CN104111262A - 晶体定向仪中的手动微调倾斜台 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种晶体定向仪中的手动微调倾斜台，包括：上板合件、下板合件以及连接机构，其中上板合件与下板合件之间通过支撑轴支撑，连接机构安装于上板合件和下板合件之间，上板合件)端部设有调整手轮，调整手轮通过连接结构带动上板合件绕支撑轴旋转。本发明通过调整达到上板合件的角度微调变化，结构调整简单、方便，时间短，提高了设备使用的效率，保证了角度的微调，提高了仪器测量的准确性。

Description

晶体定向仪中的手动微调倾斜台
技术领域
本发明涉及一种微调倾斜台，具体的说是一种晶体定向仪中的手动微调倾斜台。
背景技术
晶体定向仪是蓝宝石毛坯晶坨加工成C(或A、M、R)晶向的晶棒方向准确定向的专用仪器。以多角度蓝宝石晶坨掏棒定向仪为例，是由升降传动机构、旋转机构、倾斜机构、测角仪、数据计算装置及控制装置所组成。由于倾斜机构是蓝宝石晶坨掏棒定向仪中关键的装置，直接影响晶棒的C(或A、M、R)晶向及晶棒测量和运动后测量能否保持稳定的角度。由于需要测量C(或A、M、R)晶向,而每个晶向的测量角度不同，现阶段倾斜机构主要通过扳手旋转顶丝杆调整晶坨测量面相对于水平面的方向，因为是空间角度，所以需要圆周分布的多个顶丝杆来调整晶坨测量面的角度变化，这样结构调整费时、费力、影响了设备的使用效率，而且不容易保证角度的稳定。
发明内容
针对现有技术中晶体定向仪的倾斜机构存在调整费时、影响设备的使用效率，无法保证角度稳定等不足，本发明要解决的技术问题是提供一种组装调整方便、故障率低、重复定位精度高且设备使用效率高的晶体定向仪中的手动微调倾斜台。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
本发明晶体定向仪中的手动微调倾斜台包括：上板合件、下板合件以及连接机构，其中上板合件与下板合件之间通过支撑轴支撑，连接机构安装于上板合件和下板合件之间，上板合件端部设有调整手轮，调整手轮通过连接结构带动上板合件绕支撑轴旋转。
所述连接机构包括两个摆动板、下螺钉轴以及上螺钉轴，其中下螺钉轴穿过第一摆动板转动连接于下板合件上，第二摆动板通过上螺钉轴(45)与上板合件进行转动连接。
所述连接机构还包括两个轴承座和轴承，上板合件的前轴通过两个轴承座和轴承进行转动连接，形成上板合件旋转的支撑轴。
所述上板合件包括上板以及调整机构，其中调整机构安装在上板的下端面上，具有丝杠、丝母以及燕尾轨道，其中燕尾轨道安装在上板的下端面，丝杠两端通过丝杠前座与丝杠后座固定在上板的下端面上对应燕尾轨道的部位，调整手轮固定安装在丝杠的一端，丝母以燕尾轨道为导向，在丝杠上做直线运动。
所述上板合件还包括两个尾座，其安装于上板合件下端面一侧两端，位置与下板合件中的两个后轴座分别对应。
所述下板合件包括锁紧手轮、后轴座、下板、后轴、前轴座、前轴以及中定位板、边定位板，其中后轴和前轴分别通过两端的后轴座及前轴座固定在下板上，边定位板和中定位板固定在下板上，通过连接结构与上板形成连接；
所述后轴和前轴两端均设有锁紧手轮、后轴、后轴座与上板合件中的尾座通过锁紧手轮锁紧，前轴座与连接机构中的轴承座通过锁紧手轮锁紧。
本发明具有以下有益效果及优点：
1.本发明通过前轴和前轴座的支撑，利用丝杠丝母的相对移动、燕尾轨道的导向以及连接结构的无间隙转动配合连接，达到上板合件的角度微调变化，结构调整简单、方便，时间短，提高了设备使用的效率。
2.本发明由于丝杠和丝母的相对位移可以很小，保证了角度的微调。
3.本发明通过前轴和后轴两端四个锁紧手轮保证调整后的上板合件角度不发生变化，使得被测量的晶棒测量面角度稳定，提高了仪器测量的准确性。
4.本发明工艺简单、组装调整方便、故障率低、维修方便、重复定位精度高，外表美观并具提高了设备使用效率。
附图说明
图1为本发明的手动微调倾斜台结构示意图；
图2为本发明的上板合件俯视图；
图3为本发明的上板合件主视剖面图；
图4为本发明的下板合件结构示意图；
图5为本发明的连接结构示意图。
其中，1为下板合件，11为前轴，12为前轴座，13为后轴，14为下板，15为后轴座，16为锁紧手轮，17为边定位板，18为中定位板，2为上板合件，21为支撑轴承，22为丝杠，23为丝母，24为燕尾轨道，25为丝杆前座，26为调整手轮，27为上板，28为尾座，3为螺钉，4为连接机构，41a为第一摆动板，41b为第二摆动板，42为轴承，43为轴承座，44为下螺钉轴，45为上螺钉轴。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本发明作进一步阐述。
本发明提出晶体定向仪中的手动微调倾斜台，上、下板合件通过中间支撑轴为中心，手动旋转达到上板倾斜的微调，通过两端的锁紧机构可以保证倾斜角度的稳定。
如图1所示，本发明晶体定向仪中的手动微调倾斜台包括：上板合件2、下板合件1以及连接机构4，其中上板合件2与下板合件1之间通过支撑轴支撑，连接机构4安装于上板合件2和下板合件1之间，上板合件2端部设有调整手轮26，调整手轮26通过连接结构4带动上板合件2绕支撑轴旋转，达到上板合件2角度变化，使得被测量的晶棒面产生角度变化。
如图2、3所示，上板合件2包括上板27以及调整机构，其中调整机构安装在上板27的下端面上，具有丝杠22、丝母23以及燕尾轨道24，其中燕尾轨道24安装在上板27的下端面，丝杠22两端通过丝杠前座25与丝杠后座20固定在上板27的下端面上对应燕尾轨道24的部位，调整手轮26固定安装在丝杠22的一端，丝母23以燕尾轨道24为导向，在丝杠22上做直线运动；上板合件2还包括两个尾座28，其安装于上板合件2下端面一侧两端，位置与下板合件1中的两个后轴座15分别对应。
如图4所示，下板合件1包括锁紧手轮16、后轴座15、下板14、后轴13、前轴座12、前轴11以及中定位板18、边定位板17，其中后轴13和前轴11的两端分别通过后轴座15及前轴座12固定在下板14上，边定位板17和中定位板18也固定在下板14上，通过连接结构4与上板27形成连接；
后轴13和前轴11两端均设有锁紧手轮16，后轴13、后轴座15与上板合件2中的尾座28通过锁紧手轮16锁紧，前轴座12与连接机构4中的轴承座43通过锁紧手轮16锁紧。通过前轴11和后轴13两端共四个锁紧手轮16保证调整后的上板合件2角度不发生变化，使得被测量的晶棒测量面角度稳定。提高了仪器测量的准确性。
如图5所示，连接机构4包括两个摆动板41、下螺钉轴(44)以及上螺钉轴45，其中下螺钉轴44穿过第一摆动板41a转动连接于下板合件1上，第二摆动板41b通过上螺钉轴45与上板合件2进行转动连接；连接机构4还包括两个轴承座43和轴承42，上板合件2的前轴11通过两个轴承座43和轴承42进行转动连接，形成上板合件2旋转的支撑轴。
本发明的工作过程如下：
上板合件2与下板合件1通过连接结构4连接，手动扭转调整手轮26形成以前轴11和前轴座12为中心旋转微调角度的上板合件2；上板合件2中丝杠22固定在丝杠前座25与丝杠后座20之间，丝杠前座25与丝杠后座20一同固定在上板27上，当扭动调整手轮26时，调整手轮26带动丝杠22转动，丝母23以燕尾轨道24为导向，在丝杠22上形成稳定、无窜动的直线运动；下板合件1中前轴11通过两端前轴座12、后轴13通过两端后轴座15固定在下板14上，在前轴11和后轴13的两端有锁紧手轮16，四个手轮可同时锁紧前轴11与后轴13的转动，并且固定上板合件2的转动。边定位板17和中定位板18固定在下板14上，通过连接结构4与上板27形成连接；连接结构4里下螺钉轴44穿过第一、二摆动板41a、41b与边定位板17和中定位板18相连接，下螺钉轴44与边定位板17和中定位板18孔配合为无间隙转动配合,这样第一、二摆动板41a、41b可在边定位板17与中定位板18间摆动；第一、二摆动板41a、41b通过上螺钉轴45与丝母23连接，上螺钉轴45在与丝母23上孔的配合为无间隙转动配合，这样当丝母23做直线运动时，上螺钉轴45带动第一、二摆动板41a、41b绕下螺钉轴44转动；在对应前轴11与前轴座12固定下板14的位置有两个轴承座43，通过内六角圆柱头螺钉3与上板2相连接，轴承座43中安装有深沟球轴承42(本实施例采用深沟球轴承)，一同安装在前轴11上，这样形成了一个绕前轴11和两端轴承座43为中心转动的上板合件2，又因为第一、二摆动板41a、41b连接了上、下板合件2、1，因此当扭动调整手轮26，使得上板合件2绕前轴11与轴承座43为中心转动角度，形成手动微调倾斜台装置。

Claims (7)

1.一种晶体定向仪中的手动微调倾斜台，其特征在于包括：上板合件(2)、下板合件(1)以及连接机构(4)，其中上板合件(2)与下板合件(1)之间通过支撑轴支撑，连接机构(4)安装于上板合件(2)和下板合件(1)之间，上板合件(2)端部设有调整手轮(26)，调整手轮(26)通过连接结构(4)带动上板合件(2)绕支撑轴旋转。 
2.按权利要求1所述的晶体定向仪中的手动微调倾斜台，其特征在于：所述连接机构(4)包括两个摆动板、下螺钉轴(44)以及上螺钉轴(45)，其中下螺钉轴(44)穿过第一摆动板(41a)转动连接于下板合件(1)上，第二摆动板(41b)通过上螺钉轴(45)与上板合件(2)进行转动连接。 
3.按权利要求1所述的晶体定向仪中的手动微调倾斜台，其特征在于：所述连接机构(4)还包括两个轴承座(43)和轴承(42)，上板合件(2)的前轴(11)通过两个轴承座(43)和轴承(42)进行转动连接，形成上板合件(2)旋转的支撑轴。 
4.按权利要求1所述的晶体定向仪中的手动微调倾斜台，其特征在于：所述上板合件(2)包括上板(27)以及调整机构，其中调整机构安装在上板(27)的下端面上，具有丝杠(22)、丝母(23)以及燕尾轨道(24)，其中燕尾轨道(24)安装在上板(27)的下端面，丝杠(22)两端通过丝杠前座(25)与丝杠后座(20)固定在上板(27)的下端面上对应燕尾轨道(24)的部位，调整手轮(26)固定安装在丝杠(22)的一端，丝母(23)以燕尾轨道(24)为导向，在丝杠(22)上做直线运动。 
5.按权利要求4所述的晶体定向仪中的手动微调倾斜台，其特征在于：所述上板合件(2)还包括两个尾座(28)，其安装于上板合件(2)下端面一侧两端，位置与下板合件(1)中的两个后轴座(15)分别对应。 
6.按权利要求1所述的晶体定向仪中的手动微调倾斜台，其特征在于：所述下板合件(1)包括锁紧手轮(16)、后轴座(15)、下板(14)、后轴(13)、前轴座(12)、前轴(11)以及中定位板(18)、边定位板(17)，其中后轴(13)和前轴(11)分别通过两端的后轴座(15)及前轴座(12)固定在下板(14)上，边定位板(17)和中定位板(18)固定在下板(14)上，通过连接结构(4)与上板(27)形成连接。 
7.按权利要求6所述的晶体定向仪中的手动微调倾斜台，其特征在于：所述后轴(13)和前轴(11)两端均设有锁紧手轮(16)、后轴(13)、后轴座(15)与上板合件(2)中的尾座(28)通过锁紧手轮(16)锁紧，前轴座(12)与连接机构(4)中的轴承座(43)通过锁紧手轮(16)锁紧。 
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