CN103994232A - 一种宽量程精密真空漏气阀 - Google Patents

Abstract

一种宽量程精密真空漏气阀，属于流体传动与控制技术领域，涉及一种真空阀门。本发明在低、中真空进行手动大幅调节，在中、高真空进行静电精密调节，实现了在较宽压力范围内漏率的精密连续调节；且耐高温烘烤、具有良好的气密性。本发明包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，在上阀体的侧壁上设置有调节螺栓，上阀体通过调节螺栓与调节手柄相连接，在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰。

Description

一种宽量程精密真空漏气阀

技术领域

本发明属于流体传动与控制技术领域，涉及一种真空阀门，特别是涉及一种宽量程精密真空漏气阀。

背景技术

由于真空下气体密度小、平均分子自由程长以及单分子层形成时间长等，真空系统在粒子加速、空间模拟、表面研究及微细加工等领域都有广泛应用。对于真空系统来说，能够获得并保持一定真空度是完成各种研究的基本条件。为使真空系统获得并保持一定真空度，真空获得设备、测量与检漏设备和真空调节元件都不可缺少。高真空微调阀在高真空系统中的作用尤为重要，它可以精确调节系统真空度、控制实验气体充入以及补偿系统泄漏长时间维持系统真空度。

现有国产真空微调阀又称真空针阀，靠螺杆传动来调节锥形针和孔的缝隙长度，改变阀座流导值，用以调节流量装置的气体流量和控制真空容器的真空度。由于阀针呈锥状，通过调整针阀的上下移动位移能够调整阀针与阀座中心孔之间的间隙，进而调整流通量。此种结构，针阀随阀杆的旋转而转动，在阀针压紧阀座中心孔时，由于阀针受转动力矩的作用，磨损快，甚至会导致阀针出现断针的问题；在加工上，很难保证阀杆、阀针、阀座的同轴度而导致调整精度较低。国内产品多为在低真空或高真空区域内调节，以致在低、中、高真空区域范围内调节的产品成本过高。

国外精密漏气阀通过一套精密的杠杆螺旋机构，传递改变其密封面压力大小实现漏率调节及控制。其密封为蓝宝石的光学平面与铜垫圈压紧形式。蓝宝石作为阀体的压紧部分，可以有效的控制气体的流量，并且可以在烘烤及环境比较恶劣的条件下工作，从而可以实现真空室内压力的精确可调。由于采用杠杆螺旋机构，造成了在超高真空的调节时，微小的变动都会对真空室的真空度造成较大的影响，给实验及科研带来很大的不便。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供一种宽量程精密真空漏气阀，该漏气阀在低、中真空进行手动大幅调节，在中、高真空进行静电精密调节，实现了在较宽压力范围内漏率的精密连续调节；且耐高温烘烤、具有良好的气密性。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种宽量程精密真空漏气阀，包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，阀芯的顶部穿过第一通孔设置在第一凹槽与阀盖形成的腔体内，在阀芯壳体的顶部设置有螺母，在螺母与第一凹槽的底面之间的阀芯外设置有压缩弹簧，在上阀体上部的侧壁上设置有调节螺栓，在调节螺栓的两端面上均设置有倒锥形凹槽，且两端的倒锥形凹槽的底部相连通；上阀体通过调节螺栓与调节手柄相连接，调节手柄的内端穿过调节螺栓的倒锥形凹槽后，通过连接螺栓与阀芯的顶端相连接，调节手柄的外端与调节杆相连接；在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，第二凹槽与第三凹槽之间通过第二通孔相连通，第二通孔与阀芯底部相对应，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰，第二法兰的内部通过设置在下阀体的侧壁上的第三通孔与第二凹槽相连通。

所述调节手柄的内端由两段组成，且两段之间通过横置的弹簧片组相连接，弹簧片组由若干根并联的弹簧片组成。

所述阀芯包括壳体，在壳体的底部设置有密封块，密封块的底面为光学平面，密封块的底面与下阀体的第二通孔相对应；在壳体的顶面上设置有芯体凹槽，在芯体凹槽的内壁上设置有绝缘层，在芯体凹槽的内部设置有压电叠堆，压电叠堆由若干个竖直排列的压电陶瓷片和固定在相邻压电陶瓷片之间的绝缘玻璃和导电片组成，在横向上绝缘玻璃和导电片左右相邻设置，且在纵向上绝缘玻璃和导电片的位置左右交替设置，设置在压电叠堆顶端和底端的压电陶瓷片分别通过两条外导线相连接，压电叠堆的底端固定在芯体凹槽的绝缘层上，压电叠堆的顶端固定有压电叠堆上盖，压电叠堆上盖与芯体凹槽的绝缘层之间通过动密封相连接；所述连接螺栓的底部与压电叠堆上盖相连接；在压电叠堆上盖上固定有两个电极柱，两个电极柱的底端分别通过内导线与两条外导线相连接，两个电极柱的顶端分别通过导线与电机座的正、负极相连接；所述密封块采用蓝宝石。

在所述上阀体的底面上设置有第四凹槽，在下阀体的顶面上设置有第五凹槽，在第四、第五凹槽之间设置具有通孔的隔板，所述阀芯底部穿过隔板的通孔设置在第二凹槽内。

在所述下阀体上设置有垫圈组件，垫圈组件由底座和固定在底座上的垫圈组成，垫圈与密封块相对应，底座设置在第二通孔内，在底座内设置有通气孔，所述通气孔为阶梯通气孔，其上部通孔的内径小于下部通孔的内径，且上部通孔与垫圈通孔相对应。

一种宽量程精密真空漏气阀，包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，阀芯的顶部穿过第一通孔设置在第一凹槽与阀盖形成的腔体内，在阀芯壳体的顶部设置有螺母，在螺母与第一凹槽的底面之间的阀芯外设置有压缩弹簧，在阀盖的顶面上设置有螺纹孔，阀盖通过螺纹孔与竖置的螺杆相连接，螺杆的底端与阀芯的顶端相连接；在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，第二凹槽与第三凹槽之间通过第二通孔相连通，第二通孔与阀芯底部相对应，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰，第二法兰的内部通过设置在下阀体的侧壁上的第三通孔与第二凹槽相连通。

所述螺杆设置在上阀体内部的一端由两段组成，且两段之间通过竖置的弹簧片组相连接，弹簧片组由若干根并联的弹簧片组成。

所述阀芯包括壳体，在壳体的底部设置有密封块，密封块的底面为光学平面，密封块的底面与下阀体的第二通孔相对应；在壳体的顶面上设置有芯体凹槽，在芯体凹槽的内壁上设置有绝缘层，在芯体凹槽的内部设置有压电叠堆，压电叠堆由若干个竖直排列的压电陶瓷片和固定在相邻压电陶瓷片之间的绝缘玻璃和导电片组成，在横向上绝缘玻璃和导电片左右相邻设置，且在纵向上绝缘玻璃和导电片的位置左右交替设置，设置在压电叠堆顶端和底端的压电陶瓷片分别通过两条外导线相连接，压电叠堆的底端固定在芯体凹槽的绝缘层上，压电叠堆的顶端固定有压电叠堆上盖，压电叠堆上盖与芯体凹槽的绝缘层之间通过动密封相连接；所述螺杆的底部与压电叠堆上盖相连接；在压电叠堆上盖上固定有两个电极柱，两个电极柱的底端分别通过内导线与两条外导线相连接，两个电极柱的顶端分别通过导线与电机座的正、负极相连接；所述密封块采用蓝宝石。

在所述上阀体的底面上设置有第四凹槽，在下阀体的顶面上设置有第五凹槽，在第四、第五凹槽之间设置具有通孔的隔板，所述阀芯底部穿过隔板的通孔设置在第二凹槽内。

在所述下阀体上设置有垫圈组件，垫圈组件由底座和固定在底座上的垫圈组成，垫圈与密封块相对应，底座设置在第二通孔内，在底座内设置有通气孔，所述通气孔为阶梯通气孔，其上部通孔的内径小于下部通孔的内径，且上部通孔与垫圈通孔相对应。

本发明的有益效果：

本发明率先将压电叠堆置于阀芯内，可在中、高真空范围内精密调节阀门漏气率，控制真空系统压力升降，实现了精确控制，本发明在低、中真空进行手动大幅调节，在低、中、高真空区域内实现了连续调节，降低了低、中、高大范围调节的产品成本。

本发明的整体可烘烤至300℃，压电叠堆所加电压远低于整体压电陶瓷片相同形变电压，此外压电叠堆还具有变形大、输出力大、响应快、位移可重复性好、体积效率高以及电场控制相对简单等优点。本发明不仅可精密调节真空系统压力升降，还可连接气源向系统充气调节。本发明易与外部控制系统耦合，实现智能化。

附图说明

图1是本发明的宽量程精密真空漏气阀的实施例一的结构示意图；

图2是本发明的宽量程精密真空漏气阀的实施例二的结构示意图；

图3是本发明的阀芯的结构示意图；

图4是本发明的调节螺栓的结构示意图；

图5是本发明的垫圈组件的结构示意图；

图中，1--旋钮，2--螺杆，3--垫圈组件，31--垫圈，32—底座，33—通气孔，4--调节螺栓，41--倒锥形凹槽，42--通孔，43--滚花，5--下阀体，6--隔板，7--调节手柄，8--阀芯，80--托架，81--壳体，82—密封块，83--芯体凹槽，84--绝缘层，85--压电叠堆，851--压电陶瓷片，852--绝缘玻璃，853--导电片，86—内导线，87--压电叠堆上盖，88—外导线，89--电极柱，9--压缩弹簧，10--螺母，11--垫片，12--连接螺栓，13--阀盖，14—导线，15--电机座，16--弹簧片组，17--上阀体，18—第二法兰，19—第一法兰，20—调节杆，21—第一凹槽，22—第一通孔，23—第二凹槽，24—第三凹槽，25—第二通孔，26—第三通孔，27—第四凹槽，28—第五凹槽。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的详细说明。

实施例一为螺旋杠杆的宽量程精密真空漏气阀；

如图1、图3～图5所示，一种宽量程精密真空漏气阀，包括上阀体17和下阀体5，在上阀体17的顶面上设置有第一凹槽21，在第一凹槽21下方的上阀体17上设置有第一通孔22，在上阀体17的顶部设置有阀盖13；在上阀体17的内部竖直设置有阀芯8，阀芯8的顶部穿过第一通孔22设置在第一凹槽21与阀盖13形成的腔体内，在阀芯8壳体81的顶部设置有六角薄螺母10，在六角薄螺母10与第一凹槽21的底部之间的阀芯8外设置有圆柱螺旋压缩弹簧9，在上阀体19上部的侧壁上设置有调节螺栓4，在调节螺栓4的两端面上均设置有倒锥形凹槽41，且两端的倒锥形凹槽41的底部通过圆柱通孔42相连通；上阀体17通过调节螺栓4与L型调节手柄7相连接，L型调节手柄7的内端水平设置，且穿过调节螺栓4的倒锥形凹槽41后，通过连接螺栓12与阀芯8的顶部相连接；L型调节手柄7的外端竖直设置，且与水平设置的调节杆20相连接；在下阀体5的顶面上设置有第二凹槽23，所述阀芯8底部设置在第二凹槽23内；在下阀体5的底面上设置有第三凹槽24，第二凹槽23与第三凹槽24之间通过第二通孔25相连通，第二通孔25与阀芯8底部相对应，在下阀体5的底部设置有第一法兰19；在下阀体5的侧壁上设置有第二法兰18，第二法兰18的内部通过设置在下阀体5的侧壁上的第三通孔26与第二凹槽23相连通。

所述L型调节手柄7的内端由两段组成，且两段之间通过横置的弹簧片组16相连接，弹簧片组16由若干根并联的弹簧片组成，弹簧片组16用于减小阀芯8位移量，提高阀门控制精确度。

在所述调节杆20的外端固定有旋钮1，便于工作人员操作。

在所述调节螺栓4的头部外侧壁上设置有滚花43，便于工作人员操作。

所述阀芯8包括壳体81，在壳体81的底部设置有密封块82，密封块82采用蓝宝石，蓝宝石通过托架80固定在壳体81的底部，蓝宝石的底面具有光学平面的特性，蓝宝石的底面与下阀体5的第二通孔相对应；在壳体81的顶面上设置有芯体凹槽83，在芯体凹槽83的内壁上通过耐高温粘结剂固定有绝缘层84，绝缘层84的材质采用热塑性良好的石墨，在绝缘层84的内部设置有压电叠堆85，压电叠堆85由若干个竖直排列的压电陶瓷片851和固定在相邻压电陶瓷片851之间的绝缘玻璃852和导电片853组成，在横向上绝缘玻璃852和导电片853左、右相邻设置，且在纵向上绝缘玻璃852和导电片853的位置左、右交替设置，设置在压电叠堆85顶端和底端的压电陶瓷片851分别通过两条外导线88相连接，压电叠堆85的底端通过耐高温粘结剂固定在绝缘层84上，压电叠堆85的顶端通过耐高温粘结剂与设置在芯体凹槽83内的压电叠堆上盖87相连接，压电叠堆上盖87与芯体凹槽83的绝缘层84通过动密封相连接；在压电叠堆上盖87和与其相邻的压电陶瓷片851上设置有螺纹孔，所述连接螺栓12的底部设置在螺纹孔中；在压电叠堆上盖87上固定有两个电极柱89，两个电极柱89的顶端设置在阀芯8的外部，两个电极柱89的底端分别通过内导线86与两条外导线88相连接，在上阀体19上部的侧壁上设置有电机座15，两个电极柱89的顶端分别通过导线与电机座15的正、负极相连接。

在所述上阀体17的底面上设置有第四凹槽24，在下阀体5的顶面上设置有第五凹槽28，在第四、第五凹槽之间设置具有通孔的波纹型隔板6，所述阀芯8底部穿过波纹型隔板6的通孔设置在第二凹槽23内，所述波纹型隔板6阻隔了上、下阀体之间的空气流通。

在所述下阀体5上设置有铜垫圈组件3，铜垫圈组件3由底座32和固定在底座32上的铜垫圈31组成，铜垫圈31与蓝宝石相对应，底座32设置在第二通孔25内，在底座32内设置有阶梯通气孔33，上部通孔的内径小于下部通孔的内径，且上部通孔与铜垫圈31通孔相对应。

下面结合附图说明本实施例的使用过程：

如图1、图3～图5所示，在使用前，将本发明的第一法兰19与真空连接泵相连接，将第二法兰18与真空管道相连接，电机座15与外部控制系统相连接。

在中、低、高真空区域使用时，通过旋钮1控制阀门开启：

当旋钮1下移时，由于调节螺栓4具有杠杆支点作用，调节手柄7连接阀芯8的一侧会向上移动，从而使阀芯8上移，阀芯8底端与铜垫圈31之间间隙增大，阀门开度增大，单位时间内通过阀门的气体量增多；

当旋钮1上移时，由于调节螺栓4具有杠杆支点作用，调节手柄7连接阀芯8的一侧会向下移动，从而使阀芯8下移，阀芯8底端与铜垫圈31之间间隙减小，阀门开度减小，单位时间内通过阀门的气体量减少；

在采用本发明的阀芯8的情况下，在中、高真空区域使用时，通过外部控制系统的信号控制阀芯8内部的压电叠堆85，根据逆压电效应控制阀芯8的压电叠堆85伸缩，从而调节蓝宝石光学平面与铜垫圈31亚微米级间隙的漏气率：由于绝缘层84和压电叠堆上盖87是通过动密封连接的，压电叠堆85伸长，阀芯8下移，所述漏气率减小；压电叠堆85收缩，阀芯8上移，所述漏气率增大。

实施例二为螺旋直动的宽量程精密真空漏气阀；

如图2～图5所示，一种宽量程精密真空漏气阀，包括上阀体17和下阀体5，在上阀体17的顶面上设置有第一凹槽21，在第一凹槽21下方的上阀体17上设置有第一通孔22，在上阀体17的顶部设置有阀盖13；在上阀体17的内部竖直设置有阀芯8，阀芯8的顶部穿过第一通孔22设置在第一凹槽21与阀盖13形成的腔体内，在阀芯8壳体81的顶部设置有六角薄螺母10，在六角薄螺母10与第一凹槽21的底面之间的阀芯8外设置有圆柱螺旋压缩弹簧9；在阀盖13的顶面上设置有螺纹孔，阀盖13通过螺纹孔与竖置的螺杆2相连接，螺杆2的底端穿过阀盖13与阀芯8的顶端相连接；在下阀体5的顶面上设置有第二凹槽23，所述阀芯8底部设置在第二凹槽23内；在下阀体5的底面上设置有第三凹槽24，第二凹槽23与第三凹槽24之间通过第二通孔25相连通，第二通孔25与阀芯8底部相对应，在下阀体5的底部设置有第一法兰19；在下阀体5的侧壁上设置有第二法兰18，第二法兰18的内部通过设置在下阀体5的侧壁上的第三通孔26与第二凹槽23相连通。

所述螺杆2设置在上阀体17内部的一端由两段组成，且两段之间通过竖置的弹簧片组16相连接，弹簧片组16由若干根并联的弹簧片组成，弹簧片组16用于减小阀芯8位移量，提高阀门控制精确度，当系统环境波动时，弹簧片组16产生位移，从而保护阀芯8不受环境波动而损坏。

在所述阀盖13上方、螺杆2的顶部设置有旋钮1，便于工作人员操作，旋钮1与螺杆2固定连接，在旋钮1与阀盖13之间设置有特细牙螺纹垫片11。

所述阀芯8包括壳体81，在壳体81的底部设置有密封块82，密封块82采用蓝宝石，蓝宝石通过托架80固定在壳体81的底部，蓝宝石的底面具有光学平面的特性，蓝宝石的底面与下阀体5的第二通孔相对应；在壳体81的顶面上设置有芯体凹槽83，在芯体凹槽83的内壁上通过耐高温粘结剂固定有绝缘层84，绝缘层84的材质采用热塑性良好的石墨，在绝缘层84的内部设置有压电叠堆85，压电叠堆85由若干个竖直排列的压电陶瓷片851和固定在相邻压电陶瓷片851之间的绝缘玻璃852和导电片853组成，在横向上绝缘玻璃852和导电片853左、右相邻设置，且在纵向上绝缘玻璃852和导电片853的位置左、右交替设置，设置在压电叠堆85顶端和底端的压电陶瓷片851分别通过两条外导线88相连接，压电叠堆85的底端通过耐高温粘结剂固定在绝缘层84上，压电叠堆85的顶端通过耐高温粘结剂与设置在芯体凹槽83内的压电叠堆上盖87相连接，压电叠堆上盖87与芯体凹槽83的绝缘层84之间通过动密封相连接；在压电叠堆上盖87和与其相邻的压电陶瓷片851上设置有螺纹孔，所述螺杆2的底部设置在螺纹孔中；在压电叠堆上盖87上固定有两个电极柱89，两个电极柱89的顶端设置在阀芯8的外部，两个电极柱89的底端分别通过内导线86与两条外导线88相连接，在上阀体17上部的侧壁上固定设置有电机座15，两个电极柱89的顶端分别通过导线与电机座15的正、负极相连接。

在所述上阀体17的底面上设置有第四凹槽24，在下阀体5的顶面上设置有第五凹槽28，在第四、第五凹槽之间设置具有通孔的波纹型隔板6，所述阀芯8底部穿过波纹型隔板6的通孔设置在第二凹槽23内，所述波纹型隔板6阻隔了上、下阀体之间的空气流通。

在所述下阀体5上设置有铜垫圈组件3，铜垫圈组件3由底座32和固定在底座32上的铜垫圈31组成，铜垫圈31与蓝宝石相对应，底座32设置在第二通孔25内，在底座32内设置有阶梯通气孔33，上部通孔的内径小于下部通孔的内径，上部通孔与铜垫圈31通孔相对应。

下面结合附图说明本实施例的使用过程：

如图2～图5所示，在使用前，将本发明的第一法兰19与真空连接泵相连接，将第二法兰18与真空管道相连接，电机座15与外部控制系统相连接。

在中、低、高真空区域使用时，通过旋钮1控制阀门开启：

当顺时针旋动旋钮1时，螺杆2向上移动，从而使阀芯8上移，阀芯8底端与铜垫圈31之间间隙增大，阀门开度增大，单位时间内通过阀门的气体量增多；

当逆时针旋动旋钮1时，螺杆2向下移动，从而使阀芯8下移，阀芯8底端与铜垫圈31之间间隙减小，阀门开度减小，单位时间内通过阀门的气体量减少；

在采用本发明的阀芯8的情况下，在中、高真空区域使用时，通过外部控制系统的信号控制阀芯8内部的压电叠堆85，根据逆压电效应控制阀芯8的压电叠堆85伸缩，从而调节蓝宝石光学平面与铜垫圈31亚微米级间隙的漏气率：由于绝缘层84和压电叠堆上盖87通过动密封相连接，压电叠堆85伸长，阀芯8下移，所述漏气率减小；压电叠堆85收缩，阀芯8上移，所述漏气率增大。

Claims (10)

1.一种宽量程精密真空漏气阀，其特征在于包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，阀芯的顶部穿过第一通孔设置在第一凹槽与阀盖形成的腔体内，在阀芯壳体的顶部设置有螺母，在螺母与第一凹槽的底面之间的阀芯外设置有压缩弹簧，在上阀体上部的侧壁上设置有调节螺栓，在调节螺栓的两端面上均设置有倒锥形凹槽，且两端的倒锥形凹槽的底部相连通；上阀体通过调节螺栓与调节手柄相连接，调节手柄的内端穿过调节螺栓的倒锥形凹槽后，通过连接螺栓与阀芯的顶端相连接，调节手柄的外端与调节杆相连接；在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，第二凹槽与第三凹槽之间通过第二通孔相连通，第二通孔与阀芯底部相对应，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰，第二法兰的内部通过设置在下阀体的侧壁上的第三通孔与第二凹槽相连通。

2.根据权利要求1所述的宽量程精密真空漏气阀，其特征在于所述调节手柄的内端由两段组成，且两段之间通过横置的弹簧片组相连接，弹簧片组由若干根并联的弹簧片组成。

3.根据权利要求1所述的宽量程精密真空漏气阀，其特征在于所述阀芯包括壳体，在壳体的底部设置有密封块，密封块的底面为光学平面，密封块的底面与下阀体的第二通孔相对应；在壳体的顶面上设置有芯体凹槽，在芯体凹槽的内壁上设置有绝缘层，在芯体凹槽的内部设置有压电叠堆，压电叠堆由若干个竖直排列的压电陶瓷片和固定在相邻压电陶瓷片之间的绝缘玻璃和导电片组成，在横向上绝缘玻璃和导电片左右相邻设置，且在纵向上绝缘玻璃和导电片的位置左右交替设置，设置在压电叠堆顶端和底端的压电陶瓷片分别通过两条外导线相连接，压电叠堆的底端固定在芯体凹槽的绝缘层上，压电叠堆的顶端固定有压电叠堆上盖，压电叠堆上盖与芯体凹槽的绝缘层之间通过动密封相连接；所述连接螺栓的底部与压电叠堆上盖相连接；在压电叠堆上盖上固定有两个电极柱，两个电极柱的底端分别通过内导线与两条外导线相连接，两个电极柱的顶端分别通过导线与电机座的正、负极相连接；所述密封块采用蓝宝石。

4.根据权利要求1所述的宽量程精密真空漏气阀，其特征在于在所述上阀体的底面上设置有第四凹槽，在下阀体的顶面上设置有第五凹槽，在第四、第五凹槽之间设置具有通孔的隔板，所述阀芯底部穿过隔板的通孔设置在第二凹槽内。

5.根据权利要求1所述的宽量程精密真空漏气阀，其特征在于在所述下阀体上设置有垫圈组件，垫圈组件由底座和固定在底座上的垫圈组成，垫圈与密封块相对应，底座设置在第二通孔内，在底座内设置有通气孔，所述通气孔为阶梯通气孔，其上部通孔的内径小于下部通孔的内径，且上部通孔与垫圈通孔相对应。

6.一种宽量程精密真空漏气阀，其特征在于包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，阀芯的顶部穿过第一通孔设置在第一凹槽与阀盖形成的腔体内，在阀芯壳体的顶部设置有螺母，在螺母与第一凹槽的底面之间的阀芯外设置有压缩弹簧，在阀盖的顶面上设置有螺纹孔，阀盖通过螺纹孔与竖置的螺杆相连接，螺杆的底端与阀芯的顶端相连接；在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，第二凹槽与第三凹槽之间通过第二通孔相连通，第二通孔与阀芯底部相对应，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰，第二法兰的内部通过设置在下阀体的侧壁上的第三通孔与第二凹槽相连通。

7.根据权利要求6所述的宽量程精密真空漏气阀，其特征在于所述螺杆设置在上阀体内部的一端由两段组成，且两段之间通过竖置的弹簧片组相连接，弹簧片组由若干根并联的弹簧片组成。

8.根据权利要求6所述的宽量程精密真空漏气阀，其特征在于所述阀芯包括壳体，在壳体的底部设置有密封块，密封块的底面为光学平面，密封块的底面与下阀体的第二通孔相对应；在壳体的顶面上设置有芯体凹槽，在芯体凹槽的内壁上设置有绝缘层，在芯体凹槽的内部设置有压电叠堆，压电叠堆由若干个竖直排列的压电陶瓷片和固定在相邻压电陶瓷片之间的绝缘玻璃和导电片组成，在横向上绝缘玻璃和导电片左右相邻设置，且在纵向上绝缘玻璃和导电片的位置左右交替设置，设置在压电叠堆顶端和底端的压电陶瓷片分别通过两条外导线相连接，压电叠堆的底端固定在芯体凹槽的绝缘层上，压电叠堆的顶端固定有压电叠堆上盖，压电叠堆上盖与芯体凹槽的绝缘层之间通过动密封相连接；所述螺杆的底部与压电叠堆上盖相连接；在压电叠堆上盖上固定有两个电极柱，两个电极柱的底端分别通过内导线与两条外导线相连接，两个电极柱的顶端分别通过导线与电机座的正、负极相连接；所述密封块采用蓝宝石。

9.根据权利要求6所述的宽量程精密真空漏气阀，其特征在于在所述上阀体的底面上设置有第四凹槽，在下阀体的顶面上设置有第五凹槽，在第四、第五凹槽之间设置具有通孔的隔板，所述阀芯底部穿过隔板的通孔设置在第二凹槽内。

10.根据权利要求6所述的宽量程精密真空漏气阀，其特征在于在所述下阀体上设置有垫圈组件，垫圈组件由底座和固定在底座上的垫圈组成，垫圈与密封块相对应，底座设置在第二通孔内，在底座内设置有通气孔，所述通气孔为阶梯通气孔，其上部通孔的内径小于下部通孔的内径，且上部通孔与垫圈通孔相对应。