CN103586587A - 一种激光切割硅片的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种激光切割硅片的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将硅片贴在蓝膜上；S2：贴片后进行烘烤加强蓝膜和硅片的牢固度，制得待切割工件；S3：将待切割工件固定在硅片激光切割机上进行切割，同时切割刀旁边的喷嘴向切割点区域喷射冷却水和工业清洗剂，制得干净的硅片。防止切割过程中硅片和蓝膜的脱落，加强润滑度，提供最佳冷却效果，清除切割时产生的颗粒残留、硅粉，制得干净的硅片，后续步骤中无需对硅片进行清理操作，提高了工作效率。

Description

一种激光切割硅片的方法
技术领域
本发明涉及一种激光切割硅片的方法。 
背景技术
地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能光伏电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。硅片切割是太阳能光伏电池制造工艺中的关键部分。目前，在切割硅片时，硅片激光切割机利用高能激光束照射在硅片表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片切割的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点，能量密度高，因其加工是非接触式的，对硅片本身无机械冲压力，硅片不易变形。热影响极小，划片切割精度高，但在切割的过程中会产生大量的硅粉，这些硅粉残留在硅片上会对硅片造成污染，在后续的加工过程中还需要额外的工序来清洁处理，影响工作效率。 
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种激光切割硅片的方法，在切割的过程中对切割产生的硅粉及时清理掉，切割完成后无需对硅片进行清洁，提高工作效率。 
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现： 
一种激光切割硅片的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：将硅片贴在蓝膜上；
S2：贴片后进行烘烤加强蓝膜和硅片的牢固度，制得待切割工件；
S3：将待切割工件固定在硅片激光切割机上进行切割，同时切割刀旁边的喷嘴向切割点区域喷射冷却水和工业清洗剂，制得干净的硅片。
优选的，工业清洗剂中还包括工业润滑剂，由于贴片后进行烘烤，增强了蓝膜和硅片的牢固度，防止切割过程中硅片和蓝膜的脱落，另外在切割的同时还喷射冷却水和工业清洗剂，可以及时清理掉切割时产生的颗粒残留、硅粉，制得干净的硅片，后续步骤中无需对硅片进行清理操作，提高了工作效率。 
本发明的有益效果是：防止切割过程中硅片和蓝膜的脱落，加强润滑度，提供最佳冷却效果，清除切割时产生的颗粒残留、硅粉，制得干净的硅片，后续步骤中无需对硅片进行清理操作，提高了工作效率。 
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明技术方案作进一步的详细描述，以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。 
一种激光切割硅片的方法，包括以下步骤： 
S1：将硅片贴在蓝膜上；
S2：贴片后进行烘烤加强蓝膜和硅片的牢固度，制得待切割工件；
S3：将待切割工件固定在硅片激光切割机上进行切割，同时切割刀旁边的喷嘴向切割点区域喷射冷却水和工业清洗剂，制得干净的硅片。其中硅片厚度在200-400微米之间。
优选的，在步骤S3中，工业清洗剂中还包括工业润滑剂，可以加强润滑度。 
优选的，在步骤S1和S2之间还包括步骤S4：检查硅片和蓝膜之间是否有气泡，如果没有气泡，进入步骤S2，如果有气泡，还需要重新挤掉气泡后方可进入步骤S2中。 
由于贴片后进行烘烤，增强了蓝膜和硅片的牢固度，防止切割过程中硅片和蓝膜的脱落，另外在切割的同时还喷射冷却水和工业清洗剂，可以及时清理掉切割时产生的颗粒残留、硅粉，制得干净的硅片，后续步骤中无需对硅片进行清理操作，提高了工作效率。 
以上仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或者等效流程变换，或者直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。 

Claims (4)

1.一种激光切割硅片的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：将硅片贴在蓝膜上；
S2：贴片后进行烘烤加强蓝膜和硅片的牢固度，制得待切割工件；
S3：将待切割工件固定在硅片激光切割机上进行切割，同时切割刀旁边的喷嘴向切割点区域喷射冷却水和工业清洗剂，制得干净的硅片。
2.根据权利要求1所述的一种激光切割硅片的方法，其特征在于，在步骤S3中，所述工业清洗剂中还包括工业润滑剂。
3.根据权利要求1所述的一种激光切割硅片的方法，其特征在于，在步骤S1和S2之间还包括步骤S4：检查硅片和蓝膜之间是否有气泡，如果没有气泡，进入步骤S2。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种激光切割硅片的方法，其特征在于，所述硅片厚度在200-400微米之间。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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