CN103718315A - 聚光光伏电池的主动冷却 - Google Patents
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Abstract
一种用于收割电力的余热收割设备（1000），包括切换装置（1200），该切换装置（1200）配置成在切换装置（1200）的温度越过预定温度时将磁场从第一区域输送到至少第二区域。
Description
近年来，由于石化能源可用性的考虑以及环境考虑，可再生能源的发展不断增长。在不同种类的可再生能源中，太阳能是最丰富的。因此，对于如何收集太阳能且将它转换成电力存在密集的研究。在提出的不同技术中，光伏（PV）电池在本领域是公知的且被广泛地发展以增加其效率且降低其成本。
具体而言，已知：与提供相同功率量的标准光伏类型系统相比，聚光光伏（CPV）电池被较便宜地制造。这是由于这一事实：聚光光伏电池使用透镜来将太阳光聚焦在PV表面上，由于光汇聚，该PV表面较小。因此，需要的面积和材料减小。
在例如大于500倍的太阳光的高聚光比例，需要光伏电池的冷却。这是由于PV电池在较高的温度下较低效这一事实以及PC电池被极高温度损害的可能性。
为了冷却PV电池，诸如热耗散器之类的被动冷却变得复杂且因此昂贵。作为备选，已知使用主动冷却解决方案，其中，比如水或油的一些介质用于冷却电池。在这种方法中，冷却介质被加热且例如要么直接用作热水，要么用于运行用于电力产生的发电机。在后一种情况中，电力产生处理的效率相当低。
更具体而言，典型的CPV电池大小可以介于0.25cm2和1cm2之间。假设500的聚光比例，可以估算热量中约5至18瓦被浪费。这粗略地处于通过CPV电池转换成电力的能量幅度的相同量级。
因此，如果产生的热可以经由高效处理转换成电力，则在聚光光伏电池领域中将存在改善。
这种问题通过如所附独立权利要求限定的本发明解决。
更具体而言，本发明可以涉及用于收割电力的余热收割设备，包括：切换装置，配置成在切换装置的温度越过预定温度时将磁场从第一区域输送到至少第二区域。
归因于这种方法，余热收割设备能够以有效方式将热转换成电力。
在一些实施方式中，余热收割设备还包括：磁装置，配置成产生磁场；磁通量输送机，配置成输送通过切换装置的切换产生的磁通量；以及电力产生装置，配置成从磁通量产生电力。
归因于这种方法，余热收割设备能够使用简单的设计将热转换成电力。
在一些实施方式中，磁通量输送机的第一侧可以连接到磁装置的一个极，且切换装置可以放置在磁通量输送机的第二侧和磁装置的另一极之间。
归因于这种方法，磁场可以产生流经磁通量输送机的磁通量。
在一些实施方式中，切换装置可以是磁合金开关。
归因于这种方法，开关可以允许或阻止磁场的通过。
在一些实施方式中，电力产生装置可以包括缠绕磁通量输送机的线圈。
归因于这种方法，可以从磁通量产生电力。
在一些实施方式中，磁通量输送机可以是铁类型和铁磁合金中的任意一种，诸如Fe或Fe-P或FeSi或Ni/Fe45/55。
归因于这种方法，磁通量可以被有效地输送。
在一些实施方式中，磁装置可以是SmCo5、Sm2Co15、Nd2Fe14B或Ba铁素体其中任意一种。
归因于这种方法，磁场可以被有效地实现。
在一些实施方式中，切换装置可以由Gd5(SixGe1-x)4制成。
归因于这种方法，磁通量的切换可以以有效方式实现。
本发明还涉及一种余热收割系统，包括至少两个根据前述实施方式中任一个的余热收割设备，所述至少两个余热收割设备中的每一个包括用于输出通过电力产生装置产生的电力的设备功率输出。
归因于这种方法，多个余热收割设备可以联合操作。
在一些实施方式中，所述至少两个设备功率输出可以彼此并联或串联连接。
归因于这种方法，以相同频率操作的多个余热收割设备可以联合操作。
在一些实施方式中，至少两个设备功率输出的连接可以连接到AC/DC转换器且AC/DC转换器的输出可以连接到余热收割系统的功率输出。
归因于这种方法，余热收割系统的功率输出可以连接到相似的余热收割系统的第二功率输出。
在一些实施方式中，至少两个设备功率输出的连接可以连接到AC/AC转换器且AC/AC转换器的输出可以连接到余热收割系统的功率输出。
归因于这种方法，余热收割系统的功率输出可以连接到相似的余热收割系统的第二功率输出。
在一些实施方式中，至少两个设备功率输出中的每一个可以连接到AC/DC转换器。
归因于这种方法，不以相同频率操作的多个余热收割设备可以联合操作。
在一些实施方式中，AC/DC转换器的输出可以彼此串联或并联连接，且所得连接可以连接到余热收割系统的功率输出。
归因于这种方法，不以相同频率操作的多个余热收割设备可以联合操作。
在一些实施方式中，至少两个设备功率输出中的每一个可以连接到AC/AC转换器。
归因于这种方法，不以相同频率操作的多个余热收割设备可以联合操作。
在一些实施方式中，AC/AC转换器的输出可以彼此串联或并联连接，且所得连接可以连接到余热收割系统的功率输出。
归因于这种方法，不以相同频率操作的多个余热收割设备可以联合操作。
本发明还可以涉及包括至少两个根据前述实施方式中任一个的余热收割系统的模块化余热收割系统。
本发明还可以涉及包括根据前述实施方式中任一个的余热收割设备和/或余热收割系统和/或模块化余热收割系统的光伏电池。
归因于这种方法，光伏电池上由太阳光产生的热可以被有效地转换成电力。
本发明还涉及一种太阳能模块，其包括多个光伏太阳能电池、尤其是聚光光伏太阳能电池，还包括配置成将热转变成电力的至少一个余热收割设备，所述至少一个余热收割设备被配置且布置为使得光伏太阳能电池中的至少一个进一步通过热到电力的转变而被冷却。
归因于这种方法，由于电池的冷却，太阳能模块可以有效地操作，且产生的热可以附加地转换成电力。
本发明还可以涉及一种用于实现余热收割设备的方法，包括以下步骤：在基板上沉积金属层的第一沉积步骤；在基板上沉积磁合金的第二沉积步骤；在基板上沉积铁磁种子材料的第三沉积步骤；在基板上沉积金属层的第四沉积步骤；以及在基板上沉积磁材料的第五沉积步骤。
归因于这种方法，可以使用数目减少的步骤和与光伏电池制造兼容的技术实现余热收割设备。
此后使用有利实施方式通过举例的方式且参考附图更详细地描述本发明。所述实施方式仅是可能的配置，然而其中如上所述的各个特征可以彼此独立地实施或可以省略。在图中说明的相同元件被提供以相同的参考信号。涉及不同图中说明的相同元件的描述可以省略。附图中：
图1a是根据本发明的一个实施方式的余热收割设备的示意图；
图1b是图1a的余热收割设备的操作的示意图；
图2至7是用于实现图1a的余热收割设备的方法的示意图；
图8a和8b是根据本发明的其他实施方式的余热收割设备的示意图；
图9a是根据本发明的另一实施方式的余热收割设备的示意图。
图9b、10a、10b和11是根据本发明的其他实施方式的模块化余热收割系统的示意图。
从图1a可以看出，根据本发明的一个实施方式的余热收割设备1000包含具有南极1101和北极1102的磁体1100、铁磁体1400、开关1200和线圈1300。线圈1300的两端用作余热收割设备的功率输出1500。
从图1b可以看出，当开关1200从图1a的断开位置切换为图1b的闭合位置时，由重定向通过铁磁体1400的磁体1500的磁场产生磁通量Φ1600。磁通量1600在线圈1300中诱生电流A1700。电流1700可以在功率输出1500收集以例如对负载1900供电，导致电压降V1800。
换句话说，磁场通过开关1200从线圈1300外部的第一区域输送到线圈1300内部的第二区域。
对称地，当开关从图1b的闭合位置切换到图1a的断开位置时，产生相反的磁通量，导致相反的诱生电流。因此，通过开关1200的断开和闭合，在功率输出1500产生AC电流。
更具体而言，开关1200是依赖于其温度导通和截止的磁开关合金。余热收割设备放置为与CPV电池热接触。当CPV电池暴露于太阳光时，其温度将上升。当温度上升到第一预定温度以上时，开关1200闭合。这导致温度下降。当温度下降到第二预定温度以下时，开关断开。在某一时间之后，因为太阳辐射，CPV电池温度将再次开始上升，且温度将再次增加，导致新的循环。
以这种方式，CPV电池可以被主动地冷却。即，热能被转换成电力以冷却电池，而不是被动消耗热能。
尽管使用第一和第二预定温度描述上述实施方式，以指示磁开关合金的磁滞，本发明不限于此。备选地，磁开关合金可以具有基本可忽略的磁滞且第一和第二预定温度可基本对应于单个阈值温度。
例如，磁开关合金的材料可以是Gd5(SixGe1-x)4。当使用该材料时，根据切换合金的成分，第一和第二预定切换温度例如可以被设置在40至80℃之间。
尽管参考线圈1300和铁磁体1400描述了实施方式，本发明不限于此。备选地，本发明甚至可以在不使用铁磁体而仅使用基于温度变化允许磁场从第一区域至少部分地重定向或输送到第二区域的几何结构的情况下实现。这种变化产生的磁通量然后可以转换成电能。向电能的转换可以经由线圈但也可以经由诸如导电直板之类允许磁通量转换成电力的任意其他装置完成。
开关1200的材料和尺寸基于其上布置余热收割设备1000的CPV电池的热质量选择。更具体而言，热收割设备1000的热质量与将被冷却的CPV电池的热质量匹配。在上下文中，术语匹配表示例如电池背面上的热收割设备1000例如是1.5mm宽的环形和200μm厚。在这种情况中，铁磁体材料的物理质量与电池的质量可比即匹配。
从图2可以看出，用于实现余热收割设备1000的处理包括在基板100上沉积金属层的沉积步骤S1，由此获得中间的余热收割设备1001。金属层的沉积分别导致第一和第二线圈段1301和1302。
更具体而言，图2从上到下代表基板100的顶视图、基板100沿着线A-A’的剖面图以及基板100沿着线B-B’、C-C’和D-D’的三个剖面图。
从沿着线A-A’的剖面图可以看出，沉积金属层可以具有100至200μm范围内的厚度T1，优选值为150μm。金属可以是铁基材料或实现高磁通量的任意其他材料其中任意一个。
此外，在该指定示例中，在顶视图中，第一和第二线圈段1301和1302沿着方向Y的长度比这些元件沿着方向Y的长度长。然而，本发明不限于此。备选地，第一线圈段和第二线圈段的尺寸可以彼此不同，只要选择的尺寸允许实现线圈即可。
从图3可以看出，用于实现余热收割设备1000的处理还包括在基板100上沉积磁合金的沉积步骤S2，由此获得中间的余热收割设备1002。磁合金的沉积导致开关1201。
更具体而言，图3从上到下代表基板100的顶视图、基板100沿着线A-A’的剖面图以及基板100沿着线B-B’、C-C’和D-D’的三个剖面图。
从沿着线A-A’的剖面图可以看出，沉积磁合金层可以具有100至300μm范围内的厚度T2，优选值为200μm。金属可以是如上所述的Gd5(SixGe1-x)4或具有在预定温度切换磁性能的能力的任意其他热磁材料其中任意一个。
从图4可以看出，用于实现余热收割设备1000的处理还包括在基板100上沉积铁磁种子材料的沉积步骤S3，由此获得中间的余热收割设备1003。铁磁材料的沉积导致铁磁种子层1401。
更具体而言，图4从上到下代表基板100的顶视图、基板100沿着线A-A’的剖面图以及基板100沿着线B-B’、C-C’和D-D’的三个剖面图。
铁磁层1401的目的是实现用于铁磁厚层1402的后续较快沉积的基底。
从沿着线A-A’的剖面图可以看出，沉积的铁磁层可以具有100至200μm范围内的厚度T3，优选值为150μm。材料可以是铁类型和铁磁合金其中任意一个，诸如Fe或Fe-P或FeSi或Ni/Fe45/55。该材料的优点在于它具有优良的铁磁性能。
在图4的指定示例中，本实施方式中的铁磁种子层1401的沉积包含封闭周边基板100的外部圆圈、内部圆圈以及内部和外部圆圈之间的两个连接臂。然而，本发明不限于此且下面将提供更多的示例。一般而言，铁磁材料应当沉积为使得它可以至少在一侧连接到后续沉积的磁体且使得它可以在至少一侧连接到磁开关合金。在本实施方式中，从沿着线A-A’的剖面可以看出，铁磁种子层1401沉积在交叠第一和第二线圈段1301和1302的区域上但不位于交叠开关1200的区域中。
从图5可以看出，用于实现余热收割设备1000的处理还包括在基板100上沉积铁磁材料的沉积步骤S4，由此获得中间的余热收割设备1004。铁磁材料的这种沉积导致铁磁厚层1402。
更具体而言，图4从上到下代表基板100的顶视图、基板100沿着线A-A’的剖面图以及基板100沿着线B-B’、C-C’和D-D’的三个剖面图。
铁磁厚层1402沉积在铁磁种子层1401上。这两个层的组合导致铁磁体1400。
从沿着线A-A’的剖面图可以看出，沉积的铁磁层可以具有100至200μm范围内的厚度T4，优选值为150μm。金属可以与铁磁种子层1401相同或不同。使用不同材料的优点在于铁磁种子可以被选择为确保与电池背部表面的良好机械和热接触。
尽管图4和5以及两个步骤S3和S4被限定以实现铁磁体1400，铁磁体1400可以在单个沉积步骤中或多于两个沉积步骤中实现。使用多于一个沉积步骤的优点在于，与单个步骤处理相比，种子层沉积可以确保更好的机械和热接触。
从图6可以看出，用于实现余热收割设备1000的处理还包括在基板100上沉积金属层的沉积步骤S5，由此获得中间的余热收割设备1005。金属层的沉积导致第三线圈段1303。
更具体而言，图6从上到下代表基板100的顶视图、基板100沿着线A-A’的剖面图以及基板100沿着线B-B’、C-C’和D-D’的三个剖面图。
从沿着线D-D’的剖面图可以看出，沉积的金属层可以具有100至200μm范围内的厚度T5，优选值为150μm。金属可以是用于第一和第二线圈段1301和1302的相同材料。
第三线圈段1303被沉积为使得它创建第一线圈段1301的一端和第二线圈段1302的一端之间的连接。以这种方式，实现缠绕铁磁体1400的线圈结构1300。
从图7可以看出，用于实现余热收割设备1000的处理还包括在基板100上沉积磁材料的沉积步骤S6，由此获得余热收割设备1000。磁材料的这种沉积导致磁体1100。备选地或附加地，磁体可以通过沉积或完成的永磁体的组装实现。沉积可能要求通过退火和磁化的磁体的激活。
更具体而言，图7从上到下代表基板100的顶视图、基板100沿着线F-F’的剖面图。
从沿着线F-F’的剖面图可以看出，沉积的磁层可以具有100至300μm范围内的厚度T6，优选值为200μm。磁材料可以是SmCo5、Sm2Co15、Nd2Fe14B或Ba铁素体其中任意一个。这种材料的优点在于它们全都是非常强的永磁体材料。
在图7的指定示例中，本实施方式中的磁体1100的位置介于封闭周边基板100的铁磁材料1400的外部圆圈和铁磁材料1400的内部圆圈之间。然而，本发明不限于此且下面将提供更多的示例。一般而言，磁体应当布置为使得它可以至少在一侧连接到铁磁材料1400且在另一侧连接到铁磁材料1400或开关1200。
尽管在上述实施方式中，厚度T1、T2、T3、T4、T5和T6绘制为不同，本发明不受图形表达限制，图形表达仅用于清晰化各厚度。更具体而言，厚度可以全都相同，或它们中的一些可以相同。
尽管在上述示例中，针对步骤S1、S2、S3、S4、S5和S6使用术语沉积，该术语旨在实现层的一般意义。因此，为了沉积上述层，可以使用CVD、PVD、等离子体沉积、纳米印刷、丝网印刷或任意其他沉积技术。
任意层的沉积可以跟随一个或更多退火步骤。
图8A和8B代表余热收割设备1106和1107的备选实施方式。更一般地，可以实现根据图1a的余热收割设备1000的任意物理实施。
一般地，余热收割设备1000、1106、1107的典型大小处于5.5mm乘以5.5mm的范围内。这是陆地CPV电池产业中使用的典型电池大小。
图9a说明根据本发明的另一实施方式的余热收割系统2000。余热收割系统2000可以附连到CPV电池的背面。在CPV电池在锗基板上实现的情况中，在实现CPV电池之前或之后，余热收割系统2000可以在锗基板的底面上实现或应用。
余热收割系统2000包括多个余热收割设备1000。每个余热收割设备1000至少包括磁体1100、铁磁材料1400、开关1200和线圈1300。余热收割设备1000中的每一个的线圈1300的功率输出1500产生AC电流。因此，当多个余热收割设备1000在余热收割设备2000上连接在一起时，不同选项可用。
例如，多个功率输出1500可以全都彼此串联、并联或串并联组合地连接。在下文中，将描述本发明的4个实施方式，其中结合多个余热收割系统2000的多个功率输出2500的连接来描述余热收割系统2000内的多个功率输出1500的连接。
图9b说明通过两个余热收割系统2000组成的模块化余热收割系统3000，每个余热收割系统2000均具有功率输出2500。两个余热收割系统2000中的每一个包括多个余热收割设备1000，每个余热收割设备1000均具有功率输出1500。
在图9b中，多个功率输出1500彼此并联连接且这种并联连接被输入到AC/DC转换器2100。以这种方式，余热收割系统2000将在功率输出2500上输出DC电流。在这种情况中，假设余热收割系统2000的不同余热收割设备1000使用相同频率来操作。这可以是余热收割设备例如彼此靠近时的情况。
另外，以如上所述的相同方式实现第二余热收割系统2000。两个余热收割系统2000的两个功率输出2500彼此并联连接，从而实现模块化余热收割系统3000。这可以用于其中两个余热收割系统2000布置在具有不同温度的不同区域中的情况，这将导致余热收割系统2000中的每一个中的多个余热收割设备的操作与其他余热收割设备不同相。
尽管两个余热收割系统2000中的每一个的多个余热收割设备1000的输出1500示为彼此并联连接，它们可以串联连接。
类似地，尽管两个余热收割系统2000的输出2500示为彼此并联连接，它们可以串联连接。
在图10a中，多个功率输出1500彼此并联连接且这种并联连接被输入到AC/AC转换器2200。以这种方式，余热收割系统2000将在功率输出2500上输出AC电流。在这种情况中，假设余热收割系统2000的不同余热收割设备1000使用相同频率来操作。这可以是余热收割设备例如彼此靠近时的情况。
另外，以如上所述的相同方式实现第二余热收割系统2000。两个余热收割系统2000的两个功率输出2500彼此并联连接，从而实现模块化余热收割系统3000。这可以用于其中两个余热收割系统2000布置在具有不同温度的不同区域中的情况，这将导致余热收割系统2000中的每一个中的多个余热收割设备的操作与其他余热收割设备不同相。在这种情况中，如果两个余热收割系统2000的操作频率不相同，在功率输出2500输出的AC电流的频率可以经由AC/AC转换器2200之间的连接3011对准。以这种方式，余热收割系统2000的操作可以同相，从而提供模块化余热收割系统3000的稳定输出3500。
在图10b中，多个功率输出1500中的每一个连接到AC/DC转换器2101。以这种方式，余热收割系统2000将在功率输出2500上输出DC电流。在这种情况中，假设余热收割系统2000的不同余热收割设备1000不使用相同频率来操作。
在图11中，多个功率输出1500中的每一个连接到AC/AC转换器2201。以这种方式，余热收割系统2000将在功率输出2500上输出AC电流。在这种情况中，假设余热收割系统2000的不同余热收割设备1000不使用相同频率来操作。为了确保产生多个AC电流的有效组合，经由连接3031在多个AC/AC转换器之间共享相位信息。
余热收割设备1000、余热收割系统2000和模块化余热收割系统3000的任意组合可以安装在CPV电池或更一般地PV电池的背面。例如，它可以直接安装在电池上。备选地或附加地，它可以安装到热沉上。
仍备选地或附加地，余热收割设备1000、余热收割系统2000和模块化余热收割系统3000的任意组合可以直接在PV或CPV电池的背面上实现。
尽管已经参考聚光光伏电池的冷却描述了本发明，本发明不限于此且可以用于任意半导体基板的冷却。
仍另外地，本发明可以在半导体、塑料金属或任意其他材料的薄膜上实现，且可以用作能够通过不同于半导体的应用（例如用于对引擎管理系统供电）中的余热产生电流的主动冷却，或在比如黑漆表面的暴露于太阳的任意表面上实现，或例如在汽车中的发动机中实现等。
尽管参考一个或更多不同实施方式描述了上文，本领域技术人员将意识到此处参考一个或更多实施方式描述的特征可以组合在一起，而不偏离如权利要求书所限定的本发明的范围。
Claims (20)
1.一种用于收割电力的余热收割设备（1000），该余热收割设备包括：
切换装置（1200），其配置成在所述切换装置的温度越过预定温度时将磁场从第一区域输送到至少第二区域。
2.根据权利要求1所述的余热收割设备，该余热收割设备还包括：
磁装置（1100），其配置成产生所述磁场；
磁通量输送机（1400），其配置成输送通过所述切换装置的切换产生的磁通量；以及
电力产生装置（1300），其配置成从所述磁通量产生电力。
3.根据权利要求1或2所述的余热收割设备，其中：
所述磁通量输送机（1400）的第一侧连接到所述磁装置（1100）的一个极，且所述切换装置（1200）放置在所述磁通量输送机（1400）的第二侧和所述磁装置（1100）的另一极之间。
4.根据前述权利要求中任一项所述的余热收割设备，其中
所述切换装置（1200）是磁合金开关。
5.根据前述权利要求中任一项所述的余热收割设备，其中
所述电力产生装置（1300）包括缠绕所述磁通量输送机（1400）的线圈（1300）。
6.根据前述权利要求中任一项所述的余热收割设备，其中
所述磁通量输送机（1400）是铁类型和铁磁合金中的任意一种，诸如Fe或Fe-P或FeSi或Ni/Fe45/55。
7.根据前述权利要求中任一项所述的余热收割设备，其中
所述磁装置（1100）是SmCo5、Sm2Co15、Nd2Fe14B或Ba铁素体中的任意一种。
8.根据前述权利要求中任一项所述的余热收割设备，其中
所述切换装置（1100）由Gd5(SixGe1-x)4制成。
9.一种余热收割系统（2000），该余热收割系统包括：
至少两个根据前述权利要求中任一项所述的余热收割设备（1000），所述至少两个余热收割设备（1000）中的每一个包括用于输出通过所述电力产生装置产生的电力的设备功率输出（1500）。
10.根据权利要求9所述的余热收割系统，其中
所述至少两个设备功率输出（1500）彼此并联或串联连接。
11.根据权利要求10所述的余热收割系统，其中
所述至少两个设备功率输出（1500）的连接被连接到AC/DC转换器（2100）且所述AC/DC转换器（2100）的输出连接到所述余热收割系统的功率输出（2500）。
12.根据权利要求10所述的余热收割系统，其中
所述至少两个设备功率输出（1500）的连接被连接到AC/AC转换器（2200）且所述AC/AC转换器（2200）的输出连接到所述余热收割系统的功率输出(2500)。
13.根据权利要求9所述的余热收割系统，其中
所述至少两个设备功率输出（1500）中的每一个连接到AC/DC转换器（2101）。
14.根据权利要求13所述的余热收割系统，其中
所述AC/DC转换器（2101）的输出彼此串联或并联连接，且所得连接被连接到所述余热收割系统的功率输出（2500）。
15.根据权利要求9所述的余热收割系统，其中
所述至少两个设备功率输出（1500）中的每一个连接到AC/AC转换器（2201）。
16.根据权利要求15所述的余热收割系统，其中
所述AC/AC转换器（2201）的输出彼此串联或并联连接，且所得连接被连接到所述余热收割系统的功率输出（2500）。
17.一种模块化余热收割系统，该系统包括至少两个根据权利要求9至16中任一项所述的余热收割系统（2000）。
18.一种光伏电池，该光伏电池包括根据前述权利要求中任一项所述的余热收割设备（1000）和/或余热收割系统（2000）和/或模块化余热收割系统（3000）。
19.一种太阳能模块，该太阳能模块包括多个光伏太阳能电池、尤其是聚光光伏太阳能电池，该太阳能模块还包括配置成将热转变成电力的至少一个余热收割设备，所述至少一个余热收割设备被配置且布置为使得所述多个光伏太阳能电池中的至少一个进一步通过热到电力的转变而被冷却。
20.一种用于实现余热收割设备的方法，该方法包括以下步骤：
在基板（100）上沉积金属层的第一沉积步骤（S1）；
在所述基板上沉积磁合金的第二沉积步骤（S2）；
在所述基板上沉积铁磁种子材料的第三沉积步骤（S3）；
在所述基板上沉积金属层的第四沉积步骤（S5）；以及
在所述基板上沉积磁材料的第五沉积步骤（S6）。
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