CN103901381A - 三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统 - Google Patents

三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统 Download PDF

Info

Publication number
CN103901381A
CN103901381A CN201310035199.7A CN201310035199A CN103901381A CN 103901381 A CN103901381 A CN 103901381A CN 201310035199 A CN201310035199 A CN 201310035199A CN 103901381 A CN103901381 A CN 103901381A
Authority
CN
China
Prior art keywords
magnetic force
element under
under test
order
load bearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201310035199.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103901381B (zh
Inventor
丁伟修
林威成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
King Yuan Electronics Co Ltd
Original Assignee
King Yuan Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by King Yuan Electronics Co Ltd filed Critical King Yuan Electronics Co Ltd
Publication of CN103901381A publication Critical patent/CN103901381A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103901381B publication Critical patent/CN103901381B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

本发明是有关于一种三轴磁力测试座与三轴测试系统,特别是有关一种可以提供三个轴向的磁力进行测试的一体式三轴磁力测试座以及应用此三轴磁力测试座之测试系统。此三轴磁力测试座与三轴测试系统借由三组缠绕于该测试座不同轴向的线圈,取代传统环绕测整个测试机台且仅能提供单轴磁场的螺线管,而对待测元件提供不同轴向的磁场,以进行单轴、双轴、与三轴磁力测试。

Description

三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统
技术领域
本发明是有关于一种三轴磁力测试座与三轴测试系统,特别是有关一种可以提供三个轴向的磁力进行测试的三轴磁力测试座以及应用此三轴磁力测试座之测试系统。
背景技术
随着微机电元件系统的发展,各种具有不同功能的小型且高性能的感应器被研发出来,例如加速度感应器、压力感应器(或压力计)、磁力感应器(或磁力计)等。这些感应器除了一般的电性测试之外,往往还需要对其感测性能进行测试,例如磁力感测、加速度感测等,所以传统用于电性测试的测试机台往往需要加载一些外加装置才能进行感测性能的测试。由于磁力感应器之测试需要在一测试磁场,因此,往往需要在一般的测试机台上加装螺线管(solenoid)而产生外加磁场,以进行磁力测试。
然而,由于螺线管采用多重缠绕导线,所以其不但结构复杂、体积庞大、功率消耗亦较大,并且往往需要外挂电源来提供螺线管产生磁场所需的电力,因此,造成测试成本上升。其次,螺线管所产生的外加磁场范围较大而笼罩测试机台的测试区内的所有待测元件,所以仅能对测试区内所有的磁力感应器(或磁力计)提供同一磁力测试环境进行测试,而无法对测试区内的个别磁力感应器(或磁力计)提供个别的磁力测试环境进行测试,因此,在测试上弹性较小。再者,由于外加磁场范围大所以其磁场分布不够均匀,使得磁力感应器(或磁力计)测试的结果受到其在外加磁场内的位置所影响,所以容易造成测试误差或是误判,而影响测试的良率与可靠性。
另外,由于外加电源往往无法精确地提供小电流(micro级电流),而无法精确地产生测试所需的磁场大小,因此,往往无法对磁力感应器(或磁力计)特性进行精密与精确的测试,而获得其确切的磁力特性。由于螺线管的体积庞大,因此,往往无法在测试机台上同时加装多组螺线管以提供多个轴向(例如双轴、三轴)的磁力测试,而仅能提供单轴的磁力测试,而不符合日新月异的测试需求。
有鉴于此,因此亟需要提出一种结构简单、体积小、消耗功率低、成本低、可以精确且均匀地产生测试测试所需的磁场大小、以及可以提供多轴向磁力测试的磁力感应器(或磁力计)的测试装置,使其可以整合于传统的测试机台,不但可以降低成本、简化设计,且可以增加测试弹性,以利测试产能与可靠性的提高。
由此可见,上述现有的感应器在结构与使用上,显然仍存在有不便与缺陷,而亟待加以进一步改进。因此如何能创设一种新型结构的三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统,亦成为当前业界极需改进的目标。
发明内容
本发明的目的在于,克服现有的感应器存在的缺陷,而提供一种新型结构的三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统,所要解决的技术问题是使其提供一种结构简单、体积小、消耗功率低、成本低的三轴向磁力测试座,可以精确且均匀地产生测试所需的磁场大小与不同轴向的磁场,而对待测元件进行单轴、双轴、以及三轴的磁力测试,以对个别待测元件提供个别的磁力测试环境,且可以增加测试弹性,以利测试产能与可靠性的提高,非常适于实用。
本发明的另一目的在于,提供一种新型结构的三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统,所要解决的技术问题是使其提供一种三轴向磁力测试系统,借由整合结构简单、体积小、消耗功率低、成本低的三轴向磁力测试座,可以精确且均匀地产生测试所需的磁场大小与不同轴向的磁场,而对个别待测元件提供个别的磁力测试环境,并对待测元件进行单轴、双轴、以及三轴的磁力测试,进而降低成本、简化设计,且可以增加测试弹性,以利测试产能与可靠性的提高,从而更加适于实用。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种三轴磁力测试座,其中包含:承载座,用以容置待测元件进行磁力测试;第一轴向线圈设置于该承载座中用以提供第一轴向磁场;固定装置,用以容置该承载座并将该三轴磁力测试座固定于测试机台上;一对第二轴向线圈,缠绕于该固定装置上,用以提供第二轴向磁场;一对第三轴向线圈,缠绕于该固定装置上,用以提供第三轴向磁场;以及电路板,设置于该承载座下方,用以做为该承载座与该测试机台之间的电性连接。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的三轴磁力测试座,其特征在于该承载座包含:底座;待测元件容置座,设置于该底座上并突出于该底座,用以容置待测元件;该第一轴向线圈,缠绕于该待测元件容置座,用以对该待测元件容置座中放置的待测元件提供第一轴向的磁场;以及盖板,覆盖于该底座上,而将该待测元件容置座与该第一轴向线圈容置于该盖板与该底座之间,该盖板具有开口,而该待测元件容置座借由该开口而裸露出来。
前述的三轴磁力测试座,其特征在于该底座的顶部表面上具有固定部,用以供该待测元件容置座套设于该底座的顶部表面上,而将该待测元件容置座固设于该底座上。
前述的三轴磁力测试座,其特征在于该待测元件容置座包含:容置顶座,该容置顶座上具有以容置待测元件的容置槽;支撑底座,该支撑底座底部具有固定槽,借由将该固定槽套于该底座的该固定部上,而将该待测元件容置座套设于该底座上;以及介于该支撑底座与该容置顶座之间的柱状连结,用以连接该支撑底座与该容置顶座,该第一轴向线圈缠绕于该柱状连结上。
前述的三轴磁力测试座,其特征在于该固定装置包含:固定座,用以将该三轴磁力测试座固定于该测试机台上;以及外罩,罩于该固定座上用以支撑或承载该第二轴向线圈与该第三轴线圈,并且该外罩内部具有容置该承载座的承载座容置空间。
前述的三轴磁力测试座,其特征在于该固定座上具有支撑柱,用以承载该承载座与该电路板而将其支撑于该承载座容置空间中,并固定于其中。
前述的三轴磁力测试座,其特征在于该外罩底部具有支撑柱孔,该支撑柱孔贯穿该外罩底部到达该承载座容置空间的底部,该支撑柱通过该支撑柱孔而承载与支撑该承载座与电路板。
前述的三轴磁力测试座,其特征在于该外罩顶部具有待测元件取放孔,该待测元件取放孔贯穿该外罩顶部到达该承载座容置空间的顶部,用以进行待测元件的取放。
前述的三轴磁力测试座,其特征在于该外罩一侧具有电路板延伸孔,该电路板延伸孔贯穿该外罩的一侧到达该承载座容置空间的一侧,用以供该电路板通过而与该测试机台连接。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种三轴磁力测试系统,其中包含:至少三轴磁力测试座,用以容置待测元件并提供不同轴向磁场的进行测试,该三轴磁力测试座包含:承载座,用以容置待测元件进行磁力测试;第一轴向线圈设置于该承载座中用以提供第一轴向的磁力;固定装置,用以容置该承载座并将该三轴磁力测试座固定于该测试机台上;一对第二轴向线圈,缠绕于该固定装置上,用以提供第二轴向磁场;一对第三轴向线圈,缠绕于该固定装置上,用以提供第三轴向磁场;电路板,设置于该承载座下方,用以做为该承载座与该测试机台之间的电性连接;检选分类装置(handler),用以拾取与放置该放待测元件于该三轴磁力测试座进行测试;以及测试机台,用以分别控制该三轴磁力测试座及该检选分类装置。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的三轴磁力测试系统,其特征在于该承载座包含:底座;待测元件容置座,设置于该底座上并突出于该底座,用以容置待测元件;该第一轴向线圈,缠绕于该待测元件容置座,用以对该待测元件容置座中放置的待测元件提供第一轴向磁场;以及盖板,覆盖于该底座上,而将该待测元件容置座与该第一轴向线圈容置于该盖板与该底座之间,该盖板具有开口,而该待测元件容置座借由该开口而裸露出来。
前述的三轴磁力测试系统,其特征在于该待测元件容置座包含:容置顶座,该容置顶座上具有以容置待测元件的容置槽;支撑底座,该支撑底座底部具有固定槽,借由将该固定槽套于该底座的该固定部上,而将该待测元件容置座套设于该底座上;以及介于该支撑底座与该容置顶座之间的柱状连结,用以连接该支撑底座与该容置顶座,该第一轴向线圈缠绕于该柱状连结上。
前述的三轴磁力测试系统,其特征在于该固定装置包含:固定座,用以将该三轴磁力测试座固定于该测试机台上;以及外罩,罩于该固定座上用以支撑或承载该第二轴向线圈与该第三轴线圈,并且该外罩内部具有容置该承载座的承载座容置空间。
前述的三轴磁力测试系统,其特征在于该外罩顶部具有待测元件取放孔,该待测元件取放孔贯穿该外罩顶部到达该承载座容置空间的顶部,用以进行待测元件的取放。
前述的三轴磁力测试系统,其特征在于该外罩一侧具有电路板延伸孔,该电路板延伸孔贯穿该外罩的一侧到达该承载座容置空间的一侧,用以供该电路板通过而与该测试机台连接。
前述的三轴磁力测试系统,其特征在于该检选分类装置为转盘式检选分类装置或直线式检选分类装置。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知,本发明的主要技术内容如下:提供一种三轴向磁力测试座,其包含用以容置待测元件进行磁力测试的承载座、设置于承载座中而用以提供第一轴向磁力第一轴向线圈、用以容置承载座并用以将三轴磁力测试座固定于测试机台上的固定装置、一对缠绕于固定装置上而用以提供第二轴向磁力的第二轴向线圈、一对缠绕于固定装置上而用以提供第三轴向磁力的第三轴向线圈、以及设置于承载座下方而用以做为承载座与测试机台之间的电性连接的电路板。此三轴向磁力测试座借由三组不同的磁力线圈提供不同轴向的磁力。由于此三组磁力线圈仅需环绕或嵌设于单一测试座,所以其所使用的磁力线圈远小于传统测试机台内产生外加磁场的螺线管,而具有结构简单、体积小、消耗功率低、成本低、磁场均匀,以及可以精确地反应电流而产生不同大小的磁场等优点。其次,此三轴向磁力测试座所需电流不大,所以装设于测试机台上的时候,可以直接以本身即可精确控制电流的测试机台来控制供给磁力线圈的电流大小,而不需要无法精确控制微电流的外载电源。因此,此三组磁力线圈可以精确且均匀地产生测试所需的磁场大小与不同轴向的磁场,而可以增加测试弹性,以利测试产能与可靠性的提高。
本发明提供一种三轴向磁力测试系统,其包含至少用以容置待测元件并提供不同轴向磁场的进行测试的本发明的三轴磁力测试座、用以拾取与放置放待测元件于三轴磁力测试座进行测试的检选分类装置(handler)、以及用以分别控制三轴磁力测试座及检选分类装置的测试机台。此三轴向磁力测试系统借由将本发明的三轴磁力测试座整合于传统的测试机台,而可以对个别待测元件提供个别的磁力测试环境,并对待测元件进行单轴、双轴、以及三轴的磁力测试,进而降低成本、简化设计,且可以增加测试弹性,以利测试产能与可靠性的提高。
借由上述技术方案,本发明三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统至少具有下列优点及有益效果:本发明提供一种具有结构简单、体积小、消耗功率低、成本低、磁场均匀,以及可以精确地反应电流而产生不同大小的磁场等优点的三轴向磁力测试座与三轴向磁力测试系统,进而降低成本、简化设计,且可以增加测试弹性,以利测试产能与可靠性的提高。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
图1A与图1B分别为本发明一实施例的三轴向磁力测试座的立体示意图与俯视图。
图2为本发明一实施例的三轴向磁力测试座的分解图。
图3为本发明一实施例的三轴向磁力测试座的立体剖面图。
图4A与图4B为本发明一实施例的三轴向磁力测试座中的承载座的立体图与剖面图。
图4C为本发明一实施例的三轴向磁力测试座中的待测元件容置座的示意图。
图4D为本发明一实施例的三轴向磁力测试座中的盖板的背面立体图。
图5为本发明一实施例的三轴向磁力测试座中的外罩的背面立体图。
图6为本发明一实施例的三轴向磁力测试的示意图。
图7为本发明另一实施例的三轴向磁力测试的示意图。
【主要元件符号说明】
10:三轴磁力测试座
20:转盘式检选分类装置
20’:直线式检选分类装置
22:转盘式吸嘴
22’:机械手臂或单一吸嘴
30、30’:三轴磁力测试系统
100:承载座         102:盖板
104:开口           106:第一连结孔
108:第二连结孔     110:底座
112:固定部         114:第三连结孔
116:第四连结孔     118:第一轴向线圈
120:待测元件容置座 121:容置槽
122:容置顶座       123:待测元件
124:柱状连结       125:孔洞
126:支撑底座       127:固定槽
128:电路板         130:第五连结孔
132:第六连结孔     133:槽
134:固定底座     135:探针
136:第一固定孔   138:第二固定孔
200:固定装置     202:固定座
204:支撑柱       206:穿孔
210、210’:外罩  212:支撑柱孔
214:承载座容置空间
216:电路板延伸孔
218:待测元件取放孔
220、222:第二轴向线圈凹槽
224、226:第三轴向线圈凹槽
228、230:第二轴向线圈
232、234:第三轴向线圈
236、238:固定件
240:第三固定孔
242:第四固定孔
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统其具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。
请同时参阅图1A、图1B、图2与图3,其分别为本发明之一实施例三轴磁力测试座10的立体示意图、俯视图、分解图、以及立体剖面图。三轴磁力测试座10包含用以容置待测元件123进行磁力测试的承载座100、设置于承载座100中而用以提供第一轴向磁力第一轴向线圈118、用以容置承载座100并用以将三轴磁力测试座10固定于测试机台上的固定装置200、一对缠绕于固定装置200上而用以提供第二轴向磁力的第二轴向线圈228、230、一对缠绕于固定装置200上而用以提供第三轴向磁力的第三轴向线圈232、234、以及设置于承载座100下方而用以做为承载座100与测试机台之间的电性连接的电路板128,而由这些元件组合而成。
请再次参阅图2及图4A与图4B,其分别为三轴向磁力测试座10中的承载座100的立体图与剖面图。承载座100包含底座110、待测元件容置座120、第一轴向线圈118、以及盖板102,而由这些元件组合而成。底座110的顶部表面上具有固定部112,用以供待测元件容置座120套设于底座110的顶部表面上,而将该待测元件容置座120固设于底座110上。固定部112为突起结构,例如柱状结构、插销结构、或其它可以插入待测元件容置座120底部的结构。底座110的底部具有容置固定底座134的凹槽133,而探针135可以通过固定底座134、底座110与待测元件容置座120,而电性连接待测元件容置座120(或其上待测元件123)与电路板128,以做为待测元件容置座120上放置的待测元件123与电路板128之间的测试信号传递。另外,底座110具有第三连结孔114与第四连结孔116,并且第三连结孔114与第四连结孔116皆贯穿底座110。
请同时参阅图1、图2、图4A、图4B、以及图4C,其中,图4C为三轴向磁力测试座10中的待测元件容置座120的示意图。待测元件容置座120用以容置待测元件123进行测试,其设置于底座110上并突出于底座110,而用以承载待测元件123以将其支撑于各个不同轴向线圈(第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、与第三轴向线圈232、234)所产生的磁场的中心位置,而可对待测元件123施加最均匀的不同轴向的磁场。待测元件容置座120包含容置顶座122、支撑底座126、以及介于支撑底座126与容置顶座122之间而连接支撑底座126与容置顶座122的柱状连结124。
容置顶座122上具有以容置待测元件的容置槽121,容置槽121上具有对应探针135的孔洞125,可供探针135通过而接触容置槽121内的待测元件123,而传递测试信号给待测元件123。柱状连结124为中空的柱体或圆柱体,使得探针135通过其内部而进入容置槽121与待测元件123接触。第一轴向线圈118缠绕于柱状连结124的外部,而在第一轴向线圈118通电流时产生第一轴向的磁场,对待测元件容置座120中放置的待测元件123施加第一轴向的磁场。支撑底座126的底部具有固定槽127,借由固定槽127套于底座110的固定部112上,而将待测元件容置座120套设并固定于底座110上。
请同时参阅图2、参阅图4A、图4B、以及图4D,其中,图4D为三轴向磁力测试座10中的盖板102的背面立体图。盖板102覆盖于底座110上,而将待测元件容置座120与第一轴向线圈118容置于盖板102与底座110之间。盖板102具有开口104,而待测元件容置座120(或容置槽121)则借由开口104而裸露出来,以供进行待测元件123的取放。另外,盖板102具有第一连结孔106与第二连结孔108,第一连结孔106与第二连结孔108皆贯穿盖板102。第一连结孔106与底座110上的第三连结孔114相对应,而在盖板102与底座110组合于承载座100,第一连结孔106与第三连结孔114由上往下排列成一直线。第二连结孔108与底座110上的第四连结孔116相对应,而在盖板102与底座110组合于承载座100,第二连结孔108与第四连结孔116由上往下排列成一直线。其次,在盖板102的一侧面(例如背面)具有第一固定孔136与第二固定孔138,用做将承载座100固定于固定装置200中之用。
参阅图2,电路板128具有第五连结孔130与第六连结孔132。第五连结孔130分别与盖板102的第一连结孔106以及底座110的第三连结孔114对应,而在电路板128组合于承载座100下方时,第一连结孔106、第三连结孔114、以及第五连结孔130由上往下排列成直线,而可以借由固定件(图中未示)贯穿第一连结孔106、第三连结孔114、以及第五连结孔130,而将承载座100锁固于该电路板128上。第六连结孔132分别与盖板102的第二连结孔108以及底座110的第四连结孔116对应,而在电路板128组合于承载座100下方时,第二连结孔108、第四连结孔116、以及第六连结孔132由上往下排列成一直线,而可以借由一固定件(图中未示)贯穿第二连结孔108、第四连结孔116、以及第六连结孔132,而将承载座100锁固于该电路板128上。
请同时参阅图2与图3,固定装置200包含用以将三轴磁力测试座10固定于测试机台上的固定座202、以及罩于固定座202上而用以支撑或承载第二轴向线圈228、230与第三轴线圈232、234的外罩210,其中,外罩210内部具有承载座容置空间214,用以容置承载座100。承载座容置空间214最好包含不同轴向线圈(第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、与第三轴向线圈232、234)所产生的磁场的中心位置,使得待测元件可以在各轴向最均匀的磁场中进行测试。固定座202上具有支撑柱204,用以承载承载座100与电路板128,而将其支撑于承载座容置空间214中,并固定于其中,特别是使得承载座100内容置的待测元件123可以位于各个不同轴向线圈(第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、与第三轴向线圈232、234)所产生的磁场的中心位置,而被施加以最均匀的磁场进行磁力测试。另外,固定座202上具有一个或多个穿孔206,用以供固定件(图中未示),以将三轴磁力测试座10(或固定座202)锁固于测试机台上。
请同时参阅图2、图3、与图5,其中,图5为三轴向磁力测试座10中的外罩210的背面立体图。外罩210除了内部具有承载座容置空间214之外,在外罩210的底部具有支撑柱孔212,支撑柱孔212贯穿外罩210的底部而到该承载座容置空间214的底部,用以供支撑柱204通过支撑柱孔212进入承载座容置空间214以承载与支撑承载座100与电路板128。在外罩210的顶部则具有待测元件取放孔218,待测元件取放孔218贯穿外罩210的顶部而到达该承载座容置空间214的顶部,而裸露出整个承载座100的顶部或容置顶座122(包含其上的容置槽121),使得测试机台的拾取装置或吸嘴可以通过待测元件取放孔218而进行待测元件的取放。另外,在外罩的一侧(通常为前侧)具有电路板延伸孔216,电路板延伸孔216贯穿外罩210的一侧(通常为前侧)而到达承载座容置空间214的一侧,电路板128可以通过电路板延伸孔216而向外延伸,以与测试机台连接,做为信号与电流的传递。再者,在外罩210的另一侧(通常为背面),即外罩210对应盖板102上设置有第一固定孔136与第二固定孔138的侧面(例如背面)的一侧,具有第三固定孔240与第四固定孔242。第三固定孔240对应第一固定孔136,在承载座100与固定装置200组装而将承载座100置于承载座容置空间214时,第三固定孔240与第一固定孔136由外而内排列成直线,而可以借由固定件236贯穿第三固定孔240与第一固定孔136,而将承载座100锁固于固定装置200(或承载座容置空间214)中。第四固定孔242对应第二固定孔138,在承载座100与固定装置200组装而将承载座100置于承载座容置空间214时,第四固定孔242与第二固定孔138由外而内排列成直线,而可以借由固定件238贯穿第四固定孔242与第二固定孔138,而将承载座100锁固于固定装置200(或承载座容置空间214)中。
外罩210的外部具有一对第二轴向线圈凹槽220、222,其中,第二轴向线圈凹槽220与222分别用以容置与支撑第二轴向线圈228与230,而使第二轴向线圈228、230缠绕与固定于外罩210的外部。另外,外罩210的外部还具有一对第三轴向线圈凹槽224、226,其中,第三轴向线圈凹槽224与226分别用以容置与支撑第三轴向线圈232与234,而使第三轴向线圈232、234缠绕与固定于外罩210的外部。第二轴向线圈凹槽220、222与第三轴向线圈凹槽224、226彼此垂直而设置于外罩210上,所以第二轴向线圈228、230与第三轴向线圈232、234也是彼此垂直而设置于外罩210上。
虽然图1A、图1B、图2、图3、以及图5所示外罩210为圆形球体或类似圆形的球体,但是,在本发明其它实施例中,外罩也可以是其它任何能有效支撑成对的第二轴向线圈与成对的第三轴向线圈的几何形状,例如外罩为一镂空的圆形球体或类似圆形的镂空球体,或是环状支架。
另外,三轴磁力测试座10的上的第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、以及第三轴向线圈232、234皆与电路板128(电性)连接,并经由电路板128与测试机台,例如自动化测试设备(ATE),电性连接。因此,测试机台可以通过电路板128而提供电流给第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、以及第三轴向线圈232、234,而产生不同轴向的磁场与控制不同轴向磁场的产生,并且经由控制所提供的电流大小,而控制第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、以及第三轴向线圈232、234所产生的磁场大小。
由于嵌入或环绕承载座100的第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、以及第三轴向线圈232、234远小于传统测试机台内产生外加磁场的螺线管,并且结构较简单、体积较小,因此,其产生磁场所需的电流较小,消耗功率也较低,所以测试机台本身所提供的电力即足够使第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、以及第三轴向线圈232、234产生不同轴向的磁场进行测试,而不需要外挂额外的电源。再者,由于第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、以及第三轴向线圈232、234体积小,对于电流较为敏感,而能精确地反应将电流的变化反应到磁场(或磁力)大小的变化,因此,可以直接借由测试机台的可程序化的电力单元(powerunit)精确地产生微(micro)安培级的电流,而精确地产生待测元件所需的磁场大小,以利测试产能与可靠性的提高。另外,由于第一轴向线圈118、第二轴向线圈228、230、以及第三轴向线圈232、234体积小,所以其所产生的磁场范围也比较小,所以磁场比较均匀且集中,而不会影响到放置于周边的其它三轴磁力测试座内的待测元件,所以可以对个别三轴磁力测试座内的待测元件提供个别磁力测试环境,而可以增加测试弹性,以利测试产能与可靠性的提高。
另外,由于本发明的三轴向磁力测试座中的各个零件不但结构简单、便于制造、所使用的材料成本低廉,因此,相较于需外挂额外电源与外加螺线管于传统测试机台且仅能提供单轴磁场的设计,不但成本较为低廉且可以提供单轴、双轴、以及三轴的磁力测试。值得注意的是,为了避免磁力干扰,所以本发明三轴向磁力测试座中的各个零件,例如承载座、固定装置等,都需要以非导磁材质制作。
参阅图2,在三轴向磁力测试座10中,第一轴向线圈118为螺线管线圈,第一轴向为Z轴,而该第一轴向线圈则为Z轴线圈,用以产生Z轴磁场。第二轴向线圈228、230为霍姆赫兹线圈,第二轴向为X轴,而第二轴向线圈228、230则为X轴线圈,用以产生X轴磁场。第三轴向线圈232、234为霍姆赫兹线圈,第三轴向为Y轴,而第三轴向线圈232、234则为Y轴线圈,用以产生Y轴磁场。
另外,本发明更提供一种三轴磁力测试系统,其由一个或多个前述的本发明三轴磁力测试座10、搭配目前市面上的一般检选分类装置(handler)与测试机台所组成。在此三轴磁力测试系统,测试机台分别与三轴磁力测试座以及检选分类装置(电性)连接,而控制三轴磁力测试座及检选分类装置运作,而检选分类装置则用以拾取与放置放待测元件于三轴磁力测试座进行测试。此三轴磁力测试系统借由本发明之三轴磁力测试座,而对个别的待测元件施加不同轴向的磁场,与提供不同的磁力测试环境,以对待测元件施加精确且均匀的磁场,而进行单轴、双轴、与三轴磁力测试。
本发明三轴磁力测试座可以搭配不同的检选分类装置而组成不同形式的三轴磁力测试系统。参阅图6,三轴磁力测试座10可以搭配转盘式检选分类装置(turret handler)20,而组成以转盘式吸嘴22进行待测元件取放的三轴磁力测试系统30。参阅图7,三轴磁力测试座10可以搭配直线式检选分类装置(pick & placehandler)20’,而组成以机械手臂或单一吸嘴22’进行待测元件取放的三轴磁力测试系统30’。
有鉴于上述实施例,本发明提供一种具有结构简单、体积小、消耗功率低、成本低、磁场均匀,以及可以精确地反应电流而产生不同大小的磁场等优点的三轴向磁力测试座与三轴向磁力测试系统,进而降低成本、简化设计,且可以增加测试弹性,以利测试产能与可靠性的提高。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (16)

1.一种三轴磁力测试座,其特征在于包含:
承载座,用以容置待测元件进行磁力测试;
第一轴向线圈设置于该承载座中用以提供第一轴向磁场;
固定装置,用以容置该承载座并将该三轴磁力测试座固定于测试机台上;
一对第二轴向线圈,缠绕于该固定装置上,用以提供第二轴向磁场;
一对第三轴向线圈,缠绕于该固定装置上,用以提供第三轴向磁场;以及
电路板,设置于该承载座下方,用以做为该承载座与该测试机台之间的电性连接。
2.如权利要求1所述的三轴磁力测试座,其特征在于该承载座包含:
底座;
待测元件容置座,设置于该底座上并突出于该底座,用以容置待测元件;
该第一轴向线圈,缠绕于该待测元件容置座,用以对该待测元件容置座中放置的待测元件提供第一轴向的磁场;以及
盖板,覆盖于该底座上,而将该待测元件容置座与该第一轴向线圈容置于该盖板与该底座之间,该盖板具有开口,而该待测元件容置座借由该开口而裸露出来。
3.如权利要求2所述的三轴磁力测试座,其特征在于该底座的顶部表面上具有固定部,用以供该待测元件容置座套设于该底座的顶部表面上,而将该待测元件容置座固设于该底座上。
4.如权利要求3所述的三轴磁力测试座,其特征在于该待测元件容置座包含:
容置顶座,该容置顶座上具有以容置待测元件的容置槽;
支撑底座,该支撑底座底部具有固定槽,借由将该固定槽套于该底座的该固定部上,而将该待测元件容置座套设于该底座上;以及
介于该支撑底座与该容置顶座之间的柱状连结,用以连接该支撑底座与该容置顶座,该第一轴向线圈缠绕于该柱状连结上。
5.如权利要求2所述的三轴磁力测试座,其特征在于该固定装置包含:
固定座,用以将该三轴磁力测试座固定于该测试机台上;以及
外罩,罩于该固定座上用以支撑或承载该第二轴向线圈与该第三轴线圈,并且该外罩内部具有容置该承载座的承载座容置空间。
6.如权利要求5所述的三轴磁力测试座,其特征在于该固定座上具有支撑柱,用以承载该承载座与该电路板而将其支撑于该承载座容置空间中,并固定于其中。
7.如权利要求6所述的三轴磁力测试座,其特征在于该外罩底部具有支撑柱孔,该支撑柱孔贯穿该外罩底部到达该承载座容置空间的底部,该支撑柱通过该支撑柱孔而承载与支撑该承载座与电路板。
8.如权利要求5所述的三轴磁力测试座,其特征在于该外罩顶部具有待测元件取放孔,该待测元件取放孔贯穿该外罩顶部到达该承载座容置空间的顶部,用以进行待测元件的取放。
9.如权利要求5所述的三轴磁力测试座,其特征在于该外罩一侧具有电路板延伸孔,该电路板延伸孔贯穿该外罩的一侧到达该承载座容置空间的一侧,用以供该电路板通过而与该测试机台连接。
10.一种三轴磁力测试系统,其特征在于包含:
至少三轴磁力测试座,用以容置待测元件并提供不同轴向磁场的进行测试,该三轴磁力测试座包含:
承载座,用以容置待测元件进行磁力测试;
第一轴向线圈设置于该承载座中用以提供第一轴向的磁力;
固定装置,用以容置该承载座并将该三轴磁力测试座固定于该测试机台上;
一对第二轴向线圈,缠绕于该固定装置上,用以提供第二轴向磁场;
一对第三轴向线圈,缠绕于该固定装置上,用以提供第三轴向磁场;
电路板,设置于该承载座下方,用以做为该承载座与该测试机台之间的电性连接;
检选分类装置,用以拾取与放置该放待测元件于该三轴磁力测试座进行测试;以及
测试机台,用以分别控制该三轴磁力测试座及该检选分类装置。
11.如权利要求10所述的三轴磁力测试系统,其特征在于该承载座包含:
底座;
待测元件容置座,设置于该底座上并突出于该底座,用以容置待测元件;
该第一轴向线圈,缠绕于该待测元件容置座,用以对该待测元件容置座中放置的待测元件提供第一轴向磁场;以及
盖板,覆盖于该底座上,而将该待测元件容置座与该第一轴向线圈容置于该盖板与该底座之间,该盖板具有开口,而该待测元件容置座借由该开口而裸露出来。
12.如权利要求11所述的三轴磁力测试系统,其特征在于该待测元件容置座包含:
容置顶座,该容置顶座上具有以容置待测元件的容置槽;
支撑底座,该支撑底座底部具有固定槽,借由将该固定槽套于该底座的该固定部上,而将该待测元件容置座套设于该底座上;以及
介于该支撑底座与该容置顶座之间的柱状连结,用以连接该支撑底座与该容置顶座,该第一轴向线圈缠绕于该柱状连结上。
13.如权利要求12所述的三轴磁力测试系统,其特征在于该固定装置包含:
固定座,用以将该三轴磁力测试座固定于该测试机台上;以及
外罩,罩于该固定座上用以支撑或承载该第二轴向线圈与该第三轴线圈,并且该外罩内部具有容置该承载座的承载座容置空间。
14.如权利要求13所述的三轴磁力测试系统,其特征在于该外罩顶部具有待测元件取放孔,该待测元件取放孔贯穿该外罩顶部到达该承载座容置空间的顶部,用以进行待测元件的取放。
15.如权利要求13所述的三轴磁力测试系统,其特征在于该外罩一侧具有电路板延伸孔,该电路板延伸孔贯穿该外罩的一侧到达该承载座容置空间的一侧,用以供该电路板通过而与该测试机台连接。
16.如权利要求10所述的三轴磁力测试系统,其特征在于该检选分类装置为转盘式检选分类装置或直线式检选分类装置。
CN201310035199.7A 2012-12-27 2013-01-29 三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统 Active CN103901381B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW101150493A TWI431269B (zh) 2012-12-27 2012-12-27 三軸磁力測試座與三軸磁力測試系統
TW101150493 2012-12-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103901381A true CN103901381A (zh) 2014-07-02
CN103901381B CN103901381B (zh) 2016-08-17

Family

ID=49479481

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310035199.7A Active CN103901381B (zh) 2012-12-27 2013-01-29 三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN103901381B (zh)
TW (1) TWI431269B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105259529A (zh) * 2015-11-23 2016-01-20 上海卫星装备研究所 卫星磁场测试系统校准装置及校准方法
CN105301539A (zh) * 2014-07-09 2016-02-03 宇能电科技股份有限公司 磁阻传感器及其制造方法
CN106560721A (zh) * 2015-09-30 2017-04-12 苹果公司 磁力计传感器组件的高效测试
EP3621091A1 (en) * 2018-09-06 2020-03-11 Melexis Technologies SA Device and system for testing magnetic devices

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI512311B (zh) * 2014-03-06 2015-12-11 Chung Huan Li 球面近場量測系統與方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1740797A (zh) * 2004-08-27 2006-03-01 京元电子股份有限公司 取放待测电子元件的方法与装置
WO2008066913A2 (en) * 2006-11-30 2008-06-05 Yamcon, Inc. Method and apparatus for magnetic field sensor calibration
CN101251584A (zh) * 2008-04-09 2008-08-27 武汉大学 三轴磁强计校正方法以及三轴磁梯度计校正方法
CN101363873A (zh) * 2007-08-08 2009-02-11 京元电子股份有限公司 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机及其制作方法
CN101852686A (zh) * 2009-03-30 2010-10-06 京元电子股份有限公司 直线往复测试模块及其测试系统
CN102193005A (zh) * 2010-03-03 2011-09-21 京元电子股份有限公司 直线往复式三维动态测试设备
KR20110132527A (ko) * 2010-06-02 2011-12-08 로베르트 보쉬 게엠베하 3축 자계 센서의 교정 방법 및 장치
CN102579048A (zh) * 2012-02-21 2012-07-18 大连理工大学 空间万向叠加旋转磁场旋转轴线方位与旋向的控制方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1740797A (zh) * 2004-08-27 2006-03-01 京元电子股份有限公司 取放待测电子元件的方法与装置
WO2008066913A2 (en) * 2006-11-30 2008-06-05 Yamcon, Inc. Method and apparatus for magnetic field sensor calibration
CN101363873A (zh) * 2007-08-08 2009-02-11 京元电子股份有限公司 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机及其制作方法
CN101251584A (zh) * 2008-04-09 2008-08-27 武汉大学 三轴磁强计校正方法以及三轴磁梯度计校正方法
CN101852686A (zh) * 2009-03-30 2010-10-06 京元电子股份有限公司 直线往复测试模块及其测试系统
CN102193005A (zh) * 2010-03-03 2011-09-21 京元电子股份有限公司 直线往复式三维动态测试设备
KR20110132527A (ko) * 2010-06-02 2011-12-08 로베르트 보쉬 게엠베하 3축 자계 센서의 교정 방법 및 장치
CN102579048A (zh) * 2012-02-21 2012-07-18 大连理工大学 空间万向叠加旋转磁场旋转轴线方位与旋向的控制方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
陈先锋等: "基于运动控制的三维磁场与磁力测试系统", 《机械制造》, vol. 43, no. 488, 30 April 2005 (2005-04-30) *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105301539A (zh) * 2014-07-09 2016-02-03 宇能电科技股份有限公司 磁阻传感器及其制造方法
CN106560721A (zh) * 2015-09-30 2017-04-12 苹果公司 磁力计传感器组件的高效测试
CN105259529A (zh) * 2015-11-23 2016-01-20 上海卫星装备研究所 卫星磁场测试系统校准装置及校准方法
CN105259529B (zh) * 2015-11-23 2018-06-05 上海卫星装备研究所 卫星磁场测试系统校准装置及校准方法
EP3621091A1 (en) * 2018-09-06 2020-03-11 Melexis Technologies SA Device and system for testing magnetic devices
CN110879345A (zh) * 2018-09-06 2020-03-13 迈来芯电子科技有限公司 用于测试磁性器件的设备和系统
US11162999B2 (en) * 2018-09-06 2021-11-02 Melexis Technologies Sa Device and system for testing magnetic devices
CN110879345B (zh) * 2018-09-06 2022-06-07 迈来芯电子科技有限公司 用于测试磁性器件的设备和系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN103901381B (zh) 2016-08-17
TW201333460A (zh) 2013-08-16
TWI431269B (zh) 2014-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103901381A (zh) 三轴磁力测试座与三轴磁力测试系统
US11506517B2 (en) Magnetic angular position sensor
US9606144B2 (en) Probe card and method for testing magnetic sensors
US10180467B2 (en) Apparatus for testing magnetic field sensor on wafer and method thereof
CN104296650B (zh) 分立磁角度传感器装置和磁角度传感器布置
CN105371874B (zh) 真实-相位二维磁场传感器
US9612309B2 (en) Magnetometer test arrangement and method
KR101552922B1 (ko) 자기 센서 테스트 장치 및 방법
US9678169B2 (en) Testing assembly for testing magnetic sensor and method for testing magnetic sensor
CN105388412A (zh) 用于pcba的测试装置
KR20150104234A (ko) 자기 메모리용 프로버 척 및 이를 구비한 자기 메모리용 프로버
CN109596863B (zh) 一种亥姆霍兹线圈测试用被测件固定夹具
CN105092694B (zh) 一种低频漏磁传感器磁敏元件夹持组合多轴移动装置
CN103885010A (zh) 用于磁学和电学性质同步测量的squid密封腔系统
JP2012198102A (ja) 磁気センサ測定装置
CN203965616U (zh) 单相或三相电子式电能表恒定磁场影响试验装置
CN218481630U (zh) 一种用于wlcsp的三维磁场测试装置
CN212303338U (zh) 三轴感应线圈装置及其支架
CN216248291U (zh) 一种六轴防磁场干扰测磁偏角线圈装置
CN220252149U (zh) 三轴磁传感器的检验和校准装置以及检验和校准系统
CN213275674U (zh) 片式磁芯电性的检测治具
CN215067240U (zh) 一种霍尔元件三维磁场测试装置
CN211756978U (zh) 用于2d平面霍尔芯片的磁通量测试装置
CN211756979U (zh) 用于3d平面霍尔芯片的磁通量测试装置
JPH11344536A (ja) 検査用ピン及び検査用治具

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant