CN103365123B - 一种对准系统光阑板的调整机构 - Google Patents

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Abstract

本发明提出一种对准系统光阑板的调整机构，包括：操作机台壳体；光阑板固定板，固定在所述操作机台壳体上；滑台固定板，固定在所述操作机台壳体上，XY滑台固定在所述滑台固定板上，滑台连接板安装在所述XY滑台上，所述XY滑台具有旋钮控制所述滑台连接板相对操作机台壳体在X、Y方向独立移动；Rz调节板，其上开有圆弧轨道孔并与所述滑台连接板上设置的导向销配合，所述Rz调节板能沿着导向销在自身的轨道中滑动，即所述Rz调节板能相对滑台连接板作Rz方向旋转；其中，所述光阑板固定板上固定有光阑板组件。本发明提出的对准系统光阑板的调整机构，能够实现光阑板的三自由度独立调节，提高了调节操作的方便和结构的稳定性。

Description

一种对准系统光阑板的调整机构
技术领域
本发明涉及光刻机硅片对准系统领域，且特别涉及一种对准系统光阑板的调整机构。
背景技术
硅片对准系统是光刻机的关键子系统，在目前的离轴对准技术中，将位于硅片非曝光区域的全场对准标记或划线槽(scribe line)对准标记通过一套光学系统成像到作为位置参考基准的参考板上，通过确定对准标记的空间像相对于参考板上参考标记的偏差以获得硅片对准标记的位置。
整个对准光学系统为4F系统，对准标记位于其前组透镜的前焦面，参考光栅位于其后组透镜的后焦面。标记的各级次衍射光均为平行光束，经过前组透镜后，在频谱面上聚焦为一系列尺寸很小的光斑。为了滤除杂散光，在此处放置一个多孔的光阑板进行空间滤波。为了达到最优的滤波效果，该光阑板的位置相对于Optical Mechanical壳体(即光机模块载体，用于承载光机器件，以下均简称“OM壳体”)需要X/Y/Rz三自由度的独立调节。
目前光阑板相关的固定结构存在零件加工比较困难、操作空间不足调节不便和结构稳定性差等问题。
在现有的OM系统中，光阑板的安装结构如图1所示：光阑板101通过光阑板固定螺钉102(两个)固定到光阑支撑板103上，光阑支撑板103再通过螺钉105固定在光阑板固定板104上，光阑板固定板104通过螺钉固定在OM壳体上(图中未示出)，销106用于调整时的初始定位。其中光阑板101与光阑支撑板103之间有孔轴配合(如图2所示)，即能相对转动；光阑支撑板103上与螺钉105对应的通孔需要足够的间隙来保证光阑支撑板103相对光阑板固定板104的X、Y调节范围，同时光阑支撑板103与光阑板固定板104用销进行调节时的初始定位；光阑板固定板104设有两个定位销孔用于与OM壳体之间的定位，因此如图1所示的结构可以整体移除而能使光阑板101相对OM壳体重复定位，由于空间有限，这一点对于系统的装调很重要。因此，前述的光阑板X/Y/Rz三自由度的调节通过光阑板101相对光阑支撑板103能Rz旋转，光阑支撑板103相对光阑板固定板104能X、Y方向移动(需用滑台进行调节)，光阑板固定板104与OM的相对位置固定不变而实现。
可是上述结构存在以下问题：如图2所示的光阑板的尺寸精度较高，其结构的加工工艺性不好，光阑板的中部为能相对转动而设置的圆柱突台以及上部为调节Rz而设置的突起增加了机械加工的难度，由于需经过铣削加工，图中起光阑作用的各个方孔部分不能加工的太薄，然而从功能要求上对该部分结构是越薄越好；由于图1所示的部分是初步连接在OM壳体上经过调整后再固定相互的位置，拧紧光阑板固定螺钉102将光阑板101固定到光阑支撑板103上时空间非常有限，操作很不方便。
发明内容
本发明提出一种对准系统光阑板的调整机构，能够实现光阑板的三自由度独立调节，提高了调节操作的方便和结构的稳定性。
为了达到上述目的，本发明提出一种对准系统光阑板的调整机构，包括：
操作机台壳体；
光阑板固定板，固定在所述操作机台壳体上；
滑台固定板，固定在所述操作机台壳体上，XY滑台固定在所述滑台固定板上，滑台连接板安装在所述XY滑台上，所述XY滑台具有旋钮控制所述滑台连接板相对操作机台壳体在X、Y方向独立移动；
Rz调节板，其上开有圆弧轨道孔并与所述滑台连接板上设置的导向销配合，所述Rz调节板能沿着导向销在自身的轨道中滑动，即所述Rz调节板能相对滑台连接板作Rz方向旋转；
其中，所述光阑板固定板上固定有光阑板组件。
进一步的，所述光阑板组件通过定位销和光阑板组件固定螺钉固定在所述光阑板固定板上。
进一步的，所述光阑板组件与所述光阑板固定板通过胶合固定。
进一步的，所述光阑板组件通过螺钉与所述Rz调节板固定。
进一步的，所述Rz调节板上的圆弧轨道中心设置在光阑板组件作Rz调节时的旋转中心，从而实现光阑板的Rz调节。
进一步的，所述调整机构还包括拉簧，Rz调节旋钮，以及旋钮座用于推动Rz调节板相对滑台连接板旋转进行Rz方向调节。
本发明提出一种对准系统光阑板的调整机构，通过设置圆弧轨道孔和导向销配合，使光阑板能以自身的某个特定点为中心转动，并结合滑台的X、Y调节能力实现光阑板X/Y/Rz独立调节，简化了零件光阑板的结构，降低了加工难度，简化了光阑板的固定结构，提高了调节操作的方便和结构的稳定性。
附图说明
图1所示为现有技术中光阑板安装到光阑板固定板的结构示意图。
图2所示为现有技术中光阑板结构示意图。
图3和图4所示为本发明较佳实施例的对准系统光阑板的调整机构结构示意图。
图5所示为本发明较佳实施例的光阑板固定板和光阑板组件结构示意图。
具体实施方式
为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
请参考图3和图4，图3和图4所示为本发明较佳实施例的对准系统光阑板的调整机构结构示意图。本发明提出一种对准系统光阑板的调整机构，包括：操作机台壳体；光阑板固定板402，固定在所述操作机台壳体上；滑台固定板403，固定在所述操作机台壳体上，XY滑台404固定在所述滑台固定板403上，滑台连接板410安装在所述XY滑台404上，所述XY滑台404具有旋钮控制所述滑台连接板410相对操作机台壳体在X、Y方向独立移动；Rz调节板412，其上开有圆弧轨道孔并与所述滑台连接板410上设置的导向销408配合，所述Rz调节板412能沿着导向销408在自身的轨道中滑动，即所述Rz调节板412能相对滑台连接板410作Rz方向旋转；其中，所述光阑板固定板402上固定有光阑板组件401。
根据本发明较佳实施例，所述Rz调节板412上的圆弧轨道中心设置在光阑板组件401作Rz调节时的旋转中心，从而实现光阑板固定板402的Rz调节。
所述光阑板组件401通过定位销413和光阑板组件固定螺钉414固定在所述光阑板固定板402上，进一步的，所述光阑板组件401与所述光阑板固定板402还可以通过胶合固定。所述光阑板组件401通过螺钉与所述Rz调节板412固定。
所述调整机构还包括拉簧405，Rz调节旋钮406，旋钮座407用于推动Rz调节板412相对滑台连接板410旋转进行Rz调节，然后使用螺钉及弹簧垫片411固定二者的位置，其中弹簧垫片411用于调节时使Rz调节板412紧靠滑台连接板410而无间隙。
调节时先将光阑板固定板402固定在OM壳体上，通过定位销413进行初始定位后用光阑板组件固定螺钉414以及压板409将光阑板组件401固定在光阑板固定板402上，然后用螺钉将Rz调节板412与光阑板组件401固定，依次安装固定调节工装中的各个部分(通过螺钉及弹簧垫片411将滑台连接板410与Rz调节板412压紧紧密结合又能相对转动)，然后拔出定位销413，松开光阑板组件固定螺钉414，转动工装中的三个旋钮就能对光阑板组件401作X/Y/Rz三自由度调节。
请参考图5，图5所示为本发明较佳实施例的光阑板固定板和光阑板组件结构示意图。改进后的光阑板将光阑板组件401和光阑板固定板402先固定成一体(螺钉固定或胶合)后，再调整固定在OM壳体上，这样光阑板就可以采用薄钢板在其上加工出各个孔，简化了结构降低了加工难度，同时节约了空间。
综上所述，本发明提出一种对准系统光阑板的调整机构，通过设置圆弧轨道孔和导向销配合，使光阑板能以自身的某个特定点为中心转动，并结合滑台的X、Y调节能力实现光阑板X/Y/Rz独立调节，简化了零件光阑板的结构，降低了加工难度，简化了光阑板的固定结构，提高了调节操作的方便和结构的稳定性。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (6)

1.一种对准系统光阑板的调整机构，其特征在于，包括：
操作机台壳体；
光阑板固定板，固定在所述操作机台壳体上；
滑台固定板，固定在所述操作机台壳体上，XY滑台固定在所述滑台固定板上，滑台连接板安装在所述XY滑台上，所述XY滑台具有旋钮控制所述滑台连接板相对操作机台壳体在X、Y方向独立移动；
Rz调节板，其上开有圆弧轨道孔并与所述滑台连接板上设置的导向销配合，所述Rz调节板能沿着导向销在自身的轨道中滑动，即所述Rz调节板能相对滑台连接板作Rz方向旋转；
其中，所述光阑板固定板上固定有光阑板组件。
2.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构，其特征在于，所述光阑板组件通过定位销和光阑板组件固定螺钉固定在所述光阑板固定板上。
3.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构，其特征在于，所述光阑板组件与所述光阑板固定板通过胶合固定。
4.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构，其特征在于，所述光阑板组件通过螺钉与所述Rz调节板固定。
5.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构，其特征在于，所述Rz调节板上的圆弧轨道中心设置在光阑板组件作Rz调节时的旋转中心，从而实现光阑板的Rz调节。
6.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构，其特征在于，所述调整机构还包括拉簧，Rz调节旋钮，以及旋钮座用于推动Rz调节板相对滑台连接板旋转进行Rz方向调节。
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