CN103979785A - 保持具单元及刻划装置 - Google Patents

Abstract

本发明是提供一种保持具、刻划轮与销成为一体的保持具单元及刻划装置，能够在已进行脆性材料基板的刻划的情形，提高经分断的脆性材料基板的端面强度。本发明的保持具单元(30)，是一体化保持具(31)、刻划轮(40)与销(50)的保持具单元(30)，由于将销(50)呈可旋转地配置于销孔(35a、35b)，因此与将销配置成不可旋转的保持具单元相比，本发明使脆性材料基板的端面强度提高。

Description

保持具单元及刻划装置

技术领域

本发明是关于一种为了于脆性材料基板的表面形成刻划线所使用的保持具单元及刻划装置。详细而言，本发明是关于一种保持具、刻划轮与销成为一体的保持具单元，及具备有可装卸该保持具单元的接头部的刻划装置。

背景技术

在玻璃基板等脆性材料基板的分断中，一般使用有刻划轮。具体而言，使该刻划轮于玻璃基板上压接转动而于基板表面形成刻划线，借此从基板表面往垂直方向使裂纹产生(刻划步骤)，接着对基板施加应力而使该垂直裂纹成长至基板的背面(裂断步骤)，从而进行脆性材料基板的分断。

当于基板表面形成刻划线时，刻划轮的刀刃前端将逐渐磨耗。一旦刀刃前端产生磨耗，则有必要更换刻划轮。然而，由于刻划轮是外径为1.0～5.0mm左右的小型物，因此在取出被支持于保持具前端的轮时，必需拔出极为细小的用于支持轮的销等，刻划轮的更换作业性非常差。

因此，作为改善刻划轮的更换作业性的保持具单元，例如已知有专利文献1记载的刀轮保持具。

该刀轮保持具，具有保持具、刻划轮与销。更具体而言，刀轮保持具，是在保持具的保持沟槽中由销保持刻划轮呈旋转自如，且成为一体化保持具、刻划轮与销的构成。而且，使刀轮保持具能够相对于埋设有磁铁的保持具接头简易地进行装卸。

然而，在必须更换刻划轮的情形，无需特地从保持具取出刻划轮，而仅就刀轮保持具进行更换即可，因此使刻划轮的更换作业性变非常佳。

如此，于专利文献1所揭示的刀轮保持具，成为在必须更换刻划轮的情形，就刀轮保持具进行更换的构成，因此将刀轮保持具组装完成后，便无需从保持具取出刻划轮及销。因此，专利文献1所揭示的刀轮保持具，成为销以不能取出的方式被固定于保持具的销孔的构成。

然而，在分断后的玻璃基板中，被期望端面强度要高。尤其是，由于显示用面板持续薄型化，因此构成显示用面板的玻璃基板亦逐渐采用较薄者。根据使用如此般较薄的玻璃基板的显示用面板，一旦玻璃基板的端面强度较弱，则在对显示面施加外力时，容易破坏玻璃基板。因此，被强烈要求提高经分断的脆性材料基板的端面强度。

专利文献1：日本特开2012-995号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种保持具、刻划轮与销成为一体的保持具单元及刻划装置，且该保持具单元及刻划装置能够在已进行脆性材料基板的刻划的情形，提高经分断的脆性材料基板的端面强度。

本发明的目的是采用以下技术方案来实现的。为了达成上述目的，本发明的保持具单元，具备：刻划轮，用以形成刻划线；销，将该刻划轮保持成旋转自如；以及保持具，具有形成配置该刻划轮的保持沟槽的一对支持部，且于该一对支持部设置有配置该销的销孔；且将该刻划轮保持于配置在该销孔的销；其中，该销，在该销孔中，以在与该保持具之间设有间隙的方式配置。

本发明的目的还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的保持具单元，其中该间隙是0.025～0.055mm。

前述的保持具单元，其中在配置于该销孔的该销的外侧，设置有用以防止该销脱落的爪部。

前述的保持具单元，其中在该销与该爪部间配置有挡板。

前述的保持具单元，其中该销由烧结钻石构成。

本发明的目的是采用以下技术方案来实现的。为了达成上述目的，本发明的刻划装置，具备保持具单元、及使该保持具单元可装卸的接头部；其中，该保持具单元，具备：刻划轮，用以形成刻划线；销，将该刻划轮保持成旋转自如；以及保持具，具有形成配置该刻划轮的保持沟槽的一对支持部，且于该一对支持部设置有配置该销的销孔；且该销在该销孔中，是以在与该保持具之间设有间隙的方式配置。

借由上述技术方案，本发明的保持具单元及刻划装置至少具有下列优点及有益效果：

（1）根据本发明的保持具单元，销由于是以在与保持具之间设有间隙的方式配置于销孔，因此可进行旋转。借此，本发明的保持具单元，与将销配置成无法旋转的保持具单元相比，可提高经分断的脆性材料基板的端面强度。

（2）根据本发明的刻划装置，由于在具备将刻划轮、销与保持具一体化而成的保持具单元、及使该保持具单元可装卸的接头部的刻划装置中，将销以在与该保持具之间设有间隙的方式配置成可旋转，因此，能够制造出提高了端面强度的经分断的脆性材料基板。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图,详细说明如下。

附图说明

图1，是实施形态1中刻划装置的概略图。

图2，是实施形态1中刻划装置所具有的保持具接头的前视图。

图3，是实施形态1中保持具单元的立体图。

图4，是实施形态1中保持具单元的一部分放大图。

图5，是实施形态1中刻划轮的侧视图。

图6，是试验片端面强度的测定方法的概略图。

图7(a)，是使用销可旋转的保持具单元的情形的端面强度的测定结果的图；图7(b)，是使用销无法旋转的保持具单元的情形的端面强度的测定结果的图。

图8，表示实施形态2中将保持具单元安装于接头部前的状态的部分放大立体图。

图9，是实施形态2中已将保持具单元安装于接头部的状态的剖面图。

图10，是实施形态2中保持具单元的前视图。

【主要元件符号说明】

具体实施方式

以下，使用图式针对本发明的实施形态进行说明。然而，在以下所示的实施形态，仅表示用以具体化本发明的技术思想的实施例，并不意图将本发明特定于该实施形态。本发明亦可适用于包含在申请专利范围内的其他的实施形态。

[实施形态1]

于图1表示实施形态1的刻划装置10的概略图。刻划装置10，具备有移动台11。而且，该移动台11，与滚珠螺杆13螺合，借由利用马达14的驱动使该滚珠螺杆13进行旋转，而可沿一对导引轨条12a、12b于y轴方向移动。

于移动台11的上面，设置有马达15。该马达15，用于使位于上部的平台16在xy平面旋转而定位于既定角度。脆性材料基板17，载置于该平台16上，借由未图示的真空吸引装置等保持。另外，成为刻划对象的脆性材料基板17，例如，是玻璃基板、陶瓷基板、蓝宝石基板、硅基板等。

刻划装置10，于脆性材料基板17的上方，具备有对形成于脆性材料基板17表面的对准标记进行拍摄的2台CCD摄影机18。而且，于刻划装置10，沿x轴方向将桥架19借由支柱20a、20b架设成横跨移动台11与其上部的平台16。

于该桥架19，安装有导引件22，而将刻划头21设置成可沿导引件22并沿x轴方向移动。而且，于刻划头21，透过保持具接头23，安装有保持具单元30。

图2是安装有保持具单元30的保持具接头23的前视图。此外，图3是保持具单元30的立体图。此外，图4是放大从图3的A方向所观察到的保持具单元30的侧面的一部分的图。

保持具接头23成为大致圆柱状，且具备有旋转轴部23a、及接头部23b。在刻划头21安装有保持具接头23的状态下，于该旋转轴部23a，隔着圆筒形的隔片(spacer)24c安装有用以将保持具接头23保持成旋动自如的两个轴承24a、24b。另外，于图2，表示保持具接头23的前视图，并一并表示有安装于旋转轴部23a的轴承24a、24b与隔片24c的剖面图。

于圆柱形的接头部23b，设置有于下端侧具备有圆形的开口25的内部空间26。于该内部空间26的上部埋设有磁铁27。而且，将借由磁铁27而装卸自如的保持具单元30，以插入于该内部空间26的方式安装。

该保持具单元30，是以包含保持具31、刻划轮40与销50而构成。也就是，保持具单元30，是将保持具31、刻划轮40与销50一体化而成。

保持具31，如图3所示般呈大致圆柱形，且以磁性体金属形成。而且，于保持具31的上部，设置有定位用的安装部32。该安装部32，是切削保持具31的上部而形成，具备有倾斜部32a与平坦部32b。

而且，将保持具31的安装部32侧，透过开口25往内部空间26插入。此时，借由磁铁27吸引保持具31的上端侧，且借由安装部32的倾斜部32a与通过内部空间26的平行销28接触，而进行保持具单元30相对于保持具接头23的定位与固定。此外，在从保持具接头23取出保持具单元30时，借由将保持具单元30往下方拉而可容易地取出。

于保持具31的下部，设置有切削保持具31而形成的保持沟槽33。而且，于为了设置保持沟槽33而经切削的保持具31的下部，以夹着保持沟槽33的方式设置有支持部34a、34b。于该保持沟槽33，将刻划轮40配置成旋转自如。此外，于支持部34a、34b，分别形成有支持用以将刻划轮40保持成旋转自如的销50的销孔35a、35b。另外，销孔35a，于内部具有阶部，且使保持沟槽33侧的开口的孔径，较另一侧的开口的孔径大。

接着，使用图5针对刻划轮40的细节进行说明。图5是安装于保持具31前端的刻划轮40的侧视图。

该刻划轮40以基材41形成。而且，于基材41的大致中心，形成有用以使销50贯通的贯通孔42，此外，形成有切削基材41的圆周部两端而形成的刀刃部43。

基材41，例如，是由超硬合金、烧结钻石(Poly Crystalline Diamond，以下称为PCD)、不锈钢、陶瓷等硬质物构成的圆板状的构件。此外，贯通孔42，是以将基材41的大致中心切削成圆形而形成。

刀刃部43，具备有切削圆板状的基材41的圆周部两端而形成的棱线44、及棱线44两侧的倾斜面45。刀刃部43的刃前角，一般为钝角，且是90～160°的范围，较佳为90～140°的范围。另外，刃前角的具体的角度，可根据将进行切断的脆性材料基板17的材质、厚度等而适宜地设定。

接着，针对该刻划轮40的尺寸进行说明。刻划轮40的外径，是1.0～10.0mm的范围，较佳为1.0～5.0mm的范围，更佳为1.0～3.0mm的范围。在刻划轮40的外径小于1.0mm的情形，刻划轮40的可处理性降低。另一方面，在刻划轮40的外径大于10.0mm的情形，存在有刻划时无法对脆性材料基板17形成较深的垂直裂纹的情况。

刻划轮40的厚度，是0.4～1.2mm的范围，较佳为0.4～1.1mm的范围。在刻划轮40的厚度小于0.4mm的情形，存在有可加工性及可处理性降低的情况。另一方面，在刻划轮40的厚度大于1.2mm的情形，将使刻划轮40的材料及用于制造的成本变高。另外，使保持具31的保持沟槽33的宽度(支持部34a与支持部34b的距离)，相对于刻划轮40的厚度稍微较大，在实施形态1中，保持沟槽33相对于0.65mm的轮的宽度约0.67mm，设置有约0.02mm的间隙。

刻划轮40的贯通孔42的孔径，为0.8～1.5mm左右。

接着，针对销50进行说明。销50是圆柱形的构件，如图4中以虚线所示般，其一端成为尖头形状。

作为销50的材料，与刻划轮40的基材41同样地，可使用超硬合金、PCD、不锈钢、陶瓷等硬质物。此外，于其他方面，销50，相对于以超硬合金等形成的圆柱状构件，亦可于其表面形成有包含有硬质粒子的镀敷被膜者。如此，借由于表面形成包含有硬质粒子的镀敷被膜，能够降低因刻划轮40进行旋转所导致的销50的磨耗。另外，硬质粒子，例如适用单结晶钻石、多结晶钻石、立方晶体氮化硼等硬质物。此外，镀敷被膜，例如适用镍被膜等。

而且，使用如以上般的保持具31、刻划轮40与销50构成保持具单元30。具体而言，保持具单元30，如图4所示，使销50贯通于刻划轮40的贯通孔42，并且将销50的两端配置于销孔35a、35b，且将刻划轮40配置成可相对于保持具31旋转。

如实施形态1般的一体型的保持具单元30，若必需更换刻划轮40，则可在不取出刻划轮40的情况下，就保持具单元30进行更换。因此，将保持具31、刻划轮40与销50一体化之后，由于无需特地从保持具31取出刻划轮40，因此亦无需从销孔35a、35b取出销50。因此，在习知的一体型的保持具单元中，将销50固定在销孔35a、35b，且配置成无法旋转。

然而，实施形态1的保持具单元30，销50是以可旋转的方式配置于销孔35a、35b。

具体而言，设置于销孔35a、35b的销50，在与保持具31之间设置有约0.025～0.055mm的间隙。借由设有如此般的间隙，能够使设置于销孔内的销50，在刻划轮40的旋转时等，与刻划轮40一起进行旋转。另外，若间隙小于0.025mm，则销50的旋转性降低，若间隙大于0.055mm，则容易使因刻划所产生的碎屑进入间隙，反而使销50的旋转性降低。另外，刻划轮40的贯通孔42中的刻划轮40与销50的间隙，设为0.035～0.065mm。

此外，实施形态1的保持具单元30，如图3或图4所示，在销孔35b侧中，以型锻(swaging)销孔35b的壁的方式于四个部位形成爪部36，且构成为销50不会从销孔35b脱落。而且，在销孔35a侧，于内部具有阶部，使保持沟槽33侧的开口的孔径，较另一侧的开口的孔径大。借由该阶部形成销承受部，使销50不会从销孔35a脱落。

借由如此般的构成，保持具单元30，成为配置于销孔35a、35b的销50可旋转。另外，在实施形态1中，虽于四个部位形成有爪部36，但亦可少于或多于四个部位。此外，即使是在销孔35a侧，亦可与销孔35b侧同样地，型锻销孔35a的壁而成为形成爪部的构成。

接着，针对使用配置于销孔35a、35b的销50为可旋转的状态的保持具单元30实际进行刻划，对经分断的脆性材料基板17的剖面强度进行测定的结果进行说明。

首先，实际上所使用的刻划轮40，其基材41使用由PCD构成者。此外，销50亦使用PCD制者。

另外，PCD是混合微细的钻石粒子(粒子径为0.5～2.0μm)、添加剂(钨、钛、铌、钽等的超微粒子碳化物)、结合材(钴、镍、铁等的铁族元素)，且在钻石成为热力学上安定的高温及超高压下，使混合物烧结而制造。

此外，使用PCD制的物作为销50的理由，是为了使销50容易更顺利地进行旋转。其原因之一，由于在实际制造PCD制的销、超硬合金制的销、及于表面形成有包含有硬质粒子的镀敷被膜的销的3种，且观察其表面粗度之下，发现PCD制的销与超硬合金制的销在表面粗度上较为优异之故。另外，在求出表示表面粗度的参数之一的算术平均粗度(Ra)的情形，PCD是0.062μm、超硬合金是0.024μm、包含有硬质粒子的镀敷被膜是0.954μm。此外，关于摩擦系数，由于PCD相较于超硬合金摩擦系数较低之故。

而且，为了进行与保持具单元30的比较，准备了用于比较的保持具单元C。该保持具单元C，与保持具单元30同样地，具备有保持具31、刻划轮40与销50，且将该等一体化而成。

此外，保持具单元C与保持具单元30相异之处，为将配置于销孔35a、35b的销50固定成无法旋转的状态的方面。具体而言，保持具单元C，是以借由将销50压入于销孔35a，而将销50固定成无法旋转的方式构成。另外，比较用的保持具单元C中的销50的固定，另亦可利用接着剂等的方法。

刻划轮40，是使用外径为3.0mm、厚度为0.65mm、贯通孔42的孔径为0.8mm、刀刃部43的刃前角为110°者。

而且，将保持具单元30与用于比较的保持具单元C，分别安装于刻划装置10的保持具接头23，并分断脆性材料基板17以作成试验片，且进行试验片的剖面强度的测定。

另外，作成试验片时的条件为以下：

刻划装置：三星钻石工业股份有限公司制刻划装置(MS型)

切断速度：300mm/sec

切入量：0.1mm

脆性材料基板：日本电气硝子股份有限公司制玻璃基板，厚度0.3mm、360mm×460mm、OA-10(商品名)

试验片尺寸：40mm×50mm

此外，端面强度，是在从各试验片的一面上的中心线(二分割成40mm×25mm的大小的线)分别往两侧离开5mm的2条直线上、及从相反侧的面(背面)上的中心线(与表面中心线相对面的线)分别往两侧离开10mm的2条直线，从垂直方向对试验片施加压力F，测定被破坏时的压力(stress)，借此求出4个部位弯曲强度(单位：N)。另外，于图6表示了各试验片的弯曲强度的测定方法的概略。此外，所使用的4个部位弯曲试验机，是岛津制作所制的Ez Test/CE，且以试验速度1mm/min进行测定。

而且，测定了分别使用保持具单元30与保持具单元C分断成的20片试验片的4个部位弯曲强度。图7(a)是使用销50为可旋转的保持具单元30的情形下的测定结果的图，图7(b)是使用销50为不可旋转的保持具单元C的情形下的测定结果的图。另外，使用相异的3个销50进行测定，而在图7(a)、图7(b)的n=1是使用相同的销50，亦在n=2、n=3分别在保持具单元30与保持具单元C使用了相同的销50。

此外，在图7a)、图7(b)中，将针对20片试验片所测定出的最大值(Max)、最小值(Min)与平均值(Ave)记载于图中。而且，于图7(a)中所示的在使用了保持具单元30的情形下，3个的平均强度为81.3N。此外，于图7(b)中所示的使用了保持具单元C的情形下的3个的平均强度为71.3N。

由该结果可知，以销50为可旋转的状态设定的保持具单元30，相较于以销50为不可旋转的状态设定的保持具单元C，试验片即玻璃基板的端面强度变高。具体而言，保持具单元30的端面强度，相较于保持具单元C的端面强度，高出约14%。

也就是，在保持具31、刻划轮40与销50成为一体的保持具单元30的情形，借由将销50配置成可旋转的状态，能够使经分断的脆性材料基板17的端面强度提高。

此外，在所谓的手动式的刻划装置的保持具接头，分别安装保持具单元30与保持具单元C，并试着于玻璃基板形成刻划线时，相较于保持具单元30，使用保持具单元C感觉较钝重。

从以上可知，在将销50以固定的状态配置的保持具单元C中，刻划轮40的旋转阻力变大，因此于端面产生较多较大的裂纹，导致端面强度降低。

[实施形态2]

接着，针对实施形态2的保持具接头123、与保持具单元130，利用图8～图10进行说明。图8，表示将保持具单元130安装于保持具接头123的接头部123b前的状态的部分放大立体图。图9，是已将保持具单元130安装于保持具接头123的接头部123b的状态的剖面图。图10，是保持具单元130的前视图。

保持具单元130，是将保持具131、刻划轮140与销150一体化而成。

保持具131，是大致圆柱形的以金属或树脂形成。于保持具131，为了容易限制往接头部123b的插入方向，并且容易进行装卸，形成有从侧面突出的操作杆132。此外，于保持具131，遍及全周形成有圆环状的凹部133。

此外，于保持具131的下部，设置有经切削形成的保持沟槽134。而且，为了设置保持沟槽134而于经切削的保持具131的下部，以夹着保持沟槽134的方式设置有支持部135a、135b。于该保持沟槽134，分别形成有支持用以将刻划轮140保持成旋转自如的销150的销孔136a、136b。另外，销孔136a，于内部具有阶部，且保持沟槽134侧的开口的孔径，较另一侧的开口的孔径为大。此外，刻划轮140，是与实施形态1的刻划轮40同样。此外，销150，是与实施形态1的销50同样。

于保持具接头123的接头部123b，形成有具备用以插入保持具单元130并加以保持的开口124的内部空间125、与用以导入保持具131的操作杆132的杆导入沟槽126。此外，于开口124，设置有例如球塞(ball plunger)或弹簧构件等的弹性构件127(参照图9)。而且，该弹性构件127，成为与保持具131的圆环状的凹部133抵接。

保持具单元130，一边将操作杆132导入杆导入沟槽126，一边透过开口124而插入于内部空间125。一旦将保持具单元130插入于内部空间125，并将操作杆132于杆导入沟槽126内往上抬，则保持具131的上端与内部空间125内的顶部抵接。此时，弹性构件127卡合于保持具131的凹部133，借此将保持具单元130保持并固定于接头部123b呈可装卸。此外，由于操作杆132是借由杆导入沟槽126抑制旋转方向的动作，因此保持具单元130被正确地定位于接头部123b的内部空间125内。另外，保持具131，亦可不于外周面部的全周具备圆环状的凹部133，而仅于弹性构件127所抵接的位置具备凹部133。

此外，保持具131，其形成于支持部135b的销孔136b的外部侧(与保持沟槽134相反侧)的径长成为较大。而且，于该较大的径长的部分配置有径长较销150为大的圆板状的挡板137。该挡板137，借由于四个部位型锻销孔136b的外部侧的壁所形成的爪部138，而被保持成不脱落。另外，该挡板137，是在将销150从销孔136b侧插入之后配置，且借由爪部138保持。

此外，保持具131，在销孔136a侧，于内部具有阶部，且保持沟槽134侧的开口的孔径，较另一侧的开口的孔径为大。保持具131，由该阶部形成销承受部，使销150不会从销孔136a脱落。

此外，销150，与实施形态1的保持具单元30同样地亦在保持具单元130中，在销孔136a、136b中，以在与保持具131之间设置0.025～0.055mm的间隙的方式配置。

借由如此般的构成，保持具单元130，成为配置于销孔136a、136b的销150可旋转。因此，与实施形态1的保持具单元30同样地，亦在保持具131、刻划轮140与销150成为一体的保持具单元130的情形，由于将销150配置成可旋转的状态，因此能够提高经分断的脆性材料基板的端面强度。

此外，在保持具单元130中，将挡板137借由型锻销孔136b外部侧的内周壁而形成的爪部138保持。因此，销150的销孔136b侧的端部，不直接与爪部138接触，而与挡板137接触。因此，若销150直接抵接爪部138，则恐有因爪部138的阶差而产生销150的旋转变不规则、减速等情况，但在实施形态2中不会产生如此般的问题。

另外，挡板137是以钢材形成。另外，由于亦有与在销孔136a、136b内未被固定住的销150接触的情况，因此亦可以于PCD制的物或基材成膜有DLC(diamond-like carbon)膜者等摩擦系数更低者形成。或者，为了防止与销接触而产生磨耗或破损，亦可使用硬度高的超硬合金等。

此外，在刻划线的形成时，一旦刻划速度变快，则借由刻划轮140的旋转而容易使销150一同旋转，使得对销150施加较大的外力。此时，若销150直接与爪部138接触，则恐将使销150穿破爪部130。然而，在实施形态2中，由于销150与挡板137接触而将外力分散，因此销150难以脱落。

另外，在实施形态2中，虽例示了使用圆板状的物作为挡板137，但只要是能够防止销150从销孔136b脱出的形状即可，挡板137，例如亦可为椭圆形状的平板、多角形状的平板等。

此外，在实施形态2中，虽借由爪部138保持挡板137，但保持具单元130，例如，亦可为借由接着剂将挡板137保持于销孔136b的构成、或借由熔接将挡板137保持于销孔136b的构成。

此外，保持具单元130，亦可为亦在销孔136a侧，对销150使用挡板的构成。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种保持具单元，具备：

刻划轮，用以形成刻划线；

销，将该刻划轮保持成旋转自如；以及

保持具，具有形成配置有该刻划轮的保持沟槽的一对支持部，且于该一对支持部设置有配置该销的销孔；

且将该刻划轮保持于配置在该销孔的销，其特征在于：

该销，在该销孔中，以在与该保持具之间设有间隙的方式配置。

2.如权利要求1所述的保持具单元，其特征在于其中，

该间隙是0.025～0.055mm。

3.如权利要求1或2所述的保持具单元，其特征在于其中，

在配置于该销孔的该销的外侧，设置有用以防止该销脱落的爪部。

4.如权利要求3所述的保持具单元，其特征在于其中，

在该销与该爪部间配置有挡板。

5.如权利要求1或2所述的保持具单元，其特征在于其中，

该销由烧结钻石构成。

6.如权利要求3所述的保持具单元，其特征在于其中，

该销由烧结钻石构成。

7.如权利要求4所述的保持具单元，其特征在于其中，

该销由烧结钻石构成。

8.一种刻划装置，其特征在于其具备：

上述权利要求1至7中任一项所述的保持具单元；以及

使该保持具单元可装卸的接头部。