CN103869711A - 编带齿轮自动下降的控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种编带齿轮自动下降的控制方法，该方法是：检测装置检测编带轨道是否离开编带轨道安装平台，若检测到编带轨道离开编带轨道安装平台，则检测装置输出信号到编带机，编带机控制降下编带齿轮。本发明方法降低了生产成本，同时降低因编带齿轮损坏引起的产品质量风险，提高产品的质量。
Description
技术领域
本发明涉及半导体生产技术领域，特别涉及一种半导体生产中取编带轨道时编带齿轮自动下降的控制方法。
背景技术
目前在半导体器件生产过程中，正常情况下当维修工需要取编带轨道时，需先点击设备上的编带齿轮下降按钮，编带齿轮下降到低位后再取下编带轨道，但是在操作的时候，特别是对于新技术员，经常会忘记点击设备上的编带齿轮下降按钮而取下编带轨道，取下编带轨道后才发现编带齿轮还未降下来，这种情况下编带齿轮会被编带轨道撞击或扭曲，导致编带齿轮断齿或整体变形，最终影响产品的质量，增加生产成本。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中所存在的上述不足，提供一种提高产品质量、降低生产成本的编带齿轮自动下降的控制方法。
为了实现上述发明目的，本发明提供了以下技术方案：
一种编带齿轮自动下降的控制方法，该方法是：
检测装置检测编带轨道是否离开编带轨道安装平台，若检测到编带轨道离开编带轨道安装平台，则检测装置输出信号到编带机，编带机自动控制降下编带齿轮。
优选的，所述检测装置在编带轨道离开编带轨道安装平台0.5mm距离内输出信号到所述编带机。
其中，所述检测装置为传感器，所述传感器安装在编带轨道安装平台上。
优选的，所述传感器为接近式传感器。
进一步的，所述接近式传感器的灵敏度在1mm内。
与现有技术相比，本发明的有益效果：
本发明方法通过检测装置检测编带轨道是否离开编带轨道安装平台，若检测到编带轨道离开编带轨道安装平台，则检测装置输出信号到编带机，编带机控制降下编带齿轮，这样就避免了编带齿轮被编带轨道撞击或扭曲，导致编带齿轮断齿或整体变形问题的出现，编带齿轮精度高，价格昂贵，采用该方法降低了生产成本，同时降低因编带齿轮损坏引起的产品质量风险，提高产品的质量。
附图说明：
图1为本发明方法流程图。
具体实施方式
下面结合试验例及具体实施方式对本发明作进一步的详细描述。但不应将此理解为本发明上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本发明内容所实现的技术均属于本发明的范围。
如图1所示，本发明的编带齿轮自动下降的控制方法是：
检测装置检测编带轨道是否离开编带轨道安装平台，若检测到编带轨道离开编带轨道安装平台，则检测装置输出信号到编带机，编带机控制降下编带齿轮；若没有检测到，则继续循环检测。所述检测装置在编带轨道离开编带轨道安装平台0.5mm距离内输出信号到所述编带机。其中，所述检测装置为传感器，所述传感器安装在编带轨道安装平台上。所述传感器为接近式传感器。所述接近式传感器的灵敏度在1mm内。
具体的，本发明在编带机现有机构上面增加一个传感器，通过在编带机控制中心设置软件读取此传感器的状态来判断编带轨道是否离开编带轨道安装平台。其中，传感器与编带机控制中心可以通过有线或无线方式连接。其目的是防止取放编带轨道时对编带齿轮的撞击或扭曲造成编带齿轮的变形，变形的编带齿轮会造成编带机运行不平稳，从而引起产品质量问题。编带齿轮自动下降功能是在已有的设备上新增加的一个功能，此功能由硬件和软件结合完成，硬件上面只增加了一个传感器（接近式传感器），通过软件读取此传感器的状态来判断编带轨道是否离开编带轨道轨道安装平台。
编带机在正常工作状态时，编带轨道是固定在编带轨道安装平台上的，编带轨道与编带轨道的安装平台紧密结合在一起，通过安装锁扣锁紧。在正常工作状态时编带齿轮处于高位。维修人员需要取编带轨道时，需先拆掉轨道锁紧锁扣并将编带轨道向上提起2-4毫米的距离（因为编带轨道安装平台上有定位销，编带轨道必须先脱离定位销后才能取下），若此时，编带齿轮还未降下来，这种情况下编带齿轮会被编带轨道撞击或扭曲，造成编带齿轮的变形，变形的编带齿轮会造成编带机运行不平稳，从而引起产品质量问题。本发明在设备上增加传感器用来检测编带轨道是否离开安装平台，编带机正常工作时，传感器输出高电平，传感器指示灯亮；编带机会一直监测此传感器的电平信号，一旦编带轨道离开编带轨道的安装平台，传感器指示灯就会熄灭，此时输出低电平信号，编带机就会监测到传感器的电平信号变化，并且立即输出一个驱动给电磁阀，从而带动气缸驱动编带齿轮下降，编带齿轮自动下降到低位，避免与编带轨道之间的撞击或扭曲。其中，采用的传感器(接近式传感器)要求在编带轨道离开编带轨道安装平台的瞬间（编带轨道离开编带轨道安装平台0.5mm距离内），传感器的输出信号必须有变化。根据编带轨道及编带轨道安装平台的形状及结构，选择将传感器安装在编带轨道的安装平台上合适位置并固定，安装位置要保证传感器检测的有效性，可根据具体情况来安装。
本发明方法通过检测装置检测编带轨道是否离开编带轨道安装平台，若检测到编带轨道离开编带轨道安装平台，则检测装置输出信号到编带机，编带机控制降下编带齿轮，该方法简单易实施，避免了编带齿轮被编带轨道撞击或扭曲导致编带齿轮断齿或整体变形问题的出现，编带齿轮精度高，价格昂贵，采用该方法降低了生产成本，同时降低因编带齿轮损坏引起的产品质量风险，提高产品的质量。
Claims (5)
1.一种编带齿轮自动下降的控制方法，其特征在于：该方法是：
检测装置检测编带轨道是否离开编带轨道安装平台，若检测到编带轨道离开编带轨道安装平台，则检测装置输出信号到编带机，编带机控制降下编带齿轮。
2.根据权利要求1所述的编带齿轮自动下降的控制方法，其特征在于：所述检测装置在编带轨道离开编带轨道安装平台0.5mm距离内输出信号到所述编带机。
3.根据权利要求1或2所述的编带齿轮自动下降的控制方法，其特征在于：所述检测装置为传感器，所述传感器安装在编带轨道安装平台上。
4.根据权利要求3所述的编带齿轮自动下降的控制方法，其特征在于：所述传感器为接近式传感器。
5.根据权利要求4所述的编带齿轮自动下降的控制方法，其特征在于：所述接近式传感器的灵敏度在1mm内。
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