CN103604715B - 触点材料综合应力环境实验系统 - Google Patents

Abstract

触点材料综合应力环境实验系统，涉及磨损测试技术领域。解决了现有微动磨损性能检测过程中，由于电连接器需要承受长时间的高频振动和综合应力的反复冲击，导致电连接器失效，进而无法完成微动磨损性能的检测的问题。所述系统包括真空室、微动夹持机构、固定夹持机构和控制电路，微动夹持机构设置在真空室内，微动夹持机构通过高频振动与固定夹持机构之间形成摩擦，控制电路分别检测试样之间的摩擦力、静压力、温度和真空室内的气体压力，本发明适用于对微动磨损性能进行检测。

Description

触点材料综合应力环境实验系统

技术领域

本发明涉及磨损测试技术领域。

背景技术

电连接器易受外界环境和工作条件的影响，机械振动通过电连接器中的结构部件作用于其内的插针插孔位置，造成接触部位摩擦和发生相对位移，所引发的触点微动磨损、微动腐蚀、微动疲劳现象将导致电接触性能逐渐退化甚至功能失效。因此汽车用、航天用、电子设备用电连接器等产品均需满足在力学环境下可靠工作的要求。

微动磨损是指两固体接触界面由结构振动或交变应力作用下发生周期性微小振幅相对运动所引起的磨损现象。

微动磨损是一种典型的复合式磨损，可引发接触材料弹塑性变形以致机械磨损。磨损直接发生在触点材料表面上，可能导致零件松动、功率损耗和噪声增大；间接的可使材料表面或亚表面层中产生微裂纹，在反复应力下发展成为疲劳断裂。其所留下的裂纹及其扩展趋势将带来更大的危害性。

因此，对于电连接器的电连接部件的微动磨损性能的检测、以及对磨损状态对电气性能的影响的研究是十分必要的。在航空航天等一些极端环境中，电连接器需要承受长时间的高频振动，这种高频振动所引起磨损是航空航天用电连接器失效的主要原因之一。并且这个过程中还要受到电流应力、温度应力和气氛环境应力的反复冲击，这些综合应力的冲击会影响触点材料的微动磨损特性，加速电连接器的失效。所以需要有这样的一个测试装置，能够模拟和控制电连接器工作过程中的综合应力环境，分析在高频微动情况下电连接器电连接部件磨损的各项力学特性和诸如接触电阻的电气特性，有助于分析电连接器微动磨损失效机理，并为电连接器的优化设计提供理论依据。

发明内容

本发明为了解决现有微动磨损性能检测过程中，由于电连接器需要承受长时间的高频振动和综合应力的反复冲击，导致电连接器失效，进而无法完成微动磨损性能的检测的问题，提出了触点材料综合应力环境实验系统。

本发明所述的触点材料综合应力环境实验系统包括真空室、微动夹持机构、固定夹持机构和控制电路，

真空室由底盘和真空罩组成，所述真空罩与底盘固定连接，且与所述底盘形成密闭的空间，所述空间为真空腔；所述底盘上设置有密封航空插件、压力变送器安装通孔、气阀安装通孔和固定夹持机构安装通孔；

微动夹持机构位于真空腔内，且该微动夹持机构固定在底盘的中心位置，所述微动夹持机构由下试件夹持装置和静压力传感器组成，所述下试件夹持装置固定在静压力传感器的上表面；

固定夹持机构包括竖板和上试件夹持装置，所述竖板的一端由底盘上的固定夹持机构安装通孔穿入到真空腔内，所述竖板与底盘之间通过两个法兰和一个密封橡胶垫密封连接，所述密封橡胶垫的中间带有通孔，且该密封橡胶垫覆盖底盘的固定夹持机构安装通孔，竖板位于该通孔内，所述竖板通过法兰与密封橡胶垫固定连接，所述密封橡胶垫的外边缘通过另一个法兰与底盘固定连接；所述两个法兰之间留有均匀间隙，所述间隙大于2mm；上试件夹持装置位于真空腔内，且该上试件夹持装置位于下试件夹持装置的正上方，所述上试件夹持装置与竖板固定连接；

控制电路包括摩擦力传感器、加热控制器、压力变送器、真空泵和控制器，摩擦力传感器用于测量上试件夹持装置和下试件夹持装置之间产生的摩擦力，加热控制器用于控制下试件夹持装置的温度，压力变送器由底盘上的压力变送器安装通孔穿入到真空腔中，用于测量真空腔的内部压力，

静压力传感器的静压力信号输出端通过密封航空插件与控制器的静压力信号输入端连接，摩擦力传感器的摩擦力信号输出端通过密封航空插件与控制器的摩擦力信号输入端连接，加热控制器的温度控制信号输入端与控制器的温度控制信号输出端连接，压力变送器的气体压力信号输出端与控制器的气体压力信号输入端连接，控制器的气体压力控制信号输出端与真空泵的气体压力控制信号输入端连接。

所述下试件夹持装置包括L型支撑板、加热盒、热电偶、发热片和下夹具，所述L型支撑板的底板的下表面与静压力传感器的上表面固定连接，L型支撑板的底板的上表面与加热盒的下表面固定连接，下夹具的底部嵌入并固定在加热盒内，下夹具的试件夹持端竖直向上，发热片固定安装在加热盒的内部，用于对下夹具进行加热，摩擦力传感器的一端与L型支撑板的侧板的内表面固定连接，摩擦力传感器的另一端与加热盒的侧壁固定连接，热电偶的测量端与下夹具的侧面紧贴，用于测量下夹具的温度，热电偶的温度信号输出端与控制器的温度信号输入端连接，加热控制器的加热控制信号输出端与发热片的加热控制信号输入端连接。

所述上试件夹持装置包括横板、螺母套筒、上夹具、限位螺母和加力轴，所述横板的一端的下表面与竖板的顶端固定连接，横板的另一端加工有通孔，加力轴穿过所述通孔中，上夹具的固定端与加力轴的底部固定连接，上夹具的试件夹持端竖直向下，加力轴的外表面加工有螺纹，螺母套筒通过螺纹连接套在加力轴的外侧，且螺母套筒的下端面与横板的上表面固定连接，限位螺母与加力轴通过螺纹连接，且所述限位螺母位于螺母套筒的上方。

所述控制器包括信号采集电路、信号调理电路、A/D转换电路、串行通信电路和数据处理电路，

信号采集电路的摩擦力信号输入端作为控制器的摩擦力信号输入端与摩擦力传感器的摩擦力信号输出端连接，信号调理电路的摩擦力信号输入端与信号采集电路的摩擦力信号输出端连接，信号调理电路的摩擦力信号输出端与A/D转换电路的摩擦力信号输入端连接，A/D转换电路的摩擦力信号输出端通过串行通信电路与数据处理电路的摩擦力信号输入端连接；

信号采集电路的静压力信号输入端作为控制器的静压力信号输入端与静压力传感器的静压力信号输出端连接，信号调理电路的静压力信号输入端与信号采集电路的静压力信号输出端连接，信号调理电路的静压力信号输出端与A/D转换电路的静压力信号输入端连接，A/D转换电路的静压力信号输出端通过串行通信电路与数据处理电路的静压力信号输入端连接；

信号采集电路的接触电阻信号输入端作为控制器的接触电阻信号输入端与接触电阻信号连接，信号采集电路的接触电阻信号输出端与信号调理电路的接触电阻信号输入端连接，信号调理电路的接触电阻信号输出端与A/D转换电路的接触电阻信号输入端连接，A/D转换电路的接触电阻信号输出端通过串行通信电路与数据处理电路的接触电阻信号输入端连接；

数据处理电路的气体压力信号输入端作为控制器的气体压力信号输入端与压力变送器的气体压力信号输出端连接，数据处理电路的气体压力控制信号输出端作为控制器的气体压力控制信号输出端与真空泵的气体压力控制信号输入端连接；

数据处理电路的温度信号输入端作为控制器的温度信号输入端与热电偶的温度信号输出端连接，数据处理电路的温度控制信号输出端作为控制器的温度控制信号输出端与加热控制器的温度控制信号输入端连接。

有益效果：本发明提出的触点材料综合应力环境实验系统能够模拟和控制电连接器微动磨损过程中的综合应力环境条件，包括微动频率应力、微动幅值应力、电流应力、温度应力和真空环境应力等，同时能够对电连接部件的微动磨损状况进行检测，包括检测磨损过程中接触摩擦力、静压力的变化情况、接触电阻变化情况和两触点间相对位移情况等，同时本发明能够实时检测传感器信号以及接触处的电信号，适合于高频振动条件下进行微动磨损的分析，使微动磨损检测工作稳定的进行，同时使微动磨损检测的检测精度提高了10％以上。

附图说明

图1为本发明所述的触点材料综合应力环境实验系统的机械部分的结构示意图；

图2为本发明所述的触点材料综合应力环境实验系统的电气部分的结构示意图；

图3为图1的I-I向剖视图；

图4为图1的D-D向剖视图；

图5为图1的仰视图；

图6为图5的G-G向剖视图；

图7为本发明所述触点材料综合应力环境实验系统的三维立体图。

具体实施方式

具体实施方式一、结合图1、图2和图3说明本具体实施方式，本具体实施方式所述的触点材料综合应力环境实验系统包括真空室、微动夹持机构、固定夹持机构和控制电路，

真空室由底盘11和真空罩20组成，所述真空罩20与底盘11固定连接，且与所述底盘11形成密闭的空间，所述空间为真空腔；所述底盘11上设置有密封航空插件18、压力变送器安装通孔、气阀安装通孔和固定夹持机构安装通孔；

微动夹持机构位于真空腔内，且该微动夹持机构固定在底盘11的中心位置，所述微动夹持机构由下试件夹持装置和静压力传感器12组成，所述下试件夹持装置固定在静压力传感器12的上表面；

固定夹持机构包括竖板1和上试件夹持装置，所述竖板1的一端由底盘11上的固定夹持机构安装通孔穿入到真空腔内，所述竖板1与底盘11之间通过两个法兰和一个密封橡胶垫密封连接，所述密封橡胶垫的中间带有通孔，且该密封橡胶垫覆盖底盘11的固定夹持机构安装通孔，竖板1位于该通孔内，所述竖板1通过法兰与密封橡胶垫固定连接，所述密封橡胶垫的外边缘通过另一个法兰与底盘11固定连接；所述两个法兰之间留有均匀间隙，所述间隙大于2mm；上试件夹持装置位于真空腔内，且该上试件夹持装置位于下试件夹持装置的正上方，所述上试件夹持装置与竖板1固定连接；

控制电路包括摩擦力传感器13、加热控制器39、压力变送器16、真空泵38和控制器，摩擦力传感器13用于测量上试件夹持装置和下试件夹持装置之间产生的摩擦力，加热控制器39用于控制下试件夹持装置的温度，压力变送器16由底盘11上的压力变送器安装通孔穿入到真空腔中，用于测量真空腔的内部压力，

静压力传感器12的静压力信号输出端通过密封航空插件18与控制器的静压力信号输入端连接，摩擦力传感器13的摩擦力信号输出端通过密封航空插件18与控制器的摩擦力信号输入端连接，加热控制器39的温度控制信号输入端与控制器的温度控制信号输出端连接，压力变送器16的气体压力信号输出端与控制器的气体压力信号输入端连接，控制器的气体压力控制信号输出端与真空泵38的气体压力控制信号输入端连接。

本实施方式中，底盘11的底部设置有电动振动台，所述电动振动台用于提供测试微动磨损所需的微幅振动，电动振动台包括振动台台面和振动台支架，振动台台面的上表面与底盘11的下表面固定连接，电动振动台所提供的微幅振动是指幅值为微米级、频率小于2000Hz的正弦振动，将底盘11与振动台台面固定连接，实现微动夹持机构与电动振动台同步振动，即在电动振动台的带动下，底盘11和微动夹持机构也作幅值为微米级、频率小于2000Hz的正弦振动，由于竖版1通过法兰和密封胶垫与底盘11连接，使得竖版1在底盘11作微幅振动的时候能够保持与地面的相对静止状态，实现上试件夹持装置和下试件夹持装置之间存在相对位移，从而产生了摩擦力。

本实施方式中，利用真空罩20和底盘11限定了真空环境空间，保证了本发明所述系统在测量过程中处于真空环境，确保了测量的准确性。

本具体实施方式中，静压力传感器12采用型号为CLBSF的传感器，该传感器的量程为0-20N。

本具体实施方式中，摩擦力传感器13采用型号为209C11的动态力传感器，该传感器量程为-4.45N-9.79N，频率响应上限为30kHz。

本具体实施方式中，加热控制器采用型号为EW-986B的加热控制器，该加热控制器的控制温度范围为0-400℃。

本具体实施方式中，压力变送器16采用型号为QP1006D的压力变送器，该压力变送器的测量范围为-100KPa-100KPa。

本具体实施方式中，密封航空插件18用于提供真空环境空间内部与外部的电气线路连接条件。

本实施方式中，真空泵38采用型号为2XZ-2的旋片式真空泵，该真空泵的极限压力为6×10^-2Pa，抽气速率为2L/S，功率为0.37KW。

具体实施方式二、本具体实施方式与具体实施方式一所述的触点材料综合应力环境实验系统的区别在于，所述底盘11和真空罩20之间通过硅胶垫圈实现密封，底盘11和真空罩20通过多个C型钳21固定连接。

具体实施方式三、本具体实施方式与具体实施方式一所述的触点材料综合应力环境实验系统的区别在于，它还包括气阀17，所述气阀17固定安装在气阀安装通孔内，气阀17的一端与真空腔连通，气阀17的另一端与真空泵38的抽气口连接。

具体实施方式四、本具体实施方式与具体实施方式一所述的触点材料综合应力环境实验系统的区别在于，它还包括固定板31，所述固定板31固定在静压力传感器12和底盘11之间。

具体实施方式五、结合图3说明本具体实施方式，本具体实施方式与具体实施方式一所述的触点材料综合应力环境实验系统的区别在于，下试件夹持装置包括L型支撑板10、加热盒9、热电偶23、发热片22和下夹具8，所述L型支撑板10的底板的下表面与静压力传感器12的上表面固定连接，L型支撑板10的底板的上表面与加热盒9的下表面固定连接，下夹具8的底部嵌入并固定在加热盒内，下夹具8的试件夹持端竖直向上，发热片22固定安装在加热盒9的内部，用于对下夹具8进行加热摩擦力传感器13的一端与L型支撑板10的侧板的内表面固定连接，摩擦力传感器13的另一端与加热盒9的侧壁固定连接，热电偶23的测量端与下夹具8的侧面紧贴，用于测量下夹具的温度，热电偶23的温度信号输出端通过密封航空插件18与控制器的温度信号输入端连接，加热控制器39的加热控制信号输出端通过密封航空插件18与发热片22的加热控制信号输入端连接。

本实施方式中，发热片22采用PTC发热片，该发热片的最高加热温度为200℃。

本实施方式中，热电偶23采用螺钉式K型热电偶，该热电偶的测量温度不超过600℃。

具体实施方式六、结合图3和图6说明本具体实施方式，本具体实施方式与具体实施方式一或五所述的触点材料综合应力环境实验系统的区别在于，上试件夹持装置包括横板2、螺母套筒3、上夹具4、限位螺母5和加力轴32，所述横板2的一端的下表面与竖版1的顶端固定连接，横板2的另一端加工有通孔，加力轴32穿过所述通孔中，上夹具4的固定端与加力轴32的底部固定连接，上夹具4的试件夹持端竖直向下，加力轴32的外表面加工有螺纹，螺母套筒3通过螺纹连接套在加力轴32的外侧，且螺母套筒3的下端面与横板2的上表面固定连接，限位螺母5与加力轴32通过螺纹连接，且所述限位螺母5位于螺母套筒3的上方。

在实际应用时，上夹具(4)夹持一个待测试件，下夹具(8)夹持另一个待测试件，所述两个待测试件的端面紧密接触，通过调整加力轴(32)调整两个待测试件之间的压力。

具体实施方式七、本具体实施方式与具体实施方式六所述的触点材料综合应力环境实验系统的区别在于，上夹具4的试件夹持端和下夹具8的试件夹持端分别引出两个电极，所述四个电极用于测量上夹具4的试件夹持端和下夹具8的试件夹持端之间的接触电阻，所述接触电阻信号与控制器的接触电阻信号输入端连接。

具体实施方式八、结合图2说明本具体实施方式，本具体实施方式与具体实施方式一所述的触点材料综合应力环境实验系统的区别在于，所述控制器包括信号采集电路33、信号调理电路34、A/D转换电路35、串行通信电路36和数据处理电路37，

信号采集电路33的摩擦力信号输入端作为控制器的摩擦力信号输入端与摩擦力传感器13的摩擦力信号输出端连接，信号调理电路34的摩擦力信号输入端与信号采集电路33的摩擦力信号输出端连接，信号调理电路34的摩擦力信号输出端与A/D转换电路35的摩擦力信号输入端连接，A/D转换电路35的摩擦力信号输出端通过串行通信电路36与数据处理电路37的摩擦力信号输入端连接；

信号采集电路33的静压力信号输入端作为控制器的静压力信号输入端与静压力传感器12的静压力信号输出端连接，信号调理电路34的静压力信号输入端与信号采集电路33的静压力信号输出端连接，信号调理电路34的静压力信号输出端与A/D转换电路35的静压力信号输入端连接，A/D转换电路35的静压力信号输出端通过串行通信电路36与数据处理电路37的静压力信号输入端连接；

信号采集电路33的接触电阻信号输入端作为控制器的接触电阻信号输入端与接触电阻信号连接，信号采集电路33的接触电阻信号输出端与信号调理电路34的接触电阻信号输入端连接，信号调理电路34的接触电阻信号输出端与A/D转换电路35的接触电阻信号输入端连接，A/D转换电路35的接触电阻信号输出端通过串行通信电路36与数据处理电路37的接触电阻信号输入端连接；

数据处理电路37的气体压力信号输入端作为控制器的气体压力信号输入端与压力变送器16的气体压力信号输出端连接，数据处理电路37的气体压力控制信号输出端作为控制器的气体压力控制信号输出端与真空泵38的气体压力控制信号输入端连接；

数据处理电路37的温度信号输入端作为控制器的温度信号输入端与热电偶23的温度信号输出端连接，数据处理电路37的温度控制信号输出端作为控制器的温度控制信号输出端与加热控制器39的温度控制信号输入端连接。

本实施方式中，控制器还可以包括显示器，显示器用于显示静压力值、摩擦力值、接触电阻值和气压值，可以使技术人员实时地观察到本系统在测量过程中的工作状态，如出现突发情况，技术人员也可以通过显示数值进行故障排除，从而保证测量工作的正常进行。

Claims (7)

1.触点材料综合应力环境实验系统，其特征在于，该系统包括真空室、微动夹持机构、固定夹持机构和控制电路，

真空室由底盘(11)和真空罩(20)组成，所述真空罩(20)与底盘(11)固定连接，且与所述底盘(11)形成密闭的空间，所述空间为真空腔；所述底盘(11)上设置有密封航空插件(18)、压力变送器安装通孔、气阀安装通孔和固定夹持机构安装通孔；

微动夹持机构位于真空腔内，且该微动夹持机构固定在底盘(11)的中心位置，所述微动夹持机构由下试件夹持装置和静压力传感器(12)组成，所述下试件夹持装置固定在静压力传感器(12)的上表面；

固定夹持机构包括竖板(1)和上试件夹持装置，所述竖板(1)的一端由底盘(11)上的固定夹持机构安装通孔穿入到真空腔内，所述竖板(1)与底盘(11)之间通过两个法兰和一个密封橡胶垫密封连接，所述密封橡胶垫的中间带有通孔，且该密封橡胶垫覆盖底盘(11)的固定夹持机构安装通孔，竖板(1)位于该通孔内，所述竖板(1)通过法兰与密封橡胶垫固定连接，所述密封橡胶垫的外边缘通过另一个法兰与底盘(11)固定连接；所述两个法兰之间留有均匀间隙，所述间隙大于2mm；上试件夹持装置位于真空腔内，且该上试件夹持装置位于下试件夹持装置的正上方，所述上试件夹持装置与竖板(1)固定连接；

控制电路包括摩擦力传感器(13)、加热控制器(39)、压力变送器(16)、真空泵(38)和控制器，摩擦力传感器(13)用于测量上试件夹持装置和下试件夹持装置之间产生的摩擦力，加热控制器(39)用于控制下试件夹持装置的温度，压力变送器(16)由底盘(11)上的压力变送器安装通孔穿入到真空腔中，用于测量真空腔的内部压力，

静压力传感器(12)的静压力信号输出端与控制器的静压力信号输入端连接，摩擦力传感器(13)的摩擦力信号输出端与控制器的摩擦力信号输入端连接，加热控制器(39)的温度控制信号输入端与控制器的温度控制信号输出端连接，压力变送器(16)的气体压力信号输出端与控制器的气体压力信号输入端连接，控制器的气体压力控制信号输出端与真空泵(38)的气体压力控制信号输入端连接；

下试件夹持装置包括L型支撑板(10)、加热盒(9)、热电偶(23)、发热片(22)和下夹具(8)，所述L型支撑板(10)的底板的下表面与静压力传感器(12)的上表面固定连接，L型支撑板(10)的底板的上表面与加热盒(9)的下表面固定连接，下夹具(8)的固定端嵌入加热盒中，下夹具(8)的试件夹持端竖直向上，发热片(22)固定安装在加热盒(9)的内部，用于对下夹具(8)进行加热，摩擦力传感器(13)的一端与L型支撑板(10)的侧板的内表面固定连接，摩擦力传感器(13)的另一端与加热盒(9)的侧壁固定连接，热电偶(23)的测量端与下夹具(8)的侧面紧贴，用于测量下夹具的温度，热电偶(23)的温度信号输出端与控制器的温度信号输入端连接，加热控制器(39)的温度控制信号输出端与发热片(22)的温度控制信号输入端连接。

2.根据权利要求1所述的触点材料综合应力环境实验系统，其特征在于，所述底盘(11)和真空罩(20)之间通过硅胶垫圈实现密封，底盘(11)和真空罩(20)通过C型钳(21)固定连接。

3.根据权利要求1所述的触点材料综合应力环境实验系统，其特征在于，它还包括气阀(17)，所述气阀(17)由底盘(11)上的气阀安装通孔穿入到真空腔中，气阀(17)的出气口通过软管与真空泵(38)的抽气口连接。

4.根据权利要求1所述的触点材料综合应力环境实验系统，其特征在于，它还包括固定板(31)，所述固定板(31)的上表面与静压力传感器(12)的下表面固定连接，固定板(31)的下表面与底盘(11)的上表面固定连接。

5.根据权利要求1所述的触点材料综合应力环境实验系统，其特征在于，上试件夹持装置包括横板(2)、螺母套筒(3)、上夹具(4)、限位螺母(5)和加力轴(32)，所述横板(2)的一端的下表面与竖板(1)的顶端固定连接，横板(2)的另一端加工有通孔，加力轴(32)穿过所述通孔中，上夹具(4)的固定端与加力轴(32)的底部固定连接，上夹具(4)的试件夹持端竖直向下，加力轴(32)的外表面加工有螺纹，螺母套筒(3)通过螺纹连接套在加力轴(32)的外侧，且螺母套筒(3)的下端面与横板(2)的上表面固定连接，限位螺母(5)与加力轴(32)通过螺纹连接，且所述限位螺母(5)位于螺母套筒(3)的上方。

6.根据权利要求5所述的触点材料综合应力环境实验系统，其特征在于，上夹具(4)的试件夹持端和下夹具(8)的试件夹持端分别引出两个电极，所述四个电极用于测量上夹具(4)的试件夹持端和下夹具(8)的试件夹持端之间的接触电阻，所述接触电阻信号与控制器的接触电阻信号输入端连接。

7.根据权利要求1所述的触点材料综合应力环境实验系统，其特征在于，所述控制器包括信号采集电路(33)、信号调理电路(34)、A/D转换电路(35)、串行通信电路(36)和数据处理电路(37)，

信号采集电路(33)的摩擦力信号输入端作为控制器的摩擦力信号输入端与摩擦力传感器(13)的摩擦力信号输出端连接，信号调理电路(34)的摩擦力信号输入端与信号采集电路(33)的摩擦力信号输出端连接，信号调理电路(34)的摩擦力信号输出端与A/D转换电路(35)的摩擦力信号输入端连接，A/D转换电路(35)的摩擦力信号输出端通过串行通信电路(36)与数据处理电路(37)的摩擦力信号输入端连接；

信号采集电路(33)的静压力信号输入端作为控制器的静压力信号输入端与静压力传感器(12)的静压力信号输出端连接，信号调理电路(34)的静压力信号输入端与信号采集电路(33)的静压力信号输出端连接，信号调理电路(34)的静压力信号输出端与A/D转换电路(35)的静压力信号输入端连接，A/D转换电路(35)的静压力信号输出端通过串行通信电路(36)与数据处理电路(37)的静压力信号输入端连接；

信号采集电路(33)的接触电阻信号输入端作为控制器的接触电阻信号输入端与接触电阻信号连接，信号采集电路(33)的接触电阻信号输出端与信号调理电路(34)的接触电阻信号输入端连接，信号调理电路(34)的接触电阻信号输出端与A/D转换电路(35)的接触电阻信号输入端连接，A/D转换电路(35)的接触电阻信号输出端通过串行通信电路(36)与数据处理电路(37)的接触电阻信号输入端连接；

数据处理电路(37)的气体压力信号输入端作为控制器的气体压力信号输入端与压力变送器(16)的气体压力信号输出端连接，数据处理电路(37)的气体压力控制信号输出端作为控制器的气体压力控制信号输出端与真空泵(38)的气体压力控制信号输入端连接；

数据处理电路(37)的温度信号输入端作为控制器的温度信号输入端与热电偶(23)的温度信号输出端连接，数据处理电路(37)的温度控制信号输出端作为控制器的温度控制信号输出端与加热控制器(39)的温度控制信号输入端连接。