CN104169718B - 气敏传感器的功能性测试 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于按照热传导原理工作的气敏传感器的功能性检测的方法。

Description

气敏传感器的功能性测试
技术领域
本发明涉及一种按照热传导原理工作的气敏传感器的功能测试。
背景技术
按照热传导原理工作的气敏传感器可以用来确定流体介质中的气体或者气体组分。“流体介质”在这里被理解成是指液体和气体介质两者。待检测的气体或者待检测的气体组分(在下文中也被称为“目标气体”)可以气体方式或溶解形式存在于介质中，其中除了目标气体之外，流体介质可能还包括例如固体、气体或液体的组分或者溶解物质。首先确定目标气体的比热导率参数，可以由所述参数推导出例如目标气体在流体介质中的浓度、压力或者分压力的进一步参数。
从EP0501089A1、EP0429397A1、EP0433741或者DE4439715A1之中已知了按照热传导原理工作的气敏传感器。
测量原理是以目标气体通过膜的扩散与随后借助于热导率测量的目标气体的检测的组合为基础的。所应用的气敏传感器包括与供测量的流体介质接触的膜。该膜将流体介质与气敏传感器中的测量室分开，该测量室中设置热传导传感器。膜例如包括聚合物层或者聚合物膜，所述聚合物层或者聚合物膜可透过目标气体但是不可透过液体，以致仅目标气体可以通过膜进入到测量室中。所应用的聚合物具有与目标气体匹配的透过性。
在每个测量过程之前利用净化气体来净化测量室以便从测量室中除去来自目标气体的先前样品的残余。净化气体应当具有不同于目标气体的热导率并且另外相对于目标气体和/或传感器的材料在化学性质上是惰性的，也就是，不应与这些物质反应。
紧跟着该净化过程，目标气体可以再次透过膜进入测量室中。利用热传导传感器测得至少一个与时间相关的热导率参数，其与测量室中的目标气体的浓度有关并从而与流体介质中的目标气体的浓度有关。通过考虑到膜对于目标气体的透过性，则可以由该参数来确定目标气体的分压力，并且可以由此确定其在流体介质中的浓度。
另外，例如，可以如EP0348243A1中所公开地来校准气敏传感器。
按照热传导原理工作的气敏传感器被用于各种工业生产过程和制炼厂以及实验室中。可能使用的范围涉及从饮料产品中CO2的确定到生物进程和生物反应器中N2、H2或CO2的确定。可以利用所述气敏传感器来确定的进一步的目标气体例如为二氧化硫(SO2)或者硫化氢(H2S)。
特别是对于在工厂中的运用，重要的是，气敏传感器提供了可靠且可重复的恒定质量的结果。
如已经显示的，气敏传感器的功能性能力且因此可靠性受例如净化气体供应中的故障和/或潮气渗入传感器内部的各种功能故障状态的影响。
功能故障状态导致了错误的测量并且甚至可以导致气敏传感器的故障。
发明内容
该问题从而产生了提供一种用于按照热传导原理工作的气敏传感器的功能测试的方法，以便在运行期间检测且特别是在线检测气敏传感器的功能故障状态。
该问题通过一种用于按照热传导原理工作的气敏传感器的在线功能测试的方法来解决。气敏传感器包括具有净化气体连接部的测量室、设置在测量室中用于确定一个或多个测定值的热传导传感器、温度传感器和膜，该膜在运行期间将测量室与流体介质分开并且对于目标气体是可透过的。用于气敏传感器的功能测试的方法包括多个步骤。
首先在校准介质中执行校准周期，并且确定出校准基准。校准介质是一种具有已知浓度的目标气体的流体介质。校准周期包括至少净化过程和测量过程。在测量过程和/或净化过程期间，可以利用热传导传感器检测出至少一个测定值，并且可以由此确定出相应的校准基准。
然后，在测量介质中执行测量周期，并且由所获得的测定值来确定出相应的测量基准。测量介质是一种具有未知浓度的目标气体的流体介质。测量周期至少包括在彼此之后被执行的净化过程和测量过程。在测量过程之前或者紧跟测量过程执行净化过程以记录测定值或者一系列测定值，以便在测量过程开始时测量室基本上没有残余物。
在净化过程中利用净化气体净化测量室并且因而从测量室中除去了可能的残余物。然后可以执行其中使气敏传感器的膜接触流体介质的测量过程，以便容纳于流体介质中的目标气体可通过膜扩散到测量室中。存在于测量室中的净化气体与目标气体混合或者被目标气体置换。可以利用设置在测量室中的热传导传感器来确定一个或多个测定值。可以在预选的时间点、以预选的时间间隔或者连续地检测所述测定值。
可以由在校准或者测量周期期间作为时间函数确定出的多个测定值来确定校准或者测量基准。通过考虑所述校准基准和测量基准，可以确定出基准比较值，然后将该基准比较值与预选的基准阈值相比较。如果基准比较值的数值大于基准阈值，则生成第一出错信息。第一出错信息指示出净化气体供应中的功能故障。
令人惊讶地，已经显示出，已经可以借助于校准周期与测量周期之间的基准比较来获得净化气体供应的功能故障的指示，以便可以手动地或者自动地检查净化气体供应。在净化过程期间所确定的作为电压值函数的测量电压在此与基准有关。对于校准基准，使用由校准过程期间所确定的基准值，所述基准值为在校准过程内的净化过程期间所确定的电压值的函数。对于测量基准，使用由测量过程期间所确定的基准值，所述基准值为在测量过程内的净化过程期间所确定的电压值的函数。功能故障还可以例如作为电、声和/或光信号被显示给使用者。可以按该方式生成具有高度重现性和高质量的测定值。
该方法还可以包括可利用其来检验潮气是否已经渗入测量室中的步骤，其导致产生一个或多个进一步的出错信号。测定值可能被潮气渗入测量室所歪曲。
为了该目的，在测量介质中执行测量周期，所述周期包括净化过程和测量过程。在测量过程期间，利用气敏传感器的电子测量电路来检测测量电压，其表示待测量的热导率的量度。将该测量电压与预选的电压范围比较。如果测量电压位于预选的电压范围外，则产生进一步的出错信息。如果测量电压位于预选的电压范围内，则还可以由横跨测量电阻或横跨测量电路的相应旁路电阻的电压降来确定测量电流值。通过比较测量电流值与预选的测量电流值来确定第一控制值。还经由控制电路来确定控制电流值。测量电路包括控制电路。由横跨控制电路的相应旁路电阻的电压降来确定控制电流值。可以通过比较测量电流值与控制电流值来确定第二控制值。
然后，可以比较第一和/或第二控制值与第一控制阈值。如果第一和/或第二控制值大于控制阈值，则产生第二出错信息，该第二出错信息指示由于潮气已经渗入测量室中气敏传感器的功能故障。
如果第二控制值大于第一控制阈值，则该方法还可能包括第二控制值与第二控制阈值的比较。如果第二控制值大于第一控制阈值并且大于第二控制阈值，则可能产生第三出错信息，该第三出错信息表示由于潮气已经渗入测量室中气敏传感器的故障。
已经渗入测量室中的潮气可以替代地或者另外通过以下方法步骤来确定并且可以被显示给使用者。为了该目的，在测量介质中执行测量周期，并且在测量过程期间利用气敏传感器的电子测量电路来确定测量电压。然后由横跨测量电阻或者横跨测量电路的旁路电阻的电压降来确定测量电流值。通过重新调整可调电阻或者电子测量电路的供电电压，可以使测量电流值与预选的测量电流值匹配。为此所需的可调电阻或者供电电压方面的变化被确定成操纵变量值。然后比较该操纵变量值与预选的第一控制操纵变量值。如果该操纵变量值大于控制操纵变量值，则可能产生表示气敏传感器的功能故障的第二出错信息。
此外，如果操纵变量值大于第一控制操纵变量值，则还可以执行操纵变量值与第二控制操纵变量值的比较。如果操纵变量值大于第一控制操纵变量值并大于第二操纵变量值，则可能产生第三出错信息，该第三出错信息表示由于潮气已经渗入测量室中气敏传感器的故障。
根据本发明的方法的另一方面涉及气敏传感器的膜的检查。膜封闭气敏传感器的测量室以防流体介质并且另外对于目标气体是可透过的。因此，膜是半渗透的并且具有有限的透过性。如果膜的透过性改变，例如，如果膜具有如裂纹或孔的机械故障，或者如果膜是有缺陷的，例如由于改变了气孔尺寸，则这对测量结果具有直接影响。测量结果可能被有缺陷的膜歪曲，因为除了目标气体之外，干扰组分可能例如进入测量室中或者可能阻碍或极大地增强目标气体扩散到测量室中。因此，所希望的是，还检查，特别是在线检查气敏传感器的膜的功能性能力。
为了该目的，可以利用按照热传导原理工作的气敏传感器来执行测量周期并且可以在测量过程期间作为时间函数来确定测量电压。然后，可以将测量过程期间的测量电压的时间相关特性与预选的第一膜阈值范围比较。在紧跟的净化周期期间，可以在净化周期的测量过程期间确定出净化测量电压，并且可以将净化测量电压的时间相关特性与预选的第二膜阈值范围比较。
如果两个电压(测量电压和净化测量电压)都位于其相应的阈值范围(第一膜阈值范围和第二膜阈值范围)外，则可能产生第四出错信息，该第四出错信息表示气敏传感器中膜的功能故障。
因此，在气敏传感器正在工作期间使用者可能已经被告知关于膜和/或有缺陷的膜的问题并且可以采取措施以置换膜或者气敏传感器。
可以将第一、第二、第三和/或第四出错信息记录在气敏传感器的控制单元中。此外，第一、第二、第三和/或第四出错信息可以通过电子、光学和/或声学方式显示给使用者。
记录在气敏传感器的控制单元中的出错信息可以例如建立由有缺陷膜所确定的测定值的标识，以便后者在随后的评估中不被考虑，或者甚至引起气敏传感器的停工。另外，使用者可能在气敏传感器正在运行期间已经被告知关于气敏传感器的功能故障并且可以采取或者开始测量以消除功能故障，例如置换如膜的部件，检查并改变净化气体供应的调节，置换密封件和/或置换整个气敏传感器。
一种用于执行根据本发明的在线功能测试的方法的气敏传感器包括具有净化气体连接部的测量室、设置在测量室中用于确定一个或多个测定值的热传导传感器和膜，该膜在运行期间将测量室与流体介质分开并且对于存在于流体介质中的目标气体是可透过的，其中在净化周期和/或测量周期的执行期间至少可以产生第一、第二和/或第三出错信息，所述出错信息表示气敏传感器由于有缺陷的净化气体供应、透过的潮气和/或膜时的至少一个功能故障。
此外，气敏传感器可能包括控制单元，该控制单元完全或部分地设置在气敏传感器的传感器本体中，其中控制单元记录和/或处理第一、第二、第三和/或第四出错信息。
控制单元还包括控制电路，该控制电路可以检测由于潮气已经渗入传感器本体内而出现的泄漏电流。
附图说明
借助于以下附图详细地描述了一种根据本发明的方法和适于执行所述方法的气敏传感器的实施例的不同实例，其中相同元件具有相同或者类似的附图标记。附图显示了：
图1是按照热传导原理工作的气敏传感器的分解图；
图2是通过气敏传感器的测量连接件的非常示意性的横截面图；
图3是具有用于检查漏泄电流的控制电路的气敏传感器的非常简化的电路图；
图4是用于确定基准的典型的校准和测量周期的电压-时间图；
图5是显示所测得的CO2分压力和作为净化气流与时间的函数而确定的基准的图表。
具体实施方式
图1显示了按照热传导原理工作的气敏传感器的示意性分解图。气敏传感器包括传感器本体1，该传感器本体1包括净化气体连接部2和用于将气敏传感器连接至发射器和/或处理控制点的连接部3。其中，设置在传感器本体1中的是在本文中不可见的测量电子设备和控制电子设备以及关联电路。在其介质侧端，其在运行期间与流体介质接触，气敏传感器包括用于将气敏传感器连接至容器的凸缘4。此外，可以在气敏传感器的介质侧端看见在运行期间伸入到流体介质中的测量连接件5，在该测量连接件中设置具有热传导传感器7的测量室6，参见图2。
测量室6被膜8覆盖住，膜8利用帽9被固定至测量连接件7。帽9包括开口10，流体介质13可以通过该开口10与膜8发生接触。膜8的成分和结构适合于所考虑的目标气体。膜8可以例如由陶瓷材料、复合材料和/或聚合物材料制成。特别是适于CO2测量的膜8可以例如由包括例如聚四氟乙烯(PTFE)的聚合物膜的复合材料制成，所述复合材料被固定地连接至例如金属网的合适刚性网格结构以用于机械性地增强。另外，在帽9与测量连接件7之间设置此处为O形环形式的密封件11，以便相对于液体介质密封测量室6。
为了储存或传送，还可以利用盖12来保护测量连接件5且特别是膜8。
图2非常示意性地显示了在没有盖的气敏传感器的组装状态中通过测量连接件5的横截面。如可以在本文中看到的，测量连接件5在工作期间浸没到设置于合适容器中的流体介质13中。目标气体存在于流体介质13中，所述目标气体被溶于流体介质13中或者与后者混合。目标气体可以通过膜8渗入测量室6中，因为膜8对于目标气体是有选择地可透过的。
设置在测量室6底部的是热传导传感器7和温度传感器14，其各经由仅在此处示出的线路15、16连接至设置于气敏传感器中的控制单元。可以经由利用温度传感器14确定的温度来执行由热传导传感器7所确定的测定值的温度补偿。
此外，测量室6包括气体供应管线17和气体出口18。经由气体供应管线17，测量室6可以被充有净化气体以便从测量室6除去残余物。待排出的净化气体和/或目标气体可以经由气体出口18逸散到测量室6外。气体出口18还确保防止测量室6中的压力增大。
图3显示了具有控制电路的气敏传感器的电子测量电路的非常简化的电路图。
气敏传感器被供以恒定的供电电流l_m，该供电电流l_m对于给定测量值的确定是不变地预选的。电流l_m通过预置的供电电压VM1和可变电阻R1来调节。
此外，电流l_m还可以作为控制电路的一部分地被调节以便在线检查气敏传感器的功能。在该情况中，测量电路包括可调电阻R1或者可调的供电电压VM1。
该恒定的供电电流l_m使得能够经由第一运算放大器OP1的输出电压来确定热传导传感器的电阻TC_S，所述确定对于测量是重要的。第一运算放大器OP1的输出电压一方面被温度补偿并且另一方面通过具有第二电阻R2与温度传感器(此处被称为电阻TC_STC)以及第三电阻R3与第二运算放大器OP2的进一步的电路部分被放大。第二运算放大器OP2的输出电压是与待测量的热导率成正比的实测电压UGV。
可以利用气敏传感器来执行校准和测量周期，其中每个周期在每个情况下包括至少净化过程和测量过程。在具有已知的目标气体浓度的校准介质中执行校准周期，并且在作为流体介质的具有未知的目标气体浓度的测量介质中执行测量过程。
首先利用合适的净化气体来净化测量室，该净化过程能够被执行一次或几次。然后使气敏传感器，特别是测量连接件接触相应的流体介质。容纳于流体介质中的目标气体通过膜扩散到测量室内，其中通过热传导传感器将测量室中的热导率作为测定值来确定。可以在测量过程期间以预定的时间间隔或者连续地作为单值来检测所述测定值。可以基于利用温度传感器确定的温度值来确定温度补偿过的测定值。作为净化气体，可以使用多种气体，其包括(除了其它的之外)压缩空气、氮气(N2)、二氧化碳(CO2)或者例如氩气或氦气的惰性气体。除了其它的之外，净化气体的选择受测量介质的组分，例如存在干扰气体和/或待确定的目标气体的影响。
图4和5中示出了根据本发明的方法的执行过程的实例。
图4显示了测量或者校准周期的测量电压的典型的电压-时间曲线。所述曲线是利用根据本发明的CO2气敏传感器在作为测量介质的纯CO2气体和作为净化气体的空气中所检测出的。在测量过程I期间，目标气体从流体介质扩散到测量室内，从而测量室中的目标气体的浓度随时间增大并且因此所探测出的热导率也随时间增大，所探测出的热导率与所显示的测量电压UGV成正比。在完成测量过程之后，其在此处包括许多测定值，启动净化过程II，其中将净化气体输送通过测量室并且从而将目标气体排出测量室。可以净化测量室例如直到热传导传感器的测定值基本上稳定的时间。然后，可以通过计算曲线的部位III中所探测出的测量电压UVG的平均值来确定基准。部位III此处包括校准测量周期的净化过程中的最后四秒，其中气敏传感器传送基本上稳定的测定值。如果气敏传感器与校准介质接触，则从而可以确定校准基准，或者如果气敏传感器与测量介质接触，则可以确定测量基准。基准包括作为在净化过程期间所确定的电压值的函数的校准或测量电压。
图5显示了作为净化气流的函数的基准特性的时间相关性。所述测量结果是利用根据本发明的具有作为净化气体的空气的一CO2气敏传感器所检测出的。将具有大约2000毫巴的CO2分压力的纯CO2气体用作测量介质。在测量期间，净化气流被从大约70ml/min减小至大约0.2-0.5ml/min并且然后被再次增大至初始值。利用图表中的竖直线来表示各种净化气流，其中以下的净化气流例如被确定为：1:70ml/min，2:50ml/min，3:30ml/min，4：10-20ml/min，5:1-5ml/min，6：0.2-0.5ml/min，7:0.3-1.2ml/min，8:3-14ml/min，9:70ml/min。
此处被描绘成断续线的测量基准曲线首先显示了在具有大约70ml/min的最优净化气流的校准周期所确定的大约93毫伏的校准基准值。双箭头表示已经校准该传感器和已经检测校准基准的时间点。在测量过程中，净化气流被后者的减少而中断，以便模拟有缺陷的净化气体供应。净化气流中大约1到大约5ml/min的平均偏差在CO2的测定值中引起了显著偏差，其作为CO2分压力被描绘成连续曲线。还可以从测量基准的曲线上读出净化气流中的不利变化，因为测量基准已经随着净化气流减小至大约10-20ml/min(线4)而增加大约80mV至大约173mV。净化气流进一步减小至大约0.2到大约0.5ml/min(线6)(其基本上相当于净化气体中断)引起了测量基准增大至大约990mV并且同时引起CO2测定值的明显下降。一旦净化气流被再次调整至最初的大约70ml/min的最佳值(线9)，则可以在图表中看到，测量基准的值以及所测得的CO2分压力的值再次相当于初始值。
因此可以借助于上述方法来确定出气敏传感器由于出错或者有缺陷的净化气体供应的功能故障，其中为来自大约50mV的校准基准的测量基准的偏差建立基准阈值。如本文所示，对于任何种类的传感器和/或任何目标气体可以轻易地确定基准阈值的值。在探测到有缺陷的净化气体供应之后，可以在已经检查并改造净化气体供应之后继续测量。
虽然已经通过实施例的具体实例的介绍描述了本发明，但是很显然，可以在对本发明的理解中创造出实施例的许多其他变型，例如通过使实施例的单个实例的特征相互结合和/或互换实施例的实例的单独功能单元。
附图标记列表
1传感器本体
2净化气体连接部
3连接件
4凸缘
5测量连接件
6测量室
7热传导传感器
8膜
9帽
10开口
11密封件
12盖
13流体介质
14温度传感器
15线路
16线路
17供应管线
18气体出口
l_m供电电流
VM1供电电压
R1,R2,R3电阻
OP1,OP2运算放大器
UVG测量电压
TC_S热传导传感器的电阻
TC_STC温度传感器的电阻
I测量过程
II净化过程
III基准

Claims (13)

1.一种用于按照热传导原理工作的气敏传感器的功能性测试的方法，其中所述气敏传感器包括具有净化气体连接部(2)的测量室(6)、设置在所述测量室(6)中用于确定一个或多个测量值的热传导传感器(7)、温度传感器(14)和膜(8)，所述膜在工作期间将所述测量室(6)与流体介质(13)分开并且对于目标气体是可透过的；并且其中所述方法包括以下步骤：
a.在校准介质中执行校准周期，该校准介质是具有已知目标气体浓度的流体介质，其中所述校准周期包括净化过程和随后的测量过程，并且确定校准基准，其包括在净化过程期间所确定的作为电压值函数的校准电压；
b.在测量介质中执行测量周期，该测量介质是具有未知目标气体浓度的流体介质，其中所述测量周期包括至少净化过程和随后的测量过程，并且确定测量基准，其包括在净化过程期间所确定的作为电压值函数的测量电压；
c.将所述校准基准和测量基准考虑在内来计算基准比较值；
d.比较所述基准比较值与预选的基准阈值，并且如果所述基准比较值的数值大于所述基准阈值，则产生表示所述净化气体供应中的功能故障的第一出错信息，
其中净化过程包括，利用净化气体来净化所述测量室(6)；其中测量过程包括，使所述气敏传感器的膜(8)与所述流体介质接触，容纳于所述流体介质中的目标气体通过所述膜(8)扩散到所述测量室(6)内，并且利用设置在所述测量室(6)中的热传导传感器(7)来确定出一个或多个测定值；并且其中在校准周期或者测量周期期间由作为时间函数而确定出的多个测定值来确定所述校准基准或者测量基准。
2.根据权利要求1所述的方法，其包括以下步骤：
a.在测量介质中执行测量周期，并且在测量过程期间，利用气敏传感器的电子测量电路来确定测量电压；
b.比较所述测量电压与预选的电压范围，以及
i.如果所述测量电压位于所述电压范围外，则产生进一步的出错信息，
或者
ii.如果所述测量电压位于所述电压范围内，则确定测量电流值，并且通过比较所述测量电流值与预选的测量电流值来确定第一控制值；
借助于为所述测量电路的一部分的控制电路来确定控制电流值，并且通过比较所述测量电流值与所述控制电流值来确定第二控制值；
比较第一和/或第二控制值与控制阈值，以及
如果第一和/或第二控制值大于所述控制阈值，则产生显示所述气敏传感器的功能故障的第二出错信息。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，后者还包括以下步骤：
a.如果第二控制值大于第二阈值，则比较第二控制值与第三控制阈值；以及
如果所述第二控制值大于第三控制阈值，则产生表示所述气敏传感器的故障的第三出错信息。
4.根据权利要求1所述的方法，包括以下步骤：
a.在测量介质中执行测量周期，并且在测量过程期间利用所述气敏传感器的电子测量电路来确定出测量电压；
b.确定出测量电流值，并且重新调整可调节的第一电阻或者所述电子测量电路的供电电压，从而确定出操纵变量值，以使所述测量电流值相当于预选的测量电流值；
c.比较所述操纵变量值与预选的第一控制操纵变量值，并且如果所述操纵变量值大于所述第一控制操纵变量值，则产生表示所述气敏传感器的功能故障的第二出错信息。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，其还包括以下步骤：
a.如果所述操纵变量值大于第一控制操纵变量值，则比较所述操纵变量值与第二控制操纵变量值；以及
b.如果所述操纵变量值大于第一控制操纵变量值并大于第二控制操纵变量值，则产生表示所述气敏传感器的故障的第三出错信息。
6.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其特征在于，将第一、第二和/或第三出错信息记录在所述气敏传感器的控制单元中。
7.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其特征在于，光学地、声学地和/或电子地显示出第一、第二和/或第三出错信息。
8.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其包括以下步骤：
a.执行测量周期并且在所述测量过程期间确定出作为时间函数的测量电压；
b.比较所述测量电压的时间相关特性与预选的第一膜阈值范围；
c.执行净化过程并且在所述净化过程期间确定净化测量电压；
d.比较所述净化测量电压的时间相关特性与预选的第二膜阈值范围；
e.如果所述测量电压位于第一膜阈值范围外并且所述净化测量电压位于第二膜阈值范围外，则产生表示所述气敏传感器中的膜的功能故障的第四出错信息。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，将第一、第二、第三和/或第四出错信息记录在所述气敏传感器的控制单元中。
10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，光学地、声学地和/或电子地显示出第一、第二、第三和/或第四出错信息。
11.一种用于执行根据权利要求1到10中任一项所述方法的气敏传感器，包括具有净化气体连接部(2)的测量室(6)；设置在所述测量室(6)中的温度传感器(14)；设置在所述测量室中用于确定出一个或多个测定值的热传导传感器(7)；和膜(8)，该膜在工作期间将所述测量室(6)与流体介质(13)分开并且对于存在于所述流体介质(13)中的目标气体是可透过的，其特征在于，在执行净化周期和/或测量周期期间至少产生第一、第二和/或第三出错信息，所述出错信息表示所述气敏传感器的净化气体供应由于渗入的潮气和/或膜(8)的至少一个功能故障。
12.根据权利要求11所述的气敏传感器，其特征在于，所述气敏传感器还包括控制单元，该控制单元被完全或者部分地设置在所述气敏传感器的传感器本体中，其中所述控制单元记录和/或处理第一、第二、第三和/或第四出错信息。
13.根据权利要求12所述的气敏传感器，其特征在于，所述控制单元包括控制电路，该控制电路检测由于潮气已经渗入所述传感器本体内而出现的泄漏电流。
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