CN103389694B - 工厂自动化验证系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提出了一种工厂自动化验证系统及方法，该系统包括工厂主机和与所述工厂主机相连的至少一个设备主机CTC，其中，所述工厂主机用于向所述至少一个设备主机CTC发送验证消息，而所述验证消息包括验证操作信息和验证次数信息，所述验证次数信息为所述至少一个设备主机CTC所控制的LoadPort的个数；所述至少一个设备主机CTC用于接收所述工厂主机发出的所述验证消息并对所述验证消息进行解析，以及按照所述验证消息中的验证次数信息和所述验证操作信息循环地对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证，并将所述验证结果反馈至所述工厂主机。该系统能够节省大量时间和资源，提高自动化压力测试效率。

Description

工厂自动化验证系统及方法

技术领域

本发明涉及微电子制造技术领域，特别涉及一种工厂自动化验证系统及方法。

背景技术

FA（FactoryAutomation，工厂自动化）是使用标准C#编程语言开发的一套高性能、面向对象类库的软件，实现了SEMIE4、E37、E30、E39、E40、E87、E90、E94等标准。SEMI标准中详细定义了工厂主机与设备进行数据交换的格式与内容，也定义了设备端特有的消息，满足大多数集成电路工厂制造的需求。

目前，工厂主机Host通过单一下发验证消息的方式以控制设备进行各种操作。这些验证消息也是根据SEMI标准定义的，例如，控制传输消息、材料移动信息、测量数据、测试数据以及报警等。

其中，在自动化压力测试中，通过发送验证消息来对实际机台进行操作，目前都是通过工厂主机逐一对LoadPort（承载端）进行验证。也就是说，在现有技术中，设备在工艺开始前，需要对LoadPort进行检测，测试其中是否有可用的Wafer（晶圆），以及Wafer数量等信息。此时工厂主机Host的操作人员需要根据设备中LoadPort的数量，发送多个验证消息，到设备主机CTC（ClusterToolController，集簇设备控制器），设备主机CTC再根据每个验证消息中的操作要求，对LoadPort进行逐一检测。如图1所示，一台设备主机CTC连接三个LoadPort，工厂主机Host就需要分别发送三个验证消息，对三个LoadPort分别验证，浪费时间，工作效率低。

现有技术的缺点是：当工厂主机Host向设备主机CTC发送多条验证消息时，会大大地降低工作效率，特别是当工厂设备较多时，即Host连接有多个CTC时，问题就会更加突出。

发明内容

本发明旨在至少解决上述技术问题之一。

为此，本发明的第一个目的在于提出一种工厂自动化验证系统，该系统能够节省时间和资源，提高了自动化压力测试效率。

本发明的第二个目的在于提出了一种工厂自动化验证方法。

为了实现上述目的，本发明第一方面的实施例提出了一种工厂自动化验证系统，包括工厂主机和与所述工厂主机相连的至少一个设备主机CTC，其中，所述工厂主机，用于向所述至少一个设备主机CTC发送验证消息，而所述验证消息包括验证操作信息和验证次数信息，所述验证次数信息为所述至少一个设备主机CTC所控制的承载端LoadPort的个数；所述至少一个设备主机CTC，用于接收所述工厂主机发出的所述验证消息并对所述验证消息进行解析，以及按照所述验证消息中的验证次数信息和所述验证操作信息对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证，并将所述验证结果反馈至所述工厂主机。

根据本发明实施例的工厂自动化验证系统，可以同时对多个LoadPort进行验证测试，在长期的测试过程中，节省了大量时间和资源，提高了自动化压力测试效率。

在本发明的一个实施例中，当已验证的所述LoadPort的个数达到所述验证次数，则所述至少一个设备主机CTC判断完成验证，并将所述验证结果反馈至所述工厂主机。

在本发明的一个实施例中，所述验证消息中包括变量cid，所述变量cid的值与所述设备主机CTC所连接的LoadPort的个数相等。

在本发明的一个实施例中，所述的工厂自动化验证系统还包括循环控制模块，用于判断已验证的所述LoadPort个数等于所述变量cid的值时，待验证的所述LoadPort都已成功验证，验证操作完成。并且，当所述循环控制模块判断已验证的所述LoadPort个数不等于所述变量cid的值时，进行报错并终止所述验证操作。本发明第二方面的实施例提出了一种工厂自动化验证方法，包括以下步骤：

S1：工厂主机发送验证消息至至少一个设备主机CTC，所述验证消息包括验证操作信息和验证次数信息，所述验证次数信息为所述至少一个设备主机CTC所控制的LoadPort的个数；

S2：所述至少一个设备主机CTC接收所述工厂主机发出的所述验证消息并对所述验证消息进行解析；以及

S3：按照所述验证消息中的验证次数信息和所述验证操作信息对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证，并将所述验证结果反馈至所述工厂主机。

根据本发明实施例的工厂自动化验证方法，通过在验证消息中增加验证次数信息，并配合验证程序中增加的循环操作，使得工厂主机Host的操作人员只需发送一次验证消息，即可完成一个设备主机CTC的验证工作，既提高了工作效率，又减少了多次发送验证消息导致内容缺失、时序混乱等问题。

在本发明的一个实施例中，所述至少一个设备主机CTC按照所述验证次数对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证，还包括：

所述至少一个设备主机CTC根据所述验证操作信息对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证；

在对所述至少一个设备主机CTC所控制的其中一个LoadPort验证之后，更新已验证的所述LoadPort的个数；

判断所述已验证的所述LoadPort的个数是否已达到所述验证次数；

如果判断已达到所述验证次数，则所述至少一个设备主机CTC判断完成验证，并将所述验证结果反馈至所述工厂主机；

如果判断未达到所述验证次数，则所述至少一个设备主机CTC进一步对所述至少一个设备主机CTC所控制的其他LoadPort进行验证。

在本发明的一个实施例中，在对所述至少一个设备主机CTC所控制的所述其中一个LoadPort验证之后，更新已验证的所述LoadPort的个数，进一步包括：

判断是否收到当前验证的所述LoadPort的反馈信息；

若收到所述反馈信息，则更新已验证的所述LoadPort的个数，并将所述反馈信息上传给所述至少一个设备主机CTC；

若未收到，则产生错误信息，并停止验证操作。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为现有的工厂自动化验证系统的方框图；

图2为本发明一个实施例的工厂自动化验证系统的方框图；

图3为本发明另一个实施例的工厂自动化验证系统的具体方框图；

图4为本发明一个实施例的工厂自动化验证方法的流程图；和

图5为本发明另一个实施例的工厂自动化验证方法的具体流程图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参照图2和图3描述根据本发明第一方面的实施例提出的工厂自动化验证系统。

对比图1，本发明第一方面的实施例提出的工厂自动化验证系统如图2所示，包括工厂主机201和与工厂主机201相连的至少一个设备主机CTC202，其中，工厂主机201用于向至少一个设备主机CTC202发送验证消息203，而验证消息203包括具体验证操作信息和相应验证次数信息，验证次数信息为至少一个设备主机CTC202所控制的LoadPort的个数。至少一个设备主机CTC202用于接收工厂主机201发出的验证消息203并对验证消息203进行解析，以及按照验证消息203中的验证次数信息和验证操作信息对设备主机CTC202所控制的LoadPort进行验证，并将验证结果反馈至工厂主机201。

进一步地，至少一个设备主机CTC202依照上述验证次数循环地对设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证。并且当已验证的LoadPort的个数达到验证次数时，上述至少一个设备主机CTC202判断完成验证，并将验证结果反馈至工厂主机201。

可以理解的是，工厂主机Host201端发送验证消息203通知设备主机CTC202完成相应的验证操作时，仅需发送一条验证消息203，设备主机CTC202接收验证消息203，并通过网桥Bridge将验证消息203传送到CTCI进行解析，即可令设备主机CTC202同时执行对多个LoadPort中Wafer的验证，从而使工厂主机Host201完成对多个LoadPort的验证。其中，CTCI（ClusterToolControllerIAP）指的是调度PMCI（ProcessModuleControllerIAP）与TMCI（TransportModuleControllerIAP）的上层控制软件，即控制TMCI的CTC，TMCI指的是用IAP库开发的TMC，TMC（TransportModuleController）为传输腔室控制器，PMCI指的是用IAP库开发的PMC（ProcessModuleController），PMC为反应腔室控制器。

也就是说，无论需要对多少个LoadPort进行验证，，工厂主机Host201端仅需发送一条验证消息203通知设备主机CTC202完成相应的验证操作。这样，在机台测试完毕出厂之后，采用本发明提出的工厂自动化验证系统通过优化对LoadPort的验证方式，实现发送一条验证消息203同时对多个LoadPort的验证，提高了任务的执行效率。

具体地说，在本发明的一个实施例中，如图3所示，工厂主机Host201与一个设备主机CTC202相连，而CTC202连接3个LoadPort。在仍然满足SEMI标准的条件下，在验证消息301中增加一个变量cid，该变量即验证消息301中的验证操作所需进行的验证次数。在数值上，该变量cid等于设备主机CTC202连接的LoadPort个数。在本实施例中，cid=3。

并且，上述的工厂自动化验证系统还包括循环控制模块，用于判断已验证的LoadPort个数等于变量cid的值时，待验证的LoadPort都已成功验证，验证操作完成。如果循环控制模块判断已验证的LoadPort个数不等于变量cid的值时，则进行报错并终止验证操作。同时，工厂主机201需向设备主机CTC202发送一个包含有验证操作信息和验证次数信息的验证消息301。具体地，在设备主机CTC202的LoadPort验证程序中，增加一个循环验证操作，循环次数等于验证消息301中的cid值，即验证次数。在设备主机CTC202收到该验证消息301后，LoadPort验证程序循环执行LoadPort验证操作，并将相应已反馈消息的LoadPort标记为已验证的LoadPort，判断已验证的LoadPort个数是否等于cid值，如果是，则表示所有待验证的LoadPort都已经成功验证，完成验证操作；如果否，则进行报错，并终止验证操作。

根据本发明实施例的工厂自动化验证系统，通过发送一条验证消息，可以实现同时对多个LoadPort进行验证测试，在长期的测试过程中，节省了大量时间和资源，提高了自动化压力测试效率。

参照图4和图5描述根据本发明第二方面实施例提出的工厂自动化验证方法。

如图4所示，该工厂自动化验证方法包括以下步骤：

S1，工厂主机Host发送一条验证消息到至少一个设备主机CTC，该验证消息包括验证操作信息和验证次数信息，验证次数信息为至少一个设备主机CTC所控制的LoadPort的个数；

S2，至少一个设备主机CTC接收工厂主机发出的验证消息并对验证消息进行解析；

S3，按照验证消息中的验证次数信息和验证操作信息对设备主机CTC所控制的LoadPort逐一进行验证，并将验证结果反馈至相应设备主机CTC，再由设备主机CTC反馈给工厂主机Host。

进一步地，至少一个设备主机CTC依照验证次数对设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证，还包括：

至少一个设备主机CTC根据验证操作信息对设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证；

在对至少一个设备主机CTC所控制的其中一个LoadPort验证之后，更新已验证的LoadPort的个数；

判断已验证的LoadPort的个数是否已达到所述验证次数；

如果判断已达到验证次数，则所述至少一个设备主机CTC判断完成验证，并将所有验证结果反馈至工厂主机Host；

如果判断未达到验证次数，则所述至少一个设备主机CTC对至少一个设备主机CTC所控制的下一个LoadPort进行验证。

具体地说，在本发明的一个实施例中，如图5所示，该工厂自动化验证方法包括以下步骤：

步骤S501，在工厂主机端发送一条验证消息。该验证消息包括验证次数信息和验证操作信息，而验证次数信息对应设备主机CTC所控制的LoadPort个数，也就是变量cid。

步骤S502，设备主机CTC接收包含cid值的验证消息，并通过网桥（Bridge）将验证消息传送到CTCI进行解析。

步骤S503，所述设备主机CTC根据解析得到的验证操作信息对其所控制的LoadPort进行验证。

步骤S504，判断是否收到当前被验证的LoadPort的反馈信息。若是，则执行步骤S505，否则，执行步骤S506。

步骤S505，更新已验证的所述LoadPort的个数，并将所述反馈信息上传给相应的设备主机CTC，执行步骤S507。

步骤S506，产生错误信息，并停止验证操作。步骤S507，判断所述验证消息中的cid值是否等于对应设备主机CTC所控制的LoadPort个数。若是，则执行步骤S508；否则，返回步骤S503。

也就是说，在设备主机CTC的LoadPort验证程序中，增加一个循环验证操作，循环次数为验证消息中的cid值，即验证次数，并判断已验证的LoadPort个数是否等于cid值，如果是，则完成验证操作；如果否，则继续验证下一个LoadPort。

步骤S508，验证完毕，LoadPort中的晶圆状态显示在CTCI界面。

根据本发明实施例的工厂自动化验证方法，通过在验证消息中增加验证次数信息，并配合验证程序中增加的循环操作，使得工厂主机Host的操作人员只需发送一个验证消息，即可完成一个设备主机CTC的验证工作，既提高了工作效率，又减少了多次发送验证消息导致内容缺失、时序混乱等问题。特别是在工厂设备较多的情况下，该方法尤其适用。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同限定。

Claims (8)

1.一种工厂自动化验证系统，其特征在于，包括工厂主机和与所述工厂主机相连的至少一个设备主机CTC，其中，

所述工厂主机，用于向所述至少一个设备主机CTC发送验证消息，其中，所述验证消息包括验证操作信息和验证次数信息，所述验证次数信息为所述至少一个设备主机CTC所控制的承载端LoadPort的个数；

所述至少一个设备主机CTC，用于接收所述工厂主机发出的所述验证消息并对所述验证消息进行解析，以及按照所述验证消息中的验证次数信息和所述验证操作信息对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证，并将验证结果反馈至所述工厂主机。

2.如权利要求1所述的工厂自动化验证系统，其特征在于，当已验证的所述LoadPort的个数达到所述验证次数，则所述至少一个设备主机CTC判断完成验证，并将所述验证结果反馈至所述工厂主机。

3.如权利要求1所述的工厂自动化验证系统，其特征在于，所述验证消息中包括变量cid，所述变量cid的值与所述设备主机CTC所连接的LoadPort的个数相等。

4.如权利要求3所述的工厂自动化验证系统，其特征在于，还包括：

循环控制模块，用于判断已验证的所述LoadPort个数等于所述变量cid的值时，待验证的所述LoadPort都已成功验证，验证操作完成。

5.如权利要求4所述的工厂自动化验证系统，其特征在于，当所述循环控制模块判断已验证的所述LoadPort个数不等于所述变量cid的值时，进行报错并终止所述验证操作。

6.一种工厂自动化验证方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：工厂主机发送验证消息至至少一个设备主机CTC，所述验证消息包括验证操作信息和验证次数信息，所述验证次数信息为所述至少一个设备主机CTC所控制的LoadPort的个数；

S2：所述至少一个设备主机CTC接收所述工厂主机发出的所述验证消息并对所述验证消息进行解析；以及

S3：所述至少一个设备主机CTC按照所述验证消息中的验证次数信息和所述验证操作信息对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证，并将验证结果反馈至所述工厂主机。

7.如权利要求6所述的工厂自动化验证方法，其特征在于，所述至少一个设备主机CTC按照所述验证次数对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证还包括：

所述至少一个设备主机CTC根据所述验证操作信息对所述设备主机CTC所控制的LoadPort进行验证；

在对所述至少一个设备主机CTC所控制的其中一个LoadPort验证之后，更新已验证的所述LoadPort的个数；

判断所述已验证的所述LoadPort的个数是否已达到所述验证次数；

如果判断已达到所述验证次数，则所述至少一个设备主机CTC判断完成验证，并将所述验证结果反馈至所述工厂主机；

如果判断未达到所述验证次数，则所述至少一个设备主机CTC进一步对所述至少一个设备主机CTC所控制的其他LoadPort进行验证。

8.如权利要求7所述的工厂自动化验证方法，其特征在于，在对所述至少一个设备主机CTC所控制的所述其中一个LoadPort验证之后，更新已验证的所述LoadPort的个数，进一步包括：

判断是否收到当前验证的所述LoadPort的反馈信息；

若收到所述反馈信息，则更新已验证的所述LoadPort的个数，并将所述反馈信息上传给所述至少一个设备主机CTC；

若未收到，则产生错误信息，并停止验证操作。