CN103466954A - 隔板式沉积装置 - Google Patents

Abstract

一种隔板式沉积装置，是利用于一基座的封闭空间中以一隔板将该封闭空间区分为两个沉积室，以对构成该沉积装置一部分的玻璃基板的一侧表面生成有薄膜结构，而在隔板为另一个玻璃基板时，则可对该玻璃基板的两面同时生成有不同的薄膜结构。

Description

隔板式沉积装置

技术领域

本发明是与薄膜沉积设备有关，更详而言之是指一种可用于对玻璃基板形成单面薄膜或双面不同薄膜的沉积装置。

背景技术

已知玻璃基板为因应后续工艺而于表面经各种加工方式形成具有设定特性的薄膜结构。其中常见薄膜生成的方式是将玻璃基板直接放入一个具有化学药液的容槽中，再经控制时间与温度而于玻璃基板表面逐渐生成所需的薄膜结构。惟，前述方式将于玻璃基板的两面同时生成有相同结构的薄膜，为此，业者通常必须再施以一道程序以去除玻璃基板其中一面的薄膜，然如此一来，不仅因工艺增加而降低效率，更有增加成本支出之虞。

另外，对于玻璃基板的两面各有不同薄膜结构的特殊需求时，已知的加工方式是先在完成玻璃基板的其中一面的薄膜生成后，再进行另一面的薄膜生成制作。同样地，该多道加工工艺将降低效率并增加成本支出。

发明内容

为解决上述问题，本发明的主要目的在于提供一种隔板式沉积装置，利用具有至少两个沉积室的设计，以对玻璃基板形成单面薄膜或是双面不同薄膜的制作。

缘以达成上述目的，本发明所提供的隔板式沉积装置包含一边框、二玻璃基板与至少一隔板。其中该边框具有一镂空部，且该镂空部于该边框的左、右侧面分别具有一左、右开放端面；该二玻璃基板分设于该边框的左、右侧面，且各别封闭该镂空部的左、右开放端面；该隔板是插设于该边框的镂空部中，且将该镂空部区分为二互不相通的沉积室，该二玻璃基板的一侧表面各别面对一该沉积室。

本发明另提供一种隔板式沉积装置，包含一基座与至少一第一玻璃基板。其中该基座内部具有一封闭空间；该第一玻璃基板设置于该基座的封闭空间中，且将该封闭空间区分为至少两个互不相通的沉积室，该第一玻璃基板的二侧表面分别面对二该沉积室。

由此，利用于基座的封闭空间中所区分出的两个沉积室，以对构成该沉积装置一部分的玻璃基板的一侧表面生成有薄膜结构，或者，在隔板为另一个玻璃基板时，可对该玻璃基板的两面同时生成有不同的薄膜结构。

附图说明

为能达成对玻璃基板生成单面薄膜或是双面不同薄膜的目的，本发明所提供的隔板式沉积装置主要具有至少两个沉积室。以下兹举一较佳实施例并配合附图来说明本发明的隔板式沉积装置，其中：

图1为本发明第一较佳实施例的隔板式沉积装置分解立体图；

图2为图1的隔板式沉积装置的组合立体图；

图3为图2的3-3方向剖视图；

图4为图3的侧视图；

图5为本发明第二较佳实施例的隔板式沉积装置组合立体图；

图6为本发明第三较佳实施例的隔板式沉积装置组合立体图；

图7为本发明第四较佳实施例的隔板式沉积装置组合立体图；

图8类同图4，为本发明第五较佳实施例的隔板式沉积装置的剖视图；

图9为本发明第六较佳实施例的隔板式沉积装置分解立体图；

图10为本发明第七较佳实施例的隔板式沉积装置分解立体图。

具体实施方式

请参阅图1至图3所示，为本发明第一较佳实施例的隔板式沉积装置10，其包括有一基座、二密封件16、二玻璃基板20与一隔板24。

该基座包括有一矩形的边框12与二侧板14。其中：

该边框12所围设的空间定义为一镂空部12a，且镂空部12a于该边框12的左、右侧面分别具有一左、右开放端面；该边框12顶面并具有一长形的插槽12b与该镂空部12a相通；又，请配合图4，该边框12的左、右侧面上分别具有一沿着该镂空部12a外围设置的嵌槽12c，各该嵌槽12c中分别嵌入一该密封件16，且密封件16是具有良好的变形能力。

各该侧板14内面设置有多个凸块14a，所述凸块14a排列呈“凹槽”形，且各凸块14a与侧板14内面之间形成有一夹槽(图未示)；各侧板14内面的夹槽分别供一该玻璃基板20插入其中，亦即玻璃基板20为所述凸块14a所框限定位并且不会晃动。各该侧板14通过至少一定位销22穿过侧板14上的孔14b与边框12上的孔12d，而获得对位且组装于该边框12的左、右侧面，于此同时，各玻璃基板20受到侧板14的挤压而致其一侧表面紧紧压贴于一对应的密封件16上，各玻璃基板20并分别封闭该镂空部12a的左、右开放端面，于此定义，此状态下的镂空部12a形成一封闭空间。又，为提高该边框12与各侧板14彼此间的结合稳固性以确保封闭空间的密闭性，本实施例结构可再选择以螺栓穿过边框12及侧板14并为紧逼，或是以夹具将其等迫紧等方式为之。

该隔板24是自该边框12的插槽12b而插入该镂空部12a中，并将该镂空部12a区分为两个互不相通的沉积室S1、S2，亦即，此状态下的该二玻璃基板20的一侧表面，分别面对着沉积室S1与沉积室S2。较佳的是，该边框12的内缘可设置有一导槽12e，以便该隔板24对准插入而确实产生分隔效果，又，隔板24以平行玻璃基板20为佳。

上述即为本实施例的隔板式沉积装置10的结构叙述，使用时，是可安置在一支撑架26上。以下说明其可用于玻璃基板的单面生成薄膜如后：

在图3及图4所示实施例中，该二玻璃基板20是构成封闭空间的一部分，因此，当沉积室S1与沉积室S2被注入以化学药液为例的反应物时，各玻璃基板20的一侧表面即与化学药液直接接触，随着时间与温度等因素的控制，逐渐生成所需的薄膜结构。在注入沉积室S1与沉积室S2的化学药液相同时，该二玻璃基板20表面生成相同结构的薄膜；反之，当注入沉积室S1与沉积室S2的化学药液不相同时，即可使得各玻璃基板20表面获得不同结构的薄膜。前述化学药液的注入与排出，可通过于边框12上设置一注入孔与一排出孔，抑或同时兼具注入及排出的单一孔的结构来达成。

为了有效控制化学药液在薄膜生成过程中的反应情形，本发明沉积装置可选择加装至少一温控器，请参图5所示的第二较佳实施例，该二温控器28分别设置于各该侧板14的外侧，通过选择导入冷空气或是热空气，以对不同化学药液造成不同程度的影响，如此当可缩短薄膜生成的反应时间。

另外，本发明可再增设一扰流装置，用以使各沉积室内的反应物产生紊流效果，以使薄膜沉积厚度均匀。请参图6所示的第三较佳实施例，该扰流装置包括设置在边框12底部的多个气孔12f，所述气孔12f共同连通至一外部气体供应源30，利用导入空气的方式，以于化学药液中生成气泡而达到扰流效果。

图7所示的第四较佳实施例中的扰流装置包括于边框12的侧端面上设置有多个贯孔12g连通各沉积室，各贯孔12g经由连接外管32的方式而连结至一强制循环系统34，通过强制驱使化学药液于各沉积室及外管32中不断对流，以达成扰流目的。必须说明的是，达成扰流效果的结构不以上述为限，例如亦可使用可转动或是可产生往复动作的搅拌棒来使化学药液产生紊流。

以下再说明其可用于单一玻璃基板的双面生成不同薄膜结构如后：

请参图8所示的第五较佳实施例，是以一玻璃基板36作为隔板使用，亦即玻璃基板36将基座的封闭空间区有两个互不相通的沉积室S1、S2，而通过于各该沉积室分别注入不同成分的化学药液，即可于该玻璃基板36的两面分别生成有不同结构的薄膜。在前述基础下，维持使用该二玻璃基板20以构成封闭空间的一部分时，则可同时对各该玻璃基板20的单面生成薄膜结构。

又请参阅图9所示的第六较佳实施例，该隔板式沉积装置40包括有一基座、多个密封件48、二第一玻璃基板50与二第二玻璃基板52，其中：

该基座具有相同外形且中间呈透空的二边框42、一串接框44与二侧板46。其中，各边框42与该串接框44的两侧面分别具有一沿着中间透空部位外围设置的嵌槽42a、44a，各嵌槽42a、44a中分别置入一该密封件48；各侧板46内面则具有一沿着中间透空部位外围突起设置的凸垣46a。如图9所示，该串接框44是放置于两个边框42之间，而各侧板46则是位于一对应边框42的外侧，且，在相邻的侧板46与边框42之间，设置一该第二玻璃基板52，以及在相邻的边框42与串接框44之间，设置一该第一玻璃基板50。

随着以锁合或是夹合的方式迫使上述构件互为抵靠时，将使得侧板46的凸垣46a抵接第二玻璃基板52的一侧表面，间接造成第一玻璃基板50与第二玻璃基板52紧贴着对应的密封件48，此时，各边框42配合着设置在其两侧面的第一玻璃基板50与第二玻璃基板52而共同围设形成有一个密闭的沉积室，待于沉积室中注入特定的化学药液后，即可同时于各第一玻璃基板50及各第二玻璃基板52的一侧表面生成所需的薄膜结构。前述注入化学药液的方式如于边框42上设置注入孔42b来达成，但不以此为限。

另请参图10所示的第七较佳实施例，得于该二侧板46之间，通过组装更多的边框42、串接框44、密封件48、第一玻璃基板50及第二玻璃基板52，以增加更多的沉积室，并据以提高生产效能。

上述用以生成薄膜的反应物是以化学药液为例，惟亦得视需求而选用化学气体，在使用化学气体时，则须注意应将基座的所有孔洞予以封蔽以防逸散。

以上所述仅为本发明较佳可行实施例而已，凡是应用本发明说明书及申请专利范围所为的等效结构变化，理应包含在本发明的权利要求范围内。

Claims (15)

1.一种隔板式沉积装置，包含有：

至少一边框，具有一镂空部，且该镂空部于该边框的左、右侧面分别具有一左、右开放端面；

至少二玻璃基板，分设于该边框的左、右侧面，且各别封闭该镂空部的左、右开放端面；以及

至少一隔板，插设于该边框的镂空部中，且将该镂空部区分为二互不相通的沉积室，该二玻璃基板的一侧表面各别面对一该沉积室。

2.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，包括有二侧板，各该侧板的内面与该边框的侧面之间分别设置一该玻璃基板，且各侧板与该边框固接。

3.如权利要求2所述的隔板式沉积装置，包括有至少二密封件，各该密封件设置于一该玻璃基板与该边框的左、右侧面之间，且呈圈绕于该镂空部外侧。

4.如权利要求3所述的隔板式沉积装置，包括有至少一串接框，以及该边框数量为多个，其中，该串接框位于两个边框之间，该二侧板分别位于一该边框的外侧，且于相邻的侧板与边框，及相邻的边框与串接框之间，各别设置一该玻璃基板，同时，于相邻的玻璃基板与边框，及相邻的玻璃基板与串接框之间，各别设置一该密封件。

5.如权利要求3所述的隔板式沉积装置，其中各侧板内面具有至少二凸块，各凸块与该侧板内面之间形成有一夹槽，该玻璃基板插入该二凸块的夹槽中。

6.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，其中该边框顶面具有一插槽与该镂空部相通，该隔板自该插槽而插入该镂空部中。

7.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，其中该隔板为一玻璃基板。

8.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，包括有至少一温控器，该温控器装设于玻璃基板的外侧。

9.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，包括有一扰流装置，用以使各该沉积室内的反应物产生紊流效果。

10.一种隔板式沉积装置，包含有：

一基座，其内部具有一封闭空间；

至少一第一玻璃基板，设置于该基座的封闭空间中，且将该封闭空间区分为至少两个互不相通的沉积室，该第一玻璃基板的二侧表面分别面对二该沉积室。

11.如权利要求10所述的隔板式沉积装置，其中该基座包括有至少一边框及二侧板，该边框具有一镂空部，该二侧板分别结合于该边框的两侧，且与该边框围设形成该封闭空间。

12.如权利要求11所述的隔板式沉积装置，包括有至少一第二玻璃基板，该第二玻璃基板设置于一该侧板的内面与该边框侧面之间，且第二玻璃基板的一表面面对一该沉积室。

13.如权利要求12所述的隔板式沉积装置，更包括有至少一串接框与多个密封件，该边框的数量为多个，该第一及第二玻璃基板的数量亦为多个；其中，该串接框位于两个边框之间，该二侧板分别位于一该边框的外侧，且于相邻的侧板与边框之间设置一该第二玻璃基板，于相邻的边框与串接框之间设置一该第一玻璃基板，另，于各玻璃基板与相邻的边框及串接框之间，各别设置一该密封件。

14.如权利要求10所述的隔板式沉积装置，包括有至少一温控器，该温控器装设于该基座外侧，且对应该封闭空间。

15.如权利要求10所述的隔板式沉积装置，包括有一扰流装置，用以使各该沉积室内的反应物产生紊流效果。

Images