CN104155779A - 电光调变器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种电光调变器，包括基底和形成在基底上的光波导，该光波导包括第一分支和第二分支，该第一分支位于基底的第一部份，该第一部份中的一部份极化反转。与现有技术相比，利用极化反转，在提供相同方向的电场下，仍可对光波相位作对称式调变。
Description
技术领域
本发明涉及电光调变器，尤其涉及一种马赫任德（Mach Zehnder）电光调变器。
背景技术
马赫任德（Mach Zehnder）电光调变器是一种常见的电光调变器。马赫任德电光调变器主要是由两个平行波导及对称的y分岔型波导所构成。在设计对称电极结构的马赫任德电光调变器，为利用在分支波导中所受到的异向（相反180度）电场，对分支中的光波作对称式调变，以达到提高调变效率的方式，但因为需制作的电极数目较多，故会提高制作难度及不良率。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种马赫任德电光调变器，其能够解决上述问题。
一种电光调变器，包括基底和形成在基底上的光波导，该光波导包括第一分支和第二分支，该第一分支位于基底的第一部份，该第一部份中的一部份极化反转。
与现有技术相比，利用极化反转，在提供相同方向的电场下，仍可对光波相位作对称式调变。
附图说明
图1为本发明的电光调变器的俯视图。
图2为本发明的电光调变器的剖视图。
主要元件符号说明
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。
请参阅图1和2，本发明提供一种马赫任德（Mach Zehnder）电光调变器10，其包括一基底20、一光波导30、一第一电极41、一第二电极42、第三电极43。
该基底20包括一个顶面21。该光波导30自该顶面21向该基底20的内部扩散而成，其包括入射段31、出射段32、第一分支33和第二分支34。
在本实施方式中，由于铌酸锂(LiNbO3)晶体(LN)具有较高的反应速度，因此，该基底20的材料采用铌酸锂晶体。
在本实施方式中，入射段31、出射段32、第一分支33和第二分支34通过在该基底上扩散金属钛（单质）形成，且入射段31、出射段32、第二分支34具有相同的宽度。
在本实施方式中，该入射段31、出射段32、第二分支34沿着同一直线延伸。该第一分支33包括两个与第二分支34相连接的倾斜部331以及一与第二分支34相平行的平行部332，该平行部332的两端与两个倾斜部331的末端相连，使得第一分支33和第二分支34相连接而构成一梯形。
在本实施方式中，第一分支33位于基底20的第一部份22，该第一部份22的一部份极化反转。为了形成均匀的极化反转，需要使用至少21 kV/mm的高压均匀电场施加在所述需要极化反转的区域。在本实施方式中，所述极化反转区域为平行部332所对应的位置，即所述极化反转区域的极性与其它区域的极性相反。
在本实施方式中，该第一电极41、第二电极42和第三电极43设置于基底20的顶面21上。该第一电极41比第二电极42和第三电极43宽，第一电极41覆盖第一分支33的平行部332以及第二分支34的一部份。第二电极42位于第一分支33的外侧，第三电极43位于第二分支34的外侧。
制作时，先利用高压的矫顽电埸来作制极化反转区域，再将约700nm的钛金属薄膜镀于铌酸锂表面上，再利用约摄氏1020度的高温将钛扩散入铌酸锂中，以形成马赫任德电光调变器中的光波导，之后，在表面镀上一层薄的SiO2来避免金属直接与波导接触产生过大的损耗，之后镀上金属电极，最后接上调变讯号源，形成电光调变器。
利用铌酸锂基材的极化反转现象，将经第一分支33的作平行部332极性的反转，而在极性反转区域中，光波在相位上的传播特性，会与非极性反转区域有着180度的相位差，因此在相同方向的调变电场下，在第一分支33和第二分支34中的光波，亦可作对称式的调变（即在第一分支33和第二分支34中的光波存在180度的相位差）。
Claims (6)
1.一种电光调变器，包括基底和形成在基底上的光波导，该光波导包括第一分支和第二分支，该第一分支位于基底的第一部份，其特征在于，该第一部份中的一部份极化反转。
2.如权利要求1所述的电光调变器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。
3.如权利要求1所述的电光调变器，其特征在于，第一分支和第二分支通过在该基底上扩散金属钛形成。
4.如权利要求1所述的电光调变器，其特征在于，该第一分支包括两个与第二分支相连接的倾斜部以及一与第二分支相平行的平行部，该平行部的两端与两个倾斜部的末端相连。
5.如权利要求4所述的电光调变器，其特征在于，该第一部份中与该平行部对应的部份极化反转。
6.如权利要求5所述的电光调变器，其特征在于，还包括第一电极、第二电极和第三电极，第一电极覆盖所述平行部以及部份第二分支，第二电极和第三电极位于第一分支和第二分支的外侧。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |