CN103309003B - 镜头及镜头同轴度的调整方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及镜头及镜头同轴度的调整方法，所述镜头包括第一镜头固定座，设置于所述第一镜头固定座内的镜头后组，第二镜头固定座，以及设置于所述第二镜头固定座内的镜头前组，所述镜头还包括偏心机构和隔圈；所述隔圈设置在所述第一镜头固定座内，且位于所述镜头后组的一端；所述偏心机构位于镜头前组与镜头后组之间，包括转接圈和旋转体，所述旋转体与所述转接圈旋转连接；所述转接圈与所述第一镜头固定座连接，且与所述隔圈接触，所述旋转体与所述第二镜头固定座连接。本发明利用偏心机构调整镜头同轴度，成本低、精度高。

Description

镜头及镜头同轴度的调整方法

技术领域

本发明涉及微电子装备，尤其涉及一种镜头及镜头同轴度的调整方法。

背景技术

随着半导体工艺日益趋于精密化和生产力要求的不断提高，半导体制造设备的精密性不断提升，相应地，对产品的检测仪器的精密性要求也不断提高。在投影光刻系统中，为了提高对硅片标记的对准精度，对对准子系统采用的镜头的精度提出了越来越高的要求，而镜头的同轴度是影响镜头精度的主要影响因素之一。

目前镜头同轴度一般通过以下两种方式实现：第一种方式完全依靠加工精度保证镜头的同轴度要求，这种方式的缺点是，由于加工能力的限制，往往难以达到较高的同轴度精度要求，即使达到同轴度要求，也是不经济的；第二种方式通过设计制作特定的工装保证镜头的同轴度要求，这种方式的缺点是，设计制作特定的工装需要额外增加成本，而且工装的装调也需要花费一定的人力、物力。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镜头及镜头同轴度的调整方法，利用偏心机构调整镜头同轴度，成本低、精度高。

为了达到上述的目的，本发明提供一种镜头，包括第一镜头固定座，设置于所述第一镜头固定座内的镜头后组，第二镜头固定座，以及设置于所述第二镜头固定座内的镜头前组，所述镜头还包括偏心机构和隔圈；所述隔圈设置在所述第一镜头固定座内，且位于所述镜头后组的一端；所述偏心机构位于镜头前组与镜头后组之间，包括转接圈和旋转体，所述旋转体与所述转接圈旋转连接；所述转接圈与所述第一镜头固定座连接，且与所述隔圈接触，所述旋转体与所述第二镜头固定座连接。

上述镜头，其中，所述转接圈一端的端面上设有刻度线，所述旋转体一端的端面上设有零刻度线。

上述镜头，其中，所述转接圈上的刻度线等间隔设置，所述转接圈上的刻度线包括零刻度线。

上述镜头，其中，所述转接圈与第一镜头固定座，所述旋转体与所述第二镜头固定座均为螺钉连接。

上述镜头，其中，所述旋转体的外侧壁上设有凸起。

本发明提供的另一技术方案是一种镜头同轴度的调整方法，包括以下步骤：测出镜头前组的光轴相对其机械轴的偏移量、镜头后组的光轴相对其机械轴的偏移量、以及镜头前组的光轴相对镜头后组的光轴的偏移方向；根据上述步骤测得的量求取镜头前组的光轴与镜头后组的光轴之间的距离，并根据该距离调整偏心机构的偏心量，再固定旋转体与转接圈之间的相对位置；将镜头后组、偏心机构和镜头前组组装；利用同轴度检测装置，通过所述偏心机构调整所述镜头前组与镜头后组之间的同轴度，再固定所述偏心机构与所述镜头后组之间的相对位置以及所述偏心机构与所述镜头前组之间的相对位置。

上述镜头同轴度的调整方法，其中，所述调整偏心机构的偏心量具体包括以下步骤：计算所述偏心机构的偏心量，根据所述偏心机构的偏心量计算所述偏心机构的旋转体的零刻度线与转接圈的零刻度线之间的夹角；根据所述偏心机构的旋转体的零刻度线与转接圈的零刻度线之间的夹角旋转所述旋转体，使所述旋转体的零刻度线与所述转接圈上的相应刻度线对齐。

上述镜头同轴度的调整方法，其中，所述利用同轴度检测装置，通过偏心机构调整镜头前组与镜头后组之间的同轴度具体包括以下步骤：调整好所述同轴度检测装置与所述镜头之间的相对位置，并将所述同轴度检测装置与所述镜头后组锁紧固定；用一只手握住所述镜头前组，保证所述镜头前组不绕轴向旋转，另一只手旋转所述旋转体，同时通过所述同轴度检测装置观测镜头前组光轴相对镜头后组光轴的偏移量的变化，直至所述镜头前组与所述镜头后组之间的同轴度达到设计要求，停止旋转所述旋转体。

本发明的镜头及镜头同轴度的调整方法，在镜头中增设一偏心机构，通过偏心机构调整镜头前组和镜头后组的同轴度，可使镜头整体的同轴度精度高于镜头中单个镜组的同轴度精度，这样既可以降低对加工精度的要求，又不需要制作特定的工装，是一种成本低、精度高的实现方式。

附图说明

本发明的镜头及镜头同轴度的调整方法由以下的实施例及附图给出。

图1是本发明实施例的镜头的剖视图。

图2是本发明实施例的偏心机构的立体图。

图3是本发明实施例的偏心机构的剖视图。

图4是本发明实施例的偏心机构的侧视图。

图5是图1中镜头后组的剖视图。

图6是图1中镜头前组的剖视图。

图7是本发明中求取镜头前组的光轴与镜头后组的光轴之间距离的示意图。

图8是本发明镜头组装后光轴、机械轴位置关系的示意图。

图9是本发明中镜头整体同轴度检测示意图。

图10是本发明中镜头整体同轴度调整好后光轴、机械轴位置关系的示意图。

具体实施方式

以下将结合图1～图10对本发明的镜头及镜头同轴度的调整方法作进一步的详细描述。

参见图1，本发明的偏心机构40用于调整镜头前组50与镜头后组20的同轴度，使镜头整体同轴度精度高于所述镜头前组50或镜头后组20的同轴度精度。

图2所示为本发明实施例的偏心机构的立体图，图3所示为本发明实施例的偏心机构的剖视图：

所述偏心机构包括转接圈41和旋转体42；

所述转接圈41的一端的外壁上设有第一凸台411，所述转接圈41通过所述第一凸台411与所述镜头后组20定位，所述转接圈41的另一端的内壁上设有台阶孔412；

所述旋转体42的一端的外壁上设有第二凸台421，所述旋转体42通过所述第二凸台421与所述镜头前组50定位，所述旋转体42的外壁上设有第三凸台422，所述旋转体42未设第二凸台421的一端插入所述转接圈41内，且所述第三凸台422与所述台阶孔412吻合，所述第三凸台422支撑在所述台阶孔412上，所述旋转体42通过所述第三凸台422与所述转接圈41定位；

由于所述第三凸台422与所述台阶孔412吻合，所述第三凸台422的轴线w与所述台阶孔412的轴线v重合；所述第一凸台411的轴线u与所述台阶孔412的轴线v之间的距离(即偏心量t1)等于所述第二凸台421的轴线y与所述第三凸台422的轴线w之间的距离(即偏心量t2)；使所述旋转体42相对所述转接圈41旋转，可改变所述第二凸台421的轴线y与所述第一凸台411的轴线u之间的距离，即所述用于镜头同轴度调整的偏心机构的偏心量t。

参见图3和图4，所述转接圈41设有第一凸台411的一端的端面413上设有刻度线，所述旋转体42未设第二凸台421的一端的端面423上设有零刻度线424，所述旋转体42设有零刻度线424的端面423与所述转接圈41设有刻度线的端面413共面；

所述端面413上的刻度线等间隔设置，其中，零刻度线414的长度比其它刻度线的长度长，且所述零刻度线414平行于所述轴线u与轴线v在同一垂直于轴线的平面内的投影的连线；

当所述旋转体42的零刻度线424与所述转接圈41的零刻度线414重合时，所述第一凸台411的轴线u与所述第二凸台421的轴线y重合，当所述旋转体42的零刻度线424与所述转接圈41的零刻度线414之间存在夹角θ时，所述第一凸台411的轴线u与所述第二凸台421的轴线y之间的距离t为：举例说明，假设t1＝0.1mm，所述转接圈41的端面413上的等间隔刻度线间隔为2度，则所述旋转体42相对所述转接圈41旋转一格，所述第二凸台421的轴线y与所述第一凸台411的轴线u之间的距离t变化为0.003mm，即所述用于镜头同轴度调整的偏心机构的偏心量调节分辨率为3um，这个分辨率决定同轴度调整精度，由上述描述可知，可通过控制t1以及所述转接圈41等间隔刻度线间隔的度数来确定同轴度调整精度，因此，所述用于镜头同轴度调整的偏心机构具有较高的调整精度。

较佳地，所述旋转体42的外侧壁上还设有凸起425，以方便用手转动所述旋转体42，调整所述偏心机构40的偏心量。

继续参见图2和图3，较佳地，所述用于镜头同轴度调整的偏心机构还包括第一半圆压圈43a、第二半圆压圈43b、多个第一弹性销和多个第一紧固螺钉48a；

所述第一半圆压圈43a与第二半圆压圈43b拼合形成一环形压圈套在所述旋转体42的外壁上、紧靠所述第三凸台422，所述第一半圆压圈43a和第二半圆压圈43b均通过多个第一弹性销对所述第三凸台422(即所述旋转体42)施加轴向预紧力，以防止所述用于镜头同轴度调整的偏心机构绕轴向旋转时产生轴向运动，所述旋转体42通过所述第一紧固螺钉48a与所述转接圈41连接。

如图2所示，较佳地，所述第一弹性销包括第一弹簧46a和第一螺钉47a，所述第一弹簧46a套在所述第一螺钉47a上，所述第一螺钉47a的一端穿过所述第一半圆压圈43a与所述转接圈41连接，所述第一弹簧46a位于所述第一螺钉47a与所述第一半圆压圈43a之间，旋转所述第一螺钉47a可改变所述第一弹簧46a施加的轴向压力，从而改变所述第一半圆压圈43a对所述第三凸台422施加的轴向压力；所述定位螺钉48a的一端穿过所述第一半圆压圈43a与所述转接圈41连接。

继续参见图1，本发明实施例的镜头包括第一镜头固定座10、镜头后组20、隔圈30、偏心机构40、镜头前组50和第二镜头固定座60；

所述镜头后组20和隔圈30均设置在所述第一镜头固定座10内，且所述隔圈30位于所述镜头后组20的一端；

所述镜头前组50设置在所述第二镜头固定座60内；

所述偏心机构40的一端与所述第一镜头固定座10连接，且与所述隔圈30接触，所述偏心机构40的另一端与所述第二镜头固定座60连接；

所述隔圈30用于调整所述所述镜头前组50与镜头后组20之间的空气间隔，所述偏心机构40用于调整所述镜头前组50与所述镜头后组20的同轴度，使镜头整体同轴度精度高于所述镜头前组50或镜头后组20的同轴度精度。

参见图1和图2，所述镜头还包括第三半圆压圈44a、第四半圆压圈44b、第五半圆压圈45a、第六半圆压圈45b、多个第二弹性销、多个第二紧固螺钉48b、多个第三弹性销和多个第三紧固螺钉48c；

所述第三半圆压圈44a与第四半圆压圈44b拼合形成一环形压圈套在所述转接圈41的外壁上、紧靠所述第一凸台411，所述转接圈41设有第一凸台411的一端通过所述多个第二紧固螺钉48b与所述第一镜头固定座10连接，如图2所示，所述第二紧固螺钉48b的一端穿过所述第三半圆压圈44a与所述第一镜头固定座10连接；

所述第三半圆压圈44a和第四半圆压圈44b均通过多个第二弹性销对所述第一凸台411(即所述转接圈41)施加轴向预紧力，以防止所述用于镜头同轴度调整的偏心机构绕轴向旋转时产生轴向运动，如图2所示，所述第二弹性销包括第二弹簧46b和第二螺钉47b，所述第二弹簧46b套在所述第二螺钉47b上，所述第二螺钉47b的一端穿过所述第三半圆压圈44a与所述第一镜头固定座10连接，所述第二弹簧46b位于所述第二螺钉47b与所述第三半圆压圈44a之间，旋转所述第二螺钉47b可改变所述第二弹簧46b施加的轴向压力，从而改变所述第三半圆压圈44a对所述第一凸台411施加的轴向压力；

所述第五半圆压圈45a与第六半圆压圈45b拼合形成一环形压圈套在所述旋转体42的外壁上、紧靠所述第二凸台421，所述旋转体42设有第二凸台421的一端通过所述多个第三紧固螺钉48c与所述第二镜头固定座60连接，如图2所示，所述第三紧固螺钉48c的一端穿过所述第五半圆压圈45a与所述第二镜头固定座60连接；

所述第五半圆压圈45a和第六半圆压圈45b均通过多个第三弹性销对所述第二凸台421施加轴向预紧力，以防止所述用于镜头同轴度调整的偏心机构绕轴向旋转时产生轴向运动，如圈2所示，所述第三弹性销包括第三弹簧46c和第三螺钉47c，所述第三弹簧46c套在所述第三螺钉47c上，所述第三螺钉47c的一端穿过所述第五半圆压圈45a与所述第二镜头固定座60连接，所述第三弹簧46c位于所述第三螺钉47c与所述第五半圆压圈45a之间，旋转所述第三螺钉47c可改变所述第三弹簧46c施加的轴向压力，从而改变所述第五半圆压圈45a对所述第二凸台421施加的轴向压力。

参见图5，所述镜头后组20包括第一镜筒21、多片镜片22、多个隔圈23和两个压圈24，所述多片镜片22、多个隔圈23和两个压圈24均设置在所述第一镜筒21内，所述多片镜片22沿所述第一镜筒21的轴向排列，任意相邻两片镜片22之间有一隔圈23，所述两个压圈24分别位于所述第一镜筒21内的两端，且分别与两端的镜片接触。通过所述第一镜筒21内径及镜片22外径的加工精度保证所述镜头后组20中多片镜片22的同轴度，镜片之间的空气间隔通过修磨所述隔圈23保证，所述两个压圈24用于保护多片镜片22，可起到缓冲作用。

参见图6，所述镜头前组50包括第二镜筒51、多片镜片52、多个隔圈53和压圈54，所述多片镜片52、多个隔圈53和压圈54均设置在所述第二镜筒51内，所述多片镜片52沿所述第二镜筒51的轴向排列，任意相邻两片镜片52之间有一隔圈53，所述压圈54位于所述第二镜筒51内靠近偏心机构40的一端，且与该端的镜片接触。通过所述第二镜筒51内径及镜片52外径的加工精度保证所述镜头前组50中多片镜片52的同轴度，镜片之间的空气间隔通过修磨所述隔圈53保证，所述压圈54用于保护多片镜片52，可起到缓冲作用。

所述镜头后组20和镜头前组50的结构根据实际需要确定，即所述镜头后组20的结构不限于图5所示的结构，所述镜头前组50的结构不限于图6所示的结构。

本发明的镜头增设一偏心机构，通过偏心机构调整镜头前组和镜头后组的同轴度，可使镜头整体的同轴度精度高于镜头中单个镜组的同轴度精度，这样既可以降低对加工精度的要求，又不需要制作特定的工装，是一种成本低、精度高的实现方式。

本发明的镜头通过加工精度和修磨隔圈保证镜头前组的同轴度及镜片之间空气间隔达到设计要求；通过加工精度和修磨隔圈保证镜头后组的同轴度及镜片之间空气间隔达到设计要求；通过修磨隔圈保证镜头前组与镜头后组之间的空气间隔达到设计要求；通过偏心机构调整镜头前组与镜头后组之间的同轴度，使镜头整体同轴度精度高于镜头前组或镜头后组的同轴度精度。

本发明镜头整体同轴度调整方法包括以下步骤：

步骤1，测出镜头前组50的光轴相对其机械轴的偏移量、镜头后组20的光轴相对其机械轴的偏移量、以及镜头前组50的光轴相对镜头后组20的光轴的偏移方向；

所述镜头后组20和隔圈30置于所述第一镜头固定座10内，所述镜头前组50置于所述第二镜头固定座60内，例如采用定心仪分别测量出所述镜头前组50的光轴相对其机械轴的偏移量、所述镜头后组20的光轴相对其机械轴的偏移量、以及镜头前组50的光轴相对镜头后组20的光轴的偏移方向；

步骤2，根据步骤1测得的三个量，求取镜头前组50的光轴与镜头后组20的光轴之间的距离，并根据该距离调整所述偏心机构40的偏心量t，再固定所述旋转体42与所述转接圈41之间的相对位置；

求取镜头前组50的光轴与镜头后组20的光轴之间的距离的原理如图7所示，镜头前组50的机械轴、镜头后组20的机械轴在坐标系上用同一点表示，即O点，镜头前组50的机械轴(也即镜头后组20的机械轴)垂直于纸面，Q点表示镜头后组20的光轴与纸面的交点，所述镜头后组20的光轴垂直于纸面，P点表示镜头前组50的光轴与纸面的交点，所述镜头前组50的光轴垂直于纸面，镜头前组50的光轴相对其机械轴的偏移量即为P点与O点之间的距离，镜头后组20的光轴相对其机械轴的偏移量即为Q点与O点之间的距离，镜头前组50的光轴相对镜头后组20的光轴的偏移方向即为OQ与OP之间的夹角，假定测得的镜头前组50的光轴相对其械轴的偏移量为f，镜头后组20的光轴相对其机械轴的偏移量为e，镜头前组50的光轴相对镜头后组20的光轴的偏移方向为α，可根据三角函数关系求取镜头前组50的光轴与镜头后组20的光轴之间的距离g(即P点与Q点之间的距离)，若镜头后组20的光轴相对镜头前组50的光轴的偏移量设计值要求在±δ以内，则

$g={[e^2+f^2-2e\×f\×\cos \left(\mathrm{\α}\right)]}^{\frac{1}{2}}\±\mathrm{\δ};$

求取到镜头前组50的光轴与镜头后组20的光轴之间的距离g后，根据该g值调整所述偏心机构40的偏心量t，即改变所述第二凸台421的轴线y与所述第一凸台411的轴线u之间的距离t，使t＝g；

调整所述偏心机构40的偏心量t的具体方法是：根据公式计算出θ，其中，t1是已知量，制作所述偏心机构40时，该t1的值就确定下来了，而t＝g；根据θ值旋转所述旋转体42，使所述旋转体42的零刻度线424与所述转接圈41的端面413上的相应刻度线对齐；

调整好所述偏心机构40的偏心量t后固定所述旋转体42与所述转接圈41之间的相对位置，即锁紧所述第一紧固螺钉48a，固定所述旋转体42与所述转接圈41之间的相对位置；

步骤3，将镜头后组20、偏心机构40和镜头前组50组装；

固定所述第一镜头固定座10的位置，通过所述第三半圆压圈44a、第四半圆压圈44b、第二弹簧46b和第二螺钉47b对所述偏心机构40施加轴向预紧力，使所述偏心机构40沿轴向压在所述第一镜头固定座10上，通过所述第五半圆压圈45a、第六半圆压圈45b、第三弹簧46c和第三螺钉47c对所述偏心机构40施加轴向预紧力，使所述偏心机构40沿轴向压在所述第二镜头固定座60上；

由于所述第一凸台411与所述第一镜头固定座10轴孔配合，所述第一凸台411轴线u与所述镜头后组20的机械轴重合，由于所述第二凸台421与所述第二镜头固定座60轴孔配合，所述第二凸台421的轴线y与所述镜头前组50的机械轴重合，本发明镜头组装后，镜头后组20的机械轴、镜头后组20的光轴、镜头前组50的的机械轴、镜头前组50的光轴之间的位置关系如图8所示，O1点表示镜头前组50的机械轴与纸面的交点，所述镜头前组50的机械轴垂直于纸面，O2点表示镜头后组20的机械轴与纸面的交点，所述镜头后组20的机械轴垂直于纸面，Q点表示镜头后组20的光轴与纸面的交点，所述镜头后组20的光轴垂直于纸面，P点表示镜头前组50的光轴与纸面的交点，所述镜头前组50的光轴垂直于纸面，P点与O1点之间的距离即为镜头前组50的光轴相对其械轴的偏移量，步骤1测得其值为f，Q点与O2点之间的距离即为镜头后组20的光轴相对其机械轴的偏移量，步骤1测得其值为e，O2点与O1点之间的距离即为所述偏心机构40的偏心量t；

步骤4，利用同轴度检测装置，通过所述偏心机构40调整所述镜头前组50与镜头后组20之间的同轴度，再固定所述偏心机构40与所述镜头后组20之间的相对位置以及所述偏心机构40与所述镜头前组50之间的相对位置；

如图9所示，先调整好所述同轴度检测装置70与本发明镜头之间的相对位置，并将所述同轴度检测装置70与所述镜头后组20锁紧固定；

接着，用一只手握住所述镜头前组50，保证所述镜头前组50不绕轴向旋转，另一只手旋转所述旋转体42，同时通过所述同轴度检测装置70观测镜头前组50的光轴相对镜头后组20的光轴的偏移量的变化，直至所述镜头前组50的光轴与所述镜头后组20的光轴之间的同轴度达到设计要求，停止旋转所述旋转体42，即在保证图8中O1点与O2点之间的距离、P点与O1点之间的距离以及O1O2与PO1之间的夹角不变的前提下，使PO1与O1O2一起同时绕O2点旋转，直至P点与Q点重合，如图10所示；调整好所述镜头前组50的光轴与所述镜头后组20的光轴之间的同轴度后，锁紧螺钉48b和螺钉48c，固定所述偏心机构40与所述第一镜头固定座10之间的相对位置以及所述偏心机构40与所述第二镜头固定座60之间的相对位置。

显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种镜头，包括第一镜头固定座(10)，设置于所述第一镜头固定座(10)内的镜头后组(20)，第二镜头固定座(60)，以及设置于所述第二镜头固定座(60)内的镜头前组(50)，其特征在于，所述镜头还包括偏心机构(40)和隔圈(30)；

所述隔圈(30)设置在所述第一镜头固定座(10)内，且位于所述镜头后组(20)的一端；

所述偏心机构(40)位于镜头前组与镜头后组之间，包括转接圈(41)和旋转体(42)，所述旋转体(42)与所述转接圈(41)旋转连接；

所述转接圈(41)与所述第一镜头固定座(10)连接，且与所述隔圈(30)接触，所述旋转体(42)与所述第二镜头固定座(60)连接。

2.如权利要求1所述的镜头，其特征在于，所述转接圈(41)一端的端面(413)上设有刻度线，所述旋转体(42)一端的端面(423)上设有零刻度线(424)。

3.如权利要求2所述的镜头，其特征在于，所述转接圈(41)上的刻度线等间隔设置，所述转接圈(41)上的刻度线包括零刻度线(414)。

4.如权利要求1所述的镜头，其特征在于，所述转接圈(41)与第一镜头固定座(10)，所述旋转体(42)与所述第二镜头固定座(60)均为螺钉连接。

5.如权利要求1所述的镜头，其特征在于，所述旋转体(42)的外侧壁上设有凸起(425)。

6.一种根据权利要求1所述镜头的同轴度调整方法，其特征在于，包括以下步骤：

测出镜头前组(50)的光轴相对其机械轴的偏移量、镜头后组(20)的光轴相对其机械轴的偏移量、以及镜头前组(50)的光轴相对镜头后组(20)的光轴的偏移方向；

根据上述步骤测得的量求取镜头前组(50)的光轴与镜头后组(20)的光轴之间的距离，并根据该距离调整偏心机构(40)的偏心量，再固定旋转体(42)与转接圈(41)之间的相对位置；

将镜头后组(20)、偏心机构(40)和镜头前组(50)组装；

利用同轴度检测装置，通过所述偏心机构(40)调整所述镜头前组(50)与镜头后组(20)之间的同轴度，再固定所述偏心机构(40)与所述镜头后组(20)之间的相对位置以及所述偏心机构(40)与所述镜头前组(50)之间的相对位置。

7.如权利要求6所述的镜头同轴度的调整方法，其特征在于，所述调整偏心机构(40)的偏心量具体包括以下步骤：

计算所述偏心机构(40)的偏心量，根据所述偏心机构(40)的偏心量计算所述偏心机构(40)的旋转体(42)的零刻度线(424)与转接圈(41)的零刻度线(414)之间的夹角；

根据所述偏心机构(40)的旋转体(42)的零刻度线(424)与转接圈(41)的零刻度线(414)之间的夹角旋转所述旋转体(42)，使所述旋转体(42)的零刻度线(424)与所述转接圈(41)上的相应刻度线对齐。

8.如权利要求6所述的镜头同轴度的调整方法，其特征在于，所述利用同轴度检测装置(70)，通过偏心机构(40)调整镜头前组(50)与镜头后组(20)之间的同轴度具体包括以下步骤：

调整好所述同轴度检测装置(70)与所述镜头之间的相对位置，并将所述同轴度检测装置(70)与所述镜头后组(20)锁紧固定；

用一只手握住所述镜头前组(50)，保证所述镜头前组(50)不绕轴向旋转，另一只手旋转所述旋转体(42)，同时通过所述同轴度检测装置(70)观测镜头前组(50)光轴相对镜头后组(20)光轴的偏移量的变化，直至所述镜头前组(50)与所述镜头后组(20)之间的同轴度达到设计要求，停止旋转所述旋转体(42)。