CN103499277A - 基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置 - Google Patents

基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置 Download PDF

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基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；由四条标准测量光束在该平面投影点构成的四边形区域内，四条标准测量光束和四条被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近。

Description

基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置
技术领域
本发明属于激光测量技术领域，主要涉及一种激光干涉仪校准方法与装置。
背景技术
角位移激光干涉仪是精度很高的标准测量技术，广泛应用于精密和超精密机械加工、微电子装备、纳米技术工业装备和国防装备等领域，可以用于微位移部件、移动平台和光刻机角度变化量的监测。角位移激光干涉仪可以提供很高的测量精度，并且可以动态测量运动中的相对摆角，这是区别其他仪器的独特优势，为了保证角位移激光干涉仪测量的准确性，科学有效地对角位移激光干涉仪进行校准非常重要。角位移激光干涉仪的实现是将单光路的线位移激光干涉仪改进成多光路的线位移激光干涉仪，通过测量得到的两条光路相对光程变化可以获得一个旋转角度的变化值。在目前文献资料中未提出角位移激光干涉仪的校准方法与装置，但因为角位移激光干涉仪是线位移激光干涉仪测量的衍生方案，所以角位移激光干涉仪校准可以采用线位移激光干涉仪的校准方法：并行式(冷玉国，陶磊，徐健.基于80m测量装置的双频激光干涉仪系统精度及影响因素分析.计量与测试技术，2011，38(9)：47-49)、背对背式(廖澄清，朱小平，王蔚晨，杜华.激光干涉仪测长精度校准方法的研究.现代测量与实验室管理，2005，1：6-7)和共光路式(Dr-Ing H.-H.Schussler.Comparison and calibration oflaser interferometer systems.Measurement，1985，3(4)：175-184)，因此角位移激光干涉仪校准装置也会有线位移激光干涉仪校准装置的缺点：较大的阿贝误差、严重的空气折射率不一致性和不是准确意义上两套激光干涉仪进行校准。
发明内容
针对上述现有角位移激光干涉仪校准装置中较大的阿贝误差、严重的空气折射率不一致性和不是准确意义上两套激光干涉仪进行校准的问题，本发明提出和研发了基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置，该发明使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，从而可以减小阿贝误差、减小空气折射率不一致性的影响，并且是准确意义上两套激光干涉仪进行校准。
本发明的目的通过以下技术方案实现：
一种基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法，该方法步骤如下：
(1)标准激光干涉仪激光器的输出光经四轴中空激光干涉镜组形成相互平行的四条标准测量光束，并都入射到有中间孔的平面镜上，在垂直于四条标准测量光束的平面内，第一条与第二条标准测量光束投影位置点之间的连接线段M长为A，第三条与第四条标准测量光束投影位置点之间的连接线段N长为B，两连接线段相交，每条标准测量光束中带有平面镜位移信息的部分光被反射回四轴中空激光干涉镜组后，根据从四轴中空激光干涉镜组中获得的干涉信号，得到连接线段M所在直线与连接线段N所在直线分别与有中间孔的平面镜入射面夹角的变化值arctan((a1-a2)/A)、arctan((b1-b2)/B)，其中，a1、a2、b1和b2分别为有中间孔的平面镜上第一条、第二条、第三条和第四条标准测量光束入射区域的线位移测量值；
(2)被校准激光干涉仪激光器的输出光经被校准激光干涉仪干涉镜组形成相互平行的四条被校准激光干涉仪测量光束，被校准激光干涉仪四条测量光束都穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，与四条标准测量光束平行，并都入射到被校准激光干涉仪平面反射镜上，在垂直于四条标准测量光束的平面内，第一条与第二条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段m长为C，第三条与第四条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段n长为D，连接线段m与连接线段M共线，连接线段n与连接线段N共线，四条带有被校准激光干涉仪平面反射镜位移信息的被校准激光干涉仪测量光束反射回被校准激光干涉仪干涉镜组后，根据从被校准激光干涉仪干涉镜组中获得的干涉信号，得到连接线段m所在直线与连接线段n所在直线分别与被校准激光干涉仪平面反射镜入射面夹角的变化值arctan((c1-c2/C)、arctan((d1-d2)/D)，其中，c1、c2、d1和d2分别为被校准激光干涉仪平面反射镜上第一条、第二条、第三条和第四条被校准激光干涉仪测量光束入射区域的线位移测量值；
(3)运动台进行任意旋转方向的小角度偏摆，以匀速或非匀速采样速率，同步采样标准激光干涉仪夹角变化值arctan((a1-a2)/A)、arctan((b1-b2)/B)和被校准激光干涉仪夹角变化值arctan((c1-c2)/C)、arctan((d1-d2)/D)，将arctan((a1-a2)/A)和arctan((c1-c2)/C)作差，arctan((b1-b2)/B)和arctan((d1-d2)/D)作差，最终得到两组角位移校准测量误差值。
一种基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准装置，包括标准激光干涉仪激光器，可接收标准激光干涉仪干涉信号位置上的接收器，导线将接收器与标准激光干涉仪信号处理系统连接；在标准激光干涉仪激光器输出光路上配置有中间通孔的可以让被校准激光干涉仪测量光束穿过的四轴中空标准激光干涉镜组；四轴中空标准激光干涉镜组一侧配置导轨，运动台配装在导轨上，在运动台上安装有中间孔的平面镜，在平面镜中间孔内安装被校准激光干涉仪平面反射镜，被校准激光干涉仪平面反射镜和有中间孔的平面镜组成入射面共面并且相对位置固定的目标反射镜；在四轴中空标准激光干涉镜组另一侧配置被校准激光干涉仪干涉镜组和被校准激光干涉仪激光器，所述被校准激光干涉仪干涉镜组位于被校准激光干涉仪激光器输出光路上；被校准激光干涉仪接收器配置在可接收被校准激光干涉仪干涉信号的位置上，导线将被校准激光干涉仪接收器与被校准激光干涉仪信号处理系统连接。
本发明具有以下特点及良好效果：
(1)由于被校准激光干涉仪测量光束通过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光轴与平行标准光轴之间的垂直距离很短，两者的光路非常接近，因此两套激光干涉仪校准时阿贝误差很小。
(2)在垂直于四条标准测量光束的平面，由四条标准测量光束在该平面投影点构成的四边形区域内，四条标准测量光束和四条被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近。
(3)没有共用的干涉镜组和测量镜，标准激光干涉仪部件和被校准标准激光干涉仪部件归属明确，是准确意义上的两套激光干涉仪进行校准。
附图说明
图1为基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准装置结构示意图
图2为在有中间孔的平面镜与被校准激光干涉仪平面反射镜组成的目标反射镜的入射面上光斑位置分布示意图
图中：1标准激光干涉仪激光器、2四轴中空标准激光干涉镜组、3、4、5、6四条平行标准测量光束、7有中间孔的平面镜、8标准激光干涉仪接收器、9标准信号处理系统、10被校准激光干涉仪激光器、11被校准激光干涉仪干涉镜组、12、13、14、15四条被校准激光干涉仪测量光束、16中间通孔、17被校准激光干涉仪平面反射镜、18被校准激光干涉仪接收器、19被校准激光干涉仪信号处理系统、20运动台、21导轨、22、23、24、25四条平行标准测量光束光斑位置、26、27、28、29四条被校准激光干涉仪光束光斑位置。
具体实施方式
下面结合附图对本发明具体实施例作进一步详细描述。
一种基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准装置，包括标准激光干涉仪激光器1，可接收标准激光干涉仪干涉信号位置上的接收器8，导线将接收器8与标准激光干涉仪信号处理系统9连接；在标准激光干涉仪激光器1输出光路上配置有中间通孔16的可以让被校准激光干涉仪测量光束12、13、14、15穿过的四轴中空标准激光干涉镜组2；四轴中空标准激光干涉镜组2一侧配置导轨21，运动台20配装在导轨21上，在运动台20上安装有中间孔的平面镜7，在平面镜7中间孔内安装被校准激光干涉仪平面反射镜17，被校准激光干涉仪平面反射镜17和有中间孔的平面镜7组成入射面共面并且相对位置固定的目标反射镜；在四轴中空标准激光干涉镜组2另一侧配置被校准激光干涉仪干涉镜组11和被校准激光干涉仪激光器10，所述被校准激光干涉仪干涉镜组11位于被校准激光干涉仪激光器10输出光路上；被校准激光干涉仪接收器18配置在可接收被校准激光干涉仪干涉信号的位置上，导线将被校准激光干涉仪接收器18与被校准激光干涉仪信号处理系统19连接。
所述的四轴中空标准激光干涉镜组2的中间通孔16包括任意形状，数目是一个或一个以上。
所述的每条平行标准测量光束3、4、5、6和每条被校准激光干涉仪测量光束12、13、14、15分别被有中间孔的平面镜7和被校准激光干涉仪平面反射镜17反射一次或一次以上。
所述的标准激光干涉仪接收器8和被校准激光干涉仪接收器18的数目分别是两个或两个以上。
一种基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法，该方法步骤如下：
(1)标准激光干涉仪激光器1的输出光经四轴中空激光干涉镜组2形成相互平行的四条标准测量光束3、4、5、6，并都入射到有中间孔的平面镜7上，在垂直于四条标准测量光束3、4、5、6的平面内，第一条与第二条标准测量光束投影位置点之间的连接线段M长为A，第三条与第四条标准测量光束投影位置点之间的连接线段N长为B，两连接线段相交，每条标准测量光束3、4、5、6中带有平面镜7位移信息的部分光被反射回四轴中空激光干涉镜组2后，根据从四轴中空激光干涉镜组2中获得的干涉信号，得到连接线段M所在直线与连接线段N所在直线分别与有中间孔的平面镜7入射面夹角的变化值arctan((a1-a2)/A)、arctan((b1-b2)/B)，其中，a1、a2、b1和b2分别为有中间孔的平面镜7上第一条、第二条、第三条和第四条标准测量光束入射区域的线位移测量值；
(2)被校准激光干涉仪激光器10的输出光经被校准激光干涉仪干涉镜组11形成相互平行的四条被校准激光干涉仪测量光束12、13、14、15，被校准激光干涉仪四条测量光束12、13、14、15都穿过四轴中空激光干涉镜组2的中间通孔16，与四条标准测量光束3、4、5、6平行，并都入射到被校准激光干涉仪平面反射镜17上，在垂直于四条标准测量光束3、4、5、6的平面内，第一条与第二条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段m长为C，第三条与第四条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段n长为D，连接线段m与连接线段M共线，连接线段n与连接线段N共线，四条带有被校准激光干涉仪平面反射镜17位移信息的被校准激光干涉仪测量光束12、13、14、15反射回被校准激光干涉仪干涉镜组11后，根据从被校准激光干涉仪干涉镜组11中获得的干涉信号，得到连接线段m所在直线与连接线段n所在直线分别与被校准激光干涉仪平面反射镜17入射面夹角的变化值arctan((c1-c2)/C)、arctan((d1-d2)/D)，其中，c1、c2、d1和d2分别为被校准激光干涉仪平面反射镜17上第一条、第二条、第三条和第四条被校准激光干涉仪测量光束入射区域的线位移测量值；
(3)运动台20进行任意旋转方向的小角度偏摆，以匀速或非匀速采样速率，同步采样标准激光干涉仪夹角变化值arctan((a1-a2)/A)、arctan((b1-b2)/B)和被校准激光干涉仪夹角变化值arctan((c1-c2)/C)、arctan((d1-d2)/D)，将arctan((a1-a2)/A)和arctan((c1-c2)/C)作差，arctan((b1-b2)/B)和arctan((d1-d2)/D)作差，最终得到两组角位移校准测量误差值。
标准测量光束光斑位置22、23、24、25依次分别是四条平行标准测量光束3、4、5、6入射到有中间孔的平面镜7的位置，被校准激光干涉仪光束光斑位置26、27、28、29是被校准激光干涉仪测量光束12、13、14、15入射被校准激光干涉仪平面反射镜17的位置，从位置分布可以看出被校准激光干涉仪光束光斑位置26、27、28、29处在标准测量光束光斑位置22、23、24、25的中间，即四条平行标准测量光束3、4、5、6将被校准激光干涉仪测量光束12、13、14、15夹持在中间位置。

Claims (5)

1.一种基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法，其特征在于该方法步骤如下：
(1)标准激光干涉仪激光器的输出光经四轴中空激光干涉镜组形成相互平行的四条标准测量光束，并都入射到有中间孔的平面镜上，在垂直于四条标准测量光束的平面内，第一条与第二条标准测量光束投影位置点之间的连接线段M长为A，第三条与第四条标准测量光束投影位置点之间的连接线段N长为B，两连接线段相交，每条标准测量光束中带有平面镜位移信息的部分光被反射回四轴中空激光干涉镜组后，根据从四轴中空激光干涉镜组中获得的干涉信号，得到连接线段M所在直线与连接线段N所在直线分别与有中间孔的平面镜入射面夹角的变化值arctan((a1-a2)/A)、arctan((b1-b2)/B)，其中，a1、a2、b1和b2分别为有中间孔的平面镜上第一条、第二条、第三条和第四条标准测量光束入射区域的线位移测量值；
(2)被校准激光干涉仪激光器的输出光经被校准激光干涉仪干涉镜组形成相互平行的四条被校准激光干涉仪测量光束，被校准激光干涉仪四条测量光束都穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，与四条标准测量光束平行，并都入射到被校准激光干涉仪平面反射镜上，在垂直于四条标准测量光束的平面内，第一条与第二条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段m长为C，第三条与第四条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段n长为D，连接线段m与连接线段M共线，连接线段n与连接线段N共线，四条带有被校准激光干涉仪平面反射镜位移信息的被校准激光干涉仪测量光束反射回被校准激光干涉仪干涉镜组后，根据从被校准激光干涉仪干涉镜组中获得的干涉信号，得到连接线段m所在直线与连接线段n所在直线分别与被校准激光干涉仪平面反射镜入射面夹角的变化值arctan((c1-c2)/C)、arctan((d1-d2)/D)，其中，c1、c2、d1和d2分别为被校准激光干涉仪平面反射镜上第一条、第二条、第三条和第四条被校准激光干涉仪测量光束入射区域的线位移测量值；
(3)运动台进行任意旋转方向的小角度偏摆，以匀速或非匀速采样速率，同步采样标准激光干涉仪夹角变化值arctan((a1-a2)/A)、arctan((b1-b2)/B)和被校准激光干涉仪夹角变化值arctan((c1-c2)/C)、arctan((d1-d2)/D)，将arctan((a1-a2)/A)和arctan((c1-c2)/C)作差，arctan((b1-b2)/B)和arctan((d1-d2)/D)作差，最终得到两组角位移校准测量误差值。
2.一种基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准装置，包括标准激光干涉仪激光器(1)和配置在可接收标准测量光束(3、4、5、6)对应的干涉信号位置上的接收器(8)，导线将接收器(8)与标准激光干涉仪信号处理系统(9)连接；其特征在于在标准激光干涉仪激光器(1)输出光路上配置有中间通孔(16)的可以让被校准激光干涉仪测量光束(12、13、14、15)穿过的四轴中空标准激光干涉镜组(2)；四轴中空标准激光干涉镜组(2)一侧配置导轨(21)，运动台(20)配装在导轨(21)上，在运动台(20)上安装有中间孔的平面镜(7)，在平面镜(7)中间孔内安装被校准激光干涉仪平面反射镜(17)，被校准激光干涉仪平面反射镜(17)和有中间孔的平面镜(7)组成入射面共面并且相对位置固定的目标反射镜；在四轴中空标准激光干涉镜组(2)另一侧配置被校准激光干涉仪干涉镜组(11)和被校准激光干涉仪激光器(10)，所述被校准激光干涉仪干涉镜组(11)位于被校准激光干涉仪激光器(10)输出光路上；被校准激光干涉仪接收器(18)配置在可接收被校准激光干涉仪干涉信号的位置上，导线将被校准激光干涉仪接收器(18)与被校准激光干涉仪信号处理系统(19)连接。
3.根据权利要求2所述的基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准装置，其特征在于所述的四轴中空标准激光干涉镜组(2)的中间通孔(16)包括任意形状，数目是一个或一个以上。
4.根据权利要求2所述的基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准装置，其特征在于所述的每条平行标准测量光束(3、4、5、6)和每条被校准激光干涉仪测量光束(12、13、14、15)分别被有中间孔的平面镜(7)和被校准激光干涉仪平面反射镜(17)反射一次或一次以上。
5.根据权利要求2所述的基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准装置，其特征在于所述的标准激光干涉仪接收器(8)和被校准激光干涉仪接收器(18)的数目分别是两个或两个以上。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105215479A (zh) * 2015-10-27 2016-01-06 湖北三峡职业技术学院 一种数控插齿机同步旋转轴误差补偿方法及装置
CN107407550A (zh) * 2014-11-24 2017-11-28 奥博学术大学 用于校准3d成像的方法和用于3d成像的系统
CN109696121A (zh) * 2019-02-25 2019-04-30 天津工业大学 一种基于激光干涉仪检测光路的快速校准方法
CN116222464A (zh) * 2023-05-08 2023-06-06 江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心) 一种高精度线性位移检测系统

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1657865A (zh) * 2004-02-20 2005-08-24 安捷伦科技有限公司 利用侧面安装的干涉仪获取位置信息的系统和方法
CN102334024A (zh) * 2009-12-23 2012-01-25 哈利伯顿能源服务公司 基于干涉测量的井下分析工具
CN103267581A (zh) * 2013-05-17 2013-08-28 中山大学 适用于测量整形脉冲的光谱剪切干涉仪

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1657865A (zh) * 2004-02-20 2005-08-24 安捷伦科技有限公司 利用侧面安装的干涉仪获取位置信息的系统和方法
CN102334024A (zh) * 2009-12-23 2012-01-25 哈利伯顿能源服务公司 基于干涉测量的井下分析工具
CN103267581A (zh) * 2013-05-17 2013-08-28 中山大学 适用于测量整形脉冲的光谱剪切干涉仪

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DR_ING H.-H.SCHUSSLER: "Comparison and calibration of laser interferometer systems", 《MEASUREMENT》 *
冷玉国等: "基于80m测量装置的双频激光干涉仪系统精度及影响因素分析", 《计量与测试技术》 *
刘春山等: "动态测量光栅测长仪的位置误差", 《工业计量》 *
廖澄清等: "激光干涉仪测长精度校准方法的研究", 《现代测量与实验室管理》 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107407550A (zh) * 2014-11-24 2017-11-28 奥博学术大学 用于校准3d成像的方法和用于3d成像的系统
CN105215479A (zh) * 2015-10-27 2016-01-06 湖北三峡职业技术学院 一种数控插齿机同步旋转轴误差补偿方法及装置
CN105215479B (zh) * 2015-10-27 2018-01-12 湖北三峡职业技术学院 一种数控插齿机同步旋转轴误差补偿方法
CN109696121A (zh) * 2019-02-25 2019-04-30 天津工业大学 一种基于激光干涉仪检测光路的快速校准方法
CN109696121B (zh) * 2019-02-25 2020-07-17 天津工业大学 一种基于激光干涉仪检测光路的快速校准方法
CN116222464A (zh) * 2023-05-08 2023-06-06 江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心) 一种高精度线性位移检测系统

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