CN103538158A - 磁性磨料线锯切割方法 - Google Patents

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Pinghu Lianxiang Electroplating Technology Co.,Ltd.
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Abstract

本发明公开了一种磁性磨料线锯切割方法，所述的方法包括如下步骤：（1）在工件切割区域的上下两端施加磁场使锯丝磁化产生磁性吸附力；(2)将带镀镍金刚石磨粒的磨液施加到移动的上述锯丝上，镀镍金刚石磨粒在磁场力作用下被吸附到锯丝的表面，构成锯丝的切割面；（3）镀镍金刚石磨粒同时与锯丝和工件表面接触，并且随着锯丝的运动对工件进行滚压去除加工。本发明将游离磨料锯丝磁化，金刚石磨粒表面镀镍，在磁化锯丝切割工件过程中，镀镍的磨粒受到磁场力作用，吸附在磁化锯丝表面并且随着锯丝进入切割区域，切割区域磨粒数量增加，切割效率提高，实现磁性磨料线锯切割。

Description

磁性磨料线锯切割方法
技术领域
本发明涉及一种磁性磨料线锯切割方法。
背景技术
随着光伏产业的发展，游离磨料线锯切割技术广泛应用于硅片的切割。如图1所示，在切割过程中，碳化硅磨粒随着聚乙二醇磨液进入切割区域，并且磨粒通过滚压的方式去除材料。但是，在切割区域磨浆带入的磨粒数量有限，而且部分磨粒跟工件处于非接触状态，故切割效率低。由于磨液采用粘度大的聚乙二醇，故磨粒回收利用困难，对环境污染严重，成本高。
针对上述游离磨料线锯切割技术效率低的问题，目前有两种方法来提高切割效率。方法一：增加磨浆的供应量。这是目前游离磨料线锯切割企业采用的方法，但是锯丝切缝尺寸是一定的，进入切割区域的磨浆有个上限值，切割效率达到一定值后就无法进一步提高，而且磨浆浪费严重，浆料回收成本增加。方法二：采用固结磨料线锯代替游离磨料线锯。固结磨料线锯通过某种技术或者工艺方法将磨粒固定在芯线表面，在切割过程中，磨粒随锯丝一起运动，但是固结磨料线锯生产成本高，目前只有少部分企业用固结磨料线锯进行切割加工。
发明内容
为了克服现有游离磨料线锯切割技术中存在的切割效率低、磨粒回收利用困难、成本高等缺点，本发明提供一种成本低、切割效率高且磨粒可回收利用的磁性磨料线锯切割方法。
本发明采用的技术方案是：
磁性磨料线锯切割方法，其特征在于：所述的方法包括如下步骤：
（1）、在工件切割区域的上下两端施加磁场使锯丝磁化产生磁性吸附力；
(2)、将带镀镍金刚石磨粒的磨液施加到移动的上述锯丝上，镀镍金刚石磨粒在磁场力作用下被吸附到锯丝的表面，构成锯丝的切割面；
（3）镀镍金刚石磨粒同时与锯丝和工件表面接触，并且随着锯丝的运动对工件进行滚压去除加工。
进一步，在工件切割区域上下两端施加磁场的方法为：在切割区域的上下两端分别设置带内孔的圆柱形永磁铁，切割区域的锯丝磁化，并且产生磁性吸附力。
进一步，在工件切割区域上下两端施加磁场的方法为：在切割区域上下两端分别设置带铁芯的直螺线管，直螺线管通电后切割区域形成磁场，铁芯内部锯丝和切割区域锯丝被磁化产生磁性吸附力。
进一步，所述的带铁芯的直螺线管设置在所述的切割区域上下两端的中心位置，位于中心位置的锯丝穿设在铁芯内部。
本发明通过在切割区域的上下两端分别施加北极和南极磁场，切割区域锯丝磁化，在磁性锯丝切割工件过程中，镀镍磨粒受到磁场力作用，吸附在磁性锯丝表面并且随着锯丝进入切割区域，切割区域磨粒数量增加，切割效率提高，实现磁性磨料线锯切割。
本发明的有益效果体现在：
（1）镀镍磨粒受到磁场力作用，磨浆中有更多的磨粒进入切割区域；
（2）在切割区域，镀镍磨粒吸附在磁性锯丝表面，有更多的磨粒同时与锯丝和工件接触，并且随着锯丝的运动对工件进行滚压去除加工，提高锯丝切割效率；
（3）在半导体材料加工结束后，可以通过磁场力将磨浆中的镀镍磨粒回收利用，降低成本。
附图说明
图1是传统游离磨料线锯切割技术示意图。
其中9-碳化硅磨粒。
图2是本发明磁性磨料线锯切割技术示意图。
图3是本发明带内孔的圆柱形永磁铁设置在切割区域上下两端的中心位置的切割装置示意图。
图4是本发明带内孔的圆柱形永磁铁设置在切割区域上下两端一侧的切割装置示意图（即锯丝位于永磁铁侧面）。
图5是本发明带铁芯的直螺线管设置在切割区域上下两端中心位置的切割装置示意图。
图6是本发明带铁芯的直螺线管设置在切割区域上下两端一侧的切割装置示意图（即锯丝位于直螺线管侧面）。
具体实施方式
参照图2至图6，本发明中锯丝采用70号钢材的镀铜钢丝，磨液3通过喷头5将其施加到移动的锯丝1上。
磁性磨料线锯切割方法，所述的方法包括如下步骤：
（1）、在工件切割区域的上下两端施加磁场使锯丝1磁化产生磁性吸附力；
(2)、将带镀镍金刚石磨粒2的磨液3施加到移动的上述锯丝1上，镀镍金刚石磨粒2在磁场力作用下被吸附到锯丝1的表面，构成锯丝1的切割面；
（3）镀镍金刚石磨粒2同时与锯丝1和工件4表面接触，并且随着锯丝1的运动对工件4进行滚压去除加工。
进一步，在工件切割区域上下两端施加磁场的方法为：在切割区域的上下两端分别设置带内孔的圆柱形永磁铁6，切割区域的锯丝磁化，并且产生磁性吸附力。
进一步，在工件切割区域上下两端施加磁场的方法为：在切割区域上下两端分别设置带铁芯7的直螺线管8，直螺线管8通电后切割区域形成磁场，铁芯7内部锯丝和切割区域锯丝被磁化产生磁性吸附力。
进一步，所述的带铁芯7的直螺线管8设置在所述的切割区域上下两端的中心位置，位于中心位置的锯丝穿设在铁芯内部。
本发明通过在切割区域的上下两端分别施加北极和南极磁场，切割区域锯丝磁化，在磁性锯丝切割工件过程中，镀镍磨粒受到磁场力作用，吸附在磁性锯丝表面并且随着锯丝进入切割区域，切割区域磨粒数量增加，切割效率提高，实现磁性磨料线锯切割。
本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本发明的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本发明的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。

Claims (4)

1.磁性磨料线锯切割方法，其特征在于：所述的方法包括如下步骤：
（1）、在工件切割区域的上下两端施加磁场使锯丝磁化产生磁性吸附力；
(2)、将带镀镍金刚石磨粒的磨液施加到移动的上述锯丝上，镀镍金刚石磨粒在磁场力作用下被吸附到锯丝的表面，构成锯丝的切割面；
（3）镀镍金刚石磨粒同时与锯丝和工件表面接触，并且随着锯丝的运动对工件进行滚压去除加工。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在工件切割区域上下两端施加磁场的方法为：在切割区域的上下两端分别设置带内孔的圆柱形永磁铁，切割区域的锯丝磁化，并且产生磁性吸附力。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在工件切割区域上下两端施加磁场的方法为：在切割区域上下两端分别设置带铁芯的直螺线管，直螺线管通电后切割区域形成磁场，铁芯内部锯丝和切割区域锯丝被磁化产生磁性吸附力。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的带铁芯的直螺线管设置在所述的切割区域上下两端的中心位置，位于中心位置的锯丝穿设在铁芯内部。
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