CN104220633B - 能够形成图案的沉积装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，本发明的能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。

Description

能够形成图案的沉积装置

技术领域

本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，更为详细地涉及一种能够以所希望的图案沉积大面积基板的能够形成图案的沉积装置。

背景技术

显示装置通过多种形式的具体工序而制造。在显示装置的制造工艺中的一个主要工序为在基板等上形成多个薄膜的工序，在这种形成薄膜的工序中广泛使用沉积工序。

这种沉积工序可分为在整个基板表面上涂敷均匀厚度薄膜的工序和只对基板的一部分进行选择性的沉积而形成图案的工序。

图1表示以往的沉积装置的一例。

参照图1，在所述的沉积工序中，只对基板的一部分进行选择性的沉积而在基板上使沉积物形成规定图案的以往的工序如下：在腔室11内，在基板20与喷嘴12之间设置与基板20的面积相同大小的荫罩13，并且使从供给部14提供的原料通过形成在荫罩13上的图案后沉积在基板上，从而在基板20上形成规定的图案30。

但是，如上所述的过程，需要额外地设置与基板的面积相同面积的荫罩13，因此以往的沉积装置10具有难以紧凑地构成的问题。

此外，为了处理大面积基板，需要利用大型荫罩、或者利用小型荫罩并进行反复沉积的方法，因此难以迅速进行沉积工序。

发明内容

因此，本发明是为了解决所述以往的问题而提出的，其目的是提供一种能够形成图案的沉积装置，该能够形成图案的沉积装置能够由规定的原料迅速地沉积大面积基板，以使基板具有规定的图案形状。

所述目的通过本发明的能够形成图案的沉积装置而实现，该能够形成图案的沉积装置为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。

此外，可进一步包括：控制部，用于控制所述快门部或移送部中的至少一个，以从而使所述原料在所述基板上形成规定形状的图案而沉积。

此外，所述控制部可调节所述喷射口的开闭时间。

此外，所述控制部可控制所述基板或喷嘴部中的至少一个的移送速度。

此外，所述快门部可以以板状安装在所述喷嘴部的端部，并且通过端部从所述喷射口的一侧至另一侧的滑动，开放或阻断所述喷射口。

此外，所述快门部可形成为在端部上形成有开口部的气缸形状，并且包覆所述喷嘴部，通过旋转转动而使所述开口部移动位置，从而开放或阻断所述喷射口。

此外，所述移送部可通过辊轮的旋转力而移送所述基板。

根据本发明，提供一种能够形成图案的沉积装置，该能够形成图案的沉积装置能够选择性地喷射原料，从而在基板上沉积使用者所希望的形状的图案。

此外，由于通过移送部移送基板或喷嘴部的同时实现沉积工序，因此能够迅速处理大面积基板。

此外，控制部控制通过移送部所进行的基板或喷嘴部的移送速度，从而能够调节在基板上形成的图案的形状。

此外，控制部控制喷射口的开放或关闭的时间，从而能够调节在基板上形成的图案的形状。

此外，可通过形成在喷嘴部的喷射口的形状，调节在基板上形成的图案的形状。

附图说明

图1为表示以往的沉积装置的一例的图，

图2为本发明的第一实施例的能够形成图案的沉积装置的立体图，

图3为用于说明图2的能够形成图案的沉积装置的示意的剖视图，

图4为从下方表示图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的图，

图5为图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的变形例的示意的剖视图，

图6为用于说明图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的运行的图，

图7为本发明的第二实施例的能够形成图案的沉积装置的立体图，

图8为本发明的第三实施例的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部及快门部的立体图，

图9为表示图8的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部及快门部的沿IX-IX'线剖开的面的动作的图。

具体实施方式

在对本发明进行说明之前需要说明的是，在多个实施例中，对于具有相同结构的构件使用相同的附图标记，并在第一实施例中进行代表性的说明，在其他实施例中针对与第一实施例不同的结构进行说明。

以下，参照附图对本发明的第一实施例的能够形成图案的沉积装置100进行详细的说明。

图2为本发明的第一实施例的能够形成图案的沉积装置的立体图，图3为用于说明图2的能够形成图案的沉积装置的示意的剖视图。

参照图2及图3，本发明的第一实施例的能够形成图案的沉积装置100包括腔室部110、喷嘴部120、快门部130、供给部140、移送部150、输入部160及控制部170。

所述腔室部110在内部配置有后述的喷嘴部120及移送部150，因此相当于进行沉积工序的场所，并且利用规定的泵来去除在内部包含的空气并保持真空状态，从而能够进行沉积工序。

在腔室部110的内部用于收容基板20、后述的喷嘴部120及移送部150。

图4为从下方表示图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的图。

参照图4，所述喷嘴部120收容在所述腔室部110内，用于对基板20上喷射原料，沿与通过后述的移送部150移送基板20的方向垂直的方向较长地形成，横剖面形成为四边形形状。

在喷嘴部120的内部形成有用于使从外部供给的原料移动的流道即供给通道121，在与基板20相对的面上形成有喷射口122，从而使从供给通道121流动的原料能够向基板20侧喷射。

在本实施例中，多个所述喷射口122在喷嘴部120的端部上沿长度方向较长地形成，并且相邻的喷射口122形成为彼此隔开规定间隔。只是，喷射口122为根据喷射的原料而决定在基板上形成的图案的形状的要素，因此这种喷射口122的宽度、长度、数量及隔开间隔等可考虑在基板20上所要形成的图案的形状及基板或喷嘴部120的移送速度等而决定。

所述快门部130用于选择性地开放或阻断喷射口122，设置为板状。快门部130被安装为能够在喷嘴部120的内部滑动，并且通过滑动选择性地开放或阻断喷射口122的表面。

图5为图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的变形例的示意的剖视图。

根据上述内容，本实施例的快门部130安装在喷嘴部120的内部，但参照图5，在本实施例的变形例中，快门部130可构成为未被安装在喷嘴部120内而被设置在快门部130与喷嘴部120之间，并且能够通过往返移动来开放或阻断通过喷射口所进行的原料的排出。

所述供给部140与所述喷嘴部120连接，用于供给将在基板20上沉积的原料。

所述移送部150是为了实现流水线(in-line)工序而用于沿规定的路径输送被沉积物即基板20的部件，在本实施例中构成为包括多个移送辊轮151。

所述移送辊轮151沿着基板的流水线工序的移送路径而配置，并且各移送辊轮151构成为可通过规定的电源接收驱动力而旋转。

所述输入部160用于接收并存储在基板20上所要实现的形状的图案30，并且将其提供到控制部170。即，输入部160与控制部170连接，并且接收使用者或工作人员输入的在基板20上所要沉积的图案30的形状，并将其传递到控制部170。

所述控制部170用于从输入部160接收关于图案30的形状的信息，并且控制快门部130或移送部150，从而使将在基板20上沉积的原料形成通过输入部160传递的信息的图案30。控制部170通过控制快门部130而控制喷射口122的开闭时间或喷射口122的开放面积等，从而控制原料的喷射时间或喷射量。

此外，控制部170也可通过控制移送部150而调节基板20的移送速度，从而控制在基板20上形成的图案30。

下面，对上述能够形成图案的沉积装置100的第一实施例的运行进行说明。

图6为用于说明图2的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部的运行的图。

首先，输入部160接收使用者输入的需要由将在基板20上沉积的原料形成的图案30的形状。输入部160将输入的图案信息传递到控制部170，控制部170利用所接收的图案信息算出用于控制快门部130和移送部150的控制信息。

此时，参照图6的(a)，通过供给部140被气化的原料提供到喷嘴部120内的供给通道121，并且由于喷射口122的最初状态为被快门部130阻断的状态，因此原料在喷嘴部120的端部上形成的喷射口122中处于待机状态。

控制部170通过算出的控制信息控制移送部150，通过使移送辊轮151进行旋转而以规定的速度移送基板20。

与此同时，参照图6的(b)，控制部170使快门部130进行滑动，从而开放喷射口122，待机中的原料通过开放的喷射口122向基板20侧喷射，并被沉积在基板20上。

参照图6的(c)，控制部170根据为了在基板20上形成与被输入到输入部160的图案信息相应的图案30而算出的控制信息，经过规定的时间后，使快门部130滑动至原位置，从而阻断喷射口122以防止原料的喷射。

此外，控制部170可以部分开放喷射口122，而非完全阻断喷射口122，从而调节原料的喷射量，并调节在基板20上形成的图案30的厚度。

通过反复进行所述的过程，由被喷射的原料在基板20上沉积最初在输入部160中输入的形状的图案30。

接下来，对本发明的第二实施例的能够形成图案的沉积装置200进行说明。

图7为本发明的第二实施例的能够形成图案的沉积装置的立体图。

参照图7，本发明的第二实施例的能够形成图案的沉积装置200包括腔室部110、喷嘴部120、快门部130、供给部140、移送部250、输入部160及控制部170。

所述腔室部110、喷嘴部120、快门部130、供给部140、输入部160及控制部170与所述的第一实施例的结构相同，因此省略重复的说明。

只是，在本实施例中的所述移送部250为用于移送喷嘴部120的部件，这与在第一实施例中的移送部150为了移送基板而被构成为卷对卷(roll-to-roll)形式的结构不同。

所述移送部250包括：面板，沿规定的路径凹陷地形成有移送导向件251；及连接部252，被收容在移送导向件251内，并且从移送导向件251向下方延伸并与喷嘴部120的端部结合，被配置为能够沿移送导向件251移动。

即，本实施例中的移送部250通过移送与连接部252连接的喷嘴部120，向基板20喷射原料而形成图案。其中，所述连接部252沿移送导向件251的形成方向移动。

因此，在本实施例中，控制部170控制通过快门部130的动作受控的喷射口的开闭时间及通过移送部250的动作受控的喷嘴部120的移送速度，从而调节在基板20上形成的图案的形状。

接下来，对本发明的第三实施例的能够形成图案的沉积装置进行说明。

图8为本发明的第三实施例的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部及快门部的立体图，图9为表示图8的能够形成图案的沉积装置的喷嘴部及快门部的沿IX-IX'线剖开的面的动作。

本发明的第三实施例的能够形成图案的沉积装置的结构与第一实施例相同，因此省略重复的说明。只是，本实施例中的喷嘴部320及快门部330的结构与第一实施例不同，因此在下面对其进行详述。

参照图8及图9，所述喷嘴部320被构成为剖面为圆形的气缸形状，在内部形成有供给通道321，在外面形成有作为原料喷射区域的喷射口322。

所述快门部330被构成为剖面为圆形的气缸形状，并被安装为包覆喷嘴部320的外表面的同时在内部收容喷嘴部320的形式。另外，在快门部330的外表面贯通形成有与喷射口322对应数量的开口部。

因此，参照图9，在本实施例中通过以下的方式控制原料的喷射：被设置为能够旋转转动的快门部330运行为在喷嘴部320的外表面上旋转规定的区间，以使开口部的位置对准于喷射口322，从而喷射原料；并且使快门部330沿开放喷射口322时的转动方向的相反方向进行旋转，从而使开口部331回到原位置，以阻断喷射口322。

即，在第一实施例的快门部130通过直线平行运动选择性地开放或阻断喷嘴部120的喷射口122，但根据第三实施例，通过快门部330的旋转转动来选择性地开放或阻断喷射口322。

根据以往的沉积装置，由于使用额外的荫罩，因此在大面积基板上难以沉积连续的图案形状，但根据本实施例的能够形成图案的沉积装置，无需设置与基板面积相同的面积的荫罩，而利用快门部开放或阻断原料，从而能够对大面积基板进行连续的沉积。

通过控制开放或阻断喷嘴部的快门部、基板或喷嘴部的移送速度以及形成在喷嘴部上并喷射原料的喷射口的形状，从而能够以所要实现图案的形状喷射原料并将其沉积在基板上。

本发明的权利范围并不限于上述实施例，在所附的权利要求书中记载的范围内可实现为多种形式的实施例。在不脱离权利要求书所要求保护的本发明精神的范围内，本发明所属技术领域中具有一般知识的人均能变形的各种范围也应属于本发明的保护范围。

产业化应用可行性

提供一种能够形成图案的沉积装置，该能够形成图案的沉积装置能够由规定的原料迅速地沉积大面积基板，使所述基板具有规定的图案形状。

Claims (5)

1.一种能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：

喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；

快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及

移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个，

其中，所述快门部形成为在端部上形成有开口部的气缸形状，并且包覆所述喷嘴部，通过旋转转动而使所述开口部移动位置，从而开放或阻断所述喷射口。

2.根据权利要求1所述的能够形成图案的沉积装置，其特征在于，进一步包括：

控制部，用于控制所述快门部或移送部中的至少一个，从而使所述原料在所述基板上形成规定形状的图案而沉积。

3.根据权利要求2所述的能够形成图案的沉积装置，其特征在于，

所述控制部用于调节所述喷射口的开闭时间。

4.根据权利要求2所述的能够形成图案的沉积装置，其特征在于，

所述控制部用于控制所述基板或喷嘴部中的至少一个的移送速度。

5.根据权利要求1所述的能够形成图案的沉积装置，其特征在于，

所述移送部通过辊轮的旋转力而移送所述基板。