CN103304152B - 一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃及其加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃，包括玻璃基板，其特征在于，在玻璃基板上依次设置的氧化锡层、第一氧化硅层、氟掺杂氧化锡层、第二氧化硅层、第三氧化硅层。本发明的五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃，采用化学气相沉积方法加工，其膜层是由薄的、透明的、永久性的热解膜形成，在普通浮法玻璃表面形成氧化硅和氧化锡的膜层。其中氧化硅膜是增透膜，这样可以使得玻璃有高的透过性能，比起透明浮法玻璃减少了2%的内部可见光，并能透过更多的可见光。因此，内外两面的视像更加清晰且无反射，具有很高的透过率，很低的反射率，耐酸、碱，耐磨性等各项性能优良。

Description

一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃及其加工方法

技术领域

本发明涉及玻璃深加工技术领域，特别涉及一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃及其加工方法。

背景技术

日常生活中我们都有被眩光袭击的经历，部分来源于眩光光源，部分来源于眩光的反射；我们在操作电脑时常常为显示器外面的景物在显示器表面的反射而无法看清显示内容而烦恼；又如当我们驻足于玻璃橱窗前探究橱窗内景物时，玻璃表面反光往往使你无法清晰观察到窗内景物等等。这些都是由于玻璃表面的光反射引起的，因为普通玻璃具有高的反射率。这时，我们就需要一款玻璃来降低环境光的干扰，提高显示画面的可视角度和亮度，减少屏幕反光，让图象更清晰、色彩更艳丽、颜色更饱和。此时，我们就需要选择减反射玻璃。早期的镀膜减反射玻璃，内外两面的视像清晰度有待进一步提高，这类镀膜减反射玻璃一般是通过离线镀膜（磁控溅射）或涂上特殊材料（增透性强）使其提高增透效果，膜层的耐久性和后续的深加工均有不同程度的问题。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃及其加工方法，以解决现有技术中生产的镀膜减反射玻璃，其膜层的耐久性不高，透过率、反射率不理想的问题。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃，包括玻璃基板，其特征在于，在玻璃基板上依次设置的氧化锡层、第一氧化硅层、氟掺杂氧化锡层、第二氧化硅层、第三氧化硅层。

在本发明的一个优选实施例中，氧化锡层厚度为5～20nm，第一氧化硅层厚度为10～40nm，氟掺杂氧化锡层厚度为80～150nm，第二氧化硅层厚度为30～60nm，第三氧化硅层厚度为30～60nm。

一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃的加工方法，其特征在于，在玻璃基板上依次镀上氧化锡层、第一氧化硅层、氟掺杂氧化锡层、第二氧化硅层、第三氧化硅层；

各膜层的镀制工艺是：

氧化锡层：采用化学气相沉积工艺，以二氯二甲基锡或单丁基三氯化锡或四氯化锡为原料，氧气为氧化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于玻璃基板表面，经退火处理，形成氧化锡层；

第一氧化硅层：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于氧化锡层表面，经退火处理，形成第一氧化硅层；

氟掺杂氧化锡层：采用化学气相沉积工艺，以二氯二甲基锡或单丁基三氯化锡或四氯化锡、氟化氢原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于第一氧化硅层表面，经退火处理，形成氟掺杂氧化锡层；

第二氧化硅层：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于氟掺杂氧化锡层表面，经退火处理，形成第二氧化硅层；

第三氧化硅层：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于第二氧化硅层表面，经退火处理，形成第三氧化硅层。

本发明的五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃，采用化学气相沉积方法加工，其膜层是由薄的、透明的、永久性的热解膜形成，在普通浮法玻璃表面形成氧化硅和氧化锡的膜层。其中氧化硅膜是增透膜，这样可以使得玻璃有高的透过性能，比起透明浮法玻璃减少了2%的内部可见光，并能透过更多的可见光。因此，内外两面的视像更加清晰且无反射，具有很高的透过率，很低的反射率，耐酸、碱，耐磨性等各项性能优良。

本发明的特点可参阅以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。

附图说明

图1为五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃的局部剖面示意图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例进一步阐述本发明。

参见图1，一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃，包括玻璃基板100，在玻璃基板上依次设置的氧化锡层110、第一氧化硅层120、氟掺杂氧化锡层130、第二氧化硅层140、第三氧化硅层150。

该五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃的加工方法如下：在玻璃基板上依次镀上氧化锡层、第一氧化硅层、氟掺杂氧化锡层、第二氧化硅层、第三氧化硅层；

各膜层的镀制工艺是：

氧化锡层（SnO_x）：采用化学气相沉积工艺，以二氯二甲基锡或单丁基三氯化锡或四氯化锡为原料，氧气为氧化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于玻璃基板表面，经退火处理，形成氧化锡层；氧化锡层厚度为5-20nm，能有效阻止玻璃中碱金属离子的析出，与玻璃附着力强。

第一氧化硅层（SiO_x）：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于氧化锡层表面，经退火处理，形成第一氧化硅层；第一氧化硅层厚度为10-40nm，此为氧化物过渡层，主要功能是调节膜层的颜色与太阳光的透过率。

氟掺杂氧化锡层（SnO_x：F_y）：采用化学气相沉积工艺，以二氯二甲基锡或单丁基三氯化锡或四氯化锡、氟化氢原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于第一氧化硅层表面，经退火处理，形成氟掺杂氧化锡层；氟掺杂氧化锡层厚度为80-150nm，能够极大的降低玻璃表面的辐射率。

第二氧化硅层（SiO_x）：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于氟掺杂氧化锡层表面，经退火处理，形成第二氧化硅层；

第三氧化硅层（SiO_x）：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于第二氧化硅层表面，经退火处理，形成第三氧化硅层。第二氧化硅层和第三氧化硅层厚度为30-60nm，此为增透层，主要功能提高玻璃的透过率。

下表列出了制出本发明的工艺参数。

五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃的工艺参数

用上述工艺参数制出的五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃的光学性能如下:

镀膜玻璃的可见光透过率T=88～95%,

可见光玻璃面反射率Rg=1～8%

可见光玻璃面色坐标a*值=-3.5～-0.5

色坐标b*值=-3～0

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (1)

1.一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃，包括玻璃基板，其特征在于，在玻璃基板上依次设置的氧化锡层、第一氧化硅层、氟掺杂氧化锡层、第二氧化硅层、第三氧化硅层；氧化锡层厚度为5～20nm，第一氧化硅层厚度为10～40nm，氟掺杂氧化锡层厚度为80～150nm，第二氧化硅层厚度为30～60nm，第三氧化硅层厚度为30～60nm；其加工方法为，在玻璃基板上依次镀上氧化锡层、第一氧化硅层、氟掺杂氧化锡层、第二氧化硅层、第三氧化硅层；

各膜层的镀制工艺是：

氧化锡层：采用化学气相沉积工艺，以二氯二甲基锡或单丁基三氯化锡或四氯化锡为原料，氧气为氧化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于玻璃基板表面，经退火处理，形成氧化锡层；

第一氧化硅层：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于氧化锡层表面，经退火处理，形成第一氧化硅层；

氟掺杂氧化锡层：采用化学气相沉积工艺，以二氯二甲基锡或单丁基三氯化锡或四氯化锡、氟化氢原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于第一氧化硅层表面，经退火处理，形成氟掺杂氧化锡层；

第二氧化硅层：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于氟掺杂氧化锡层表面，经退火处理，形成第二氧化硅层；

第三氧化硅层：采用化学气相沉积工艺，以硅烷、乙烯为原料，氧气为氧化剂，水为催化剂，通过镀膜梁在锡槽中高温反应，并喷涂于第二氧化硅层表面，经退火处理，形成第三氧化硅层。