而使得第二副柱状隔垫物9对应区域的光刻胶10曝光；第七透光区域14对应于主柱状隔垫物7，从而使得主柱状隔垫物7对应区域的光刻胶10曝光；第八透光区域15对应于第一副柱状隔垫物8，从而使得第一副柱状隔垫物8对应区域的光刻胶10曝光；由于第五透光区域12与第八透光区域15的之间的遮光区域的宽度也为d4，所以第五透光区域12与第八透光区域15之间的遮光区域会遮盖第二副柱状隔垫物9对应区域的光刻胶10。因而第二次曝光中，仅对主柱状隔垫物7和相邻两个主柱状隔垫物7之间的另一个副柱状隔垫物对应区域的光刻胶10进行曝光。

可选地，第一次曝光的曝光量与第二次曝光的曝光量可以相同，也可以不同。当需要制作无段差的第一副柱状隔垫物8与第二副柱状隔垫物9时，第一次曝光的曝光量与第二次曝光的曝光量相同；当需要制作有段差的第一副柱状隔垫物8与第二副柱状隔垫物9时，第一次曝光的曝光量与第二次曝光的曝光量可以根据第一副柱状隔垫物8与第二副柱状隔垫物9之间的段差需求确定。并且，第一次曝光的曝光量与第二次曝光的曝光量还可以对主、副柱状隔垫物之间的段差进行调节。

此外，制作柱状隔垫物的方法还包括显影，从而将未曝光的光刻胶去除，形成包括主柱状隔垫物、第一副柱状隔垫物和第二副柱状隔垫物的柱状隔垫物。

使用本发明实施例中的掩膜板和柱状隔垫物的制作方法制作柱状隔垫物时，首先，在基板上形成一层光刻胶；其次，使用本发明实施例中的掩膜板作为第一掩膜板遮盖光刻胶，对光刻胶进行第一次曝光；再次，使用第二掩膜板遮盖光刻胶，对光刻胶进行第二次曝光。在两次曝光过程中，主柱状隔垫物对应区域的光刻胶经过两次曝光，而第一副柱状隔垫物和第二副柱状隔垫物对应区域的光刻胶只经过一次曝光，因此，用于形成主柱状隔垫物的透光区域的宽度和用于形成第一副柱状隔垫物和第二副柱状隔垫物的透光区域的宽度之间相差较小或者相同即可保证主、副柱状隔垫物之间的段差，从而可以同时兼顾主、副柱状隔垫物之间的段差和副柱状隔垫物的尺寸。

此外，本发明实施例还提供了一种基板的制作方法，该方法包括以上所述的柱状隔垫物的制作方法。其中，该基板可为彩膜基板或阵列基板。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种掩膜板，其特征在于，包括第一透光区域、第二透光区域、第三透光区域和第四透光区域；

所述第一透光区域的宽度为d1，第二透光区域的宽度为d2，第三透光区域的宽度为d1，第四透光区域的宽度为d2，相邻两个所述第一透光区域之间依次设置有一个所述第二透光区域、一个所述第三透光区域和一个所述第四透光区域；

所述第二透光区域与所述第一透光区域之间的遮光区域的宽度为d3，所述第三透光区域与所述第二透光区域之间的遮光区域的宽度为d4，其中d4＝1/2(d1+d2+4d3)，所述第四透光区域与所述第三透光区域之间的遮光区域的宽度为d4，所述第四透光区域与所述第一透光区域之间的遮光区域的宽度为d3。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，d1等于d2或者d1不等于d2。

3.一种柱状隔垫物的制作方法，其特征在于，包括：

在基板上形成一层光刻胶；

使用如权利要求1或2所述的掩膜板作为第一掩膜板遮盖所述光刻胶，对所述光刻胶进行第一次曝光；

使用第二掩膜板遮盖所述光刻胶，对所述光刻胶进行第二次曝光，其中，所述第二掩膜板包括第五透光区域、第六透光区域、第七透光区域和第八透光区域，所述第五透光区域与所述第一掩膜板的第三透光区域相对应，所述第六透光区域与所述第一掩膜板的第四透光区域相对应，所述第七透光区域与所述第一掩膜板的第一透光区域相对应，所述第八透光区域与所述第一掩膜板的第二透光区域相对应。

4.根据权利要求3所述的柱状隔垫物的制作方法，其特征在于，

所述第二掩膜板为所述第一掩膜板沿所述第一透光区域的宽度方向平移d1+d2+d3+d4的奇数倍所得。

5.根据权利要求3所述的柱状隔垫物的制作方法，其特征在于，

所述第一次曝光的曝光量与所述第二次曝光的曝光量相同或不同。

6.一种基板的制作方法，其特征在于，包括以上权利要求3-5任一项所述的柱状隔垫物的制作方法。