CN103364935A - 显微镜 - Google Patents

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CN103364935A CN2013100975789A CN201310097578A CN103364935A CN 103364935 A CN103364935 A CN 103364935A CN 2013100975789 A CN2013100975789 A CN 2013100975789A CN 201310097578 A CN201310097578 A CN 201310097578A CN 103364935 A CN103364935 A CN 103364935A
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Abstract

本发明提供一种显微镜，能够良好地拍摄不同倍率的被检体像。具备：物镜，以规定的倍率观察被检体；照明部，具有射出经由物镜对被检体进行照明的照明光的光源；第一光学部件，将从被检体入射到物镜的被检体光的光路分割成两个光路；第一成像镜，使基于由第一光学部件反射的被检体光的被检体像成像于第一摄像元件；第二光学部件，将透过第一光学部件的被检体光的光路分割成两个光路；第二成像镜，使基于由第二光学部件反射的被检体光的被检体像成像于第二摄像元件；及第三成像镜，使基于透过第二光学部件的被检体光的被检体像成像于第三摄像元件；从照明部射出的照明光经由配置于物镜和第一光学部件之间的光路内的第三光学部件而入射到物镜。

Description

显微镜
技术领域
本发明涉及使被检体像以不同的倍率成像于摄像元件的显微镜。
背景技术
以往，存在具备一个物镜和两个不同倍率的成像镜的测定显微镜装置（例如，参照专利文献1）。根据该测定显微镜装置，能够对两个不同倍率的被检体像进行拍摄而无需进行物镜的切换。
专利文献1：日本特开平8-61914号公报
发明内容
但是，在上述的测定显微镜装置中，在将照明部设置于从物镜离开的位置的情况下，从照明部射出的照明光在经由多个光学部件之后入射到物镜，从而对被检体进行照明。
这种情况下，由于照明光的光量损失变大，因此不能够以充分的亮度对被检体进行照明，存在不能良好地对被检体像进行拍摄的问题。
本发明的目的在于，提供能够良好地对不同倍率的被检体像进行拍摄的显微镜。
本发明的显微镜的特征在于，具备：物镜，以规定的倍率观察被检体；照明部，具有光源，该光源射出经由上述物镜对上述被检体进行照明的照明光；第一光学部件，将从上述被检体入射到上述物镜的被检体光的光路分割成两个光路；第一成像镜，使基于在上述第一光学部件被反射的被检体光的被检体像成像于第一摄像元件；第二光学部件，将透过上述第一光学部件的被检体光的光路分割成两个光路；第二成像镜，使基于在上述第二光学部件被反射的被检体光的被检体像成像于第二摄像元件；及第三成像镜，使基于透过上述第二光学部件的被检体光的被检体像成像于第三摄像元件，从上述照明部射出的上述照明光经由第三光学部件而入射到上述物镜，其中所述第三光学部件配置于上述物镜与上述第一光学部件之间的光路内。
而且，本发明的显微镜的特征在于，上述照明部具备聚光镜，该聚光镜将从上述光源射出的照明光聚集于规定的位置。
而且，本发明的显微镜的特征在于，成像于上述第一摄像元件、上述第二摄像元件及上述第三摄像元件的被检体像的倍率分别为低倍率、高倍率及中倍率。
而且，本发明的显微镜的特征在于，具备：第四光学部件，将透过上述第二光学部件的被检体光的光路分割成两个光路；至少一个成像镜，聚集透过上述第四光学部件的被检体光；及至少一个摄像元件，对基于由上述至少一个上述成像镜聚集的被检体光的被检体像进行拍摄，上述第三摄像元件对基于在上述第四光学部件被反射且由上述第三成像镜聚集的被检体光的被检体像进行拍摄。
根据本发明的显微镜，能够良好地对不同倍率的被检体像进行拍摄。
附图说明
图1是表示实施方式所涉及的显微镜的内部结构的图。
附图标记说明
2…显微镜
4…物镜
6…框体
8…光路盒
10…照明部
14…第一相机
16…第一镜筒
18…第二相机
20…第二镜筒
22…第三相机
24…第三镜筒
26…分色镜
32…光纤
34…第一聚光镜
38…第二聚光镜
40…半透半反镜
44…第一BS
46…第一成像镜
48…第二BS
50…第二成像镜
52…增倍镜
54…全反射镜
56…第三成像镜
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的实施方式所涉及的显微镜进行说明。图1是表示实施方式所涉及的显微镜的内部结构的图。显微镜2是在液晶面板或有机EL面板等平板的生产工序中使用的检查装置所具备的显微镜，其具备：框体6，以规定的倍率（例如对物50倍）观察被检体（未图示）的物镜4安装于该框体6的下部；及光路盒8，形成入射到物镜4的被检体光的光路。
而且，在光路盒8的上部，从靠近物镜4的一侧起依次具备：照明部10，射出经由物镜4对被检体进行照明的照明光；第一镜筒16，具备对被照明光照明的被检体的被检体像进行拍摄的第一相机14；第二镜筒20，具备第二相机18；及第三镜筒24，具备第三相机22。而且，在框体6装入有使用激光来进行物镜4的焦点调节的激光自动对焦装置25。
接着，参照附图对实施方式所涉及的显微镜2的处理进行说明。首先，当通过激光自动对焦装置25射出激光时，激光透过分色镜26，经由物镜4照射被检体。由被检体反射的反射光经由物镜4透过分色镜26，入射到激光自动对焦装置25。而且，基于入射到激光自动对焦装置25的信息来调节物镜4的焦点。
接着，当从光纤32的端部32a射出照明光时，照明光被第一聚光镜34聚集于聚光点36。接着，照明光在将聚光点36作为近似的点光源而行进到下方之后入射到第二聚光镜38，并由半透半反镜40及分色镜26反射之后聚集于物镜4的入射部42。接着，照明光将入射部42作为近似的点光源而入射到物镜4，经由物镜4对被检体进行照明。
由被检体反射的被检体光入射到物镜4，在由分色镜26反射之后，透过半透半反镜40。透过半透半反镜40的被检体光的光路在第一分光器44（第一BS）被分割成二个光路。
由第一BS44反射的被检体光被第一成像镜46聚集，并成像于第一相机14的未图示的第一摄像元件。此处，在第一成像镜46的倍率为0.5倍的情况下，由第一相机14拍摄25倍（对物50倍×0.5倍）的被检体像。
另一方面，透过第一BS44的被检体光的光路在第二分光器（第二BS）48被分割成两个光路。
由第二BS48反射的被检体光由第二成像镜50及增倍镜52聚集，并成像于第二相机18的未图示的第二摄像元件。此处，在第二成像镜50的倍率为1.0倍、增倍镜52的倍率为2.0倍的情况下，由第二相机18拍摄100倍（对物50倍×1.0倍×2.0倍）的被检体像。
另一方面，透过第二BS48的被检体光在被全反射镜54全反射并被第三成像镜56聚集之后，成像于第三相机22的未图示的第三摄像元件。此处，在第三成像镜56的倍率为1.0倍的情况下，由第三相机22拍摄50倍（对物50倍×1.0倍）的被检体像。
即，由第一相机14、第二相机18及第三相机22拍摄25倍、100倍、50倍这三种倍率（1：4：2的比率）的被检体像。
根据该实施方式所涉及的显微镜2，由于将照明部10配置于比第一镜筒16更靠物镜4一侧，能够使用因透过多个镜等引起的光量损失较少的照明光明亮地对被检体进行照明，因此能够使适宜光量的被检体像成像于各个摄像元件，能够良好地对三种不同倍率的被检体像进行拍摄。
而且，由于能够对三种不同倍率的被检体像进行拍摄，因此能够以最佳倍率准确地检查近年来高精细化的被检体。而且，能够高效地检查被检体而无需进行物镜4的切换。
而且，将从光纤32的端部32a射出的照明光暂时由第一聚光镜34聚集于聚光点36，生成近似的点光源并通过柯拉照明来进行被检体的照明，因此能够提高照明效率。
而且，考虑被检体光的光路长度及被检体光的光量损失，从靠近物镜4的一侧起依次配置照明部10、第一镜筒16、第二镜筒20及第三镜筒24，从而能够最大程度地提高最大的倍率即100倍的被检体像的精度。
另外，在上述的实施方式中，以物镜4的倍率为对物50倍的情况为例进行了说明，但若能够拍摄良好的被检体像，则物镜4的倍率并未限定于上述的示例。而且，各个成像镜的倍率也并未限定于上述的示例。
而且，在上述的实施方式中，增倍镜52的倍率并未限定于上述的示例。另外，例如，在将增倍镜52的倍率设为4倍的情况下，能够由第二相机18拍摄200倍（对物50倍×1.0倍×4.0倍）的被检体像，能够获得1：8：2这三种比率的被检体像。
而且，在上述的实施方式中，以将光纤32的端部32a作为光源并射出照明光的情况为例进行了说明，但照明光的光源并未限定于光纤32。例如，取代光纤32，也可以在照明部10连接LED光源等。
而且，在上述的实施方式中，以显微镜2具备三个镜筒从而能够获得三种不同倍率的被检体像的情况为例进行了说明，但若能够拍摄良好的被检体像，则也可以进一步增设镜筒。

Claims (4)

1.一种显微镜，其特征在于，具备：
物镜，以规定的倍率观察被检体；
照明部，具有光源，所述光源射出经由所述物镜对所述被检体进行照明的照明光；
第一光学部件，将从所述被检体入射到所述物镜的被检体光的光路分割成二个光路；
第一成像镜，使基于在所述第一光学部件被反射的被检体光的被检体像成像于第一摄像元件；
第二光学部件，将透过所述第一光学部件的被检体光的光路分割成二个光路；
第二成像镜，使基于在所述第二光学部件被反射的被检体光的被检体像成像于第二摄像元件；及
第三成像镜，使基于透过所述第二光学部件的被检体光的被检体像成像于第三摄像元件，
从所述照明部射出的所述照明光经由第三光学部件而入射到所述物镜，其中所述第三光学部件配置于所述物镜与所述第一光学部件之间的光路内。
2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，
所述照明部具备聚光镜，所述聚光镜将从所述光源射出的照明光聚集于规定的位置。
3.根据权利要求1或2所述的显微镜，其特征在于，
成像于所述第一摄像元件、所述第二摄像元件及所述第三摄像元件的被检体像的倍率分别为低倍率、高倍率及中倍率。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的显微镜，其特征在于，具备：
第四光学部件，将透过所述第二光学部件的被检体光的光路分割成二个光路；
至少一个成像镜，聚集透过所述第四光学部件的被检体光；及
至少一个摄像元件，对基于由所述至少一个成像镜聚集的被检体光的被检体像进行拍摄，
所述第三摄像元件对基于在所述第四光学部件被反射且由所述第三成像镜聚集的被检体光的被检体像进行拍摄。
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