CN103399387B - 光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置 - Google Patents
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Abstract
光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，属于深紫外投影光刻物镜装调技术领域，为解决现有光学元件检测装置存在的对镜片面型影响大、支撑力不均匀的问题，该装置包括光学元件、多个气囊、底座、充气管和转接头；光学元件放置于多个气囊上；所述的多个气囊在底座上面沿圆周均匀分布设置；气囊通过转接头与充气管相连接；所述气囊包括气袋，底部两侧设置两排螺纹孔，底部设置进气孔；底座包括长孔、螺钉孔、减重孔和凹槽；气囊的进气孔伸入底座的长孔内；所述的气囊底部的螺纹孔与底座上的螺钉孔通过螺钉相连接；减重孔设置在底座中心圆形区域；凹槽与充气管配合；有效降低调整力对光学元件面型的影响；避免了机械夹持时出现的三叶像差和像散。
Description
技术领域
本发明涉及深紫外投影光刻物镜装调技术领域，具体涉及一种可用于光刻投影物镜系统中光学元件的支撑装置。
背景技术
投影光刻装备是大规模集成电路制造生产线中的核心设备之一，近年来，随着集成电路线宽精细程度需求的不断提高，投影光学装备的分辨率亦逐渐提高，波长193.368nm的ArF准分子激光器投影光刻装备成为90nm、65nm和45nm节点集成电路制造的主流装备。
投影光刻物镜的结构设计与装配前和过程中，对光学元件检测的重复性要求很高，需要光学元件在被检测工装支撑过程中受力尽量均匀，以尽量少受支撑力的影响，同时需要对光学元件位置实现微调。现有技术采用机械金属件为主要部件的刚性夹持方式，由于其夹持镜片力较为集中，难以同时实现支撑力均匀的要求，使光学元件出现三叶像差和像散。
发明内容
本发明为解决现有光学元件检测装置中刚性夹持方式存在的对光学元件面型影响大、支撑力不均匀的问题，提供一种光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置。
本发明解决问题的技术方案为，光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，包括光学元件、多个气囊、底座、充气管和转接头；光学元件放置于多个气囊上；所述的多个气囊在底座上面沿圆周均匀分布设置；气囊通过转接头与充气管相连接。
所述气囊包括气袋，底部两侧设置两排螺纹孔，底部设置进气孔；底座包括长孔、螺钉孔、减重孔和凹槽；气囊的进气孔伸入底座的长孔内；所述的气囊底部的螺纹孔与底座上的螺钉孔通过螺钉相连接；减重孔设置在底座中心圆形区域；凹槽与充气管配合。
本发明的有益效果：气囊支撑光学元件时，多个气源通过导气管给各气囊充气，气囊的反作用力作用在光学元件的最外一圈环面上；需要微动调整时，各气囊的气源改变充气流量以改变其内部压强，改变光学元件与各气囊的接触面积，同时带动光学元件轴向移动以实现调节功能。
本发明兼顾精密的微动调整并使得光学元件在被检测状态下受力均匀，可以有效降低调整力对光学元件面型的影响；避免机械夹持光学元件时出现的三叶像差和像散。
附图说明
图1为本发明光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置示意图。
图2为本发明光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置剖视图。
图3为本发明所述的气囊及充气装置结构示意图。
图4为本发明所述的气囊结构示意图。
图5为本发明所述的底座结构示意图。
图6为本发明所述气囊另一种结构示意图。
图中：1、光学元件，2、气囊，3、底座，4、气管，5、转接口，6、螺钉，
3-1、长孔，3-2、螺钉孔，3-3、减重孔，3-4、凹槽，3-5、把手，2-1、气袋，
2-2、螺纹间隙孔，2-3、进气孔，2-4、圆角。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细说明。
如图1-3所示，光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，包括光学元件1、多个气囊2、底座3、充气管4和转接头5；光学元件1放置于多个气囊2上；多个气囊2在底座3上面沿圆周均匀分布设置；气囊2通过转接头5与充气管4相连接。气囊2采用有机橡胶材料制成。
如图4所示，气囊2包括气袋2-1，底部两侧设置螺纹间隙孔2-2用于固定。底部设置进气孔2-3用于充气，每个气囊2配置一充气管4，充气管4和阀门、气源相连。气袋2-1上面边缘为圆角2-4。
如图5所示，底座3包括长孔3-1、螺钉孔3-2、减重孔3-3、凹槽3-4和把手3-5。气囊2的进气孔2-3伸入底座3的长孔3-1内，并通过转接头5与充气管4相连接。气囊2底部的螺纹间隙孔2-2与底座3的螺钉孔3-2通过螺钉6相连接。减重孔3-3设置于底座3的中心圆形区域，可使底座重量减轻，便于搬运。凹槽3-4与充气管4配合。把手3-5设置于底座3两侧，用于底座3的移动。
如图6所示，本发明装置中气囊2的螺纹间隙孔2-2处设计成长孔结构，以使其在固定前径向位置可调。
Claims (4)
1.光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，包括光学元件(1)、多个气囊(2)、底座(3)、充气管(4)和转接头(5)；其特征是，光学元件(1)放置于多个气囊(2)上；所述的多个气囊(2)在底座(3)上面沿圆周均匀分布设置；气囊(2)通过转接头(5)与充气管(4)相连接；
气囊(2)包括气袋(2-1)，底部两侧设置螺纹间隙孔(2-2)，底部设置进气孔(2-3)；底座(3)包括长孔(3-1)、螺钉孔(3-2)、减重孔(3-3)和凹槽(3-4)；气囊(2)的进气孔(2-3)伸入底座(3)的长孔(3-1)内；所述的气囊(2)底部的螺纹间隙孔(2-2)与底座(3)上的螺钉孔(3-2)通过螺钉(6)相连接；减重孔(3-3)设置在底座(3)中心圆形区域；凹槽(3-4)与充气管(4)配合。
2.根据权利要求1所述的光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，其特征在于，所述气袋(2-1)上面边缘为圆角(2-4)。
3.根据权利要求1所述的光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，其特征在于，底座(3)的两侧设置把手(3-5)。
4.根据权利要求1所述的光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，其特征在于，气囊(2)底部的螺纹间隙孔(2-2)处设计成长孔。
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