CN203349737U - 一种装料高度测量仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种装料高度测量仪，属于单晶硅棒生产的技术领域，包括基座，基座上设置有竖直放置的支撑杆，支撑杆上端设有竖直放置的刻度尺，刻度尺的尺身与水平放置的定位尺连接，刻度尺与定位尺相互垂直。本实用新型不仅使用方便，而且测量精度很高，保证了单晶炉的安全运行。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种装料高度测量仪，属于单晶硅棒生产的技术领域。
背景技术
在单晶硅棒生产过程中，为了提高单晶炉的设备利用率，都会采用离线装料法装料。即在高纯工作室内，戴上清洁处理过的薄膜手套，将清洁处理好的定量多晶硅，放入洁净的坩埚内，坩埚内的多晶硅堆成馒头形。装料完成后通过吊料车将硅料吊入单晶炉内。
目前在拉晶过程中一般采用高熔料埚位熔料，目的是使石英坩埚的底部尽量靠近加热器的高温区域，防止因硅料的二次再结晶及底部翻料而引起事故的发生。但是提高熔料埚位会受到硅料顶端导流筒的安全距离限制（如附图2所示），所以不能无限制的提升熔料埚位。如果埚位过高，超过它们之间的安全距离甚至相接触，很可能会出现滚料，出现打火，造成紧急停炉、石墨件损坏等事故的发生，影响到车间的成本。这样，在提高埚位的同时，测算导流筒与硅料顶端的距离非常重要，保证无安全隐患。所以，测量装料高度是单晶硅棒生产过程中重要的一项内容。
目前测量装料高度使用传统的测量尺测量，如附图4所示。具体操作方式：两只手各拿一个测量尺，成垂直交叉，横向测量尺与硅料顶端平齐，通过纵向测量尺观察装料高度。这种测量方式存在如下缺陷：首先，在测量装料高度时需使用两个测量尺，两个测量尺垂直交叉观察测量数值，但是在实际应用过程中无法做到两个测量尺垂直成90度，会存在一定的误差；其次，一人使用两个测量尺的同时还需观察测量数值，不易操作。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种装料高度测量仪，该测量仪不仅使用方便，而且测量精度很高，保证了单晶炉的安全运行。
为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种装料高度测量仪，包括基座，其特征在于所述基座上设置有竖直放置的支撑杆，所述支撑杆上端设有竖直放置的刻度尺，所述刻度尺的尺身与水平放置的定位尺连接，刻度尺与定位尺相互垂直。
对上述结构作进一步说明，所述定位尺的端部套接于刻度尺的尺身上，定位尺的一端设有锁紧螺丝，锁紧螺丝把定位尺和刻度尺卡紧。本实用新型中的锁紧螺丝与定位尺的端部螺纹连接，测量时，上下滑动定位尺，当至多晶硅顶点高度时，可以把锁紧螺丝拧紧，使定位尺和刻度尺之间固定，由于在设计是保证定位尺端部的滑道与刻度尺侧壁重合，因此固定后两者保持垂直，这样方便操作人员度数，而且保证测量的精度高。
对上述结构作进一步说明，所述支撑杆为空心结构，刻度尺的下端置于支撑杆内部，并在支撑杆上设有刻度尺沿其内壁上下滑动的驱动结构，所述驱动结构与刻度尺下端连接。由于每个离线装料车上的石英坩埚的底部位置并非保持同高，因此需要对刻度尺的零刻度位置进行调整，使零刻度线与石英坩埚的上沿重合，因此设置了驱动结构，可方便调整刻度尺的高度。
对上述结构作进一步说明，所述驱动结构包括转动手柄以及与转动手柄连接的涡轮蜗杆组件。由于每个在离线装料车上的石英坩埚位置相差不大，所以测量尺的“0”位只需要微调，故设计成涡轮涡杆连接最佳，通过转动手柄带动涡杆使刻度尺沿空心的支撑杆上下垂直移动，另外也可选用齿轮齿条结构驱动。
对上述结构作进一步说明，所述刻度尺的零刻度线在其下部、支撑杆上端口的上方，在零刻度线上水平固定有零刻度指示尺。本实用新型的零刻度指示尺是延长零刻度线，目的是保证“0”位与石英坩埚上沿在同一水平线上，起到测量高度的归零作用，方便观察。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型解决了传统测量尺测量方式中测量操作难、误差大的难题，通过上下移动的定位尺和刻度尺，保证了测量的灵活性，利用零刻度指示尺可以使测量高度快速归零，提高测量的准确性，因此总体上，本实用新型不仅使用方便，而且测量精度很高，可以节省装料过程的时间，保证了单晶炉的安全运行。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是单晶炉中硅料与导流筒安装位置示意图，其中d为安全距离；
图3本实用新型在使用时的结构状态图；
图4是现有的用于高度测量装置；
其中：1、锁紧螺丝，2、定位尺，3、刻度尺，4、转动手柄，5、蜗轮蜗杆组件，6、支撑杆，7、基座，8、炉盖，9、导流筒，10、石英坩埚，11、炉筒，12、测量尺，13、多晶硅。
具体实施方式
根据附图1可知，本实用新型具体涉及一种装料高度测量仪，用于单晶硅棒生产过程中测量装料高度，该装置具体包括主要由基座7、支撑杆6、涡轮涡杆组件5、转动手柄4、刻度尺3以及定位尺2六部分组成，其中刻度尺3和定位尺2都是可上下移动，用于调整高度。
本实用新型中各部分的连接关系：基座7上设置有竖直放置的支撑杆6，支撑杆6上端设有竖直放置的刻度尺3，刻度尺3的尺身与水平放置的定位尺2连接，刻度尺3与定位尺2相互垂直，定位尺2的端部套接于刻度尺3的尺身上，这样就可以使定位尺2沿着刻度尺3上下滑动，定位尺2的一端设有锁紧螺丝1，锁紧螺丝1把定位尺2和刻度尺3卡紧，通过锁紧螺丝1紧固或松动定位尺2，起到定位作用。
为了使刻度尺3能够上下移动，需要把支撑杆6作成为空心结构，刻度尺3的下端置于支撑杆6内部，并在支撑杆6上设有刻度尺3沿其内壁上下滑动的驱动结构，驱动结构与刻度尺3下端连接。
由于每个在离线装料车上的石英坩埚10位置相差不大，刻度尺3的“0”位只需要微调，因此驱动结构可以用转动手柄4配合涡轮蜗杆组件5构成，利用涡轮涡杆原理，通过转动手柄4带动涡杆，使刻度尺3沿空心的支撑杆上下垂直移动。
保证“0”位与石英坩埚上沿在同一水平线上，起到测量高度的归零作用，需要在零刻度线上水平固定有零刻度指示尺。
本实用新型的操作过程：在附图3中可以看到，装料完成后，推动离线装料车到装料高度测量仪处，转动转动手柄4，将“0”位与石英坩埚10上沿在同一水平线上，然后下降定位尺2，与硅料顶端平齐，在测量尺上显示的读数则为装料高度。这种装料高度测量仪不仅使用方便，而且测量精度很高，保证了单晶炉的安全运行。
Claims (5)
1.一种装料高度测量仪，包括基座（7），其特征在于所述基座（7）上设置有竖直放置的支撑杆（6），所述支撑杆（6）上端设有竖直放置的刻度尺（3），所述刻度尺（3）的尺身与水平放置的定位尺（2）连接，刻度尺（3）与定位尺（2）相互垂直。
2.根据权利要求１所述的一种装料高度测量仪，其特征在于所述定位尺（2）的端部套接于刻度尺（3）的尺身上，定位尺（2）的一端设有锁紧螺丝（1），锁紧螺丝（1）把定位尺（2）和刻度尺（3）卡紧。
3.根据权利要求１所述的一种装料高度测量仪，其特征在于所述支撑杆（6）为空心结构，刻度尺（3）的下端置于支撑杆（6）内部，并在支撑杆（6）上设有刻度尺（3）沿其内壁上下滑动的驱动结构，所述驱动结构与刻度尺（3）下端连接。
4.根据权利要求3所述的一种装料高度测量仪，其特征在于所述驱动结构包括转动手柄（4）以及与转动手柄（4）连接的涡轮蜗杆组件（5）。
5.根据权利要求1~4中任意一项所述的一种装料高度测量仪，其特征在于所述刻度尺（3）的零刻度线在其下部、支撑杆（6）上端口的上方，在零刻度线上水平固定有零刻度指示尺。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN104131340A (zh) * | 2014-07-24 | 2014-11-05 | 江苏美科硅能源有限公司 | 一种用于控制多晶铸锭装料高度的监控支架 |
| CN106595426A (zh) * | 2016-11-22 | 2017-04-26 | 沪东中华造船(集团)有限公司 | 一种用于控制企口尺寸制作精度的辅助装置及方法 |
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- 2013-06-24 CN CN 201320363400 patent/CN203349737U/zh not_active Expired - Fee Related
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