CN103681197B - 一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置 - Google Patents

一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，包括电极组件、高频电源和负压装置，所述电极组件包括第一电极件和第二电极件，所述第二电极件上设置有贯通所述第二电极件的第二腔体，所述第一电极件套设于所述第二腔体中并且所述第一电极件外表面与所述第二腔体壁之间形成反应腔，所述第一电极件与所述高频电源正极连接，所述第二电极件接地，所述负压装置与毛细玻璃管一端连接。本发明中毛细玻璃管放置于反应腔中，毛细玻璃管一端与负压装置连接进行抽真空，另一端与气源连接通入反应气体，高频电源驱动第一电极件与第二电极件之间形成电场，反应气体对毛细玻璃管内壁进行活化处理，达到均匀处理的效果。

Description

一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置
技术领域
本发明属于等离子体处理装置领域，更具体的说是涉及一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置。
背景技术
等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
目前，等离子体装置一般的是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，他们发生碰撞而形成离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的材料表面引起化学反应，从而使材料表面的结构、成分和基团发生变化，得到满足实际要求的表面。等离子体反应速度快、处理效率高，而且改性仅发生在材料表面，对材料内部本体材料的性能没有影响，是理想的表面改性手段。
现有技术中，毛细玻璃管应用于各行各业中，例如气相色谱仪中的色谱柱采用毛细玻璃管螺旋而成，生产时需要对毛细玻璃管内壁清洗、刻蚀和等离子活化处理，由于毛细玻璃管直径较小且螺旋而成，在等离子活化处理时很难处理均匀。
因此，亟需一种均匀处理毛细玻璃管内壁的等离子体处理装置。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置。
实现本发明目的的技术方案是：一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，包括电极组件、高频电源和负压装置，所述电极组件包括第一电极件和第二电极件，所述第二电极件上设置有贯通所述第二电极件的第二腔体，所述第一电极件套设于所述第二腔体中，所述第一电极件外表面与所述第二腔体壁之间形成用于放置毛细玻璃管的反应腔，所述第一电极件与所述高频电源正极连接，所述第二电极件接地，所述负压装置与毛细玻璃管一端连接。
进一步的，所述第一电极件上设置有贯通所述第一电极件的第一腔体。
进一步的，所述第一电极件和所述第二电极件为中空圆柱体状并且圆柱轴心在同一直线上。
进一步的，还包括用于放置所述电极组件的绝缘底座，所述电极组件设置于所述绝缘底座上。
本发明具有积极的效果：本发明中毛细玻璃管放置于反应腔中，毛细玻璃管一端与负压装置连接进行抽真空，另一端与气源连接通入反应气体，高频电源驱动第一电极件与第二电极件之间形成电场，反应气体对毛细玻璃管内壁进行活化处理，达到均匀处理的效果。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中：
图1为本发明第一实施例的结构示意图；
图2为本发明第二实施例的结构示意图。
其中：1、绝缘底座，2、第二电极件，3、反应腔，4、第一电极件，5、第一腔体，6、高频电源。
具体实施方式
实施例1
如图1所示，作为第一优选实施例，本实施例提供一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，包括电极组件、高频电源6和负压装置，电极组件包括第一电极件4和第二电极件2，第二电极件2上设置有贯通第二电极件2的第二腔体（图中未示出），第一电极件4套设于第二腔体中，第一电极件4外表面与第二腔体壁之间形成用于放置毛细玻璃管的反应腔3，第一电极件4与高频电源6正极连接，第二电极件2接地，负压装置与毛细玻璃管一端连接。
本实施例中毛细玻璃管放置于反应腔3中，毛细玻璃管一端与负压装置连接进行抽真空，另一端与气源连接通入反应气体，高频电源6驱动第一电极件4与第二电极件2之间形成电场，反应气体对毛细玻璃管内壁进行活化处理，达到均匀处理的效果。
实施例2
如图2所示，作为第二优选实施例，其余与实施例1相同，不同之处在于，本实施例提供的第一电极件4上设置有贯通第一电极件4的第一腔体5，第一电极件4和第二电极件2为中空圆柱体状并且圆柱轴心在同一直线上；本实施例还包括用于放置电极组件的绝缘底座1，电极组件设置于绝缘底座1上。
本实施例中第一电极件4和第二电极件2为中空圆柱体状并且圆柱轴心在同一直线上，使得反应腔3中形成的电场空间分布均匀，从而保证处理效果均匀。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，包括电极组件、高频电源和负压装置，所述电极组件包括第一电极件和第二电极件，所述第二电极件上设置有贯通所述第二电极件的第二腔体，所述第一电极件套设于所述第二腔体中，所述第一电极件外表面与所述第二腔体壁之间形成用于放置毛细玻璃管的反应腔，所述第一电极件与所述高频电源正极连接，所述第二电极件接地，所述负压装置与毛细玻璃管一端连接。
2.根据权利要求1所述的毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，所述第一电极件上设置有贯通所述第一电极件的第一腔体。
3.根据权利要求2所述的毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，所述第一电极件和所述第二电极件为中空圆柱体状并且圆柱轴心在同一直线上。
4.根据权利要求3所述的毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于放置所述电极组件的绝缘底座，所述电极组件设置于所述绝缘底座上。
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