CN103993283B - 一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 - Google Patents
一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103993283B CN103993283B CN201410241483.4A CN201410241483A CN103993283B CN 103993283 B CN103993283 B CN 103993283B CN 201410241483 A CN201410241483 A CN 201410241483A CN 103993283 B CN103993283 B CN 103993283B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- connects
- power supply
- potentiometer
- amplifier
- pwm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种等离子镀膜设备用励磁电源装置,该装置由市电AC供电的由PWM控制的隔离开关电源,辅助电源的VCC和GND连接运放IC和电位器RW1的VCC和GND,运放IC的负输入端连接选择开关S1的Z端,选择开关S1的Y端连接电位器RW1的移动触点,选择开关的X端连接电位器RW2的移动触点,电位器RW2的输入端连接电流传感器,运放IC1的输出分别连接光耦IC2的a、b极,光耦IC2的c、d连接由PWM控制的开关电源。该发明中使用开关电源取代了工频变压器降压整流电路和DC/DC转换电路,还省去了驱动电路及其辅助电源和PWM控制电路的辅助电源,生产稳定性提高,使用寿命增加。
Description
技术领域
本发明属于电源领域,特别涉及一种励磁电源装置。
背景技术
电弧镀膜、电弧离子镀的原理是基于冷阴极自持真空弧光放电理论。在电弧源离子镀中,以镀膜材料作为靶极(阴极),借助引孤装置,使靶表面产生弧光放电。采用低电压、大电流、电弧放电技术,利用气体放电或被蒸发物质部分电离,并在气体离子或被蒸发物质离子轰击下,将被蒸发物质或其反应产物沉积在基片上。它是一种自蒸发自离化式固体蒸发源。这种蒸发源可蒸镀金属材料、合金材料,也可进行反应离子镀,如TiN、TiC、(TiAl)N、ZrN等超硬膜,Al、Ag、Cu高低温耐蚀膜、不锈钢、黄铜、镍铬、(TiAl)N、Ti、Cr等装饰保护膜等。在电弧镀膜、空心阴极镀膜、磁控溅射、离子束镀膜等这许多方法中,其中电弧镀膜被认为最具有市场价值。他运用了等离子体真空镀膜原理,将电弧镀技术与磁控离子镀技术融合一体,实现多功能镀膜的目的。
在等离子电弧涂膜设备中磁控离子镀所采用的励磁电源必须要有人机界面和输出电压着弧前后分别控制,确保安全、稳定、可靠,现有该装置是采用工频变压器隔离降压-经整流滤波-DC/DC转换-隔离驱动及其隔离辅助电源-PWM控制及其隔离辅助电源,DZ/DC转换器直接输出1路,再经模拟调压电路调压输出为2路。
该装置较为复杂,缺乏保护系统,由于复杂就带来了故障频发,如开关管烧毁、机外控制失灵等现象,由于复杂就带来了生产成本提高,而且很不利于批量生产。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种等离子镀膜设备用励磁电源装置,该装置不仅由开关电源取代了工频变压器降压整流电路和DC/DC转换电路,还省去了驱动电路及其辅助电源和PWM控制电路的辅助电源,生产稳定性提高,使用寿命增加。
本发明为实现上述目的所采用的技术方案是:一种等离子镀膜设备用励磁电源装置,其特征是:市电AC供电的由PWM控制的隔离开关电源,辅助电源的VCC和GND连接运放IC和电位器RW1的VCC和GND,运放IC的负输入端连接选择开关S1的Z端,选择开关S1的Y端连接电位器RW1的移动触点,选择开关的X端连接电位器RW2的移动触点,电位器RW2的输入端连接电流传感器,运放IC1的输出分别连接光耦IC2的a、b极,光耦IC2的c、d连接由PWM控制的开关电源。
本发明方法的有益效果是:不仅由开关电源取代了工频变压器降压整流电路和DC/DC转换电路,还省去了驱动电路及其辅助电源和PWM控制电路的辅助电源,该装置具有安全、稳定、可靠的优点,可以重复批量生产。
附图说明
图1是本发明一种等离子镀膜设备用励磁电源装置结构示意图。
图2是现有技术中电源装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明做进一步说明,但是本发明并不局限于具体实施例。
实施例
市电AC供电的由PWM控制的隔离开关电源1,辅助电源2的VCC和GND连接运放IC和电位器RW1的VCC和GND,运放IC的负输入端连接选择开关S1的Z端,选择开关S1的Y端连接电位器RW1的移动触点,选择开关的X端连接电位器RW2的移动触点,电位器RW2的输入端连接电流传感器(3),运放IC1的输出分别连接光耦IC2的a、b极,光耦IC2的c、d连接由PWM控制的开关电源1。
开关电源的输出端直接输出1路,再经模拟调压电路调压输出为2路。
Claims (1)
1.一种等离子镀膜设备用励磁电源装置,其特征是:市电AC供电的由PWM控制的隔离开关电源(1),辅助电源(2)的VCC和GND连接运放IC和电位器RW1的VCC和GND,运放IC的负输入端连接选择开关S1的Z端,选择开关S1的Y端连接电位器RW1的移动触点,选择开关的X端连接电位器RW2的移动触点,电位器RW2的输入端连接电流传感器(3),运放IC1的输出分别连接光耦IC2的a、b极,光耦IC2的c、d连接由PWM控制的开关电源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410241483.4A CN103993283B (zh) | 2014-05-30 | 2014-05-30 | 一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410241483.4A CN103993283B (zh) | 2014-05-30 | 2014-05-30 | 一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103993283A CN103993283A (zh) | 2014-08-20 |
CN103993283B true CN103993283B (zh) | 2016-04-27 |
Family
ID=51307606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410241483.4A Active CN103993283B (zh) | 2014-05-30 | 2014-05-30 | 一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103993283B (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09502482A (ja) * | 1993-09-07 | 1997-03-11 | マティリアルズ リサーチ コーポレイション | プラズマ処理チャンバー内の軟プラズマ点火 |
CN202450149U (zh) * | 2011-12-27 | 2012-09-26 | 浙江华虹光电集团有限公司 | 磁控镀膜控制装置 |
CN103774111A (zh) * | 2014-02-25 | 2014-05-07 | 南华大学 | 一种实现高功率脉冲和大电流磁控溅射镀膜功能的电路设备及控制方法 |
CN203890434U (zh) * | 2014-05-30 | 2014-10-22 | 大连理工常州研究院有限公司 | 一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 |
-
2014
- 2014-05-30 CN CN201410241483.4A patent/CN103993283B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09502482A (ja) * | 1993-09-07 | 1997-03-11 | マティリアルズ リサーチ コーポレイション | プラズマ処理チャンバー内の軟プラズマ点火 |
CN202450149U (zh) * | 2011-12-27 | 2012-09-26 | 浙江华虹光电集团有限公司 | 磁控镀膜控制装置 |
CN103774111A (zh) * | 2014-02-25 | 2014-05-07 | 南华大学 | 一种实现高功率脉冲和大电流磁控溅射镀膜功能的电路设备及控制方法 |
CN203890434U (zh) * | 2014-05-30 | 2014-10-22 | 大连理工常州研究院有限公司 | 一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103993283A (zh) | 2014-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103866257B (zh) | 一种三频高密度等离子体辅助磁控溅射薄膜的制备方法 | |
CN102108492A (zh) | 一种基于高功率脉冲磁控溅射的离化率可控镀膜设备 | |
CN106742073A (zh) | 一种微弧阴极放电微型电推进模块 | |
CN102912306A (zh) | 计算机自动控制的高功率脉冲磁控溅射设备及工艺 | |
CN203890434U (zh) | 一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 | |
CN103993283B (zh) | 一种等离子镀膜设备用励磁电源装置 | |
CN101824602B (zh) | 一种具有高启动电压的磁控溅射脉冲电源 | |
CN104674178B (zh) | 一种实现多模式输出磁控溅射镀膜电源电路及控制方法 | |
CN203380030U (zh) | 一种数字化控制的逆变电弧喷涂设备 | |
CN203373186U (zh) | 废水电解处理系统 | |
CN104032252B (zh) | 一种Al85Ni10La5非晶合金涂层的制备方法 | |
CN202181346U (zh) | 一种阴极电弧蒸发源非接触式直流高压电引弧装置 | |
CN201450621U (zh) | 矿热炉节电增产自动控制装置 | |
CN103981493B (zh) | 一种等离子镀膜设备用引弧装置 | |
CN104451578A (zh) | 一种直流耦合型高能脉冲磁控溅射方法 | |
CN108165935B (zh) | 非接触式自动引弧系统及引弧方法 | |
CN204138760U (zh) | 一种阴极电弧离子镀磁场调节装置 | |
CN205223339U (zh) | 具有增置阳极的镀膜系统 | |
CN203890431U (zh) | 一种等离子镀膜设备用引弧装置 | |
CN104538273B (zh) | 高电压冷阴极气体放电电子枪的电源装置及其控制方法 | |
CN204779787U (zh) | 一种磁控溅射靶枪 | |
CN203034085U (zh) | 一种改善的蒸镀镀膜机 | |
CN104743530A (zh) | 一种利用电弧放电制备氮化硼纳米纤维的方法 | |
CN203565229U (zh) | 一种具有双送粉器的喷涂装置 | |
CN204455265U (zh) | 等离子喷涂设备高频高压引弧装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20171106 Address after: 225600 Yangzhou City, Gaoyou Province, South City Economic Zone, the outer ring road Patentee after: Gaoyou Institute of Dalian University of Technology Co., Ltd. Address before: 213164 Changzhou science and Education City, No. 801 middle Wu Road, Wujin District, Jiangsu, Changzhou Patentee before: Changzhou Institute Co., Ltd. of Daian University of Technology |
|
TR01 | Transfer of patent right |