CN103409796A - 准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重、石英探棒、籽晶和坩埚系统。本发明结构合理，实现了在铸锭炉炉腔的高温及真空环境中，对籽晶的融化厚度进行监控测量，保证了对准单晶硅生产工艺的过程控制。
Description
技术领域
本发明属于准单晶铸锭炉技术领域，特别涉及铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置。
背景技术
准单晶是在多晶硅铸锭炉上采用铸造结晶的方式，经过一系列先进的工艺流程所生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在多晶硅铸锭炉石英坩埚的底部增加籽晶，并在真空状态下，采用精确分段控温，保证硅料融化时籽晶部分融化，由此长出单晶。如籽晶料全部融化，那结晶就只有多晶了，为此需要考虑在炉腔的高温及真空环境中，对籽晶的融化厚度进行测量的方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，以满足在炉腔的高温及真空环境中，对籽晶的融化厚度进行监控测量。
为实现上述目的，本发明采用以下方案：
一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重块、石英探棒、籽晶和坩埚系统。
所述底板安装在炉体外壳上，底板两侧设有导柱，导柱上端设有连接顶板，导柱之间设有活动板，活动板中间设有磁流体密封，磁流体密封内部设有焊接波纹管；焊接波纹管下端与炉体连接，焊接波纹管的上端通过磁流体密封与电机连接；焊接波纹管内设有石英探棒，石英探棒下端伸入炉体内部，可达炉体坩埚内的籽晶上表面，石英探棒的上端与电机的输出轴连接。
所述底板与顶板的一侧安装有光栅尺，光栅尺的读数头与活动板连接，随连接板一起运动。
所述顶板上设有滑轮，滑轮上设有钢丝绳，钢丝绳的一端与活动板连接，另一端连接有配重块，可保持与活动板的平衡，当手动将活动板上下运动时更省力。
工作时，手动将活动板向下移动使石英探棒进入坩埚内，当石英探棒碰到没有融化的硅料时的位置会被光栅尺记录下来，其测量读数可输出至数显表，这样就可以知道籽晶料是否融化，融化了多少，以保证对准单晶生产工艺的控制。测量装置的真空由焊接波纹管及磁流体密封来保证。当石英探棒深入到融化的硅料中时，由于硅液的粘稠性可能吸附在石英探棒表面，使得石英探棒的提升困难，此时可开启电机使石英探棒旋转以助其脱离硅液。
本发明的有益效果是其结构合理，实现了在炉腔的高温及真空环境中，对籽晶的融化厚度进行监控测量，保证了对准单晶硅生产工艺的过程控制。
附图说明
图1为本发明的结构示意图，
图2为图1的A-A剖视图。
具体实施方式
以下结合实施例及其附图对本发明做进一步详细的说明：
如图1所示，一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，包括底板1、焊接波纹管2、磁流体密封3、活动板4、导柱5、电机6、顶板7、光栅尺8、不锈钢丝绳10、滑轮11、配重块12、石英探棒13、籽晶14、坩埚系统15和炉体16。
所述底板1安装在炉体16上，底板1两侧垂直设有两个导柱5，导柱5上端设有连接顶板7，导柱5上设有活动板4，活动板4中间设有磁流体密封3，磁流体密封3内部设有焊接波纹管2；焊接波纹管2下端与炉体16连接，焊接波纹管2的上端通过磁流体密封3与电机6连接；焊接波纹管2内设有石英探棒13，石英探棒13下端伸入炉体16内部，可达炉体坩埚15内的籽晶14上表面，石英探棒13的上端与电机6的输出轴连接。
所述底板1与顶板7的一侧安装有光栅尺8，光栅尺8的读数头9与活动板4连接。
如图1、图2所示，所述顶板7上设有两个滑轮11，滑轮11上设有钢丝绳10，钢丝绳10的一端与活动板4连接，另一端连接有配重块12。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本发明的保护范围。
Claims (1)
1.一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，其特征在于：包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重块、石英探棒、籽晶和坩埚系统；
所述底板安装在炉体外壳上，底板两侧设有导柱，导柱上端设有连接顶板，导柱之间设有活动板，活动板中间设有磁流体密封，磁流体密封内部设有焊接波纹管；焊接波纹管下端与炉体连接，焊接波纹管的上端通过磁流体密封与电机连接；焊接波纹管内设有石英探棒，石英探棒下端伸入炉体内部，石英探棒的上端与电机的输出轴连接；
所述底板与顶板的一侧安装有光栅尺，光栅尺的读数头与活动板连接；
所述顶板上设有滑轮，滑轮上设有钢丝绳，钢丝绳的一端与活动板连接，另一端连接有配重块。
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| CN103409796A true CN103409796A (zh) | 2013-11-27 |
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Citations (3)
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| CN101173368A (zh) * | 2006-10-30 | 2008-05-07 | 北京有色金属研究总院 | 在晶体生长过程中具有熔体掺杂功能的晶体生长装置 |
| CN202898598U (zh) * | 2012-10-31 | 2013-04-24 | 英利能源（中国）有限公司 | 一种铸锭炉 |
| CN203382851U (zh) * | 2013-08-01 | 2014-01-08 | 安徽大晟新能源设备科技有限公司 | 准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置 |
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2013
- 2013-08-01 CN CN2013103285484A patent/CN103409796A/zh active Pending
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