CN104227000B - 一种铬靶材的生产方法 - Google Patents
一种铬靶材的生产方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104227000B CN104227000B CN201410451226.3A CN201410451226A CN104227000B CN 104227000 B CN104227000 B CN 104227000B CN 201410451226 A CN201410451226 A CN 201410451226A CN 104227000 B CN104227000 B CN 104227000B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chromium target
- hot pressing
- granularity
- production method
- hafnium metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Forging (AREA)
- Shaping Metal By Deep-Drawing, Or The Like (AREA)
Abstract
一种铬靶材的生产方法，将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，烘干，加入到冷压模具内冷压成型，得到铬靶材坯料，用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆，装入热压模具内，入炉热压成型，得到铬靶材。优点是：先冷压得到铬靶材坯料，有利于热压，经过热压后满足铬靶材的要求。两种工艺相互配合，工艺简单，操作方便，对环境友好，产品成品率高，实现了工业化生产。
Description
技术领域
本发明涉及一种铬靶材的生产方法，特别涉及通过冷压和热压联合生产铬靶材的生产方法。
背景技术
金属铬主要用于多种合金的生产原料，广泛用于化工、汽车、造船、航空、核反应堆、军工等行业。工业生产的金属铬主要采用铝热法铬和电解铬法两种方式，产品为片状或块状，而铬靶材是由纯铬粉制成的铬制品，常作为表面覆膜改性处理工艺的蒸发源，广泛应用于锁具和五金工具、灯具、汽摩装饰条和车镜、卫浴水龙头、机械刀具领域和IT产品壳体和按键，但金属铬具有熔点高、与氧亲和力强、活性大的特点，因此在制备铬制品时比较困难。
CN1074843A公开了“一种磁控溅射铬靶的制造方法”，该方法以电解铬粉为原料，通过氢气还原后，粉碎，装套除气，然后进入热等静压机中成型，随后进行机加工制成成品。缺点是：该方法以电解铬粉为原料，再氢气还原，粉碎，装套除气多道工序进行原料处理，工艺过程复杂，周期长，效率低，成本太高。
CN102677005A公开了“一种大型高致密铬靶的制造方法”，该方法以-200目，纯度为99.95%，氧含量小于1000ppm的铬粉为原料，依次进行：抽真空、分阶段升温升压、保压炉冷、热锻、退火、热轧、机加工制备铬靶。缺点是：经过抽真空、分阶段升温升压、保压炉冷、热锻、退火、热轧、机加工七个步骤才能制备出合格铬靶，生产工艺复杂，能耗大，成品率难以控制，且成本太高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种工艺简单，对环境友好，产品成品率高，可实现工业化生产的铬靶材的生产方法。
本发明的技术方案是：
一种铬靶材的生产方法，其具体步骤如下：
（1）将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，烘干备用，所述粒度为60目～320目的金属铬粉与粒度为320目～500目的金属铬粉的质量比为5:3～9:2；
（2）将步骤（1）混合的金属铬粉加入到冷压模具内，用700Mpa～1000Mpa压力冷压成型，保压10s～120s，压制尺寸为Φ50×5.0mm～Φ120×6.8mm实心圆柱体铬靶材坯料；
（3）用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆，装入热压模具内，入炉；
（4）抽真空至0～15pa，升温至300℃～400℃，保温10min～30min，继续升温至600℃～800℃，停止加热，启动热压设施，对正热压设施的上下压头，对铬靶材坯料8Mpa～12Mpa压力下预热压60s～90s；关闭热压设施，继续升温至1300℃～1600℃，保温30min～120min，停电；
（5）启动热压设施，用20Mpa～100Mpa压力热压成型，保压10min～100min，降温至≤100℃后出炉，得到铬靶材。
所述金属铬粉的纯度≥99%。
所述冷压模具的材质为钼铬钢。
所述包覆纸为石墨纸、云母纸或锡纸，以更有利于热传导，避免杂质引入。
所述热压模具的材质为三高石墨，以更有利于热传导，避免杂质引入，并能够承受一定压力。
步骤（5）中所述降温方式是抽真空降温、自然降温或充氩气保护降温。
本发明的有益效果：
选取粒度为60目～320目和320目～500目的金属铬粉，通过合理配料量，先冷压得到铬靶材坯料，有利于热压，经过热压后满足铬靶材的要求。两种工艺相互配合，工艺简单，操作方便，对环境友好，金属铬粉经冷压形成具有一定密度的铬靶材坯料，可以增加颗粒间的紧密，进一步热压后来提高铬靶材密度，使最终产品没有裂痕，不存在气泡，避免了炉外法冶炼和真空冶炼得到铬靶材存在夹杂、炸裂的问题，产品成品率高，实现工业化生产。
具体实施方式
实施例1
（1）将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，所述金属铬粉的纯度≥99%，烘干备用，所述粒度为60目～320目的金属铬粉与粒度为320目～500目的金属铬粉的质量比为5:3；
（2）将步骤（1）混合的金属铬粉加入到材质为钼铬钢的冷压模具内，用700Mpa压力冷压成型，保压120s，压制尺寸为Φ80×5.0mm实心圆柱体铬靶材坯料；
（3）用石墨纸包覆纸将铬靶材坯料表面包覆，装入材质为三高石墨的热压模具内，入炉；
（4）抽真空至15pa，升温至300℃，保温20min，继续升温至800℃，停止加热，启动热压设施，对正热压设施的上下压头，对铬靶材坯料8Mpa压力下预热压90s；关闭热压设施，继续升温至1300℃，保温120min，停电；
（5）启动热压设施，用40Mpa压力热压成型，保压10min，抽真空降温至≤100℃后出炉，得到铬靶材。铬靶材中Cr的品位为99.5%，密度为7.18g/cm3，相对密度为99.72%。
实施例2
（1）将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，所述金属铬粉的纯度≥99%，烘干备用，所述粒度为60目～320目的金属铬粉与粒度为320目～500目的金属铬粉的质量比为3:1；
（2）将步骤（1）混合的金属铬粉加入到材质为钼铬钢的冷压模具内，用830Mpa压力冷压成型，保压60s，压制尺寸为Φ100×5.0mm实心圆柱体铬靶材坯料；
（3）用云母纸将铬靶材坯料表面包覆，装入材质为三高石墨的热压模具内，入炉；
（4）抽真空至10pa，升温至350℃，保温15min，继续升温至700℃，停止加热，启动热压设施，对正热压设施的上下压头，对铬靶材坯料12Mpa压力下预热压60s；关闭热压设施，继续升温至1400℃，保温90min，停电；
（5）启动热压设施，用76Mpa压力热压成型，保压70min，自然降温至≤100℃后出炉，得到铬靶材。铬靶材Cr品位为99.5%，密度为7.18g/cm3，相对密度为99.72%。
实施例3
（1）将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，所述金属铬粉的纯度≥99%，烘干备用，所述粒度为60目～320目的金属铬粉与粒度为320目～500目的金属铬粉的质量比为8:2；
（2）将步骤（1）混合的金属铬粉加入到材质为钼铬钢的冷压模具内，用830Mpa压力冷压成型，保压60s，压制尺寸为Φ50×5.0mm实心圆柱体铬靶材坯料；
（3）用锡纸将铬靶材坯料表面包覆，装入材质为三高石墨的热压模具内，入炉；
（4）抽真空至5pa，升温至380℃，保温10min，继续升温至700℃，停止加热，启动热压设施，对正热压设施的上下压头，对铬靶材坯料10Mpa压力下预热压70s；关闭热压设施，继续升温至1500℃，保温60min，停电；
（5）启动热压设施，用23Mpa压力热压成型，保压50min，充氩气保护降温至≤100℃后出炉，得到铬靶材。铬靶材Cr品位为99.84%，密度为7.15g/cm3，相对密度为99.3%。
实施例4
（1）将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，所述金属铬粉的纯度≥99%，烘干备用，所述粒度为60目～320目的金属铬粉与粒度为320目～500目的金属铬粉的质量比为9:2；
（2）将步骤（1）混合的金属铬粉加入到材质为钼铬钢的冷压模具内，用1000Mpa压力冷压成型，保压10s，压制尺寸为Φ120×6.8mm实心圆柱体铬靶材坯料；
（3）用石墨纸将铬靶材坯料表面包覆，装入材质为三高石墨的热压模具内，入炉；
（4）抽真空至8pa，升温至400℃，保温30min，继续升温至600℃，停止加热，启动热压设施，对正热压设施的上下压头，对铬靶材坯料12Mpa压力下预热压60s；关闭热压设施，继续升温至1600℃，保温30min，停电；
（5）启动热压设施，用100Mpa压力热压成型，保压100min，自然降温至≤100℃后出炉，得到铬靶材。铬靶材Cr品位为99.9%，密度为7.19g/cm3，相对密度为99.86%。
Claims (6)
1.一种铬靶材的生产方法，其特征是：具体步骤如下：
（1）将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，烘干备用，所述粒度为60目～320目的金属铬粉与粒度为320目～500目的金属铬粉的质量比为5:3～9:2；
（2）将步骤（1）混合的金属铬粉加入到冷压模具内，用700Mpa～1000Mpa压力冷压成型，保压10s～120s，压制尺寸为Φ50×5.0mm～Φ120×6.8mm实心圆柱体铬靶材坯料；
（3）用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆，装入热压模具内，入炉；
（4）抽真空至0～15pa，升温至300℃～400℃，保温10min～30min，继续升温至600℃～800℃，停止加热，启动热压设施，对正热压设施的上下压头，对铬靶材坯料8Mpa～12Mpa压力下预热压60s～90s；关闭热压设施，继续升温至1300℃～1600℃，保温30min～120min，停电；
（5）启动热压设施，用20Mpa～100Mpa压力热压成型，保压10min～100min，降温至≤100℃后出炉，得到铬靶材。
2.根据权利要求1所述的铬靶材的生产方法，其特征是：金属铬粉的纯度≥99%。
3.根据权利要求1所述的铬靶材的生产方法，其特征是：所述冷压模具的材质为钼铬钢。
4.根据权利要求1所述的铬靶材的生产方法，其特征是：所述包覆纸为石墨纸、云母纸或锡纸。
5.根据权利要求1所述的铬靶材的生产方法，其特征是：所述热压模具的材质为三高石墨。
6.根据权利要求1所述的铬靶材的生产方法，其特征是：步骤（5）中所述降温方式是抽真空降温、自然降温或充氩气保护降温。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410451226.3A CN104227000B (zh) | 2014-09-06 | 2014-09-06 | 一种铬靶材的生产方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410451226.3A CN104227000B (zh) | 2014-09-06 | 2014-09-06 | 一种铬靶材的生产方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104227000A CN104227000A (zh) | 2014-12-24 |
| CN104227000B true CN104227000B (zh) | 2016-05-04 |
Family
ID=52216400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410451226.3A Active CN104227000B (zh) | 2014-09-06 | 2014-09-06 | 一种铬靶材的生产方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104227000B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106475567A (zh) * | 2015-08-27 | 2017-03-08 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 铬钼靶坯的制造方法 |
| CN111922350B (zh) * | 2020-09-22 | 2021-01-01 | 西安斯瑞先进铜合金科技有限公司 | 一种低盐酸不溶物金属铬粉的制备方法 |
| CN111922351B (zh) * | 2020-09-23 | 2021-01-01 | 西安斯瑞先进铜合金科技有限公司 | 一种高纯低氧金属铬粉的制备方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6010583A (en) * | 1997-09-09 | 2000-01-04 | Sony Corporation | Method of making unreacted metal/aluminum sputter target |
| CN102363215A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-02-29 | 中南大学 | 铬铝合金靶材的粉末真空热压烧结制备方法 |
| CN103691953B (zh) * | 2012-09-27 | 2016-04-06 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法 |
| CN103785838B (zh) * | 2012-11-01 | 2016-06-01 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 铬靶材的制作方法 |
| CN102978576B (zh) * | 2012-12-03 | 2014-12-31 | 苏州晶纯新材料有限公司 | 一种高致密铬合金靶材的生产方法 |
-
2014
- 2014-09-06 CN CN201410451226.3A patent/CN104227000B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104227000A (zh) | 2014-12-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103071793B (zh) | 钼溅射靶材热等静压生产方法 | |
| CN104227000B (zh) | 一种铬靶材的生产方法 | |
| CN104550964A (zh) | 一种beta-gamma TiAl预合金粉末制备TiAl合金板材的方法 | |
| CN101797583B (zh) | 一种铝、不锈钢复合金属板带的制造方法 | |
| CN103302295A (zh) | 一种轧制加工高纯度、高致密度钼合金靶材的方法 | |
| CN105127197B (zh) | 一种多层金属/石墨烯复合极薄带的制备方法 | |
| CN102139373A (zh) | 层状FeAl基复合材料板材的制备方法 | |
| CN104404365B (zh) | 一种铁基复合材料的制备方法、及铁基复合材料 | |
| CN104212989A (zh) | 一种电子束冷床炉熔炼生产ta10热连轧方坯的方法 | |
| CN104550956A (zh) | beta-gamma TiAl预合金粉放电等离子烧结制备构件的方法 | |
| CN102941702A (zh) | 一种Cu-MoCu-Cu三层复合板材的熔渗制备方法 | |
| CN105400982A (zh) | 通过氢化钛来制备石墨烯增强钛基纳米复合材料的方法 | |
| CN103215553A (zh) | 一种靶材用高纯钛板的制备方法 | |
| CN101758070B (zh) | 铝与钛复合金属板带的制造方法 | |
| CN101733623A (zh) | 一种金属层状复合材料放电等离子体制备方法 | |
| CN103056369A (zh) | 粉末冶金制作零件的生产工艺 | |
| CN105798296A (zh) | 一种3d打印碳化硼/铝复合材料异形零件的制备方法 | |
| CN109319748B (zh) | 一种具有室温柔性的Cu2X块体热电材料的制备方法 | |
| CN104232961A (zh) | 一种高强高硬Cu-Cr复合材料及其制备方法和应用 | |
| CN101787457B (zh) | 一种制备高导热性铝-金刚石双相连续复合材料的方法 | |
| CN103030387A (zh) | 一种NiFe2O4陶瓷基体及其制备方法 | |
| CN103361565A (zh) | 一种粉末冶金法兰及其制备方法 | |
| CN103409691B (zh) | 一种粉末冶金工具钢及其制备方法 | |
| CN103042093B (zh) | 一种厚壁壳金属件的成形方法 | |
| CN105568185A (zh) | 一种钛合金板材的制造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |