CN103846785A - 一种锥螺旋形研磨盘 - Google Patents

一种锥螺旋形研磨盘 Download PDF

Info

Publication number
CN103846785A
CN103846785A CN201410080655.4A CN201410080655A CN103846785A CN 103846785 A CN103846785 A CN 103846785A CN 201410080655 A CN201410080655 A CN 201410080655A CN 103846785 A CN103846785 A CN 103846785A
Authority
CN
China
Prior art keywords
workpiece
mounting head
abrasive disk
grinding disc
work
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410080655.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103846785B (zh
Inventor
谢毅
琚春华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Gongshang University
Original Assignee
Zhejiang Gongshang University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Gongshang University filed Critical Zhejiang Gongshang University
Priority to CN201410080655.4A priority Critical patent/CN103846785B/zh
Publication of CN103846785A publication Critical patent/CN103846785A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103846785B publication Critical patent/CN103846785B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11Lapping tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/01Specific tools, e.g. bowl-like; Production, dressing or fastening of these tools

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

本发明涉及一种锥螺旋形研磨盘,适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工,它包括研磨盘、工件进给机构和工件安装头,工件安装头与研磨盘贴合,工件安装头在工件进给机构的带动下沿着研磨盘的盘面轨迹运动;研磨盘盘体为锥螺旋形,研磨盘盘面上的磨料粒度随着盘体的螺旋线梯度式变化,越靠近锥螺旋线的顶端,磨料粒度越高;工件安装头连接电机,工件安装头在电机的带动下会进行自转。本发明结构简单紧凑,自动化程度高,通过控制研磨盘不同部分的磨料粒度,可以对工件进行粗不同程度精度的加工;研磨盘转动的同时工件安装头也会在电机的带动下自转,二者的共同作用下可实现待加工表面的加工纹理无序化从而提高了加工效率与质量。

Description

一种锥螺旋形研磨盘
技术领域
本发明涉及一种锥螺旋形研磨盘,适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。 
背景技术
研磨是利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒,通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工(如切削加工)。研磨可用于加工各种金属和非金属材料,加工的表面形状有平面,内、外圆柱面和圆锥面,凸、凹球面,螺纹,齿面及其他型面。加工精度可达IT5~01,表面粗糙度可达Ra0.63~0.01微米。 
抛光是指利用机械、化学或电化学的作用,使工件表面粗糙度降低,以获得光亮、平整表面的加工方法。利用柔性抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工。抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度,而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的,有时也用以消除光泽(消光)。 
当我们需要对代加工工件进行光整加工,用以改善工件表面粗糙度或强化其表面的加工过程,通常同时采用研磨和抛光。传统的利用研磨盘或者抛光盘的光整系统将研磨与抛光工序分开,使得由研磨过度到抛光时系统需要将研磨盘更换为抛光盘,很难提升加工效率。即使是单一的研磨加工,单一磨粒粒度的研磨盘也并不能使工件完全达到所需的表面粗糙度或者需要很长的加工时间。且传统的研磨和抛光系统,加工时需要人为添加砝码或由工件和承托工件的器件本身的重 力来决定施加于工件表面与研磨盘(或抛光盘)表面的压力,这使得所是施加的压力不能根据加工需求得到动态调节而且无法得到低于工件和承托工件的器件本身的重力的压力,在更换研磨盘或抛光盘后需添加或者更换砝码,由于砝码的质量固定,很难实现施加压力的连续变化,从而影响了加工质量,并且受人为因素影响大,很难实现自动化。 
发明内容
为了克服现有技术加工中存在的加工效率低、自动化程度不高、抛光和研磨加工需要分开等缺点,本发明提供一种可以集粗磨、精磨、粗抛、精抛为一体的一种锥螺旋形研磨盘。 
为达到上述目的,本发明所采用的技术方案是:一种锥螺旋形研磨盘,包括研磨盘、工件进给机构和工件安装头,工件安装头与研磨盘贴合,所述工件安装头在工件进给机构的带动下沿着研磨盘的盘面轨迹运动; 
所述研磨盘盘体为锥螺旋形,研磨盘盘面上的磨料粒度随着盘体的螺旋线梯度式变化,越靠近锥螺旋线的顶端,磨料粒度越高; 
所述研磨盘盘体与一个竖直放置在盘体中心线位置的转轴连接,所述研磨盘内壁与转轴通过多根直杆固接; 
所述工件进给机构包括固定杆,连杆、移动块、电机和工件安装头,所述工件安装头装在电机上,所述电机装在移动块内,所述移动块和连杆通过转动副连接,所述连杆与固定杆通过髙副连接,所述高副受三个液压缸控制转向。 
进一步的,所述工件安装头底面设有工件安装孔,工件安装在工件安装孔内,所述工件安装孔设在工件安装头的正中心。 
进一步的,所述工件安装头底面设有工件安装孔,工件安装在工件安装孔内,所述工件安装孔设有多个,均匀分布在工件安装头的底面上。 
进一步的,所述工件安装头的四周装有滚轮,工件安装头通过滚轮与研磨盘的侧壁接触。 
本发明的技术构思为:本方案采用圆锥盘与连杆均能独立旋转,即圆锥盘自转,其转速可控,同时我们控制连杆在竖直方向及水平方向上转动。这里主要考虑的是连杆得转动与圆锥盘旋转之间的配合问题。(1)圆锥盘转速可控,工件安装头从圆锥底部开始向上运动,圆锥盘由多个部分组成,至下向上依次是不同精度的加工段,我们可控制圆锥盘驱动电机在每一个部分内的转动速度即控制圆锥盘在不同阶段内的转动速度,从而控制研磨时间。(2)控制连杆的竖直转动以及水平转动,得到工件安装头的运动轨迹,在这里我们设计的圆锥盘,使得工件安装头在运动的过程中始终保持在螺旋盘的两内壁之间。(3)由于圆锥盘的旋转速度不是一定的,所以在圆锥盘的不同旋转阶段,相应的,连杆得转动速度也要以之相配合,即连杆在竖直方向上的转动速度要根据圆锥盘的不同旋转阶段采取不同的转动速度从而保持工件安装头不与螺旋盘加工面脱离;而连杆的水平转动速度则要保持工件安装头不与螺旋盘两内壁碰撞。(4)由于使用的电机,电机的自身重力作为工件的施力方式。(5)由于高副受三个液压缸控制转 向,通过控制三个液压缸不同时间的的状况作出不同的运动,实现连杆的自由转动。 
与现有技术相比,本发明具有以下优点:本发明结构简单紧凑,成本较低,自动化程度高,通过控制研磨盘不同部分的磨料粒度,可以对工件分别进行粗不同程度精度的加工;研磨盘转动的同时工件安装头也会在电机的带动下自转,二者的共同作用下可实现待加工表面的加工纹理无序化从而提高了加工效率与质量。 
附图说明
图1是本发明结构示意图的主视图。 
图2是本发明结构示意图的右视图。 
图3是本发明结构示意图的俯视图。 
图4是本发明结构示意图的立体图。 
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面结合具体实施方式并参照附图,对本发明进一步详细说明。应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本发明的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本发明的概念。 
实施例1: 
结合图1、图2、图3和图4,一种锥螺旋形研磨盘,包括研磨盘1、工件进给机构和工件安装头2,工件安装头2与研磨盘1贴合,工件安装头2在工件进给机构的带动下沿着研磨盘1的盘面轨迹运 动. 
研磨盘1盘体为锥螺旋形,研磨盘1盘体为锥螺旋形,研磨盘1盘面上的磨料粒度随着盘体的螺旋线梯度式变化,越靠近锥螺旋线的顶端,磨料粒度越高。 
研磨盘1盘体与一个竖直放置在盘体中心线位置的转轴9连接,研磨盘1盘体内侧外壁与转轴9通过直杆固接。 
工件进给机构包括固定杆8,连杆5、移动块4、电机3和工件安装头2,工件安装头2装在电机3上,电机3装在移动块4内,移动块4和连杆5通过转动副连接,连杆5与固定杆8通过髙副6连接,高副6受三个液压缸7控制转向。 
研磨盘1由多个部分组成,至下向上依次是不同加工精度的加工段,通过控制圆锥盘驱动电机在每一个部分内的转动速度即控制圆锥盘在不同阶段内的转动速度,从而控制研磨时间。 
工件安装头2底面设有工件安装孔,工件安装在工件安装孔内,所述工件安装孔设在工件安装头的正中心。 
工件安装头2的四周装有滚轮,工件安装头通过滚轮与研磨盘的侧壁接触。 
实施例2: 
本实施例与实施例1的方案基本保持一致,唯一的区别在于工件安装头2底面设有工件安装孔,工件安装在工件安装孔内,工件安装孔设有多个,均匀分布在工件安装头的底面上。该模式可以进行多个工件同时进行加工,更进一步的提高了加工效率。 
应当理解的是,本发明的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本发明的原理,而不构成对本发明的限制。因此,在不偏离本发明的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。此外,本发明所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。 

Claims (4)

1.一种锥螺旋形研磨盘,包括研磨盘、工件进给机构和工件安装头,工件安装头与研磨盘贴合,其特征在于:所述工件安装头在工件进给机构的带动下沿着研磨盘的盘面轨迹运动;
所述研磨盘盘体为锥螺旋形,研磨盘盘面上的磨料粒度随着盘体的螺旋线梯度式变化,越靠近锥螺旋线的顶端,磨料粒度越高;
所述研磨盘盘体与一个竖直放置在盘体中心线位置的转轴连接,所述研磨盘内壁与转轴通过多根直杆固接;
所述工件进给机构包括固定杆,连杆、移动块、电机和工件安装头,所述工件安装头装在电机上,所述电机装在移动块内,所述移动块和连杆通过转动副连接,所述连杆与固定杆通过髙副连接,所述高副受三个液压缸控制转向。
2.根据权利要求1所述的一种锥螺旋形研磨盘,其特征在于:所述工件安装头底面设有工件安装孔,工件安装在工件安装孔内,所述工件安装孔设在工件安装头的正中心。
3.根据权利要求1所述的一种锥螺旋形研磨盘,其特征在于:所述工件安装头底面设有工件安装孔,工件安装在工件安装孔内,所述工件安装孔设有多个,均匀分布在工件安装头的底面上。
4.根据权利要求1所述的一种锥螺旋形研磨装置,其特征在于:所述工件安装头的四周装有滚轮,工件安装头通过滚轮与研磨盘的侧壁接触。
CN201410080655.4A 2014-03-06 2014-03-06 一种锥螺旋形研磨盘 Expired - Fee Related CN103846785B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410080655.4A CN103846785B (zh) 2014-03-06 2014-03-06 一种锥螺旋形研磨盘

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410080655.4A CN103846785B (zh) 2014-03-06 2014-03-06 一种锥螺旋形研磨盘

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103846785A true CN103846785A (zh) 2014-06-11
CN103846785B CN103846785B (zh) 2016-02-03

Family

ID=50855154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410080655.4A Expired - Fee Related CN103846785B (zh) 2014-03-06 2014-03-06 一种锥螺旋形研磨盘

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103846785B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09254021A (ja) * 1996-03-26 1997-09-30 Asahi Glass Co Ltd 高平坦研磨方法および高平坦研磨装置
US7267610B1 (en) * 2006-08-30 2007-09-11 Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. CMP pad having unevenly spaced grooves
CN201366662Y (zh) * 2009-01-08 2009-12-23 王敬伦 组合型研磨盘
CN201483354U (zh) * 2009-08-14 2010-05-26 河南晶锐超硬材料有限公司 立式研磨机研磨盘
CN202920000U (zh) * 2012-10-20 2013-05-08 北京中家智铭设计有限公司 研磨动子
CN203956707U (zh) * 2014-03-06 2014-11-26 浙江工商大学 一种锥螺旋形研磨盘

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09254021A (ja) * 1996-03-26 1997-09-30 Asahi Glass Co Ltd 高平坦研磨方法および高平坦研磨装置
US7267610B1 (en) * 2006-08-30 2007-09-11 Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. CMP pad having unevenly spaced grooves
CN101134291A (zh) * 2006-08-30 2008-03-05 罗门哈斯电子材料Cmp控股股份有限公司 具有不均匀间隔的凹槽的化学机械抛光垫
CN201366662Y (zh) * 2009-01-08 2009-12-23 王敬伦 组合型研磨盘
CN201483354U (zh) * 2009-08-14 2010-05-26 河南晶锐超硬材料有限公司 立式研磨机研磨盘
CN202920000U (zh) * 2012-10-20 2013-05-08 北京中家智铭设计有限公司 研磨动子
CN203956707U (zh) * 2014-03-06 2014-11-26 浙江工商大学 一种锥螺旋形研磨盘

Also Published As

Publication number Publication date
CN103846785B (zh) 2016-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102189460A (zh) 圆盘状工件的倒角装置
CN103878676B (zh) 一种锥螺旋形研磨装置
CN103846779B (zh) 一种可连续加工的研磨装置
CN103846783B (zh) 一种螺旋形研磨抛光盘
CN103878684B (zh) 一种带有抛光功能的研磨盘
CN103894916B (zh) 一种圆锥抛光装置
CN203956707U (zh) 一种锥螺旋形研磨盘
CN103878679A (zh) 一种双自由度平面抛光装置
CN103846775A (zh) 一种自行式多面抛光装置
CN204954499U (zh) 可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置
CN103878670A (zh) 一种平面抛光装置
CN103878681B (zh) 一种具有加载装置的多级抛光盘
CN103846785B (zh) 一种锥螺旋形研磨盘
CN203751921U (zh) 一种自行式多面抛光装置
CN203751935U (zh) 一种螺旋形研磨抛光盘
CN103878675A (zh) 一种带轨道的圆锥抛光装置
CN105817719A (zh) 内齿轮珩磨机
CN103878677B (zh) 一种带旋转框架的圆锥研磨装置
CN103846774A (zh) 一种滚筒式研磨装置
CN203751932U (zh) 一种可连续加工的研磨装置
CN103878683B (zh) 一种具有多级结构的研磨抛光盘
CN203751920U (zh) 一种滚筒式研磨装置
CN102756336B (zh) 公自转磁流变抛光去除廓形的优化调节方法
CN103846776B (zh) 一种带花键轴的多面抛光装置
CN103894922A (zh) 一种螺旋形研磨盘

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C53 Correction of patent of invention or patent application
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Ju Chunhua

Inventor after: Xie Yi

Inventor before: Xie Yi

Inventor before: Ju Chunhua

COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: XIE YI JU CHUNHUA TO: JU CHUNHUA XIE YI

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160203

Termination date: 20170306