CN103777530A - 一种直流电源输出换向系统 - Google Patents

一种直流电源输出换向系统 Download PDF

Info

Publication number
CN103777530A
CN103777530A CN201210442567.5A CN201210442567A CN103777530A CN 103777530 A CN103777530 A CN 103777530A CN 201210442567 A CN201210442567 A CN 201210442567A CN 103777530 A CN103777530 A CN 103777530A
Authority
CN
China
Prior art keywords
supply output
power supply
current power
direct supply
commutation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201210442567.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103777530B (zh
Inventor
彭彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Scintillation Section Zhongkexin Electronic Equipment Co ltd
Original Assignee
Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co Ltd filed Critical Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co Ltd
Priority to CN201210442567.5A priority Critical patent/CN103777530B/zh
Publication of CN103777530A publication Critical patent/CN103777530A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103777530B publication Critical patent/CN103777530B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

本发明涉及一种将直流电源输出换向的技术领域，特别是应用在不同工作电位的离子注入机直流电源输出换向技术。一种直流电源输出换向系统，包括工控机(1)、光纤(2)、光纤控制单元(3)、换向器(4)设有状态显示单元(7)与换向元件(6)、直流电源(5)、直流电源输出线(10)、换向后输出线(8)以及磁铁线包(9)。说明书对一种直流电源输出换向系统作出了详细说明，并给出了具体实施例。

Description

一种直流电源输出换向系统
技术领域
本发明涉及一种将直流电源输出进行换向向磁场线包供电的技术领域，特别是应用在不同工作电位的离子注入机直流电源输出换向技术。
背景技术
目前电路的集成度越来越高，结构越来越复杂，存储速度越来越快，对材料性能的要求越来越苛刻。到65nm代器件，源漏区注入不但最小结深只有15nm，而且要求晕(halo)注入的掺杂浓度非常大，达到1E16/cm2量级，中束流注入机的能量范围和注入效率都已不能适应这一工艺要求，只有超低能大束流注入才能满足注入结深和注入剂量大要求。与传统的注入机不同，低能大束流离子注入对设备在束平行性、束能量纯度、离子束减速技术、注入晶圆电荷消除技术、离子束扩束技术、注入深度控制、注入重复性、均匀性与生产率等方面都提出了更高的要求。离子源产生高密度等离子体，由引出系统引出具有一定张角的宽带离子束，在宽带束低能离子注入机中用于控制透镜磁场的直流电源分布在不同的电位，许多透镜磁场的调节方式，要求电源电流能正负可变，而市场上很难找着既能满足输出大电流又能提供换向功能的电源，仅有几家配有换向功能选项的电源厂家，不仅价格昂贵，而且只能通过SCPI命令控制，通过工控机直接与电源连接通讯才能完成换向功能，无法通过0-10V标准模拟接口处控制，无法实现不同的工作电位换向控制。
发明内容
本发明专利即是针对上述现有技术中存在的问题而提出的一种结构简单、实现可靠的用于具有不同工作电位的离子注入机直流电源输出换向技术。
本发明专利通过以下技术方案来实现：
一种直流电源输出换向系统，包括工控机(1)、光纤(2)、光纤控制单元(3)、换向器(4)设有状态显示单元(7)与换向元件(6)、直流电源(5)、直流电源输出线(10)换向后输出线(8)以及磁铁线包(9)。所述换向器(4)由态显示单元(7)与换向元件(6)构成。
所述的工控机(1)与光纤控制单元通过光纤(2)相连；所述光纤控制单元(3)与状态显示单元(7)和换向元件(6)相连；所述换向元件(6)与所述光纤控制单元(3)以及所述状态显示单元(7)相连；所述直流电源(5)通过直流电源输出线(10)与换向元件(6)相连；所述的换向元件(6)通过换向后输出线与磁铁线包(9)相连。
相对现有技术，本发明所述电路的有益效果在于：
1.仅用一个换向元件实现直流电源输出换向，解决了常见多个元件控制时因响应不同步造成换向失败或接触不好；
2.电路简洁，可以实现模块化，利于生产和安装，成本低；
3.无需改变和破坏正在使用运行的现有直流电源的结构和电路就能顺利的满足不同工作电位电源输出端换向的功能；
附图说明
图1是本发明所述直流电源换向系统原理框图；
图2是本发明所述直流电源换向系统实施电路原理图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
参见图1一种直流电源输出换向系统，包括工控机(1)、光纤(2)、光纤控制单元(3)、换向器(4)设有状态显示单元(7)与换向元件(6)、直流电源(5)、直流电源输出线(10)换向后输出线(8)以及磁铁线包(9)。所述换向器(4)由态显示单元(7)与换向元件(6)构成。
所述的工控机(1)与光纤控制单元通过光纤(2)进行通讯，进行数据的发送和接收实现高低电位光电隔离；所述光纤控制单元(3)与状态显示单元(7)和换向元件(6)相连；所述换向元件(6)与所述光纤控制单元(3)以及所述状态显示单元(7)相连；所述直流电源(5)通过直流电源输出线(10)与换向元件(6)相连；所述的换向元件(6)通过换向后输出线与磁铁线包(9)相连。
所述换向元件(6)采用带多组常闭，多组常开的交流接触器来满足直流电源输出换向功能及状态信号的采集。
参见图2，当工控机(1)通过光纤(2)未向光纤控制单元(2)发送换向使能信号时，光纤控制信号(3)通过连线(401)发送低电平信号，此时换向元件(6)即K1接触器线包不得电未动作，直流电源(5)通过直流电源输出线(10)以及K1接触器常闭触点K1E和K1G将直流电源(5)输出的电流直接加在磁铁线包(9)上，K1接触器常闭触点K1A将通过连线(402)将未换向的状态信号反馈到光纤控制单元，同时K1接触器的常闭触D点K1B和K1C分布将换向和未换向的状态信号送与状态显示板(7)显示，便于实时准确地监控直流电源(5)加到磁场线包上的电流工作状态；当工控机(1)通过光纤(2)向光纤控制单元(2)发送换向使能信号时，光纤控制信号(3)通过连线(401)发送高电平信号，此时换向元件(6)即K1接触器线包得电动作，K1接触器常闭触点K1E和K1G断开，常开触点K1D和K1F闭合，此时直流电源(5)通过直流电源输出线(10)经过触点K1D和K1F，将直流电源(5)输出的电流正负互换后加在磁铁线包(9)上，同时光纤控制单元(7)及状态显示单元实时准确地监控直流电源(5)加到磁场线包上的电流工作状态；
本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (3)

1.一种直流电源输出换向系统，其特征在于：该系统包括工控机(1)、光纤(2)、光纤控制单元(3)、换向器(4)、直流电源(5)、直流电源输出线(10)、换向后输出线(8)以及磁铁线包(9)。
2.如权利要求1所述的一种直流电源输出换向系统，其特征在于：仅用一个换向元件完成直流电源输出的换向。
3.如权利要求1所述的一种直流电源输出换向系统，其特征在于所述换向器(4)由状态显示单元(7)与换向元件(6)构成。
CN201210442567.5A 2012-11-08 2012-11-08 一种直流电源输出换向系统 Active CN103777530B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210442567.5A CN103777530B (zh) 2012-11-08 2012-11-08 一种直流电源输出换向系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210442567.5A CN103777530B (zh) 2012-11-08 2012-11-08 一种直流电源输出换向系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103777530A true CN103777530A (zh) 2014-05-07
CN103777530B CN103777530B (zh) 2017-02-15

Family

ID=50569908

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210442567.5A Active CN103777530B (zh) 2012-11-08 2012-11-08 一种直流电源输出换向系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103777530B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2073623U (zh) * 1990-01-22 1991-03-20 煤炭工业部石家庄煤矿设计研究院 真空电源换向开关装置
US5343970A (en) * 1992-09-21 1994-09-06 Severinsky Alex J Hybrid electric vehicle
JPH10122006A (ja) * 1996-09-03 1998-05-12 Taiihaa Yan 主動電動機の速度制御による複合動力装置
CN1455500A (zh) * 2003-05-19 2003-11-12 清华大学 多相直流电动机的电源换向装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2073623U (zh) * 1990-01-22 1991-03-20 煤炭工业部石家庄煤矿设计研究院 真空电源换向开关装置
US5343970A (en) * 1992-09-21 1994-09-06 Severinsky Alex J Hybrid electric vehicle
JPH10122006A (ja) * 1996-09-03 1998-05-12 Taiihaa Yan 主動電動機の速度制御による複合動力装置
DE69617225T2 (de) * 1996-09-03 2002-05-08 Yang Tai Her Kombiniertes Antriebssystem mit Kraftmaschine und elektrischer Maschine
CN1455500A (zh) * 2003-05-19 2003-11-12 清华大学 多相直流电动机的电源换向装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103777530B (zh) 2017-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106602504A (zh) 一种光伏快速关断装置及光伏系统
CN103208386B (zh) 基于双开关式的高压直流断路器
CN104184108A (zh) 直流断路器及其控制方法
CN201557093U (zh) 一种电子自锁电路及装置
CN103490374A (zh) 一种量产测试设备及其短路过流保护电路
CN101819906A (zh) 一种电子开关
CN109062392A (zh) 一种自动切换服务器板卡供电的设备、方法及系统
CN102136244A (zh) 显示装置的数据驱动电路及数据线电荷分享方法
CN107947543A (zh) 多输入组件级快速关断装置及其驱动电路和光伏系统
CN105406845B (zh) 一种pmos关断控制电路及供电装置
CN103777530A (zh) 一种直流电源输出换向系统
CN105119478A (zh) 一种功率单元的旁路接触器控制板
CN106656131B (zh) 金融自助设备及其功率电源开关控制电路
CN107171560A (zh) 一种开关控制电路
CN104242230A (zh) 一种用于电力保护的直流断路器结构
CN107171537B (zh) 一种功率单元的旁路控制系统及高压变频调速装置
CN203552988U (zh) 一种基于双开关式的高压直流断路器
CN207623767U (zh) 一种一键开关机系统
CN105576816A (zh) 切换电路
CN111585484A (zh) 可逆型控制与保护开关电器及其可逆控制方法
CN209641593U (zh) 一种接触器防电弧控制单元
JP2013118786A (ja) 蓄電装置
CN205787696U (zh) 一种应用在工业吸尘器吹扫阀上的自动控制电路
CN205068028U (zh) 具有状态保持功能的智能设备控制电路
CN220107580U (zh) 一种大电流换向设备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20220513

Address after: 101111 1st floor, building 1, 6 Xingguang 2nd Street, Tongzhou District, Beijing

Patentee after: Beijing Scintillation Section Zhongkexin Electronic Equipment Co.,Ltd.

Address before: No.6, Xingguang 2nd Street, optical Mechatronics industrial base, Tongzhou District, Beijing

Patentee before: BEIJING ZHONGKEXIN ELECTRONICS EQUIPMENT Co.,Ltd.