CN103267493A - 线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置和方法，包括DVD/CD光学头线阵（1）、光学头线阵的恒流驱动子系统（2）、FES信号采集子系统（3）、一维运动平台（4）及导轨运动误差测量子系统（5）、面形检测控制与处理子系统（6）；DVD/CD光学头线阵（1）用于检测被测区域的面形；本发明采用线阵式布置DVD/CD光学头，提升阵列式面形检测设备的面形检测精度。在背景技术中所列角差法、干涉法等研制的面形设备均存在价格高，设备庞大，采用本发明能大大降低设备的研制成本。

Description

线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置和方法
技术领域
本发明属于机器视觉技术检测领域，主要涉及一种超大口径平面光学元件面形检测的装置和方法，其设计利用DVD/CD光学头进行超大口径平面光学元件表面面形检测的装置和方法。
背景技术
面形技术主要有角差法、LTP、瞬态干涉仪和哈特曼检测等方法。角差法的原理是面形的变化可通过其各点法线方向角度的变化量而反映出，采用高精度测试角度变化量的方法可重构元件的面形，西南科技大学已研制出大口径光学元件面形检测装置，检测精度达1/3个波长。LTP是采用细光束干涉计量原理，若被检测面相对垂直于光轴的平面倾斜一定角度，则在LTP的焦平面探测器上的干涉条纹就有移动，通过精确测量其移动距离，就可以得到倾斜度误差的变化曲线，对该曲线积分就可获得高度误差曲线，其测试精度能达到1/20个波长。瞬态干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉仪技术与数字化波面技术相结合的干涉系统，可采用近红外作为测试光源，测量精度能达到波前均方根优于1/15波长。哈特曼检测法是通过一个有若干小孔光阑的波面进行采样的检测方法，受外界影响小，对检测环境要求比干涉仪的检测环境要求低；但实验中需要的大口径哈特曼扩束系统的光学系统设计、结构设计要求高，且成本也高。采用干涉法对检测环境要求高，在ICF实验室中的在线检测条件很难满足瞬态干涉仪或LTP的要求，而且不能对处于不同倾斜状态的光学元件进行面形检测。
中国发明专利ZL200910058280.0，该方案利用被测光学元件为参考物和利用五棱镜的一维不变性，克服了传统角差法不能有效扣除运动平台因机械运动或振动等带来的测量误差问题。同时由于采用了在垂直方向（列）测试中的两束参考光，可有效扣除振动带来的影响，同时还以被测光学元件作为绝对参考，从而还能扣除因地基振动、大气振动等带来的误差；由于采用龙门结构，对于超大光学元件的检测，其体形庞大，在不同姿态下的调试时间较长，检测精度仅有1/3波长。同时由于采用“从上到下，从左至右”的逐点扫描方式，导致测试超大光学元件的时间在2～5小时左右。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足提供一种线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置和方法。
本发明的技术方案如下：
一种线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置，包括DVD/CD光学头线阵（1）、光学头线阵的恒流驱动子系统（2）、FES信号采集子系统（3）、一维运动平台（4）及导轨运动误差测量子系统（5）、面形检测控制与处理子系统（6）；DVD/CD光学头线阵（1）用于检测被测区域的面形；光学头线阵的恒流驱动子系统（2）用于给光学头线阵提供稳定的电流驱动，以确保光学头中激光器的输出功率恒定；FES信号采集子系统（3）用于实时采集DVD/CD光学头线阵（1）所检测区域的面形高差；一维运动平台（4）用于驱动DVD/CD光学头线阵（1）做一维扫描运动，以全口径扫描被测光学元件；导轨运动误差测量子系统（5）用于实时测量一维运动平台（4）在运动过程中的左右偏摆和上下俯仰等运动误差；面形检测控制与处理子系统（6）用于对DVD/CD光学头线阵（1）的扫描运动控制、信号采集、面形重构与绘制。
所述的线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置，其中DVD/CD光学头线阵（1）包括检测基座（11）、线阵式布置的DVD/CD光学头（12）及其高精度调节架（13）。
所述的线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置，导轨运动误差检测子系统（5）包括导轨偏摆检测仪（51）和导轨直线度检测仪（52），导轨偏摆检测仪（51）包括放置于检测基座（11）上的测角仪（511）和与DVD/CD光学头线阵（1）一起运动的平面反射镜（512），平面反射镜（512）实时将测角仪（511）的光束反射回测角仪（511），实时测量导轨在运动过程中的运动误差，以实现导轨在运动过程中的左右偏摆角和上下俯仰角运动误差的实时检测；导轨直线度检测仪（52）包括附着于运动平台滑块（521）上的微位移探头（522）和固定于导轨上的参考基准面（523），微位移探头（522）用于测量导轨的上下起伏量，参考基准面（523）用于测量导轨上下起伏量的提供一个基准平面，以实现导轨在运动过程中与参考基准面的微位移的实时检测。
所述面形检测装置进行面形检测的方法，包括以下步骤：（1）打开面形检测装置电源，以DVD/CD光学头线阵1某光学头为基准，调整DVD/CD光学头线阵1与被测光学元件的距离，直到该光学头的FES值为零；同时还需调整用于检测导轨直线度的微位移探头522与参考基准面523的距离，直到该微位移探头522的FES值为零；
（2）开机30分钟后，设置测量步长；
（3）记录DVD/CD光学头线阵1中测量位置i中光学头j的FES值，通过该光学头标定的FES曲线，计算出该光学头离参考基准面523的面形高度hij，同时记录该测量点的左右偏摆角αij、上下俯仰测量角βij和偏离参考基准面的距离Hi；
（4）由于光学头安装和生产工艺等导致的误差，根据装置装调过程中标定的线阵聚焦平面的平面度Δhij，则该光学头所对应被测点的面形高差为：hij+Δhij+sjαij-Hi；其中sj为第j个光学头距滑块中心的距离；
（5）由于运动导轨的上下俯仰角的存在，导致被测点的测量位置发生偏移，计算被测点的位置偏离误差：fjβij；其中fj为第j光学头距线阵聚焦平面的距离；
（6）重复步骤3～步骤4测量5～10次，采用数据误差处理算法中的成熟算法滤除奇异值，最后采用平均值法求出光学元件各测量点的面形高差。其目的是扣除地基震动和空气扰动等带来的微小扰动；
（7）采用最小二乘法原理，对步骤6所获取的面形高差进行处理，扣除被测光学元件和检测装置的不平行性，即获取该光学元件的实际面形高差。
本发明采用线阵式布置DVD/CD光学头，提升阵列式面形检测设备的面形检测精度。在背景技术中所列角差法、干涉法等研制的面形设备均存在价格高，设备庞大，采用本发明能大大降低设备的研制成本。
附图说明
图1为面形检测装置组成示意图；
图2为DVD/CD光学头阵列；
图3为导轨运动误差检测子系统；
图4为标定单个光学头FES曲线结构原理图；
图5为DVD/CD线阵的聚焦平面的平面度标定示意图；
具体实施方式
以下结合具体实施例，对本发明进行详细说明。
DVD光学读取头的内部结构参考：李瑞君等，基于DVD光学头读取头的大量程高精度扫描探头，合肥工业大学学报（自然科学版），2011,34（12）。应用自动功率控制电路是激光二极管发射约0.5mW的650nm波长的红光激光光束，经光栅衍射后形成三束检测光，再经分光镜、准直透镜，将激光光束变成准直光束，准直光束经过聚焦透镜后便聚焦在发射面上（如被测光学元件上）。经过反射面反射的光束沿原光路经过准则透镜、分光镜和柱面象散透镜，透射到四象限光电二级管传感器A、B、C、D上。四象限光电二级管传感器则根据光点在4个象限上的分布，输出一聚焦误差电压信号FES(focus error signal)。这个聚焦误差信号经过运算放大、补偿处理，驱动音圈电机VCM（voice coil motor）并带动聚焦透镜一起沿光轴方向运动，直到聚焦点恰好与反射面重合，从而达到自动锁焦的目的。
如图1所示，本发明的面形检测装置包括DVD/CD光学头线阵1、光学头线阵的恒流驱动子系统2、FES信号采集子系统3、一维运动平台4及导轨运动误差测量子系统5、面形检测控制与处理子系统6。DVD/CD光学头线阵1用于检测被测区域的面形；光学头线阵的恒流驱动子系统2用于给光学头线阵提供稳定的电流驱动，以确保光学头中激光器的输出功率恒定；FES信号采集子系统3用于实时采集光学头线阵所检测区域的面形高差；一维运动平台4用于驱动DVD/CD光学头线阵1做一维扫描运动，以全口径扫描被测光学元件；导轨运动误差测量子系统5用于实时测量一维运动平台4在运动过程中的左右偏摆和上下俯仰等运动误差；面形检测控制与处理子系统6用于对DVD/CD光学头线阵1的扫描运动控制、信号采集、面形重构与绘制等。
如图2所示，其中DVD/CD光学头线阵1包括检测基座11、线阵式布置的DVD/CD光学头12及其高精度调节架13。
如图3所示，导轨运动误差检测子系统5包括导轨偏摆检测仪51和导轨直线度检测仪52，导轨偏摆检测仪51包括放置于检测基座11上的测角仪511和与DVD/CD光学头线阵1一起运动的平面反射镜512，平面反射镜512实时将测角仪511的光束反射回测角仪511，实时测量导轨在运动过程中的运动误差，以实现导轨在运动过程中的左右偏摆角和上下俯仰角运动误差的实时检测；导轨直线度检测仪52包括附着于运动平台滑块521上的微位移探头522（其实质是光学头，仅是测量范围和检测精度与线阵中的光学头有差别）和固定于导轨上的参考基准面523（如面形很好的玻璃长条），微位移探头522用于测量导轨的上下起伏量，参考基准面523用于测量导轨上下起伏量的提供一个基准平面，以实现导轨在运动过程中与参考基准面的微位移（即导轨的上下起伏量）的实时检测。
该面形检测装置的装调和标定过程如下：
（1）检测基座11的机械加工，要求安装光学头的孔的同轴度加工误差在2微米内。
（2）采用如图4所示的原理图，对DVD/CD线阵中的每个光学头分别进行标定（要求电源与设备实际使用时的电源一致），测量每个光学头的FES曲线（参考：李瑞君等，基于DVD光学头读取头的大量程高精度扫描探头，合肥工业大学学报（自然科学版），2011,34（12））。
（3）采用如图3所示的装置原理示意图，对DVD/CD线阵进行初步安装。
（4）如图5采用面形精度高于检测装置面形检测精度2～5倍的标准平面光学元件对DVD/CD线阵的聚焦平面的平面度进行校正。由于装调误差导致DVD/CD线阵中每个光学头的聚焦平面不在一个平面上，采用“从上到下”的顺序分别对每个光学头所在的聚焦平面进行校正；首先对光学头的一维调节架进行精密调整，直至其FES值为零，然后对该光学头进行螺栓和粘胶固定。
（5）检测面板初步校正后在室内放置24小时，对DVD/CD线阵的聚焦平面的平面度进行标定。如图4所示，检测每个光学头的FES值，该值即为每个光学头偏离阵列聚焦平面的偏差Δhi。
（7）采用第2步所示方法，对附着于运动平台滑动块上的微位移探头522进行标定（要求电源与设备实际使用时的电源一致），测量该微位移探头的FES曲线。
测量流程：
（1）将该装置放置在隔振性能优良的测试光学平台上，打开面形检测装置电源，以DVD/CD光学头线阵1某光学头（如DVD/CD光学头线阵中第一个光学头）为基准，调整DVD/CD光学头线阵1与被测光学元件的距离，直到该光学头的FES值为零；同时还需调整用于检测导轨直线度的微位移探头522与参考基准面523的距离，直到该微位移探头522的FES值为零。
（2）开机30分钟后，设置测量步长；
（3）记录DVD/CD光学头线阵1中测量位置i中光学头j的FES值，通过该光学头标定的FES曲线，计算出该光学头离参考基准面523的面形高度hij，同时记录该测量点的左右偏摆角αij、上下俯仰测量角βij和偏离参考基准面的距离Hi；
（4）由于光学头安装和生产工艺等导致的误差，根据装置装调过程中标定的线阵聚焦平面的平面度Δhij，则该光学头所对应被测点的面形高差为：hij+Δhij+sjαij-Hi；其中sj为第j个光学头距滑块中心的距离。
（5）由于运动导轨的上下俯仰角的存在，导致被测点的测量位置发生偏移，计算被测点的位置偏离误差：fjβij；其中fj为第j光学头距线阵聚焦平面的距离。
（6）重复步骤3～步骤4测量5～10次，采用数据误差处理算法中的成熟算法滤除奇异值，最后采用平均值法求出光学元件各测量点的面形高差。其目的是扣除地基震动和空气扰动等带来的微小扰动。
（7）采用最小二乘法原理，对步骤6所获取的面形高差进行处理，扣除被测光学元件和检测装置的不平行性，即获取该光学元件的实际面形高差。
应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (4)

1.一种线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置，其特征在于，包括DVD/CD光学头线阵（1）、光学头线阵的恒流驱动子系统（2）、FES信号采集子系统（3）、一维运动平台（4）及导轨运动误差测量子系统（5）、面形检测控制与处理子系统（6）；DVD/CD光学头线阵（1）用于检测被测区域的面形；光学头线阵的恒流驱动子系统（2）用于给光学头线阵提供稳定的电流驱动，以确保光学头中激光器的输出功率恒定；FES信号采集子系统（3）用于实时采集DVD/CD光学头线阵（1）所检测区域的面形高差；一维运动平台（4）用于驱动DVD/CD光学头线阵（1）做一维扫描运动，以全口径扫描被测光学元件；导轨运动误差测量子系统（5）用于实时测量一维运动平台（4）在运动过程中的左右偏摆和上下俯仰等运动误差；面形检测控制与处理子系统（6）用于对DVD/CD光学头线阵（1）的扫描运动控制、信号采集、面形重构与绘制。
2.根据权利要求1所述的线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置，其特征在于，其中DVD/CD光学头线阵（1）包括检测基座（11）、线阵式布置的DVD/CD光学头（12）及其高精度调节架（13）。
3.根据权利要求1所述的线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置，其特征在于，导轨运动误差检测子系统（5）包括导轨偏摆检测仪（51）和导轨直线度检测仪（52），导轨偏摆检测仪（51）包括放置于检测基座（11）上的测角仪（511）和与DVD/CD光学头线阵（1）一起运动的平面反射镜（512），平面反射镜（512）实时将测角仪（511）的光束反射回测角仪（511），实时测量导轨在运动过程中的运动误差，以实现导轨在运动过程中的左右偏摆角和上下俯仰角运动误差的实时检测；导轨直线度检测仪（52）包括附着于运动平台滑块（521）上的微位移探头（522）和固定于导轨上的参考基准面（523），微位移探头（522）用于测量导轨的上下起伏量，参考基准面（523）用于测量导轨上下起伏量的提供一个基准平面，以实现导轨在运动过程中与参考基准面的微位移的实时检测。
4.根据权利要求1至3任一所述面形检测装置进行面形检测的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）打开面形检测装置电源，以DVD/CD光学头线阵1某光学头为基准，调整DVD/CD光学头线阵1与被测光学元件的距离，直到该光学头的FES值为零；同时还需调整用于检测导轨直线度的微位移探头522与参考基准面523的距离，直到该微位移探头522的FES值为零；
（2）开机30分钟后，设置测量步长；
（3）记录DVD/CD光学头线阵1中测量位置i中光学头j的FES值，通过该光学头标定的FES曲线，计算出该光学头离参考基准面523的面形高度hij，同时记录该测量点的左右偏摆角αij、上下俯仰测量角βij和偏离参考基准面的距离Hi；
（4）由于光学头安装和生产工艺等导致的误差，根据装置装调过程中标定的线阵聚焦平面的平面度Δhij，则该光学头所对应被测点的面形高差为：hij+Δhij+sjαij-Hi；其中sj为第j个光学头距滑块中心的距离；
（5）由于运动导轨的上下俯仰角的存在，导致被测点的测量位置发生偏移，计算被测点的位置偏离误差：fjβij；其中fj为第j光学头距线阵聚焦平面的距离；
（6）重复步骤3～步骤4测量5～10次，采用数据误差处理算法中的成熟算法滤除奇异值，最后采用平均值法求出光学元件各测量点的面形高差。其目的是扣除地基震动和空气扰动等带来的微小扰动；
（7）采用最小二乘法原理，对步骤6所获取的面形高差进行处理，扣除被测光学元件和检测装置的不平行性，即获取该光学元件的实际面形高差。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103674977A (zh) * 2013-12-24 2014-03-26 中国科学院自动化研究所 大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法
CN104697552A (zh) * 2015-02-17 2015-06-10 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种二维自准直仪的失准角标定方法
CN106352815A (zh) * 2016-09-18 2017-01-25 国防科学技术大学 激光光束测量与指向控制实验系统
CN109579732A (zh) * 2018-08-30 2019-04-05 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 蓝牙传输方式的二维阵列位移传感器面形检测装置和方法
CN109873253A (zh) * 2019-02-25 2019-06-11 中国科学院紫金山天文台 基于轴向增益测量的主动反射面面形调整方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030201399A1 (en) * 2002-03-15 2003-10-30 Duanyi Xu Device and method for photoengraving integrated circuits
JP2008224568A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Fujitsu Ltd 表面形状計測装置及び表面形状計測方法
CN101476880A (zh) * 2009-02-05 2009-07-08 范勇 大口径平面光学元件的面形检测装置和方法
CN102054492A (zh) * 2010-11-12 2011-05-11 中国华录·松下电子信息有限公司 光学头聚焦误差信号线性度的自动测量方法
JP2011257244A (ja) * 2010-06-08 2011-12-22 Toshiba Corp 物体形状検出装置及び方法
CN102881297A (zh) * 2011-07-15 2013-01-16 日立视听媒体股份有限公司 聚焦误差信号生成方法及装置、光学头、光学驱动装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030201399A1 (en) * 2002-03-15 2003-10-30 Duanyi Xu Device and method for photoengraving integrated circuits
JP2008224568A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Fujitsu Ltd 表面形状計測装置及び表面形状計測方法
CN101476880A (zh) * 2009-02-05 2009-07-08 范勇 大口径平面光学元件的面形检测装置和方法
JP2011257244A (ja) * 2010-06-08 2011-12-22 Toshiba Corp 物体形状検出装置及び方法
CN102054492A (zh) * 2010-11-12 2011-05-11 中国华录·松下电子信息有限公司 光学头聚焦误差信号线性度的自动测量方法
CN102881297A (zh) * 2011-07-15 2013-01-16 日立视听媒体股份有限公司 聚焦误差信号生成方法及装置、光学头、光学驱动装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李瑞君等: "基于ＤＶＤ光学读取头的大量程高精度扫描探头", 《合肥工业大学学报（自然科学版)》, vol. 34, no. 12, 31 December 2011 (2011-12-31) *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103674977A (zh) * 2013-12-24 2014-03-26 中国科学院自动化研究所 大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法
CN103674977B (zh) * 2013-12-24 2016-01-20 中国科学院自动化研究所 大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法
CN104697552A (zh) * 2015-02-17 2015-06-10 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种二维自准直仪的失准角标定方法
CN104697552B (zh) * 2015-02-17 2017-09-22 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种二维自准直仪的失准角标定方法
CN106352815A (zh) * 2016-09-18 2017-01-25 国防科学技术大学 激光光束测量与指向控制实验系统
CN106352815B (zh) * 2016-09-18 2018-10-19 国防科学技术大学 激光光束测量与指向控制实验系统
US10473889B2 (en) 2016-09-18 2019-11-12 National University Of Defense Technology Experimental system for laser beam measurement and steering control
CN109579732A (zh) * 2018-08-30 2019-04-05 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 蓝牙传输方式的二维阵列位移传感器面形检测装置和方法
CN109873253A (zh) * 2019-02-25 2019-06-11 中国科学院紫金山天文台 基于轴向增益测量的主动反射面面形调整方法

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