CN102854596A - 光学透镜高精度支撑结构 - Google Patents
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Abstract
光学透镜高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜光学透镜高精度支撑问题，光学透镜高精度支撑结构，包括镜框和三个调整顶丝，所述镜框内环上具有若干弹片，且镜框和若干弹片为整体式结构；所述三个调整顶丝在镜框内环上周向均匀设置；所述弹片与光学透镜接触部位的形状与光学透镜下表面接触部位的形状相适应，两者之间为面接触；透镜装调时，首先将透镜放置在若干弹片上，通过周向均匀分布的三个调整顶丝对透镜进行调心，然后通过胶粘将透镜和镜框固定，最后再将三个调整顶丝拧出；从而实现光学透镜高精度支撑。
Description
技术领域
本发明属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，具体涉及光学透镜高精度支撑结构。
背景技术
投影光刻装备是大规模集成电路制造工艺中的关键设备，近年来随着集成电路线宽精细程度的不断提高，投影光学装备的分辨率亦逐渐提高，目前波长193.368nm的ArF准分子激光器投影光刻装备已成为90nm、65nm和45nm节点集成电路制造的主流装备。
投影光刻物镜装调及使用过程中，为满足良好的光学系统性能，要求其内部透镜面形RMS值大都在1~2nm范围内，同时要求其工作过程中受高能激光照射时引起的镜片热面形RMS控制在1~2nm范围内。
发明内容
本发明为解决光刻投影物镜光学透镜高精度支撑问题，提出一种整体径向挠性、全弹片支撑的光学透镜高精度支撑结构。
光学透镜高精度支撑结构，包括镜框和三个调整顶丝，所述镜框内环上具有若干弹片，且镜框和若干弹片为整体式结构；所述三个调整顶丝在镜框内环上周向均匀设置。
所述弹片与光学透镜接触部位的形状与光学透镜下表面接触部位的形状相适应，两者之间为面接触。
本发明的有益效果是：所述镜框通过其内环上的若干弹片支撑透镜，镜框和若干弹片为整体式结构，当透镜由于热载荷等膨胀时，由于镜框结构整体上在径向上存在一定的挠性，因此当镜片膨胀收缩时能够顺应性得伸缩；透镜装调时，首先将透镜放置在若干弹片上，通过周向均匀分布的三个调整顶丝对透镜进行调心，然后通过胶粘将透镜和镜框固定，最后再将三个调整顶丝拧出；从而实现光学透镜高精度支撑。
附图说明
图1为本发明光学透镜高精度支撑结构示意图。
图2为本发明所述的镜框结构示意图。
图3为本发明所述的另一镜框结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细说明。
如图1所示，光学透镜高精度支撑结构，包括镜框2和三个调整顶丝3，镜框2内环上具有若干弹片2-1，且镜框2和若干弹片2-1为整体式结构；三个调整顶丝3在镜框2内环上周向均匀设置。
镜框2通过其内环上的一圈弹片2-1支撑光学透镜1，镜框2和一圈弹片2-1为整体式结构，可通过慢走丝线切割的方式进行加工。当光学透镜1由于热载荷等膨胀时，由于镜框结构整体上在径向上存在一定的挠性，因此镜框2在光学透镜1膨胀收缩时能适应性地伸缩。
弹片2-1沿周向均布，其与镜片接触处的形状依据光学透镜1下表面接触部位的形状确定。如图2所示，当镜片接触面为平面时，弹片接触面也为平面；如图3所示，当镜片接触面为球面时，弹片接触面也相应地为球面；当镜片接触面为非球面时，弹片接触面也相应地为非球面。
装调时，首先将光学透镜1放置在若干弹片2-1上，通过周向均匀分布的三个调整顶丝3对光学透镜1进行调心，然后通过胶粘将光学透镜1和镜框2固定，最后再将三个调整顶丝3拧出。
Claims (2)
1.光学透镜高精度支撑结构，包括镜框（2）和三个调整顶丝（3），其特征在于，所述镜框（2）内环上具有若干弹片（2-1），且镜框（2）和若干弹片（2-1）为整体式结构；所述三个调整顶丝（3）在镜框（2）内环上周向均匀设置。
2.根据权利要求1所述的光学透镜高精度支撑结构，其特征在于，所述弹片（2-1）与光学透镜（1）接触部位的形状与光学透镜（1）下表面接触部位的形状相适应，两者之间为面接触。
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