CN104016154A - 一种分片装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种分片装置，包括进料单元、吸取单元及负压单元，负压单元包括负压箱、设置在负压箱上的至少一个抽气孔、密封箱体、与密封箱体相连接的抽气泵和抽液泵，这些抽气孔分别连通至密封箱体，负压吸附孔与负压箱相连通，负压箱部分位于水槽内，其中至少一个抽气孔位于靠近水槽中水面上方的位置。本设计在水中进行分片，并通过负压动力对片体进行吸附和输送，通过一密封箱体及与之连接的抽气泵和抽液泵将气和液分离，并将分离出的水送回至水槽中，以保持水槽中的水量利于分片，并保证密封箱体中的可抽负压的空间，进而提高负压吸附孔的吸附力，同时能够大限度地利用负压箱内的可抽负压体积，提高负压工作效率，结构可靠，适于推广应用。

Description

一种分片装置

技术领域

本发明涉及一种硅片处理设备，特别是涉及一种在水下进行分片的分片装置。

背景技术

在对硅片进行插片之前要先对堆叠的硅片进行分片，而由于硅片轻质、易碎，且相邻硅片之间存在一定的吸附力，所以选择在水中进行分片，分片时一般利用负压吸附来实现分片和输送，这样就会导致水槽中的部分水随负压工作而被抽出，会造成水槽中的水不断减少而不利于分片，另外，也会影响负压吸附的效率。

发明内容

针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种分片装置，其能够将被抽走的水分离出后送回至水槽中，保证分片工作高效、顺利地进行。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种分片装置，包括进料单元、吸取单元及负压单元，所述的进料单元设置在一水槽内，所述的进料单元中放置有包括沿水平方向叠放有多个基片的基片堆，每个所述的基片沿大致竖直面布置；所述的吸取单元包括输送带，所述的输送带上设置有若干与一负压动力源相连通的负压吸附孔，所述的输送带有部分设置在所述的水槽内并且该部分延伸至所述的进料单元，当所述的基片堆沿进给方向进给时，所述的基片堆中的基片能够逐个被所述的输送带上的负压吸附孔吸附并随输送带移动；所述的负压单元用于向所述的负压吸附孔提供所述的负压动力源，所述的负压单元包括设置在所述的输送带内部的负压箱、设置在所述的负压箱上的至少一个抽气孔、一个密封箱体、与所述的密封箱体相连接的抽气泵和抽液泵，所述的抽气孔通过管体连通至所述的密封箱体，若干个所述的负压吸附孔均与所述的负压箱相连通，所述的负压箱部分位于所述的水槽内。

优选地，所述的负压箱上设置有第一抽气孔和第二抽气孔，所述的第一抽气孔位于所述的负压箱的中部以上的位置，所述的第二抽气孔位于所述的水槽中水面以上且靠近水面的位置。

优选地，所述的抽液泵的入口端连通至与所述的密封箱体、出口端连通至所述的水槽。

优选地，所述的密封箱体上设置有高位液位传感器和低位液位传感器，所述的高位液位传感器和所述的低位液位传感器均信号连接至一控制单元，所述的控制单元输出的控制信号连接至所述的抽液泵的信号控制端。

优选地，所述的密封箱体的相对两侧壁上分别设置有多个隔板，这些所述的隔板相间隔交错设置，这些所述的隔板与所述的密封箱体的内壁之间形成蛇形的气液分离通道。

本发明的有益效果在于：本设计在水中进行分片，并通过负压动力对片体进行吸附和输送，通过一密封箱体及与之连接的抽气泵和抽液泵将气和液分离，并将分离出的水送回至水槽中，以保持水槽中的水量利于分片，并保证密封箱体中的可抽负压的空间，进而提高负压吸附孔的吸附力，同时能够大限度地利用负压箱内的可抽负压体积，提高负压工作效率，结构可靠，适于推广应用。

附图说明

附图1为本发明的分片装置中的进料单元与吸取单元的结构示意图；

附图2为本发明的分片装置的结构示意图。

附图中：10、进料单元；101、水槽；102、基片堆；20、吸取单元；201、输送带；30、负压单元；301、负压箱；3011、第一抽气孔；3012、第二抽气孔；302、密封箱体；3021、高位液位传感器；3022、低位液位传感器；303、抽气泵；304、抽液泵；40、控制单元。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本发明作以下详细描述：

如附图1及附图2所示，一种分片装置，包括进料单元10、吸取单元20及负压单元30，进料单元10设置在一水槽101内，其中，进料单元10中放置有包括沿水平方向叠放有多个基片的基片堆102，每个基片沿大致竖直面布置；吸取单元20包括输送带201，输送带201上设置有若干与负压动力源相连通的负压吸附孔，输送带201有部分设置在水槽101内并且该部分延伸至进料单元10，当基片堆102沿进给方向进给时，基片堆102中的基片能够逐个被输送带201上的负压吸附孔吸附并随输送带201移动；负压单元30用于向负压吸附孔提供上述的额负压动力源，负压单元30包括设置在输送带201内部的负压箱301、设置在负压箱301上的第一抽气孔3011和第二抽气孔3012、一个密封箱体302、与密封箱体302相连接的抽气泵303和抽液泵304，第一抽气孔3011和第二抽气孔3012通过管体连通至密封箱体302，若干个负压吸附孔均与负压箱301相连通，负压箱301部分位于水槽101内，第一抽气孔3011位于所述的负压箱301的中部以上的位置，第二抽气孔3012位于水槽101中水面以上且靠近水面的位置；由于负压箱301内被抽吸而产生负压，这时，被从负压吸附孔抽进负压箱301的水会混杂在气体中，但这些水气大多位于第二抽气孔3012的位置周围，所以在抽气泵303和抽液泵304的作用下，这些水气会从第二抽气孔3012沿管体抽入密封箱体302内，密封箱体302的相对两侧壁上分别设置有多个隔板，这些隔板相间隔交错设置，这些隔板与密封箱体302的内壁之间形成蛇形的气液分离通道；当然，上述实施例只是给出了包括两个抽气孔的方式，也可以选择只开设一个抽气孔，且该抽气孔位于稍稍靠近水槽101的水面以上的位置，保证带水的气体能够被抽吸；或者为了取得更好的吸附效果，可以增设抽气孔的数量，但要保证其中至少一个抽气孔是位于水槽101中水面以上且靠近水面的位置。

更具体地，抽液泵304的入口端连通至与密封箱体302、出口端连通至水槽101，密封箱体302上设置有高位液位传感器3021和低位液位传感器3022，高位液位传感器3021和低位液位传感器3022均信号连接至一控制单元40，控制单元40输出的控制信号连接至抽液泵304的信号控制端。

当然根据水和气的特性，抽气泵303连接在密封箱体302的顶部位置，抽液泵304连接在密封箱体302的底部位置。

随着水槽101中分片工作的进行，位于水槽101中的部分输送带201上的对应的负压吸附孔会导致水槽101中的水进入负压箱301中，由于负压抽吸的作用，水气混合，且位于多数位于第二抽气孔3012附近，在抽气泵303和抽液泵304的作用下，水气从第二抽气孔3012沿管体进入密封箱体302内，在密封箱体302内由于各隔板作用下，气体沿蛇形的气液分离通道上升至密封箱体302的上部而被抽气泵303抽走，液体留在密封箱体302的下部进行积累，当累计水量达到高位液位传感器3021时，其输出信号送至控制单元40，控制单元40控制抽液泵304开启而将水抽出并回送至水槽101内，随着抽水的进行，当水面高度降至低位液位传感器3022的位置时，其将输出信号送至控制单元40，控制单元40控制抽液泵304关闭而停止工作，直至水面再次上升至高位液位传感器3021的位置时重新开启，依此进行循环，保证分片和输送高效、有序地进行。

上述的基片堆102是硅棒或硅锭在切割后经脱胶得到的，这些基片相平行地沿水平方向排列，且每片基片大致沿竖直面分布，即侧面面向具有负压吸附孔的输送带201。

本设计在水中进行分片，并通过负压动力对片体进行吸附和输送，通过一密封箱体302及与之连接的抽气泵303和抽液泵304将气和液分离，并将分离出的水送回至水槽101中，以保持水槽101中的水量，即利于分片的水量，同时能够大限度地利用负压箱301内的可抽负压体积，提高负压工作效率，结构可靠，适于推广应用。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种分片装置，其特征在于：该装置包括：

进料单元，其设置在一水槽内，所述的进料单元中放置有包括沿水平方向叠放有多个基片的基片堆，每个所述的基片沿大致竖直面布置；

吸取单元，其包括输送带，所述的输送带上设置有若干与一负压动力源相连通的负压吸附孔，所述的输送带有部分设置在所述的水槽内并且该部分延伸至所述的进料单元，当所述的基片堆沿进给方向进给时，所述的基片堆中的基片能够逐个被所述的输送带上的负压吸附孔吸附并随输送带移动；

 负压单元，其用于向所述的负压吸附孔提供所述的负压动力源，所述的负压单元包括设置在所述的输送带内部的负压箱、设置在所述的负压箱上的至少一个抽气孔、一个密封箱体、与所述的密封箱体相连接的抽气泵和抽液泵，所述的抽气孔通过管体连通至所述的密封箱体，若干个所述的负压吸附孔均与所述的负压箱相连通，所述的负压箱部分位于所述的水槽内。

2.根据权利要求1所述的一种分片装置，其特征在于：所述的负压箱上设置有第一抽气孔和第二抽气孔，所述的第一抽气孔位于所述的负压箱的中部以上的位置，所述的第二抽气孔位于所述的水槽中水面以上且靠近水面的位置。

3.根据权利要求1所述的一种分片装置，其特征在于：所述的抽液泵的入口端连通至与所述的密封箱体、出口端连通至所述的水槽。

4.根据权利要求1所述的一种分片装置，其特征在于：所述的密封箱体上设置有高位液位传感器和低位液位传感器，所述的高位液位传感器和所述的低位液位传感器均信号连接至一控制单元，所述的控制单元输出的控制信号连接至所述的抽液泵的信号控制端。

5.根据权利要求1所述的一种分片装置，其特征在于：所述的密封箱体的相对两侧壁上分别设置有多个隔板，这些所述的隔板相间隔交错设置，这些所述的隔板与所述的密封箱体的内壁之间形成蛇形的气液分离通道。