CN103336051A

CN103336051A - 气体传感器用声表面波敏感器件

Info

Publication number: CN103336051A
Application number: CN2013102906590A
Authority: CN
Inventors: 杜波; 马晋毅; 江洪敏; 杨靖
Original assignee: CETC 26 Research Institute
Current assignee: CETC 26 Research Institute
Priority date: 2013-07-10
Filing date: 2013-07-10
Publication date: 2013-10-02
Anticipated expiration: 2033-07-10
Also published as: CN103336051B

Abstract

本发明涉及一种气体传感器用声表面波敏感器件。该气体传感器用声表面波敏感器件包括一个衬底、一个第一双端声表面波谐振器、一个与该第一双端声表面波声谐振器的谐振频率不同的第二双端声表面波谐振器。该衬底包括一个第一表面和一个与该第一表面相对设置的第二表面；该第一双端声表面波谐振器设置在该第一表面，该二双端声表面波谐振器设置在该第二表面；该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器具有一个交叠区域。本发明气体传感器用声表面波敏感器件的灵敏度较佳。

Description

气体传感器用声表面波敏感器件

技术领域

本发明涉及一种传感器部件，尤其涉及一种气体传感器用声表面波敏感器件。

背景技术

声表面波（SAW，SurfaceAcousticWave）是沿物体表面传播的一种弹性波。由于声表面波的传播速度比电磁波传播速度的十万分之一，而且在它的传播路径上容易取样和进行处理。以声表面波气体传感器为例，它具有结构简单、可自动实时监测、体积小、误报率低、使用成本低、可连续工作时间长等优点，被广泛应用于便携式化学战剂检测器领域。声表面波气体传感器的敏感单元为声表面波敏感器件，它常由声表面波延迟线或双端声表面波谐振器组成。由于双端声表面波谐振器具有更高的Q值，可得到更高的灵敏度，近年来，逐渐取代了声表面波延迟线在声表面波敏感器件中的应用。

双端声表面波谐振器上通常设置有一个敏感区域，该敏感区域一般设置在该双端声表面谐振器的两个叉指换能器之间。因为叉指换能器之间的间距有限，因此使得气体敏感面积较小，双端声表面波谐振器的Q值仍然高的有限。此外，现有技术中的双端声表面波谐振器的频率温度稳定性不好、使得现有声表面波气体传感器的灵敏度不够高。以上种种原因限制了声表面波气体传感器在高端便携式化学战剂检测器中的应用范围。

因此，提高气体传感器用的声表面波敏感器件的灵敏度成为解决声表面波气体传感器在高端便携式化学战剂检测器中的应用范围较小的技术问题的关键点。

发明内容

鉴于现有技术中的气体传感器用声表面波敏感器件的灵敏度不够高的技术问题，有必要提供一种灵敏度较高的气体传感器用表面波敏感器件。

本发明的具体技术方案如下：

本发明提供一种气体传感器用声表面波敏感器件。该气体传感器用声表面波敏感器件包括一个衬底、一个第一双端声表面波谐振器、一个与该第一双端声表面波声谐振器的谐振频率不同的第二双端声表面波谐振器。该衬底包括一个第一表面和一个与该第一表面相对设置的第二表面；该第一双端声表面波谐振器设置在该第一表面，该二双端声表面波谐振器设置在该第二表面；该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器具有一个交叠区域。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该交叠区域的大小与该该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器所占面积较小的一个的面积相同。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该第一双端声表面波谐振器包括两个第一叉指换能器，该第二双端声表面波谐振器包括两个第二叉指换能器；该两个第一叉指换能器之间的距离大于200倍的声表面波波长；该两个第二叉指换能器之间的距离大于200倍的声表面波波长。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该第一双端声表面波谐振器还包括两个第一反射栅，该第二双端声表面波谐振器还包括两个第二反射栅；该两个第一叉指换能器位于该两个第一反射栅之间，该两个第二叉指换能器位于该两个第二反射栅之间。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层沉积于该第一双端声表面波谐振器和该第一表面上的吸附膜。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层沉积于该第一双端声表面波谐振器上并且位于该吸附膜与该第一双端声表面波谐振器之间的第一钝化膜。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该第一表面上未被该第一第一双端声表面波谐振器的区域覆盖有该第一钝化膜；该第一钝化膜被该吸附层覆盖。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层第二钝化膜，该第二钝化膜覆盖该第二双端声表面波谐振器及该第二表面。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该第一钝化膜和该第二钝化膜为二氧化硅或氮化硅。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，每个第二叉指换能器包括两个相对平行设置的汇流条以及多个位于该两个汇流条之间的指条，该第二钝化膜覆盖该多个指条及该第二反射栅。

在本发明的一个进一步优化的具体实施方式中，该气体传感器用声表面波敏感器件还包括电连接用焊盘，该焊盘通过银浆与该第二叉指换能器的汇流条电连接。

相较于现有技术，本发明的主要有益效果在于：

相对于现有技术，由于本发明将第一双端声表面波谐振器和第二双端声表面波谐振器分别制作在衬底的第一表面和第二表面，该第一双端声表面波谐振器和第二双端声表面波谐振器具有交叠区域，这样可以保证基材的频率温度系数一致，使得组成该敏感元件的第一双端声表面波谐振器和组成该参比元件的第二双端声表面波谐振器具有几乎一致的频率温度系数。这样，可以使得差频信号频率随着的温度变化得到大幅度削弱，确保声表面波气体传感器在温度变化的环境中具有更高的灵敏度。因此，克服了因同一衬底上各个区域的频率温度系数有差异或者不同衬底上频率温度系数也有差异导致在衬底上制作的双端声表面波谐振器也呈现出不同的频率温度系数的技术问题。同时，也克服了采用一对频率温度系数不同的双端声表面波谐振器作为敏感元件、差频信号的频率温度特性将严重恶化从而导致声表面波传感器的灵敏度恶化的技术问题。因此，本发明气体传感器用声表面波敏感器件的灵敏度较佳。

附图说明

图1是本发明气体传感器用表面波敏感器件的一个优选实施方式的剖面结构示意图；

图2是图1所示气体传感器用表面波敏感器件生产过程中的俯视图；

图3是图1所示气体传感器用表面波敏感器件生产过程中的仰视图；

图4是图1所示气体传感器用表面波敏感器件生产过程中的又一个仰视图；

图5是本发明气体传感器用表面波敏感器件与现有技术中的气体传感器用表面波敏感器件的频率温度曲线的示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用来限定本发明。

请参阅图1至图4，图1是本发明气体传感器用表面波敏感器件的一个优选实施方式的剖面结构示意图，图2是图1所示气体传感器用表面波敏感器件生产过程中的俯视图，图3是图1所示气体传感器用表面波敏感器件生产过程中的仰视图；图4是图1所示气体传感器用表面波敏感器件生产过程中的又一个仰视图。

本发明气体传感器用表面波敏感器件1包括一个衬底10、一个敏感单元和一个参比单元。该敏感单元用于接受该气体传感器用表面波敏感器件1所在环境的刺激，该参比单元用于提供参考信号。该敏感单元和该参比单元设置在该衬底10的表面。

在本发明的一个优选实施方式中，该衬底10选用石英材质，优选具有高温度稳定性切向的石英材质。

该衬底10包括一个第一表面，和一个与该第一表面相对平行设置的第二表面。该第一表面和该第二表面也可以称为该衬底10的上表面和下表面，或者也可以称为该衬底10的正面和反面。

该敏感单元设置在该衬底10的第一表面，该参比单元设置在该衬底10的第二表面。该敏感单元和该参比单元具有重叠的区域，即该敏感单元在该衬底10上的投影与该参比单元在该衬底10上的投影具有重合的区域。

该敏感单元包括一个第一双端声表面波谐振器和一个覆盖该第一双端声表面波谐振器的吸附层13。该参比单元包括一个第二双端声表面波谐振器。

该第一双端声表面波谐振器包括一个第一叉指换能器IDT1、一个第二叉指换能器IDT2、一个第一反射栅18和一个第二反射栅19。该第一叉指换能器IDT1和该第二叉指换能器IDT2的间距大于200倍的声表面波波长。该第一反射栅18位于该第一叉指换能器IDT1远离该第二叉指换能器IDT2的一侧，该第二反射栅19位于该第二叉指换能器IDT2远离该第一叉指换能器IDT2的一侧。即，该第一反射栅18和该第二反射栅19相对设置，具有一定间距；该第一叉指换能器IDT1和该第二叉指换能器IDT2相对设置具有一定间距；该第一叉指换能器IDT1和该第二叉指换能器IDT2位于该第一反射栅18和该第二反射栅19之间，该第一叉指换能器IDT1临近该第一反射栅18，该第二叉指换能器IDT2临近该第二反射栅19。

第一叉指换能器IDT1包括一个第一输入汇流条14和一个第一接地汇流条16。该第一输入汇流条14和多个第一输入指条142连接。该第一接地汇流条16和多个与多个第一接地指条162连接。该第一输入汇流条14和该第一接地汇流条16均为条形，相互平行设置。该第一输入指条142和该第一接地指条162均为条形，位于该第一输入汇流条14和该第一接地汇流条16之间，且相互间隔交替平行设置。间隔是指任意相邻的第一输入指条142和相邻的第一接地指条162均具有一定间距；交替是指任意两个相邻的第一输入指条142之间均设置有一个第一接地指条162；任意两个相邻的第一接地指条162之间均设置有一个第一输入指条142。

第二叉指换能器IDT2包括一个第二输入汇流条15和一个第二接地汇流条17。该第二输入汇流条15和多个第二输入指条152电连接。该第二接地汇流条17多个第二接地指条172电连接。该第二输入汇流条15和该第二接地汇流条17均为条形，相互平行设置。该第二输入指条142和该第二接地指条172均为条形，位于该第二输入汇流条15和该第二接地汇流条17之间，且相互间隔交替平行设置。间隔是指任意相邻的第二输入指条152和相邻的第二接地指条172均具有一定间距；交替是指任意两个相邻的第二输入指条152之间均设置有一个第二接地指条172；任意两个相邻的第二接地指条172之间均设置有一个第二输入指条152。

在本发明的一个优选实施方式中，该第一双端声表面波谐振器的第一叉指换能器IDT1、第二叉指换能器IDT2、第一反射栅18和第二反射栅19均为铝质材质。以金属铝为例，金属铝是通过溅射或者蒸发方法沉积于该衬底10的第一表面，然后通过光刻制作得到该第一双端声表面波谐振器的图形。

在本发明的另一个优选实施方式中，该第一双端声表面波谐振器的第一叉指换能器IDT1、第二叉指换能器IDT2、第一反射栅18和第二反射栅19均为铜铝合金或者金。

设定该第一双端声表面波谐振器的工作频率为f1。该第一叉指换能器IDT1对应的第一输入指条142和第一接地指条162，以及第二叉指换能器IDT2第二输入指条152和第二接地指条172的宽度W1相同，且由该第一双端声表面波谐振器的工作频率为f1决定。具体地，该工作频率f1的数值越大，则该宽度W1越小；反之亦然。

在本发明的另一个实施方式中，该敏感单元还包括一个第一钝化层11。该第一钝化层11覆盖该第一双端声表面波谐振器。具体地，完成该第一双端声表面波谐振器的光刻后，于该衬底10及该第一双端声表面波谐振器上沉积一层第一钝化层11。该第一钝化层11形成后，于该第一钝化层11上沉积该吸附层13。即，该第一钝化层11位于该吸附层13和该第一双端声表面波谐振器之间。该第一钝化层11可以采用二氧化硅钝化层薄膜，用于保护该第一双端声表面波谐振器的电极材料。该第一钝化层11的厚度优选地可以为10至20纳米。该钝化层11能够在不恶化该第一双端声表面波谐振器Q值的情况下提供保护。

在本发明的另一个实施方式中，该第一钝化层11还可以采用高密度等离子体化学气相沉积的氮化硅薄膜材料。

该第二双端声表面波谐振器设置在该衬底10的第二表面。该第二双端声表面波谐振器包括一个第三叉指换能器IDT3、一个第四叉指换能器IDT4、一个第三反射栅25和一个第四反射栅26。该第三叉指换能器IDT3和该第四叉指换能器IDT4的间距大于200倍的声表面波波长。该第三反射栅25位于该第三叉指换能器IDT3远离该第四叉指换能器IDT4的一侧，该第四反射栅26位于该第四叉指换能器IDT4远离该第三叉指换能器IDT3的一侧。即，该第三反射栅25和该第四反射栅26相对设置，具有一定间距；该第三叉指换能器IDT3和该第四叉指换能器IDT4相对设置具有一定间距；该第三叉指换能器IDT3和该第四叉指换能器IDT4位于该第三反射栅25和该第四反射栅26之间，该第三叉指换能器IDT3临近该第三反射栅25，该第四叉指换能器IDT4临近该第四反射栅26。

第三叉指换能器IDT3包括一个第三输入汇流条21和一个第三接地汇流条23。该第三输入汇流条21和多个第三输入指条212电连接。该第三接地汇流条23和多个第三接地指条232电连接。该第三输入汇流条21和该第三接地汇流条23均为条形，相互平行设置。该第三输入指条212和该第三接地指条232均为条形，位于该第三输入汇流条21和该第三接地汇流条23之间，且相互间隔交替平行设置。间隔是指任意相邻的第三输入指条212和相邻的第三接地指条232均具有一定间距；交替是指任意两个相邻的第三输入指条212之间均设置有一个第三接地指条232；任意两个相邻的第三接地指条232之间均设置有一个第三输入指条212。

第四叉指换能器IDT4包括一个第四输入汇流条22和一个第四接地汇流条24。该第四输入汇流条22和多个第四输入指条222电连接。该第四接地汇流条24和多个第四接地指条242电连接。该第四输入汇流条22和该第四接地汇流条24均为条形，相互平行设置。该第四输入指条222和该第四接地指条242均为条形，位于该第四输入汇流条22和该第四接地汇流条24之间，且相互间隔交替平行设置。间隔是指任意相邻的第四输入指条222和相邻的第四接地指条242均具有一定间距；交替是指任意两个相邻的第四输入指条222之间均设置有一个第四接地指条242；任意两个相邻的第四接地指条242之间均设置有一个第四输入指条222。

在本发明的一个优选实施方式中，该第二双端声表面波谐振器的第三叉指换能器IDT3、第四叉指换能器IDT4、第三反射栅25和第四反射栅26均为铝质材质、铜铝合金或者金。以金属铝为例，金属铝是通过溅射或者蒸发方法沉积于该衬底10的第二表面，然后通过光刻制作得到该第二双端声表面波谐振器的图形。

设定该第二双端声表面波谐振器的工作频率为f2。该第三叉指换能器IDT3对应的第三输入指条212和第三接地指条232，以及第四叉指换能器IDT4第四输入指条222和第四接地指条242的宽度W2相同，且由该第二双端声表面波谐振器的工作频率为f2决定。具体地，该工作频率f2的数值越大，则该宽度W2越小；反之亦然。

在本发明的另一个实施方式中，该工作频率f1和f2不同，工作频率f1和f2之间的差值设置为700KHz。即，该第一双端声表面波谐振器与该第二双端声表面波谐振器的相应的叉指换能器的指条的宽度有细微差异。该频率差值也可以是别的数值，例如为300KHz至2MHz，具体数值可依据实际需要设置。

在本发明的另一个实施方式中，在光刻的过程中，设置有对准标记，使得在通过该光刻形成该第一双端声表面波谐振器与该第二双端声表面波谐振器时，能使得该第一双端声表面波谐振器与该第二双端声表面波谐振器位于该衬底1的同一位置的两个表面。即，该第一双端声表面波谐振器在该衬底10上的投影与该第二双端声表面波谐振器在该衬底10上的投影重合。

当然，由于该第一双端声表面波谐振器与该第二双端声表面波谐振器的相应的叉指换能器的指条的宽度有细微差异，因此前述投影也可以认为是基本完全重合。

在本发明的另一个实施方式中，该参比单元还包括一个第二钝化层12。该第二钝化层12覆盖该第二双端声表面波谐振器。具体地，完成该第二双端声表面波谐振器的光刻后，于该衬底10及该第二双端声表面波谐振器上沉积一层第二钝化层12。该第二钝化层12的厚度优选地可以为10至20纳米。该第二钝化层12能够在不恶化该第二双端声表面波谐振器Q值的情况下提供保护。该第二钝化层12可以采用二氧化硅钝化膜材料或者高密度等离子体化学气相沉积的氮化硅薄膜材料。

在本发明的另一个实施方式中，本发明气体传感器用声表面波敏感器件1需要设置在定制的外壳上，因此本发明气体传感器用声表面波敏感器件1还可以包括制作在定制外壳上的数个焊盘，该焊盘与该气体传感器用声表面波敏感器件1的第二表面通过银浆电连接。因此，该第二表面上的该第二钝化层12需要进一步光刻，从而使得该第三输入汇流条21、该第三接地汇流条23、该第四输入汇流条22和该第四接地汇流条24裸露出来，从而使得该第三输入汇流条21、该第三接地汇流条23、该第四输入汇流条22和该第四接地汇流条24能通过银浆与焊盘电连接。第三输入汇流条21、该第三接地汇流条23、该第四输入汇流条22和该第四接地汇流条24可以统称为该第二双端声表面波谐振器的汇流部。因此最终，该第二钝化层覆盖该第二双端声表面波谐振器除该汇流部外的所有区域，如图4所示。

在本发明的另一个实施方式中，采用点焊线压焊的方式实现该气体传感器用声表面波敏感器件1的第一表面的汇流部与外壳上焊盘的电连接。这是由于该气体传感器用声表面波敏感器件1的钝化层厚度很薄，点焊线在压焊过程中，可以击穿钝化层，与第一表面的汇流部金属电极电连接。请一并参阅图5，图5是本发明气体传感器用表面波敏感器件与现有技术中的气体传感器用表面波敏感器件的频率温度曲线的示意图。现有技术中的气体传感器用表面波敏感器件的频率温度曲线为1#，本发明气体传感器用表面波敏感器件1的频率温度曲线为2#。图中数据是通过试验获得。

现有技术中的气体传感器用表面波敏感器件的频率随着温度的变化呈现较大的变化。如此大的频率漂移会淹没由探测气体导致的频率漂移，恶化声表面波传感器灵敏度。

相对于现有技术，本发明的气体传感器用表面波敏感器件1在负20摄氏度到40摄氏度的差频信号几乎没有变化。因此，当传感器工作在该温度范围时，可以获得更高的声表面波传感器灵敏度，可以检测出更低浓度的探测气体。

相对于现有技术，本发明将组成该敏感元件的第一双端声表面波谐振器和组成该参比元件的第二双端声表面波谐振器分别制作在衬底10的同一位置处第一表面和第二表面，这样可以保证基材的频率温度系数一致，使得组成该敏感元件的第一双端声表面波谐振器和组成该参比元件的第二双端声表面波谐振器具有几乎一致的频率温度系数。这样，可以使得差频信号频率随着的温度变化得到大幅度削弱，确保声表面波气体传感器在温度变化的环境中具有更高的灵敏度。克服了因同一衬底上各个区域的频率温度系数有差异或者不同衬底上频率温度系数也有差异导致在衬底上制作的双端声表面波谐振器也呈现出不同的频率温度系数的技术问题。同时，也克服了采用一对频率温度系数不同的双端声表面波谐振器作为敏感元件、差频信号的频率温度特性将严重恶化从而导致声表面波传感器的灵敏度恶化的技术问题。因此，本发明气体传感器用声表面波敏感器件1的灵敏度较佳。

此外，相对于现有技术，本发明在保证双端声表面波谐振器的Q值的同时，将双端声表面波谐振器的两个叉指换能器的间距增加，这样可以增大吸附层13的覆盖面积，使得在相同的探测气体浓度下，可以吸附更多的探测气体，从而提高声表面波气体传感器的灵敏度。

此外，相对于现有技术，本发明在双端声表面波谐振器表面沉积有一层钝化层作为换能器的保护材料，钝化层的材料为二氧化硅或氮化硅等绝缘，化学性能稳定的材料，这样可以防止腐蚀性气体对双端声表面波谐振器电极的指条的腐蚀，提高双端声表面波传感器的寿命。

本发明并不限于以上实施方式，还具有以下变更实施方式：

例如，本发明中的第一双端声表面波谐振器与该第二双端声表面波谐振器并非基本完全重叠，而是拥有一个重叠区域。该交叠区域可大可小，但大于零。该交叠区域最大时即为该第一双端声表面波谐振器或该第二双端声表面波谐振器大小。该在这样的情况下，本发明的的气体传感器用声表面波敏感器件1的灵敏度虽小于本发明的优选实施方式，但是优于仍然具有一个相对较小的重叠区域，因此其效果仍优于现有技术中的气体传感器用声表面波敏感器件。

应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims

1.一种气体传感器用声表面波敏感器件，其包括一个衬底、一个第一双端声表面波谐振器、一个与该第一双端声表面波声谐振器的谐振频率不同的第二双端声表面波谐振器，其特征在于：

该衬底包括一个第一表面和一个与该第一表面相对设置的第二表面；该第一双端声表面波谐振器设置在该第一表面，该二双端声表面波谐振器设置在该第二表面；该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器具有一个交叠区域。

2.根据权利要求1所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：

该交叠区域的大小与该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器所占面积较小的一个的面积相同。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该第一双端声表面波谐振器包括两个第一叉指换能器，该第二双端声表面波谐振器包括两个第二叉指换能器；该两个第一叉指换能器之间的距离大于200倍的声表面波波长；该两个第二叉指换能器之间的距离大于200倍的声表面波波长。

4.根据权利要求3所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该第一双端声表面波谐振器还包括两个第一反射栅，该第二双端声表面波谐振器还包括两个第二反射栅；该两个第一叉指换能器位于该两个第一反射栅之间，该两个第二叉指换能器位于该两个第二反射栅之间。

5.根据权利要求4所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层沉积于该第一双端声表面波谐振器和该第一表面上的吸附膜。

6.根据权利要求5所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层沉积于该第一双端声表面波谐振器上并且位于该吸附膜与该第一双端声表面波谐振器之间的第一钝化膜。

7.根据权利要求6所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该第一表面上未被该第一双端声表面波谐振器覆盖的区域有该第一钝化膜；该第一钝化膜被该吸附层覆盖。

8.根据权利要求5所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该气体传感器用声表面波敏感器件还包括一层第二钝化膜，该第二钝化膜覆盖该第二双端声表面波谐振器及该第二表面。

9.根据权利要求8所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：该第一钝化膜和该第二钝化膜为二氧化硅或氮化硅。

10.根据权利要求8所述的气体传感器用声表面波敏感器件，其特征在于：每个第二叉指换能器包括两个相对平行设置的汇流条以及多个位于该两个汇流条之间的指条，该第二钝化膜覆盖该多个指条及该第二反射栅；该气体传感器用声表面波敏感器件还包括电连接用焊盘，该焊盘通过银浆与该第二叉指换能器的汇流条电连接。