CN103311456A - 用于供体膜的托盘 - Google Patents

用于供体膜的托盘 Download PDF

Info

Publication number
CN103311456A
CN103311456A CN2013100362258A CN201310036225A CN103311456A CN 103311456 A CN103311456 A CN 103311456A CN 2013100362258 A CN2013100362258 A CN 2013100362258A CN 201310036225 A CN201310036225 A CN 201310036225A CN 103311456 A CN103311456 A CN 103311456A
Authority
CN
China
Prior art keywords
clamp
donor membrane
magnet
anchor clamps
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2013100362258A
Other languages
English (en)
Inventor
陈勇贤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN103311456A publication Critical patent/CN103311456A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F16/00Transfer printing apparatus
    • B41F16/0006Transfer printing apparatus for printing from an inked or preprinted foil or band
    • B41F16/006Arrangements for moving, supporting or positioning the printing foil or band
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H5/00Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines
    • B65H5/04Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by movable tables or carriages
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/18Deposition of organic active material using non-liquid printing techniques, e.g. thermal transfer printing from a donor sheet
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2405/00Parts for holding the handled material
    • B65H2405/50Gripping means
    • B65H2405/57Details of the gripping parts
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2701/00Handled material; Storage means
    • B65H2701/10Handled articles or webs
    • B65H2701/17Nature of material
    • B65H2701/175Plastic
    • B65H2701/1752Polymer film
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/40Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour
    • H10K71/421Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour using coherent electromagnetic radiation, e.g. laser annealing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Pallets (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

提供供体膜的供体膜托盘包括:托盘主体,对应于所述供体膜的边缘设置,并包括开口,所述开口暴露所述供体膜的中央区域;以及夹具,设置在所述托盘主体的区域内,用于夹持所述供体膜的所述边缘,并且用于利用磁体的排斥力在远离所述托盘主体的方向上拉拽所述供体膜的所述边缘。

Description

用于供体膜的托盘
技术领域
本发明一般地涉及供体膜托盘。更具体而言,本发明涉及支撑在热转印方法中使用的供体膜的供体膜托盘,该热转印方法用于形成有机发光二极管(OLED)显示器的有机层。
背景技术
有机发光元件是平板显示器件。这样的有机发光元件可包括阳极、阴极和插入在阳极和阴极之间的至少一个有机发射层。有机发光元件不仅具有快速响应速度的优势,而且具有宽视角与出众的对比度的优势。由于有机发光元件的优势,有机发光元件作为下一代显示元件已备受关注。
除了有机发射层之外,根据发射层是由高分子有机材料还是低分子有机材料制成,有机发光元件可进一步包括至少一个有机层,其插入在空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)和电子注入层(EIL)之间。
在这样的有机发光元件内,要求对有机层进行构图,以实现完全的色彩。低分子有机发光元件可用阴影掩模进行构图,高分子有机发光元件可通过喷墨印刷方法和使用激光的激光热转印(LITI)方法进行构图。该LITI方法具有多个优点。例如,LITI方法可对大面积的有机层进行构图。而且,LITI方法可用高精度和高分辨率对有机层进行构图。
当使用LITI方法对有机层进行构图时,使用支撑供体膜的供体膜托盘轻松处理供体膜,其中有机层形成在供体膜处。
在此背景技术部分公开的以上信息仅用于增强对所描述的技术背景的理解,并且因此,其可包含并不形成对于本领域普通技术人员来说在本国已知的现有技术的信息。
发明内容
开发本发明以提供供体膜托盘,其支撑在激光热转印工艺中方便使用的供体膜。
本发明的一个方面提供了一种支撑供体膜的供体膜托盘,包括:托盘主体,对应于所述供体膜的边缘设置,并包括开口,所述开口暴露所述供体膜的中央区域;以及夹具,设置在所述托盘主体的区域内,用于夹持所述供体膜的所述边缘,并且用于利用磁体的排斥力在远离所述托盘主体的方向上拉拽所述供体膜的所述边缘。
提供多个所述夹具,并且多个夹具相对于彼此设置,开口置于多个夹具之间。
所述托盘主体进一步包括面向所述夹具的第一磁体,所述夹具进一步包括面向所述第一磁体的第二磁体,在所述第一磁体和所述第二磁体之间产生排斥磁力。
所述夹具进一步包括:第一夹钳对,具有设置在其内的所述第二磁体,并且能够在所述托盘主体的方向上旋转;以及第二夹钳对,能够在所述第一夹钳对的方向上旋转,所述第二夹钳对与所述第一夹钳对一起夹持所述供体膜的所述边缘。
所述第二夹钳对通过弹性恢复力在所述第一夹钳对的方向上可以是可旋转的。
所述夹具可进一步包括弹簧,所述弹簧设置在所述第二夹钳对的旋转轴上并产生所述弹性恢复力。
所述第二夹钳对通过磁吸引在所述第一夹钳对的方向上可以是可旋转的。
所述夹具可进一步包括第三磁体,所述第三磁体对应于所述第一夹钳对设置在所述第二夹钳对内,并且所述磁吸引产生在所述第三磁体与所述第一夹钳之间以及所述第三磁体与所述第二磁体之间。
所述托盘主体可进一步包括接纳部,所述接纳部凹陷,以接纳所述夹具。
所述托盘主体可进一步包括暴露孔,所述暴露孔穿透所述接纳部并使所述夹具的一部分暴露。
根据一个示例性实施方式,可提供供体膜托盘,其可支撑在激光热转印工艺中方便使用的供体膜。
附图说明
当结合附图一同考虑,参照以下详细说明,对本发明及其所带来的许多优势更加完整的认识将更容易理解并变得更明显,附图中相同的参考符号表示相同的或类似的元件,其中:
图1是根据本发明的第一示例性实施方式的供体膜托盘的俯视平面图。
图2是图1的A部分的部分立体图。
图3是沿图2的线III-III所取得的剖视图。
图4A-4F提供为描述根据本发明的第一示例性实施方式的供体膜托盘的夹具的夹持操作。
图5A-5F提供为描述根据本发明的第一示例性实施方式的供体膜托盘的夹具的松开操作。
图6是根据本发明的第二示例性实施方式的供体膜托盘的部分立体图。
图7是沿图6的线VII-VII所取得的剖面图。
具体实施方式
下文将参照附图更加全面的描述本发明,本发明的示例性实施方式在附图中示出。如本领域技术人员将认识到的,所描述的实施方式可以多种不同的方式进行修改,而都不脱离本发明的精神和范围。
为阐明本发明,未与本说明相联系的部件将被忽略,且整个说明书中相同的元件或等同物用相同的参考标号表示。
在若干实施方式中,相同的参考标号用于具有相同配置的元件,从而代表性地解释在第一实施方式内的元件,并且仅仅不同于第一实施方式的配置将在其它实施方式中描述。
每个元件的尺寸和厚度任意地示出在附图中,且本发明并不必须限制于此。
在附图中,为清楚说明并方便描述附图起见,层、膜、面板、区域等的厚度被夸大。
此外,除非明确地相反描述,词汇“包括(comprise)”以及变体,如“包含(comprises)”或“包括有(comprising)”,将理解为意指包括所述元件,但并不排除任何其它元件。
下文将参照图1至图3,描述根据第一示例性实施方式的供体膜托盘。
图1是根据本发明的第一示例性实施方式的供体膜托盘的俯视平面图。
如在图1中所示,根据第一示例性实施方式的供体膜托盘1000包括供体膜10、托盘主体100和夹具200,供体膜10用在激光热转印(LITI)工艺中;托盘主体100支撑供体膜10,以用于方便处理供体膜10。
托盘主体100对应于供体膜10的边缘11放置,包括有机发射层的有机层形成在供体膜10处。托盘主体100包括使供体膜10的中央部暴露的开口110并且托盘主体100支撑供体膜10的边缘11。
图2是图1的A部分的部分立体图,并且图3是沿图2的线III-III所取得的剖面图。图2与图3并未示出在图1中示出的供体膜10。
如在图2和图3中所示,托盘主体100进一步包括接纳部120、暴露孔130和第一磁体140。
接纳部120从托盘主体100支撑图1的供体膜10的一侧凹陷,以接纳夹具200。压力条从接纳部120的上侧降下,以使得夹具200的夹持和松开得以进行。
暴露孔130穿透接纳部120,以暴露夹具200的一部分,即一对第一夹钳220。压力条(未示出)穿过暴露孔130上升,以使得夹具200的夹持和松开得以进行。
第一磁体140面向夹具200放置且具有与夹具200的第二磁体210相同的极性。因为托盘主体100的第一磁体140与夹具200的第二磁体210具有相同的极性,所以在托盘主体100和夹具200之间产生排斥力。
夹具200放置在作为托盘主体100的一部分的接纳部120内,并夹持供体膜10的边缘11(见图1)。利用磁体的排斥力,夹具200以远离托盘主体100的方向拉拽供体膜10的边缘11。提供多个夹具200,且多个夹具200分别地彼此相对放置并用开口110置于其间。
每个夹具200包括第二磁体210、一对第一夹钳220、一对第二夹钳230和弹簧240。
第二磁体210设置在第一夹钳对220内,并面对托盘主体100的第一磁体140。第二磁体210具有与第一磁体140相同的极性。因为第二磁体210设置在夹具200的第一夹钳对210内,并且托盘主体100的第一磁体140具有相同的极性,所以在第一夹钳对220和托盘主体100之间产生磁体的排斥力。
第一夹钳对220以第一旋转轴221为中央、在托盘主体100的方向上可旋转地设置,且第一夹钳对220以远离托盘主体100的方向旋转,该旋转处于这样的状态,无外力由于磁体的排斥力产生,排斥力产生于设置在第一夹钳对220内的第二磁体210和设置在托盘主体100内的第一磁体140之间。当压力条穿过暴露孔130上升时,第一夹钳对220从远离托盘主体100的方向、以第一旋转轴221为中心、以朝向托盘主体100的方向旋转。
第二夹钳对230以第一夹钳对220的方向、以远离第一旋转轴221的第二旋转轴231为中心可旋转地设置,并且第二夹钳对230以第一夹钳对220的方向旋转,该旋转处于这样的状态,无外力由于弹性恢复力产生,该弹性恢复力由弹簧240产生。当压力条从接纳部120的上部降下时,第二夹钳对230以远离第一夹钳对220的方向、以第二旋转轴231为中心旋转。此外,第二夹钳对230同第一夹钳对220一起夹持供体膜10的边缘11,并且当压力条穿过暴露孔130上升时,第二夹钳对230同第一夹钳对220一起从远离托盘主体100的方向以托盘主体100的方向、以第二旋转轴231为中心旋转。
弹簧240设置在第二夹钳对230的第二旋转轴231内,并且在第二夹钳对230上产生弹性恢复力。弹簧240可为线圈弹簧或板弹簧。
下文参照图4,将描述根据第一示例性实施方式的供体膜托盘的夹具的夹持操作。
提供图4A-4F以描述根据本发明的第一示例性实施方式的供体膜托盘的夹具的夹持操作。
如图4A中所示,在无外力产生的状态中,由于在第一磁体140与第二磁体210之间的排斥磁力和弹簧240的弹性恢复力,第一夹钳对220同第二夹钳对230一起以远离托盘主体100的方向旋转,而第二夹钳对230以第一夹钳对220的方向旋转。
接下来,如图4B中所示,当第一压力条30穿过暴露孔130从外部器件上升时,第一夹钳对220同第二夹钳对230一起从远离托盘主体100的方向以托盘主体100的方向、以第一旋转轴221为中心旋转。
然后,如图4C中所示,当第二压力条40从外部器件降在接纳部120的上侧,而第一压力条30处于上升状态时,第二夹钳对230以远离第一夹钳对220的方向、以第二旋转轴231为中心旋转,以使得第二夹钳对230与第一夹钳对220分开。
接下来,如图4D中所示,第二夹钳对230以远离第一夹钳对220的方向、以第二旋转轴231为中心旋转,且因此供体10的边缘被插入到第一夹钳对220与第二夹钳对230之间,而第一夹钳对220和第二夹钳对230彼此分开。
接下来,如在图4E中所示,当移走第二压力条40时,由于弹簧240的弹性恢复力,第二夹钳对230以第一夹钳对220的方向、以第二旋转轴231为中心旋转,使得第二夹钳对230同第一夹钳对220一起夹持供体膜10的边缘11。
接下来,如在图4F中所示,当移走第一压力条30时,由于产生在第一磁体140和第二磁体210之间的排斥力,第一夹钳对220同第二夹钳对230一起以远离托盘主体100的方向旋转,而第二夹钳对230以第一夹钳对220的方向旋转,以使得夹具200以远离托盘主体100的方向拉拽供体膜10的边缘11,且因此在由托盘主体100支撑的供体膜10内产生张力。因此,在被夹持的供体膜10的中央区域内不发生松弛。
下文参照图5A-5F,将描述根据第一示例性实施方式的供体膜托盘的夹具的松开操作。
提供图5A-5F以描述根据本发明的第一示例性实施方式的供体膜托盘的夹具的松开操作。
如在图5A-5F中所示,通过以相反顺序执行夹具200的夹持操作,执行供体膜托盘1000的夹具200的松开操作。在使用供体膜10完成激光热转印(LITI)后,可执行这样的松开操作。
如所描述的,在根据第一示例性实施方式的供体膜托盘1000内,当使用夹具200夹持供体膜10时,夹具200利用磁体的排斥力以远离托盘主体100的方向拉拽供体膜10的边缘11,且因此在供体膜10内发生张力,并因此可防止供体膜10的中央区域的松弛。这还抑制了使用供体膜10进行的LITI过程中的失效的发生。
此外,在根据第一示例性实施方式的供体膜托盘1000内,夹具200利用磁体的排斥力拉拽供体膜10的边缘11,并因此,即使供体膜托盘1000被长期使用,供体膜10也不会经受任何产生在其内的张力变化。因此,即使托盘在LITI过程中长时间被使用,供体膜托盘1000的质量也可保持稳定。即,可提高供体膜托盘1000在使用中的可靠性。
此外,由于夹具200利用磁排斥力拉拽供体膜10的边缘11,所以可通过夹具200使供体膜托盘1000免于经受机械疲劳,并因此可提高根据第一示例性实施方式的供体膜托盘1000的寿命。这还可减少利用LITI过程的有机发光二极管显示器的制造时间和制造成本。
下文参照图6和图7,将描述根据第二示例性实施方式的供体膜托盘。
以下将仅对不同于第一实施方式的特征部件进行描述,并且忽略与第一实施方式共有的部件的描述。在解释第二实施方式时,因为解释的缘故,将与第一实施方式中相同的参考标号用于相同的元件。
图6是根据第二示例性实施方式的供体膜托盘的部分立体图,且图7是沿图6的线VII-VII所取得的剖面图。
如在图6和图7中所示,根据第二示例性实施方式的供体膜托盘1002包括托盘主体100和夹具200。
夹具200包括第二磁体210、一对第一夹钳220、一对第二夹钳230、弹簧240和第三磁体250。
对应于第一夹钳对220,第三磁体250设置在第二夹钳对230内,并且第三磁体250对应于设置在第一夹钳对220内的第二磁体210。因为第三磁体250设置在第二夹钳对230内,所以由于弹簧240的弹性恢复力和在第三磁体250与第一夹钳对220之间产生的磁吸引以及在第三磁体250与第二磁体210之间产生的磁吸引,第二夹钳对230以第一夹钳对220的方向旋转,除非施加外力。
如所描述的,在根据第二示例性实施方式的供体膜托盘1002内,当使用夹具200夹持供体膜10时,由于弹簧240的弹性恢复力和在第三磁体250与第一夹钳对220之间产生的磁吸引以及在第三磁体250与第二磁体210之间产生的磁吸引,第二夹钳对230同第一夹钳对220一起夹持供体膜10的边缘11,从而使弹簧240和第二夹钳对230不经受机械疲劳。因此,夹具200可免于经受机械疲劳,并因此可提高供体膜托盘1002的寿命。这还可减少利用LITI工艺的有机发光二极管显示器的制造时间和制造成本。
尽管同当前所认为是实际的示例性实施方式相关而描述本公开,要理解的是,本发明并不受限于公开的实施方式,而相反的是,其意欲涵盖包括在附加权利要求的精神和范围内的多种修改与等同的布置。

Claims (10)

1.一种支撑供体膜的供体膜托盘,包括:
托盘主体,对应于所述供体膜的边缘设置,并包括开口,所述开口暴露所述供体膜的中央区域;以及
夹具,设置在所述托盘主体的区域内,用于夹持所述供体膜的所述边缘,并且用于利用磁体的排斥力在远离所述托盘主体的方向上拉拽所述供体膜的所述边缘。
2.如权利要求1所述的供体膜托盘,其中提供多个所述夹具,并且多个夹具相对于彼此设置,开口置于多个夹具之间。
3.如权利要求1所述的供体膜托盘,其中所述托盘主体进一步包括面向所述夹具的第一磁体,所述夹具进一步包括面向所述第一磁体的第二磁体,在所述第一磁体和所述第二磁体之间产生排斥磁力。
4.如权利要求3所述的供体膜托盘,其中所述夹具进一步包括:
第一夹钳对,具有设置在其内的所述第二磁体,并且能够在所述托盘主体的方向上旋转;以及
第二夹钳对,能够在所述第一夹钳对的方向上旋转,所述第二夹钳对与所述第一夹钳对一起夹持所述供体膜的所述边缘。
5.如权利要求4所述的供体膜托盘,其中所述第二夹钳对通过弹性恢复力在所述第一夹钳对的方向上是可旋转的。
6.如权利要求5所述的供体膜托盘,其中所述夹具进一步包括弹簧,所述弹簧设置在所述第二夹钳对的旋转轴上并产生所述弹性恢复力。
7.如权利要求4所述的供体膜托盘,其中所述第二夹钳对通过磁吸引在所述第一夹钳对的方向上是可旋转的。
8.如权利要求7所述的供体膜托盘,其中所述夹具进一步包括第三磁体,所述第三磁体对应于所述第一夹钳对设置在所述第二夹钳对内,并且所述磁吸引产生在所述第三磁体与所述第一夹钳之间以及所述第三磁体与所述第二磁体之间。
9.如权利要求1所述的供体膜托盘,其中所述托盘主体进一步包括接纳部,所述接纳部凹陷,以接纳所述夹具。
10.如权利要求9所述的供体膜托盘,其中所述托盘主体进一步包括暴露孔,所述暴露孔穿透所述接纳部并使所述夹具的一部分暴露。
CN2013100362258A 2012-03-14 2013-01-30 用于供体膜的托盘 Pending CN103311456A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2012-0026135 2012-03-14
KR1020120026135A KR20130104546A (ko) 2012-03-14 2012-03-14 도너 필름용 트레이

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103311456A true CN103311456A (zh) 2013-09-18

Family

ID=49136450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2013100362258A Pending CN103311456A (zh) 2012-03-14 2013-01-30 用于供体膜的托盘

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9123915B2 (zh)
JP (1) JP2013191528A (zh)
KR (1) KR20130104546A (zh)
CN (1) CN103311456A (zh)
TW (1) TW201342522A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111025844A (zh) * 2019-12-24 2020-04-17 无锡中微掩模电子有限公司 一种掩模工艺烘烤用托盘及夹具装置
CN111244018A (zh) * 2018-11-29 2020-06-05 中国科学院大连化学物理研究所 一种柔性太阳电池衬底夹具

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101868083B1 (ko) * 2011-04-13 2018-06-19 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 검사용 지그 유닛
US11485051B2 (en) 2020-07-23 2022-11-01 Himax Technologies Limited Clamping apparatus of soft film and mounting fixture thereof

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04201042A (ja) * 1990-11-29 1992-07-22 Sekisui Chem Co Ltd フイルム・シート状物のハンドリング具
CN1769067A (zh) * 2004-10-19 2006-05-10 三星Sdi株式会社 基板支撑框架
CN1904685A (zh) * 2005-07-25 2007-01-31 三星电子株式会社 制造显示装置基板的设备和方法
US20080148558A1 (en) * 2006-12-22 2008-06-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus for transferring semiconductor chip and method of transferring semiconductor chip using the same
US20110049087A1 (en) * 2009-08-28 2011-03-03 Jason Douglas Ferguson Frame for holding laminate during processing

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005045005A (ja) 2003-07-22 2005-02-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd ウェット処理方法
US20070045540A1 (en) 2005-08-30 2007-03-01 Kang Tae M Laser induced thermal imaging apparatus with contact frame
KR100711878B1 (ko) * 2005-08-30 2007-04-25 삼성에스디아이 주식회사 레이저 열 전사 장치 및 레이저 열 전사 방법
KR100658267B1 (ko) 2005-08-31 2006-12-14 삼성에스디아이 주식회사 플렉시블 디스플레이 제조용 필름 트레이
JP5250228B2 (ja) 2007-09-21 2013-07-31 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
KR20090079015A (ko) 2008-01-16 2009-07-21 유명자 디스플레이 패널 검사필름 지그장치
KR101651206B1 (ko) 2009-05-26 2016-08-25 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 Soi 기판의 제작 방법
US8835189B2 (en) * 2009-06-18 2014-09-16 Sharp Kabushiki Kaisha Use of a magnetic body in a method for manufacturing an organic EL element to improve the precision of transfer of an organic donor layer and an organic EL device manufactured by the same method
KR20120042067A (ko) 2010-10-22 2012-05-03 삼성모바일디스플레이주식회사 도너 필름용 트레이 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04201042A (ja) * 1990-11-29 1992-07-22 Sekisui Chem Co Ltd フイルム・シート状物のハンドリング具
CN1769067A (zh) * 2004-10-19 2006-05-10 三星Sdi株式会社 基板支撑框架
CN1904685A (zh) * 2005-07-25 2007-01-31 三星电子株式会社 制造显示装置基板的设备和方法
US20080148558A1 (en) * 2006-12-22 2008-06-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus for transferring semiconductor chip and method of transferring semiconductor chip using the same
US20110049087A1 (en) * 2009-08-28 2011-03-03 Jason Douglas Ferguson Frame for holding laminate during processing

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111244018A (zh) * 2018-11-29 2020-06-05 中国科学院大连化学物理研究所 一种柔性太阳电池衬底夹具
CN111025844A (zh) * 2019-12-24 2020-04-17 无锡中微掩模电子有限公司 一种掩模工艺烘烤用托盘及夹具装置
CN111025844B (zh) * 2019-12-24 2024-03-19 无锡中微掩模电子有限公司 一种掩模工艺烘烤用托盘及夹具装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201342522A (zh) 2013-10-16
KR20130104546A (ko) 2013-09-25
US20130241126A1 (en) 2013-09-19
JP2013191528A (ja) 2013-09-26
US9123915B2 (en) 2015-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103311456A (zh) 用于供体膜的托盘
CN109378370B (zh) 微型led的转移设备、显示基板的制造系统及制造方法
KR102524534B1 (ko) 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN106229326B (zh) 转印微发光二极管的方法及显示面板的制作方法
KR102586049B1 (ko) 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
US11521878B2 (en) Adsorption device, transferring system having same, and transferring method using same
KR102351038B1 (ko) 표시 패널의 지지 장치
KR20150040982A (ko) 발광 장치의 제작 방법
JP2006114506A (ja) レーザー熱転写装置,有機電界発光素子の製造方法および有機電界発光素子
KR20110048372A (ko) 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이
CN106098733A (zh) 有机发光显示设备及其制造方法
KR20150089174A (ko) 기판의 클램핑 장치
US20170317317A1 (en) Method for manufacturing flexible oled display component
CN100460214C (zh) 用于激光诱导热成像的膜供体装置及制造电子装置的方法
US8618535B2 (en) Donor film for thermal transfer, method of manufacturing the same, and method of manufacturing organic light-emitting device using the donor film
US20150179715A1 (en) Organic light emitting diode array
CN100548708C (zh) 激光感应热成像装置和使用其制造有机发光二极管的方法
JP2007062354A (ja) レーザ熱転写ドナーフィルム、レーザ熱転写装置、レーザ熱転写法及び有機発光素子の製造方法
KR20110061888A (ko) 유기전계발광표시장치 제조용 트레이 얼라인 장치
US20190140142A1 (en) Display device and display panel
US9748484B2 (en) Apparatus for fabricating OLED display device and method of fabricating OLED display using the apparatus
KR20200003327A (ko) 증착 장치 및 증착 장치의 마그넷 플레이트 얼라인 방법
WO2022255979A1 (en) A method for selective patterning of quantum dots in the production of optical devices
KR102219348B1 (ko) 기판 지그
Shin et al. 33‐2: Flexible OLED Panels with Pixilated Graphene Anode

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned

Effective date of abandoning: 20180105

AD01 Patent right deemed abandoned