CN103528512A - 新型读数显微镜十字叉丝定向器 - Google Patents

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CN103528512A CN201310527130.6A CN201310527130A CN103528512A CN 103528512 A CN103528512 A CN 103528512A CN 201310527130 A CN201310527130 A CN 201310527130A CN 103528512 A CN103528512 A CN 103528512A
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朱俊
汪仕元
张礼元
蒲廷燕
范云鹤
于白茹
李伟
梁小冲
李紫源
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Abstract

一种新型读数显微镜十字叉丝定向器,主要由玻片、劈尖座、调节杆、顶杆和底座组成。上、下玻片形成劈尖,借助反光镜将单色光从玻片上方反射到上下玻片上,在读数显微镜中调节出清晰的劈尖干涉图像,调节杆可以调节劈尖夹角的大小,从而改变干涉条纹的粗细和疏密,水平螺钉和弹簧可以微调干涉条纹的方向,调节读数显微镜的转动轮,观察十字叉丝交叉点的运动方向,使十字叉丝交叉点的运动方向和一条干涉直条纹重合,再转动读数显微镜的目镜筒,使十字叉丝横线和这条干涉直条纹重合,十字叉丝竖线就垂直于测量运动方向了。

Description

新型读数显微镜十字叉丝定向器
技术领域
本发明涉及牛顿环和劈尖等干涉图像参数测量所用读数显微镜十字叉丝定向器的结构设计,特别是涉及读数显微镜十字叉丝定向器的平行细直线的产生装置,用于牛顿环和劈尖等干涉图像参数测量前的仪器调整操作中。
背景技术
在用读数显微镜测量圆环直径和平行直线间距时,首先要求调节十字叉丝的竖线垂直于测量运动方向,而这种调节是以操作者目测来完成的,其误差很大,结果导致测量结果误差很大。专利201110068438.X设计了一种读数显微镜十字叉丝定向器,在一块平板上加工出一组平行直线,先从读数显微镜中找到这些平行直线,然后调节定向器和读数显微镜,使读数显微镜的十字叉丝交叉点的运动方向和定向器平行直线中的某一条重合或平行,最后转动读数显微镜的目镜筒,使十字叉丝的横线与定向器中的这条直线重合或平行后固定目镜筒,这样就保证了十字叉丝的竖线垂直于读数显微镜的测量运动方向,也就避免了因十字叉丝不垂直于测量运动方向所引起的误差。但是,用机械加工或电加工等方式做出的平行直线无论怎么样细,在读数显微镜中看起来都很粗,给十字叉丝交叉点的运动方向和定向器平行直线中某条直线的重合或平行的操作带来很大困难,如果读数显微镜十字叉丝交叉点的运动轨迹处于两条相邻刻线之间,只能垂直于十字叉丝交叉点移动方向移动定向器基座才能使交叉点的运动轨迹与一条刻线重合,操作者根本不能保证这种“垂直”运动,只能反复调整,或者目测十字叉丝交叉点的运动轨迹和最近的一条刻线平行就行了,这是不利于十字叉丝的准确定向的。
发明内容
为了克服定向器平行直线在读数显微镜视场中看起来太粗给十字叉丝交叉点运动轨迹重合或平行操作造成的困难以及垂直于十字叉丝交叉点运动轨迹移动十字叉丝定向器的操作困难,本发明设计了一种新型读数显微镜十字叉丝定向器,利用劈尖干涉产生平行直条纹代替实际加工的实体直线,可以取得理想的效果。
本发明所述的新型读数显微镜十字叉丝定向器主要由玻片、劈尖座、调节杆、顶杆和底座组成,下玻片放在玻片槽的底部,上玻片左端在下玻片左上,右端在顶杆之上,劈尖座在底座之上,调节杆固定在劈尖座的调节杆槽中,调节杆的右端穿在顶杆的矩形孔中,左端连接在调节螺钉上,由限位螺母限位,调节螺钉下部拧在底座螺孔中,上部处于劈尖座左端的转动弧中,弹簧的一端在底座的弹簧孔中,另一端接触劈尖座的侧面,水平螺钉拧在底座的螺钉孔中,水平螺钉端面接触劈尖座的另一侧面。在牛顿环和劈尖等干涉图像参数的测量中,借助反光镜将单色光从玻片上方反射到上下玻片上,在读数显微镜中调节出清晰的劈尖干涉图像,转动底座,使干涉条纹平行于测量运动方向,转动读数显微镜的转动轮,观察十字叉丝交叉点的运动方向,调节水平螺钉使劈尖座通过左端的转动弧绕着调节螺钉在水平方向转动,可以使干涉条纹平行于十字叉丝交叉点的运动轨迹,再缓慢转动调节螺钉,通过调节杆推动上玻片顶杆上升,使上玻片右端缓慢升高,干涉条纹逐渐变细变密,当十字叉丝交叉点与某条干涉条纹重合,如此反复缓慢转动调节螺钉和水平螺钉,直到十字叉丝交叉点的运动轨迹和某条干涉直条纹完全重合。松开读数显微镜目镜筒的锁紧螺钉,转动目镜筒使十字叉丝横线与该条干涉直条纹重合,这时的十字叉丝竖线就垂直于读数显微镜的测量运动方向了。可以直接转动底座90度,让干涉条纹与十字叉丝竖线重合,转动调节螺钉使上玻片右端降低,干涉条纹间距加大,就可准确地测出干涉条纹的间距了,移开读数显微镜十字叉丝定向器,换上牛顿环装置,调节出牛顿环的干涉图像,就可以用十字叉丝竖线与干涉图像圆环相切的方式来测量圆环的直径了。
由于上玻片右端上升或下降极其微小的变化也会导致干涉条纹的剧烈变化,所以调节杆中与调节螺钉连接部分的长度是调节杆与上玻片顶杆连接部分长度的2到10倍,即调节螺钉旋转一圈,上玻片顶杆只上升一个螺距的十分之一到二分之一,这样就有利于劈尖夹角大小的调节,也就是有利于干涉条纹粗细疏密的调节。
本发明所述的新型读数显微镜十字叉丝定向器利用劈尖干涉条纹因劈尖夹角变大而变密变细的特点,可以调节到十字叉丝交叉点的运动轨迹和一条干涉直条纹完全重合,最大限度地减少了平行直线间距和圆环直径的测量误差,同时,还可观察劈尖干涉条纹的粗细疏密与劈尖夹角大小的关系。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是新型读数显微镜十字叉丝定向器的纵剖面构造图。
图2是新型读数显微镜十字叉丝定向器的俯视构造图。
图3是新型读数显微镜十字叉丝定向器的A--A剖视构造图。
图中,1,劈尖座,2,上玻片,3,玻片槽,4,下玻片,5,调节螺钉,6,底座螺孔,7,底座,8,限位螺母,9,调节杆,10,球面垫,11,定位螺钉,12,调节杆槽,13,上玻片顶杆,14,水平螺孔,15,弹簧孔,16,弹簧,17,水平螺钉,18,转动弧。
具体实施方式
在图1、图2和图3中,下玻片(4)放在玻片槽(3)的底部,其右端被定位螺钉(11)挡住,上玻片(2)左端在下玻片(4)左上,其右端在顶杆(13)之上,劈尖座(1)在底座(7)之上,调节杆(9)通过定位螺钉(11)和球面垫(10)固定在劈尖座(1)的调节杆槽(12)中,调节杆(9)的右端穿在上玻片顶杆(13)的矩形孔中,左端连接在调节螺钉(5)上,由限位螺母(8)限位,调节杆(9)中与调节螺钉(5)连接部分的长度是调节杆(9)与上玻片顶杆(13)连接部分长度的3到10倍,调节螺钉(5)下部拧在底座螺孔(6)中,上部处于劈尖座(1)左端的转动弧(18)中,弹簧(16)的一端在底座(7)的弹簧孔(15)中,另一端接触劈尖座(1)的侧面,水平螺钉(17)拧在底座(7)的水平螺孔(14)中,水平螺钉(17)端面接触劈尖座的另一侧面。

Claims (1)

1.一种新型读数显微镜十字叉丝定向器,主要由玻片、劈尖座、调节杆、顶杆和底座组成,其特征是下玻片(4)放在玻片槽(3)的底部,其右端被定位螺钉(11)挡住,上玻片(2)左端在下玻片(4)左上,其右端在顶杆(13)之上,劈尖座(1)在底座(7)之上,调节杆(9)通过定位螺钉(11)和球面垫(10)固定在劈尖座(1)的调节杆槽(12)中,调节杆(9)的右端穿在上玻片顶杆(13)的矩形孔中,左端连接在调节螺钉(5)上,由限位螺母(8)限位,调节杆(9)中与调节螺钉(5)连接部分的长度是调节杆(9)与上玻片顶杆(13)连接部分长度的3到10倍,调节螺钉(5)下部拧在底座螺孔(6)中,上部处于劈尖座(1)左端的转动弧(18)中,弹簧(16)的一端在底座(7)的弹簧孔(15)中,另一端接触劈尖座(1)的侧面,水平螺钉(17)拧在底座(7)的水平螺孔(14)中,水平螺钉(17)端面接触劈尖座的另一侧面。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104501742A (zh) * 2014-11-20 2015-04-08 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 基于单色光自准直仪二次准直原理的劈角测量方法
CN106373470A (zh) * 2016-11-21 2017-02-01 唐山学院 多功能光具架
CN113310401A (zh) * 2020-02-26 2021-08-27 杭州贺兰光电有限公司 一种读数显微镜的十字叉丝定向器结构

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1078302A (ja) * 1996-09-02 1998-03-24 Olympus Optical Co Ltd 測定顕微鏡
JP2011038829A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Topcon Corp 干渉顕微鏡及び測定装置
CN102183204A (zh) * 2011-03-22 2011-09-14 四川大学 读数显微镜“十”字叉丝定向器
CN202522204U (zh) * 2012-01-16 2012-11-07 江苏教育学院 一种用于等厚干涉实验的测量装置
CN203534519U (zh) * 2013-10-31 2014-04-09 四川大学 新型读数显微镜十字叉丝定向器

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1078302A (ja) * 1996-09-02 1998-03-24 Olympus Optical Co Ltd 測定顕微鏡
JP2011038829A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Topcon Corp 干渉顕微鏡及び測定装置
CN102183204A (zh) * 2011-03-22 2011-09-14 四川大学 读数显微镜“十”字叉丝定向器
CN202522204U (zh) * 2012-01-16 2012-11-07 江苏教育学院 一种用于等厚干涉实验的测量装置
CN203534519U (zh) * 2013-10-31 2014-04-09 四川大学 新型读数显微镜十字叉丝定向器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104501742A (zh) * 2014-11-20 2015-04-08 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 基于单色光自准直仪二次准直原理的劈角测量方法
CN104501742B (zh) * 2014-11-20 2017-10-03 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 基于单色光自准直仪二次准直原理的劈角测量方法
CN106373470A (zh) * 2016-11-21 2017-02-01 唐山学院 多功能光具架
CN106373470B (zh) * 2016-11-21 2018-12-11 唐山学院 多功能光具架
CN113310401A (zh) * 2020-02-26 2021-08-27 杭州贺兰光电有限公司 一种读数显微镜的十字叉丝定向器结构

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