CN104165757B - 泵浦源检测装置及其检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种泵浦源检测装置，通过改变泵浦源组件、选光器组件和发散角测试组件的位置，使发散角测试组件接收选光器组件选出的单线Bar的辐射光，实现对单线Bar的辐射光发散角的测试；通过改变泵浦源组件、选光器组件和光强测试组件的位置，使光强测试组件接收选光器组件选出的单线Bar的辐射光，实现对单线Bar的辐射光光强测试；通过改变泵浦源组件、选光器组件和光谱测试组件的位置，使光谱测试组件接收选光器组件选出的单线Bar的辐射光，实现对单线Bar的辐射光光谱测试，从而对单线Bar的辐射光的发射强度、发散角、光谱特性检测，提高环形半导体泵浦源的使用效率和使用寿命。另外，本发明还提供了一种泵浦源检测方法。

Description

泵浦源检测装置及其检测方法

【技术领域】

本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种泵浦源检测装置及其检测方法。

【背景技术】

随着全固态激光器在国防、科研、工业以及医疗等技术领域呈现出越来越广泛的应用前景，作为其中核心部件的半导体侧泵模块也在向着结构紧凑、泵浦均匀和高能量方向发展。

目前市场上侧泵模块通常用的半导体水平阵列呈现正三角形、正五边形或者正七边形等分布进行等间距环绕封装。对于大口径侧泵模块(通常激光增益介质直径8mm以上)，为了实现泵浦光均匀照射激光增益介质和提高激光棒储能，通常采用正十一边形、正十五边形等多线Bar环绕封装结构。这些多线Bar封装而成的环形泵浦源在实际应用中需要对其各个单线Bar的辐射光的发光特性进行检测，包括对各个单线Bar的辐射光的发光强度、快慢轴发散角、光谱进行测试，以确定环形半导体泵浦源的工作状态。而现有间接的测量方法是在多个单线Bar的辐射光被封装成环形泵浦源之前进行单线Bar的辐射光的单独测试。在环形Bar封装完成后，由于封装紧凑导致对单个Bar的测量势必受到相邻单线Bar发射泵浦光的影响以及发光面开口朝内引起的空间限制所导致了测量不可行性。

因此，当前迫切需要提供一种能够测量环形半导体泵浦源中各个单线Bar的辐射光发射强度、快慢轴发散角、光谱特性检测工装和测试方法。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种泵浦源检测装置，该泵浦源检测装置能够对多个单线Bar完成封装形成的环形半导体泵浦源后的单线Bar的辐射光的发射强度、快慢轴发散角、光谱特性进行检测，以提高环形半导体泵浦源的使用效率和使用寿命。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种泵浦源检测装置，包括：

底座，开设有燕尾槽及方形槽，所述燕尾槽沿所述底座的水平方向设置，所述方形槽开设于所述底座的一端；

泵浦源组件，包括：

泵浦源夹持支架，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑动；

环形半导体泵浦源，固定设于所述泵浦源夹持支架的竖直部，所述泵浦源夹持支架的竖直部还开设有与所述环形半导体泵浦源圆心重合的通孔，包括冷却热沉、封装于所述冷却热沉上的若干水平线Bar、开设于所述冷却热沉上的冷却水输入口及冷却水输出口；及

衰减片夹持部，固定设于所述泵浦源夹持支架的竖直部上，且与所述环形半导体泵浦源位于所述竖直部的同一侧，所述衰减片夹持部用于夹持衰减片，所述衰减片的厚度可调；

选光器组件，包括：

选光器支座，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑动；

锁紧环，可旋转地安装于所述选光器支座的竖直部上；及

卡光桶，其内部收容有反射镜，所述反射镜通过一支杆固定连接于所述锁紧环，所述卡光桶的桶壁上还开设有通光槽，所述反射镜的反射面正对所述通光槽，通过所述锁紧环带动所述支杆旋转，使得所述通光槽对准所述水平线Bar；

发散角测试组件，包括：

CCD采集光具座，由第一二维移动平台组成，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动；

线阵CCD，固定于所述CCD采集光具座上，其采集面可以围绕所述线阵CCD的采集面的中心轴自由旋转，所述线阵CCD用于接受经过所述反射镜发射的水平线Bar的辐射激光；

光强测试组件，包括：

能量采集光具座，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动；

能量计探头，通过一可伸缩杆与所述能量采集光具座固定连接，所述能量计探头用于接收经所述反射镜反射的水平线Bar的辐射光；

光谱测试组件，包括：

光谱采集光具座，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动；

光电探头，安装于所述光谱采集光具座上，用于接收经所述反射镜反射的水平线Bar的辐射光。

在一些实施例中，所述水平线Bar为15条，且等间距地封装于所述冷却热沉上。

在一些实施例中，所述泵浦源夹持支架的竖直部还开设有与所述环形半导体泵浦源圆心重合且半径相等的通孔。

在一些实施例中，所述泵浦源夹持支架的竖直部还设有两个通水孔，所述两个通水孔分别与所述冷却水输入口及冷却水输出口重合。

在一些实施例中，所述衰减片夹持部上开设有若干夹持槽及贯穿所述夹持槽的螺孔，通过螺母与螺孔配合将所述衰减片夹持于所述夹持槽内。

在一些实施例中，所述锁紧环可以以360°的旋转角度带动所述支杆旋转。

在一些实施例中，所述卡光桶壁厚不大于3mm，所述通光槽宽为2mm，长为30mm。

在一些实施例中，所述反射镜为镀808nm的45°的高反膜反射镜。

在一些实施例中，所述线阵CCD采集线长为50mm。

在一些实施例中，所述能量计探头接收靶面直径不小于100mm。

此外，本发明还提供了一种泵浦源检测方法，包括下述步骤：

将所述半导体泵浦源固定与所述泵浦源夹持支架上，所述泵浦源夹持支架的竖直部的通孔与所述环形半导体泵浦源圆心重合，所述泵浦源夹持支架的竖直部的两个通水孔分别与所述冷却水输入口及冷却水输出口重合，连接外部水箱与冷却水输入口和冷却水输出口并通水，接通所述半导体激光器电源，使所述若干水平线Bar产生辐射激光；

调节所述衰减片夹持槽的厚度，插入衰减片，使所述衰减片遮蔽所述环形半导体泵浦源的内径；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准其中一条水平线Bar，记为第一单线Bar的辐射光，并将所述卡光桶推入所述环形半导体泵浦源内，所述反射镜反射所述第一单线Bar的辐射光；

将所述光强测试组件、发散角测试组件及所述光谱测试组件移动至所述方形槽内，将发散角测试组件移动至燕尾槽内，移动所述CCD采集光具座，使所述线阵CCD接收经所述反射镜反射的第一单线Bar的辐射光，完成对所述第一单线Bar的辐射光的快慢轴发散角的测试；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准另一条水平线Bar，记为第二单线Bar，所述反射镜反射所述第二单线Bar的辐射光；

移动所述CCD采集光具座，使所述线阵CCD接收经所述反射镜反射的第二单线Bar的辐射光，完成对所述第二单线Bar的辐射光的快慢轴发散角的测试；

重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的快慢轴发散角的测试；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准所述第一单线Bar，所述反射镜反射所述第一单线Bar的辐射光；

将所述发散角测试组件移动至所述方形槽内，及将所述能量采集光具座移动至所述燕尾槽，并调节所述能量采集光具座使所述能量计探头接收经所述反射镜反射的第一单线Bar的辐射光，完成对所述第一单线Bar的辐射光的光强测试；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准所述第二单线Bar，所述反射镜反射所述第二单线Bar的辐射光；

移动所述能量采集光具座，使所述能量计探头接收经所述反射镜反射的第二单线Bar的辐射光，完成对所述第二单线Bar的辐射光的光强测试；

重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的光强测试；

将所述光强测试组件移动至所述方形槽，及将所述光谱采集光具座移动至所述燕尾槽，并调节所述光谱采集光具座使所述光电探头接收经所述反射镜反射的第一单线Bar的辐射光，完成对所述第一单线Bar的辐射光的光谱测试；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准所述第二单线Bar，所述反射镜反射所述第二单线Bar的辐射光；

移动所述光谱采集光具座，使所述光电探头接收经所述反射镜反射的第二单线Bar的辐射光，完成对所述第二单线Bar的辐射光的光谱测试；

重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的光谱测试。

采用上述技术方案，本发明的有益效果在于：

本发明上述实施例提供的泵浦源检测装置和方法，在底座上设置有泵浦源组件、选光器组件、发散角测试组件、光强测试组件及光谱测试组件，通过改变泵浦源组件、选光器组件和发散角测试组件之间的相对位置，使发散角测试组件完全接收选光器组件选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光快慢轴发散角的测试；通过改变泵浦源组件、选光器组件和光强测试组件之间的相对位置，使光强测试组件完全接收选光器组件选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光光强测试；及通过改变泵浦源组件、选光器组件和光谱测试组件之间的相对位置，使光谱测试组件完全接收选光器组件选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光光谱测试，从而能够对单线Bar的辐射光的发射强度、快慢轴发散角、光谱特性进行检测，提高环形半导体泵浦源的使用效率和使用寿命。

【附图说明】

图1为本发明提供的泵浦源检测装置的结构示意图；

图2为本发明一实施例提供的泵浦源组件的结构示意图；

图3为本发明一实施例提供的选光器组件的结构示意图；

图4为本发明一实施例提供的发散角测试组件的结构示意图；

图5为本发明一实施例提供的光强测试组件的结构示意图；

图6为本发明一实施例提供的光谱测试组件的结构示意图。

【具体实施方式】

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

在申请文件中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

请参阅图1，图1为本发明实施例提供的泵浦源检测装置的结构示意图100，包括底座110、泵浦源组件120、选光器组件130、发散角测试组件140、光强测试组件150及光谱测试组件160。

底座110上开设有燕尾槽111及方形槽112，燕尾槽111沿底座110的水平方向设置，方形槽112开设于底座110的一端。

请参阅图2，图2为发明一实施例提供的泵浦源组件的结构示意图，泵浦源组件120包括泵浦源夹持支架121、环形半导体泵浦源122及衰减片夹持部123。

泵浦源夹持支架121呈倒T型，其水平部1211可沿燕尾槽111滑动。

环形半导体泵浦源122固定设于泵浦源夹持支架121的竖直部1212，泵浦源夹持支架121的竖直部1212还开设有与环形半导体泵浦源122圆心重合的通孔1213，包括冷却热沉1221、封装于冷却热沉1221上的若干水平线Bar1222、开设于冷却热沉1221上的冷却水输入口1223及冷却水输出口(图未示)。

优选地，水平线Bar1222为15条，且等间距地封装于冷却热沉1221上。

可以理解，通过冷却水输入口1223及冷却水输出口可以对水平线Bar1222进行通水冷却。

优选地，泵浦源夹持支架121的竖直部1212还设有两个通水孔(图未示)，两个通水孔分别与冷却水输入口1223及冷却水输出口重合。可以理解，通过通水孔1214可以对环形半导体泵浦源122进行冷却水输入及输出。

衰减片夹持部123固定设于泵浦源夹持支架121的竖直部1212上，且与环形半导体泵浦源122位于竖直部1212的同一侧，衰减片夹持部123用于夹持衰减片124。

优选地，衰减片夹持部123上开设有若干夹持槽1231及贯穿夹持槽1231的螺孔1232，通过螺母与螺孔1232配合将衰减片124夹持于夹持槽1231内，并通过旋转螺母调节夹持槽1231的宽度。

请参阅图3，图3为本发明一实施例提供的选光器组件的结构示意图，选光器组件130包括选光器支座131、锁紧环132及卡光桶133。

优选地，选光器支座131呈倒T型，其水平部1311可沿燕尾槽111滑动。

优选地，锁紧环132可旋转地安装于选光器支座131的竖直部1312上。

优选地，卡光桶133内部收容有反射镜1331，反射镜1331通过一支杆1332固定连接于锁紧环132，卡光桶133的桶壁上还开设有通光槽1333，反射镜1331的反射面正对通光槽1333，可以理解，通过锁紧环132的旋转可以带动支杆1332旋转，使得通光槽1333对准水平线Bar1222。

优选地，卡光桶133的壁厚不大于3mm，通光槽1333的宽为2mm，长为30mm。

进一步地，锁紧环132可以以360°的旋转角度带动支杆1332旋转；反射镜1331为镀808nm的45°的高反膜反射镜。

优选地，其中选光器支座131的竖直部1312上有刻度，锁紧环132上有指针(图未示)，指针与卡光桶133的通光槽1333方向一致。通过指针与刻度相互配合可以实现锁紧环132 360°定位旋转。

请参阅图4，图4为本发明一实施例提供的发散角测试组件的结构示意图，发散角测试组件140包括CCD采集光具座141及线阵CCD142。

其中，CCD采集光具座141由第一二维移动平台组成，可在燕尾槽111内和方形槽112内沿水平和竖直方向移动。

其中，线阵CCD142安装于CCD采集光具座141上，线阵CCD142的采集面可以围绕线阵CCD142的采集面的中心轴自由旋转，线阵CCD142用于接受经过反射镜1331发射的水平线Bar的辐射激光。

优选地，线阵CCD 142相对于CCD采集光具座141可实现360°旋转。

优选地，线阵CCD 142的采集线长为50mm。

请参阅图5，图5为本发明一实施例提供的光强测试组件的结构示意图，光强测试组件150包括能量采集光具座151及能量计探头152。

其中，能量采集光具座151可在燕尾槽111内和方形槽112内沿水平和竖直方向移动。

其中，能量计探头152通过一可伸缩杆153与能量采集光具座151固定连接，能量计探头152用于接收经反射镜1331反射的水平线Bar1222的辐射光。可以理解，通过上述可伸缩杆153高度的调节，可以改变能量计探头152接收的靶面面积。

优选地，能量计探头152接收靶面直径不小于100mm。

请参阅图6，图6为本发明一实施例提供的光谱测试组件的结构示意图，光谱测试组件160包括光谱采集光具座161及光电探头162。

其中，光谱采集光具座161可在燕尾槽111内和方形槽112内沿水平和竖直方向移动。优选地，光谱采集光具座161开设有螺纹(图未示)，通过调节螺纹可以实现光谱采集光具座161的二维调节。

其中，光电探头162安装于光谱采集光具座161上，用于接收经反射镜1331反射的水平线Bar1222的辐射光。

本发明上述实施例提供的泵浦源检测装置100，在底座110上设置有泵浦源组件120、选光器组件130、发散角测试组件140、光强测试组件150及光谱测试组件160，通过改变泵浦源组件120、选光器组件130和发散角测试组件140之间的相对位置，使发散角测试组件140完全接收选光器组件130选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光快慢轴发散角的测试；通过改变泵浦源组件120、选光器组件130和光强测试组件150之间的相对位置，使光强测试组件150完全接收选光器组件130选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光光强测试；及通过改变泵浦源组件120、选光器组件130和光谱测试组件160之间的相对位置，使光谱测试组件160完全接收选光器组件130选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光光谱测试，从而能够对单线Bar的辐射光的发射强度、快慢轴发散角、光谱特性进行检测，提高环形半导体泵浦源的使用效率和使用寿命。

另外，本发明还提供了一种泵浦源检测方法，包括下述步骤：

步骤S110：将半导体泵浦源122固定于泵浦源夹持支架121上，泵浦源夹持支架121的竖直部1212的通孔1213与环形半导体泵浦源122圆心重合，泵浦源夹持支架121的竖直部1212的两个通水孔分别与冷却水输入口1223及冷却水输出口重合，连接外部水箱与冷却水输入口1223和冷却水输出口并通水，接通环形半导体泵浦源122的电源，使若干水平线Bar产生辐射激光；

优选地，由于泵浦源夹持支架121的竖直部1212的两个通水孔，分别与冷却水输入口1223及冷却水输出口重合。

步骤S120：调节衰减片124，使衰减片124遮蔽环形半导体泵浦源122的内径；

优选地，衰减片夹持部123上开设有若干夹持槽1231及贯穿夹持槽1231的螺孔1232，通过螺母与螺孔1232配合将衰减片124夹持于夹持槽1231内，并通过旋转螺母调节衰减片124的厚度，使衰减片124完全遮蔽环形半导体泵浦源122的内径。

步骤S130：旋转锁紧环132，使通光槽1333对准其中一条水平线Bar1222，记为第一单线Bar，并将卡光桶133推入环形半导体泵浦源122内，反射镜1331反射第一单线Bar的辐射光；

优选地，卡光桶133内部收容有反射镜1331，反射镜1331通过一支杆1332固定连接于锁紧环132，卡光桶133的桶壁上还开设有通光槽1333，反射镜1331的反射面正对通光槽1333，可以理解，通过锁紧环132的旋转可以带动支杆1332旋转，使得通光槽1333对准水平线Bar1222。

步骤S140：将光强测试组件150、发散角测试组件140及光谱测试组件160移动至方形槽112内，将发散角测试组件140移动至燕尾槽112内，移动CCD采集光具座141，使线阵CCD142接收经反射镜1331反射的第一单线Bar的辐射光，完成对第一单线Bar的辐射光的快慢轴发散角的测试；

可以理解，由于CCD采集光具座141由第一二维移动平台组成，可在燕尾槽111内和方形槽112内沿水平和竖直方向移动。

步骤S150：旋转锁紧环132，使通光槽1333对准另一条水平线Bar，记为第二单线Bar，反射镜反射所述第二单线Bar的辐射光；

步骤S160：移动CCD采集光具座141，使线阵CCD142接收经反射镜1331反射的第二单线Bar的辐射光，完成对第二单线Bar的辐射光的快慢轴发散角的测试；

步骤S170：重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的快慢轴发散角的测试；

可以理解，重复上述步骤S150至S160可以完成对余下水平线Bar的快慢轴发散角的测试。

步骤S180：旋转锁紧环132，使通光槽1333对准第一单线Bar，反射镜1331反射第一单线Bar的辐射光；

步骤S190：将发散角测试组件140移动至方形槽112内，及将能量采集光具座151移动至燕尾槽111，并调节能量采集光具座151使能量计探头152接收经反射镜1331反射的第一单线Bar的辐射光，完成对第一单线Bar的辐射光的光强测试；

可以理解，由于可伸缩杆153高度可调节，从而可以改变能量计探头152接收的靶面面积。

步骤S200：旋转锁紧环132，使通光槽1333对准第二单线Bar，反射镜1331反射第二单线Bar的辐射光；

步骤S210：移动能量采集光具座151，使能量计探头152接收经反射镜1331反射的第二单线Bar的辐射光，完成对第二单线Bar的辐射光的光强测试；

重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的光强测试；

可以理解，重复上述步骤S200至S210可以完成对余下水平线Bar的光强测试。

步骤S220：将光强测试组件150移动至方形槽112，及将光谱采集光具座160移动至燕尾槽111，并调节光谱采集光具座160使光电探头162接收经反射镜1331反射的第一单线Bar的辐射光，完成对第一单线Bar的辐射光的光谱测试；

优选地，光谱采集光具座161开设有螺纹(图未示)，通过调节螺纹可以实现光谱采集光具座161的二维调节。

步骤S230：旋转锁紧环132，使通光槽1333对准第二单线Bar，反射镜1331反射第二单线Bar的辐射光；

步骤S240：移动光谱采集光具座161，使光电探头162接收经反射镜1331反射的第二单线Bar的辐射光，完成对所述第二单线Bar的辐射光的光谱测试；

步骤S250：重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的光谱测试。

可以理解，重复上述步骤S230至S240可以完成对余下水平线Bar的光强测试。

本发明上述实施例提供的泵浦源检测方法，通过改变泵浦源组件120、选光器组件130和发散角测试组件140之间的相对位置，使发散角测试组件140完全接收选光器组件130选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光快慢轴发散角的测试；通过改变泵浦源组件120、选光器组件130和光强测试组件150之间的相对位置，使光强测试组件150完全接收选光器组件130选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光光强测试；及通过改变泵浦源组件120、选光器组件130和光谱测试组件160之间的相对位置，使光谱测试组件160完全接收选光器组件130选出的单线Bar的辐射光，从而实现了对单线Bar的辐射光光谱测试，从而能够对单线Bar的辐射光的发射强度、快慢轴发散角、光谱特性进行检测，提高环形半导体泵浦源的使用效率和使用寿命。

Claims (10)

1.一种泵浦源检测装置，其特征在于，包括：

底座，开设有燕尾槽及方形槽，所述燕尾槽沿所述底座的水平方向设置，所述方形槽开设于所述底座的一端；

泵浦源组件，包括：

泵浦源夹持支架，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑动；

环形半导体泵浦源，固定设于所述泵浦源夹持支架的竖直部，所述泵浦源夹持支架的竖直部还开设有与所述环形半导体泵浦源圆心重合的通孔，包括冷却热沉、封装于所述冷却热沉上的若干水平线Bar、开设于所述冷却热沉上的冷却水输入口及冷却水输出口；及

衰减片夹持部，固定设于所述泵浦源夹持支架的竖直部上，且与所述环形半导体泵浦源位于所述竖直部的同一侧，所述衰减片夹持部用于夹持衰减片，所述衰减片的厚度可调；

选光器组件，包括：

选光器支座，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑动；

锁紧环，可旋转地安装于所述选光器支座的竖直部上；及

卡光桶，其内部收容有反射镜，所述反射镜通过一支杆固定连接于所述锁紧环，所述卡光桶的桶壁上还开设有通光槽，所述反射镜的反射面正对所述通光槽，通过所述锁紧环带动所述支杆旋转，使得所述通光槽对准所述水平线Bar；

发散角测试组件，包括：

CCD采集光具座，由第一二维移动平台组成，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动；

线阵CCD，固定于所述CCD采集光具座上，所述线阵CCD的采集面可以围绕所述线阵CCD的采集面的中心轴自由旋转，所述线阵CCD用于接受经过所述反射镜发射的水平线Bar的辐射激光；

光强测试组件，包括：

能量采集光具座，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动；

能量计探头，通过一可伸缩杆与所述能量采集光具座固定连接，所述能量计探头用于接收经所述反射镜反射的水平线Bar的辐射光；

光谱测试组件，包括：

光谱采集光具座，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动；

光电探头，安装于所述光谱采集光具座上，用于接收经所述反射镜反射的水平线Bar的辐射光。

2.根据权利要求1所述的泵浦源检测装置，其特征在于，所述水平线Bar为15条，且等间距地封装于所述冷却热沉上。

3.根据权利要求1所述的泵浦源检测装置，其特征在于，所述泵浦源夹持支架的竖直部还设有两个通水孔，所述两个通水孔分别与所述冷却水输入口及冷却水输出口重合。

4.根据权利要求1所述的泵浦源检测装置，其特征在于，所述衰减片夹持部上开设有若干夹持槽及贯穿所述夹持槽的螺孔，通过螺母与螺孔配合将所述衰减片夹持于所述夹持槽内。

5.根据权利要求1所述的泵浦源检测装置，其特征在于，所述锁紧环可以以360°的旋转角度带动所述支杆旋转。

6.根据权利要求1所述的泵浦源检测装置，其特征在于，所述卡光桶壁厚不大于3mm，所述通光槽宽为2mm，长为30mm。

7.根据权利要求1所述的泵浦源检测装置，其特征在于，所述反射镜为镀808nm的45°的高反膜反射镜。

8.根据权利要求1所述的泵浦源检测装置，其特征在于，所述线阵CCD采集线长为50mm。

9.根据权利要求1所述的泵浦源检测装置，其特征在于，所述能量计探头接收靶面直径不小于100mm。

10.一种泵浦源检测方法，其特征在于，使用权利要求1-9任一项所述的泵浦源检测装置进行检测，包括下述步骤：

将所述半导体泵浦源固定与所述泵浦源夹持支架上，所述泵浦源夹持支架的竖直部的通孔与所述环形半导体泵浦源圆心重合，所述泵浦源夹持支架的竖直部的两个通水孔分别与所述冷却水输入口及冷却水输出口重合，连接外部水箱与冷却水输入口和冷却水输出口并通水，接通所述半导体泵浦源的电源，使所述若干水平线Bar产生辐射激光；

调节所述衰减片夹持槽的厚度，插入衰减片，使所述衰减片遮蔽所述环形半导体泵浦源的内径；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准其中一条水平线Bar，记为第一单线Bar，并将所述卡光桶推入所述环形半导体泵浦源内，所述反射镜反射所述第一单线Bar的辐射光；

将所述光强测试组件、发散角测试组件及所述光谱测试组件移动至所述方形槽内，将发散角测试组件移动至燕尾槽内，移动所述CCD采集光具座，使所述线阵CCD接收经所述反射镜反射的第一单线Bar的辐射光，完成对所述第一单线Bar的辐射光的快慢轴发散角的测试；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准另一条水平线Bar，记为第二单线Bar，所述反射镜反射所述第二单线Bar的辐射光；

移动所述CCD采集光具座，使所述线阵CCD接收经所述反射镜反射的第二单线Bar的辐射光，完成对所述第二单线Bar的辐射光的快慢轴发散角的测试；

重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的快慢轴发散角的测试；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准所述第一单线Bar，所述反射镜反射所述第一单线Bar的辐射光；

将所述发散角测试组件移动至所述方形槽内，及将所述能量采集光具座移动至所述燕尾槽，并调节所述能量采集光具座使所述能量计探头接收经所述反射镜反射的第一单线Bar的辐射光，完成对所述第一单线Bar的辐射光的光强测试；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准所述第二单线Bar，所述反射镜反射所述第二单线Bar的辐射光；

移动所述能量采集光具座，使所述能量计探头接收经所述反射镜反射的第二单线Bar的辐射光，完成对所述第二单线Bar的辐射光的光强测试；

重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的光强测试；

将所述光强测试组件移动至所述方形槽，及将所述光谱采集光具座移动至所述燕尾槽，并调节所述光谱采集光具座使所述光电探头接收经所述反射镜反射的第一单线Bar的辐射光，完成对所述第一单线Bar的辐射光的光谱测试；

旋转所述锁紧环，使所述通光槽对准所述第二单线Bar，所述反射镜反射所述第二单线Bar的辐射光；

移动所述光谱采集光具座，使所述光电探头接收经所述反射镜反射的第二单线Bar的辐射光，完成对所述第二单线Bar的辐射光的光谱测试；

重复上述步骤，完成对余下所述水平线Bar的光谱测试。