CN103698106B - 用于半导体激光器的检测系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于半导体激光器的检测系统，包括测试模块、二维传动装置和设置在所述二维传动装置上的积分球，所述二维传动装置用于将所述积分球传送到多工位半导体激光器的各工位位置，所述测试模块通过所述积分球获取各工位位置的激光样品的测试数据，并对所述测试数据进行测试处理。实施本发明的系统，用单个积分球即可对多层多工位半导体激光器进行测试巡检，易于操作，且极大地降低了测试成本。

Description

用于半导体激光器的检测系统
技术领域
本发明涉及检测技术领域，特别是涉及一种用于半导体激光器的检测系统。
背景技术
大功率半导体激光器在材料加工、激光打标、激光测距、激光存储、激光显示、照明、激光医疗等民用领域，以及激光制导、激光夜视等军用领域都有广泛应用，但是大功率半导体激光器在可靠性方面存在明显问题，影响其应用。
现有的用于检测激光器的检测设备，采用一个积分球对应一个大功率半导体激光器的模式进行检测。
但是，在针对多工位的大功率激光器测量时，需要多个积分球，操作多个积分球的工序繁琐，且多个积分球的成本极高。
发明内容
基于此，有必要针对上述检测系统，在针对多工位的大功率激光器测量时，需要多个积分球进行检测，导致操作繁琐，成本高的问题，提供一种用于半导体激光器的检测系统。
一种用于半导体激光器的检测系统，包括测试模块、二维传动装置和设置在所述二维传动装置上的积分球，所述二维传动装置用于将所述积分球传送到多工位半导体激光器的各工位位置，所述测试模块通过所述积分球获取各工位位置的激光样品的测试数据，并对所述测试数据进行测试处理。
上述用于半导体激光器的检测系统，通过二维传动装置将所述积分球传送到多工位半导体激光器的各工位位置，所述测试模块通过所述积分球收集各工位位置的激光样品的测试数据，用单个积分球即可对多工位半导体激光器进行测试巡检，易于操作，且极大地降低了测试成本。
附图说明
图1是本发明用于半导体激光器的检测系统的方框图；
图2是本发明用于半导体激光器的检测系统的结构示意图；
图3是本发明用于半导体激光器的检测系统中二维传动装置的结构示意图。
具体实施方式
请参阅图1，图1是本发明用于半导体激光器的检测系统的方框图。
本发明的用于半导体激光器的检测系统，包括测试模块、二维传动装置200和设置在二维传动装置200上的积分球300，二维传动装置200用于将积分球300传送到多工位半导体激光器的各工位位置，测试模块通过积分球300收集各工位位置的激光样品的测试数据，并对所述测试数据进行测试处理。
本发明所述的用于半导体激光器的检测系统，通过二维传动装置将所述积分球传送到多工位半导体激光器的各工位位置，所述测试模块通过所述积分球收集各工位位置的激光样品的测试数据，用单个积分球即可对多工位半导体激光器进行测试巡检，易于操作，且极大地降低了测试成本。
其中，对于测试模块，优选地，可包括光谱仪或本领域技术人员惯用的其他光学测试器件。
所述测试数据优选地，为所述激光样品发出的光线数据，光的波长、亮度等。
对于二维传动装置200，可在两个方向上移动，优选地，如水平方向和竖直方向，其移动的刻度与多工位半导体激光器的各工位位置对应。
优选地，二维传动装置200可以闭环控制的方式传送积分球300，以提高传动精度和速度。
对于积分球300，优选地为水冷式积分球，还可以是其他类型的积分球。
优选地，所述多工位半导体激光器优选地为大功率半导体激光器，还可以是其他类型的激光器。所述激光样品可为用于完成工位位置工序的激光器。
请参阅图2，本发明的用于半导体激光器的检测系统进一步还包括触摸屏400、与触摸屏400连接的可编程逻辑控制器500，触摸屏400用于输入待检测的激光样品的工位位置，可编程逻辑控制器500用于接收所述工位位置，并根据所述工位位置控制二维传动装置200将积分球300传动到所述工位位置。
以上所示的用于半导体激光器的检测系统，通过触摸屏输入待检测的激光样品的工位位置，通过可编程逻辑控制器接收所述工位位置，并根据所述工位位置控制所述二维传动装置将所述积分球传动到所述工位位置，操作简单，自动化程度高、可节省人工，提高测试效率。
其中，对于触摸屏400，优选地，可用于显示与所述多工位半导体激光器的各工位位置对应的工位标识，方便输入待检测的激光样品的工位位置，并与可编程逻辑控制器500连接，用于将输入的待检测的激光样品的工位位置传输到可编程逻辑控制器500。
对于可编程逻辑控制器500，可根据接收的待检测的激光样品的工位位置，向二维传动装置200发送对应的位置信号，控制二维传动装置200的步进电机，以驱动二维传动装置200传送积分球。
在一个实施例中，本实施方式的用于半导体激光器的检测系统还可包括多工位半导体激光器600和液冷散热模块700，液冷散热模块700用于吸收多工位半导体激光器600的热量。
其中，液冷散热模块700可包括液冷散热管道。
在另一个实施例中，还可包括数据采集控制模块800，数据采集模块800用于通过485总线将测试模块的处理结果和所述液冷散热管道的液体流量传送至可编程逻辑控制器500，可编程控制器500用于根据所述液体流量和所述处理结果对所述液冷散热管道和多工位半导体激光器600进行监控。
进一步地，还可包括机箱900，二维传动装置200和液冷散热模块700分别通过螺栓固定在机箱900内。机箱900优选地为铝材机箱。
在本实施例中，数据采集模块800可实时监控激光器样品的状态，并在出现过压、过流、过热等异常时自动进行保护。
请参阅图3，图3是本发明用于半导体激光器的检测系统中二维传动装置的结构示意图。
二维传动装置200包括用于沿水平方向传动所述积分球的第一滑动装置210，以及用于沿竖直方向传动第一滑动装置210和积分球300的第二滑动装置220，第二滑动装置220包括步进电机211、联轴器212、滑动座213、线性滑轨214、滚珠螺杆215、滚珠螺帽216、滑动台217和两个螺杆支承座218，滑动座213与滑动台217连接，滑动台217用于安装积分球300，两个螺杆支承座218设置在线性滑轨214和滚珠螺杆215的两端，滚珠螺杆215的一端通过联轴器212与步进电机211连接，另一端穿过滚珠螺帽216与螺杆支承座218连接，滚珠螺帽216设置在滑动座213内，滚珠螺杆215与滚珠螺帽216配合安装，滑动座213与线性滑轨214滑动连接，滚珠螺杆215的转动带动滚珠螺帽216竖直移动，滚珠螺帽216的竖直移动带动滑动座213沿线性滑轨214运动，滑动座213带动滑动台217运动，第二滑动装置220与第一滑动装置210的结构相同。
本实施方式的用于半导体激光器的检测系统，通过第一滑动装置和第二滑动装置可将积分球精确的定位到对应的工位位置，定位精度好、运动速度快。
优选地，第一滑动装置210和第二滑动装置220还可包括光栅尺和外壳。外壳优选地为铝型材外壳，是由底板、两块侧面板以及上面板组成，铝型材放置在两块侧面板内起加强作用，光栅尺安装在侧面板的外面，底板分别与线性滑轨214和侧面板连接，可以对滑动台217起到支撑作用。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.一种用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，包括测试模块、二维传动装置和设置在所述二维传动装置上的积分球，触摸屏和与所述触摸屏连接的可编程逻辑控制器，数据采集模块，多工位半导体激光器；其中，所述二维传动装置包括用于沿水平方向传动所述积分球的第一滑动装置，以及用于沿竖直方向传动所述积分球的第二滑动装置；
所述触摸屏用于输入待检测的激光样品的工位位置，所述可编程逻辑控制器用于接收所述工位位置，并根据所述工位位置控制所述二维传动装置将所述积分球传送到多工位半导体激光器的各工位位置，所述测试模块通过所述积分球获取各工位位置的激光样品的测试数据，并对所述测试数据进行测试处理；
所述数据采集模块用于通过485总线将所述测试模块的处理结果传送至所述可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器根据所述处理结果对所述多工位半导体激光器进行监控。
2.根据权利要求1所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述测试模块包括光谱仪。
3.根据权利要求1所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，还包括液冷散热模块，所述液冷散热模块用于吸收所述多工位半导体激光器的热量。
4.根据权利要求3所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述液冷散热模块包括液冷散热管道。
5.根据权利要求4所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述数据采集模块还用于：
通过485总线将所述液冷散热管道的液体流量传送至所述可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器用于根据所述液体流量对所述液冷散热管道进行监控。
6.根据权利要求5所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，还包括机箱，所述二维传动装置和所述液冷散热模块分别通过螺栓固定在所述机箱内。
7.根据权利要求1所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述二维传动装置以闭环控制的方式传送所述积分球。
8.根据权利要求1至7中任意一项所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述第二滑动装置包括步进电机、联轴器、滑动座、线性滑轨、滚珠螺杆、滚珠螺帽、滑动台和两个螺杆支承座，所述滑动座与所述滑动台连接，所述滑动台用于安装所述积分球，两个所述螺杆支承座设置在所述线性滑轨和所述滚珠螺杆的两端，所述滚珠螺杆的一端通过所述联轴器与所述步进电机连接，另一端穿过所述滚珠螺帽与所述螺杆支承座连接，所述滚珠螺帽设置在所述滑动座内，所述滚珠螺杆与滚珠螺帽配合安装，所述滑动座与所述线性滑轨滑动连接，所述滚珠螺杆的转动带动所述滚珠螺帽竖直移动，所述滚珠螺帽的竖直移动带动所述滑动座沿所述线性滑轨滑动，所述滑动座带动所述滑动台滑动。
9.根据权利要求8所述的用于半导体激光器的检测系统，其特征在于，所述积分球为水冷式积分球。
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