CN101231378B - 一种全折射式投影光学系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种折射式投影光学系统，采用全折射式的结构，避免使用转折棱镜和较大的球面反射镜，降低了加工和装配的难度；该折射式投影光学系统具有较长的物方和像方工作距，降低了实际使用过程中对工件台和掩模台设计空间的约束；该折射式投影光学系统均采用紫外高透过率光学材料校正ghi三线的二级光谱，实现了较高的透过率，同时较好地校正了色差。

Description

一种全折射式投影光学系统
技术领域
本发明涉及一种光学系统，尤其涉及一种全折射式投影光学系统。
背景技术
随着投影光学技术的发展，投影光学系统的性能逐步提高，并可以适用于集成电路制造等多种领域。现已将投影光刻技术成功应用于亚微米分辨率集成电路制造领域。在半导体封装技术中，投影光刻技术应用于相对较低的分辨率(如几微米)、较大的焦深、较高产率的金凸块/锡凸块、硅片级芯片尺寸封装(WLCSP)技术等领域。
在现有技术中，如美国专利US 6,879,383，B2和5,559,629所描述的两种折反射式投影光学系统均采用了两块转折棱镜和一块较大孔径的球面反射镜实现宽带宽ghi线(波长：360nm-440nm)的色差校正，转折棱镜和较大孔径的反射镜的加工要求及其严格，并且装配精度极高，给实际工程加工和装配带来极大的困难；另外上述两个专利所描述的两种折反射投影光学系统的工作距较短，在实际应用过程中给工件台、尤其是掩模台的设计带来较严格的限制。
中国专利CN 101021607A中描述的一种折射式双远心投影光学系统应用在紫外光谱范围内，其光学结构中采用了一些非紫外高透过率的玻璃材料(如：NKZFS11和NBAK1)，降低了整个光学系统的透过率，从而降低了产率；同时在高功率的光源照射下会导致这些非紫外高透过率的玻璃材料产生爆裂。
本发明是针对上述专利存在的一些缺点，提出的一种折射式投影光学系统，该全折射式投影光学系统是双远心对称结构，实现宽带宽ghi线(波长360nm-440nm)色差的校正，且具有衍射极限的成像质量和极小的畸变量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种全折射式投影光学系统，以实现宽带宽ghi线(波长360nm到440nm)色差的校正，且具有衍射极限的成像质量和极小的畸变量。
为了达到上述目的，本发明提供一种全折射式投影光学系统，从物面到像面依次排列第一镜片组、第二镜片组、光阑、第三镜片组、第四镜片组。该第一与第四镜片组、第二与第三镜片组分别相对于该光阑对称。该第一镜片组具有正光焦度，其包括从物面到像面依次排列的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四，其中，透镜一为双凹透镜，透镜二为凹面朝向物面的负弯月透镜，透镜三为凹面朝向物面的正弯月透镜，透镜四是正透镜。该第二镜片组具有正光焦度，其包括从物面到像面依次排列的透镜五、透镜六、透镜七、透镜八。
该第一镜片组的焦距大于100mm，小于300mm。
该透镜二的焦距大于-750mm，小于-450mm。
该第二镜片组的焦距大于500mm，小于3000mm。
该第二镜片组与该光阑之间的距离大于18mm。
本发明的对称投影物镜结构能够完全校正垂轴像差(如彗差、畸变和倍率色差)。可以通过第二镜片组、第三镜片组和与镜片一对称排列的镜片十六的轴向运动来校正在高功率光照下镜头热效应导致的像质变化。
本发明的折射式投影光学系统均采用紫外高透过率光学材料制成。
本发明的折射式投影光学系统采用全折射式的结构，避免使用转折棱镜和较大的球面反射镜，降低了加工和装配的难度；该折射式投影光学系统具有较长的物方和像方工作距，降低了实际使用过程中对工件台和掩模台设计空间的约束；该折射式投影光学系统均采用紫外高透过率光学材料校正ghi三线的二级光谱，实现了较高的透过率，同时较好地校正了色差。
附图说明
图1为本发明的第一实施例的光学结构示意图；
图2为本发明的第一实施例的光学传递函数示意图；
图3为本发明的第二实施例的光学结构示意图；
图4为本发明的第二实施例的光学传递函数示意图；
图5为本发明的第三实施例的光学结构示意图；
图6为本发明的第三实施例的光学传递函数示意图。
附图中：G1、第一镜片组；G2、第二镜片组；G3、第三镜片组；G4、第四镜片组；L1、透镜一；L2、透镜二；L3、透镜三；L4、透镜四；L5、透镜五；L6、透镜六；L7、透镜七；L8、透镜八；L9、透镜九；L10、透镜十；L11、透镜十一；L12、透镜十二；L13、透镜十三；L14、透镜十四；L15、透镜十五；L16、透镜十六；AS、光阑；MODULATION、调制；SPATIAL FREQUENCY、空间频率；WAVELENGTH、波长；WEIGHT、权重。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。
为了更好的解释本发明，下面使用三个具体的实施例进行说明，表一示出了三个具体的实施例中第一镜片组G1、第二镜片组G2、透镜二L2的焦距fG1、fG2、fL2以及第二镜片组G2到光阑AS的距离DG2～AS的数值。
表1
实施例 fG1(单位：mm) fG2(单位：mm) fL2(单位：mm) DG2～AS/DAS～G3(单位：mm)
第一实施例 183  1911 -586  23.4
第二实施例 221  881 -623  20
第三实施例 223  1039 -653  20
图1为本发明的第一实施例的光学结构示意图，从物面到像面依次排列第一镜片组G1、第二镜片组G2、光阑AS、第三镜片组G3和第四镜片组G4。该第一镜片组G1与该第四镜片组G4相对于该光阑AS对称，该第二镜片组G2与该第三镜片组G3相对于该光阑AS对称。该第一镜片组G1包括从物侧依次排列的透镜一L1、透镜二L2、透镜三L3、透镜四L4。该透镜一L1为双凹透镜，该透镜二L2为凹面朝向物面的负弯月透镜，该透镜三L3为凹面朝向物面的正弯月透镜，该透镜四L4是正透镜，该第一镜片组G1具有正光焦度。该第二镜片组G2包括从物侧依次排列的透镜五L5、透镜六L6、透镜七L7、透镜八L8。该透镜五L5为双凹透镜，该透镜六L6为正透镜，该透镜七L7为凹面朝向像面的负弯月透镜，该透镜八L8是正透镜，该第二镜片组G2具有正光焦度。
该第三镜片组G3包括从物侧依次排列的透镜九L9、透镜十L10、透镜十一L11、透镜十二L12，该第四镜片组G4包括从物侧依次排列的透镜十三L13、透镜十四L14、透镜十五L15、透镜十六L16。由于该投影光学系统的对称性，透镜L9～L16与透镜L8～L1关于光阑AS对称，故在此不再赘述其具体元件结构。该第二镜片组与该光阑之间的距离为23.424058mm。该第一镜片组焦距为183mm，该第二镜片组焦距为1911mm，该透镜二焦距为-586mm。图2为本发明的第一实施例的光学传递函数示意图。第一实施例的特征数据参见表2、表3。
表2
工作波长 360nm-440nm
像方数值孔径NA 0.10
放大倍率 -1.0
像方视场(直径) 62.93mm
物像距离 900mm
物方工作距 46.27mm
像方工作距 46.27mm
表3
表面 半径(mm) 厚度/间距(mm) 1/2孔径(mm) 所属对象 材料
0 1.00E+18  46.272706  /
1 -207.3487  28  35.877347  L1  SiO2
2 268.52853  22.033191  40.170929
3 -68.50177  28  41.51265  L2  PBM2Y
4 -96.6388  3.1088622  53.194252
5 -392.577  16.603952  57.953424  L3  PBM2Y
6 -135.1599  1  59.711668
7  248.33935  19.05446  62.001272  L4  PBM2Y
8 -456.2938  212.46694  61.695858
9 -105.006  6  25.945403  L5  PBM2Y
[0031]表3(续)
 10  330.2929 1  10.147328  25.995901
 11  230.70347  11.344964  26.647123  L6  S-FPL51Y
 12  -128.2116  1  26.65268 1
 13  562.64632  6  26.16982  L7  SiO2
 14  124.9913  5.786722  25.455611
 15  175.37795  9.7568698  25.288879  L8  S-FPL51Y
 16  -333.0079  23.424058  24.790162
 17  1.00E+18  23.424058  21.201299  AS
 18  333.00794  9.7568698  24.798899  L9  S-FPL51Y
 19  -175.3779  5.786722  25.297404
 20  -124.9913  6  25.46391  L10  SiO2
 21  -562.6463  1  26.17819
 10  330.2929 1  10.147328  25.995901
 22  128.21165  11.344964  26.661221  L11  S-FPL51Y
 23  -230.7035  10.147328  26.655424
 24  -330.2929  6  26.00341  L12  PBM2Y
 25  105.00602  212.46694  25.952554
 26  456.29376  19.05446  61.701626  L13  PBM2Y
 27  -248.3393  1  62.006883
 28  135.15991  16.603952  59.716173  L14  PBM2Y
 29  392.57699  3.1088622  57.958058
 30  96.638797  28  53.197594  L15  PBM2Y
 31  68.501768  22.033191  41.514803
 32  -268.5285  28  40.173347  L16  SiO2
 33  207.34869  44.72  35.878659
 34  1.00E+18  1.55 18374  31.467
图3为本发明的第二实施例的光学结构示意图，从物面到像面依次排列第一镜片组G1、第二镜片组G2、光阑AS、第三镜片组G3、第四镜片组G4。该第一镜片组G1与该第四镜片组G4相对于该光阑AS对称，该第二镜片组G2与该第三镜片组G3相对于该光阑AS对称。该第一镜片组G1包括从物侧依次排列的透镜一L1、透镜二L2、透镜三L3、透镜四L4。该透镜一L1为双凹透镜，该透镜二L2为凹面朝向物面的负弯月透镜，该透镜三L3为凹面朝向物面的正弯月透镜，该透镜四L4是正透镜。该第一镜片组G1具有正光焦度。该第二镜片组G2包括从物侧依次排列的透镜五L5、透镜六L6、透镜七L7、透镜八L8。该透镜五L5为凹面朝向像面的负弯月透镜，该透镜六L6为正透镜，该透镜七L7为双凹透镜，该透镜八L8是正透镜，该第二镜片组G2具有正光焦度。该第三镜片组G3包括从物侧依次排列的透镜九L9、透镜十L10、透镜十一L11、透镜十二L12，该第四镜片组G4包括从物侧依次排列的透镜十三L13、透镜十四L14、透镜十五L15、透镜十六L16。由于该投影光学系统的对称性，透镜L9～L16与透镜L8～L1关于光阑AS对称，故在此不再赘述其具体元件结构。该第二镜片组与该光阑之间的距离为20mm。该第一镜片组焦距为221mm，该第二镜片组焦距为881mm，该透镜二焦距为-623mm。图4为本发明的第二实施例的光学传递函数示意图。第二实施例的特征数据如表4、表5所述。
表4
工作波长 360nm-440nm
像方数值孔径NA  0.15
放大倍率 -1.0
像方视场(直径) 62.93mm
物像距离 900mm
物方工作距 45.0mm
像方工作距 45.0mm
表5
表面  半径(mm) 厚度/间距(mm) 1/2孔径(mm) 所属对象 材料
0  1.00E+18  45 /
1  -163.4142  13.424423 36.939857  L1  SiO2
表5(续)
 2 256.36675  19.698363  40.39006
 3 -63.68251  25  40.933227  L2  PBM2Y
 4 -87.01982  1  52.502186
 5 -308.4974  17.857439  57.537406  L3  PBM2Y
 6 -142.4884  1  60.493695
 7 413.60931  19.022086  64.345546  L4  PBM8Y
 8 -213.7315  233.46492  64.568121
 9 997.82533  6.0435793  37.086661  L5  PBM2Y
 10 169.24535  1  36.321545
 11 147.50435  11.113637  36.335201  L6  S-FPL51Y
 12 -253.8097  4.9545288  36.015743
 13 -108.9121  6  35.71621  L7  BAL15Y
 14 144.74951  10.890949  35.844463
 15 178.3607  14.531272  37.570676  L8  S-FPL51Y
 16 -112.1354  20  37.705562
 17 1.00E+18  20  34.097868  AS
 18 112.13539  14.531272  37.423163  L9  S-FPL51Y
 19 -178.3607  10.890949  37.287225
 20 -144.7495  6  35.587974  L10  BAL15Y
 21 108.91207  4.9545288  35.474367
 22 253.80966  11.113637  35.783493  L11  S-FPL51Y
 23 -147.5044  1  36.11073
 24 -169.2454  6.0435793  36.098845  L12  PBM2Y
 25 -997.8253  233.46492  36.861372
 26 213.73155  19.022086  64.406146  L13  PBM8Y
 27 -413.6093  1  64.181326
 28 142.4884  17.857439  60.368989  L14  PBM2Y
[0040]表5(续)
 29  308.49743  1  57.413573
 30  87.019824  25  52.416807  L15  PBM2Y
 31  63.682506  19.698363  40.877902
 32  -256.3667  13.424423  40.318017  L16  SiO2
 33  163.41418  45  36.890887
 34  1.00E+18  -0.002567  31.466
图5为本发明的第三实施例的光学结构示意图，从物面到像面依次排列第一镜片组G1、第二镜片组G2、光阑AS、第三镜片组G3、第四镜片组G4。该第一镜片组G1与该第四镜片组G4相对于该光阑AS对称，该第二镜片组G2与该第三镜片组G3相对于该光阑AS对称。该第一镜片组G1包括从物侧依次排列的透镜一L1、透镜二L2、透镜三L3、透镜四L4。该透镜一L1为双凹透镜，该透镜二L2为凹面朝向物面的负弯月透镜，该透镜三L3为凹面朝向物面的正弯月透镜，该透镜四L4是正透镜。该第一镜片组G1具有正光焦度。该第二镜片组G2包括从物侧依次排列的透镜五L5、透镜六L6、透镜七L7、透镜八L8。该透镜五L5为凹面朝向像面的负弯月透镜，该透镜六L6为正透镜，该透镜七L7为双凹透镜，该透镜八L8是正透镜，该第二镜片组G2具有正光焦度。该第三镜片组G3包括从物侧依次排列的透镜九L9、透镜十L10、透镜十一L11、透镜十二L12，该第四镜片组G4包括从物侧依次排列的透镜十三L13、透镜十四L14、透镜十五L15、透镜十六L16。由于该投影光学系统的对称性，透镜L9～L16与透镜L8～L1关于光阑AS对称，故在此不再赘述其具体元件结构。第二镜片组与该光阑之间的距离为20mm。该第一镜片组焦距为223mm，该第二镜片组焦距为1039mm，该透镜二焦距为-653mm。图6为本发明的第一实施例的光学传递函数示意图。第一实施例的特征数据如表6、表7所述。
表6
工作波长 360nm-440nm
像方数值孔径NA 0.18
[0045]表6(续)
放大倍率 -1.0
像方视场(直径) 62.93mm
物像距离 1000mm
物方工作距 33.20mm
像方工作距 33.20mm
表7
 表面 半径(mm)  厚度/间距(mm)  1/2孔径(mm) 所属对象  材料
 0 1.00E+18  33.2 14539  /
 1 -163.795  25  36.569292  L1  SiO2
 2 408.41019  23.596005  42.61032
 3 -66.41603  25  44.201168  L2  PBM2Y
 4 -90.16582  6.6334277  56.24552
 5 -370.1897  25  64.460548  L3  PBM2Y
 6 -149.7998  1  68.724781
 7 469.25223  19.548929  72.819759  L4  PBM8Y
 8 -274.99  258.86715  72.992277
 9 1872.1504  6  44.361157  L5  PBM2Y
 10 185.68549  1  43.581354
 11 181.19921  13.50202  43.625327  L6  S-FPL51Y
 12 -227.7381  5.4855411  43.3919
 13 -112.0989  6  43.197869  L7  BAL15Y
 14 206.00785  12.385166  43.922155
 15 257.55364  17.770278  46.201703  L8  S-FPL51Y
 16 -117.2538  20  46.448657
 17 1.00E+18  20  42.565828  AS
 18 117.25381  17.770278  46.266049  L9  S-FPL51Y
表7(续)
 19  -257.5536  12.385166  46.014928
 20  -206.0078  6  43.753045  L10  BAL15Y
 21  112.09891  5.4855411  43.043298
 22  227.73813  13.50202  43.244086  L11  S-FPL51Y
 23  -181.1992  1  43.481805
 24  -185.6855  6  43.438624  L12  PBM2Y
 25  -1872.15  258.86715  44.216748
 26  274.98997  19.548929  72.883354  L13  PBM8Y
 27  -469.2522  1  72.709831
 28  149.79982  25  68.63988  L14  PBM2Y
 29  370.1897  6.6334277  64.376203
 30  90.165815  25  56.19289  L15  PBM2Y
 31  66.416031  23.596005  44.166245
 32  -408.4102  25  42.567543  L16  SiO2
 33  163.79497  33.214539  36.546159
 34  1.00E+18  -0.006119  31.466
上述三个实施例中的全折射式投影光学系统，使用第二镜片组G2、第三镜片组G3和镜片十六L16来校正镜头热效应导致的像质变化。

Claims (3)

1.一种全折射式投影光学系统，从物面到像面依次排列第一镜片组、第二镜片组、光阑、第三镜片组、第四镜片组；
所述第一与第四镜片组、第二与第三镜片组分别相对于所述光阑对称；
所述第一镜片组具有正光焦度，其包括从物面到像面依次排列的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四；
所述第二镜片组具有正光焦度，其包括从物面到像面依次排列的透镜五、透镜六、透镜七、透镜八；其特征在于：
所述透镜一为双凹透镜，所述透镜二为凹面朝向物面的负弯月透镜，所述透镜三为凹面朝向物面的正弯月透镜，所述透镜四是正透镜；
所述第一镜片组的焦距大于100mm，小于300mm；
所述透镜二的焦距大于-750mm，小于-450mm；
所述第二镜片组的焦距大于500mm，小于3000mm；
所述第二镜片组与所述光阑之间的距离大于18mm。
2.根据权利要求1所述的全折射式投影光学系统，其特征在于：通过所述第二镜片组、第三镜片组和第四镜片组中与所述透镜一对称的镜片十六的轴向运动校正高功率光照下镜头热效应导致的像质变化。
3.根据权利要求1所述的全折射式投影光学系统，其特征在于：该全折射式投影光学系统均采用紫外高透过率光学材料制成。
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