CN103234452A

CN103234452A - 固体激光回馈干涉仪

Info

Publication number: CN103234452A
Application number: CN2013101311963A
Authority: CN
Inventors: 谈宜东; 张永芹; 张书练; 张松
Original assignee: Tsinghua University
Current assignee: Tsinghua University
Priority date: 2013-04-16
Filing date: 2013-04-16
Publication date: 2013-08-07
Anticipated expiration: 2033-04-16
Also published as: CN103234452B

Abstract

本发明涉及一种固体激光回馈干涉仪，包括：微片激光器、第一分光镜、第一移频器、第二移频器、汇聚透镜、共路器、光电探测器、电信号处理系统以及数据采集处理系统。其中，所述共路器设置在所述汇聚透镜之后，该共路器包括一反射镜以及一共路单元。

Description

固体激光回馈干涉仪

技术领域

本发明涉及一种激光干涉仪，特别涉及一种固体激光回馈干涉仪。

背景技术

激光干涉仪是目前精密位移测量和长度计量的主要工具，它以激光波长作为位移或长度测量的基准，能够直接溯源到长度计量国际基准，通过各种相位细分技术，激光干涉仪可以实现较高的位移测量分辨率。

当一个外部反射镜将CO₂激光器的部分输出光耦合回谐振腔时，反射镜的运动会引起激光器输出功率的调制，类似于传统的双光束干涉现象，即一个条纹移动对应反射镜移动半个激光波长，此即激光回馈现象，也称自混合干涉现象。基于激光回馈现象已经开展了大量激光回馈干涉仪的研究，其中所述激光器主要为半导体激光器和HeNe激光器。

近年来，基于微片激光器的激光回馈现象引起了人们的注意，也出现了有关研究基于激光回馈现象的激光干涉仪的报道。现有技术通常采用一参考光与测量光都经过的反射镜来形成所述激光回馈现象。然而，反射镜在使参考光返回的同时，易于同时将测量光也返回，从而易于造成串扰。因此，目前基于激光回馈现象的激光干涉仪的测量精度有待提高。此外，需要手动调节反射镜的角度来返回参考光，该种调节复杂不利于激光干涉仪的实际应用。

发明内容

有鉴于此，确有必要提供一种具有较高测量精度的固体激光回馈干涉仪。

一种固体激光回馈干涉仪，包括：微片激光器、第一分光镜、第一移频器、第二移频器、汇聚透镜、共路器、光电探测器、电信号处理系统以及数据采集处理系统，所述微片激光器用于发出激光，所述第一分光镜设置在所述激光的出射光路上，并将激光分成两路，一路为透射光，一路为反射光；所述第一移频器、第二移频器依次设置在所述透射光的光路上，所述透射光经过所述第一移频器、第二移频器后，部分的所述透射光经过两次衍射，部分的所述透射光未经过衍射，所述经过两次衍射的透射光作为测量光，所述未经过衍射的透射光作为参考光；该汇聚透镜设置在所述第二移频器之后，用于汇聚所述测量光以及参考光，该汇聚透镜将所述测量光汇聚到一待测目标上，所述测量光通过该待测目标原光路返回到所述微片激光器中作为测量回馈光；所述电信号处理系统与所述光电探测器电连接，分别输出所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量；所述数据采集处理系统与所述电信号处理系统电连接，所述共路器设置在所述汇聚透镜之后，该共路器包括一反射镜以及一共路单元，所述反射镜将所述参考光沿平行于所述测量光的方向入射到所述共路单元中，所述共路单元用于将入射的所述参考光沿平行于所述测量光的光路返回到所述微片激光器中作为参考回馈光；所述光电探测器设置在所述反射光的光路上，该电信号处理系统分别输出所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量，该数据采集处理系统根据所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量计算所述待测目标的位移信息。

相较于现有技术，本发明实施例中提供的固体激光回馈干涉仪包括一具有所述反射镜和共路单元的共路器，所述反射镜可以使所述参考光沿与所述测量光平行的方向传播，此外，经反射镜反射后的参考光通过所述共路单元又可以沿平行且不重合于所述测量光的方向返回，避免了回馈光之间的干扰，从而提高了该固体激光回馈干涉仪的测量精度。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的固体激光回馈干涉仪的结构以及光路示意图。

图2为本发明第二实施例提供的固体激光回馈干涉仪的结构以及光路示意图。

图3为本发明第三实施例提供的固体激光回馈干涉仪的结构以及光路示意图。

图4为本发明第四实施例提供的固体激光回馈干涉仪的结构以及光路示意图。

图5为本发明第五实施例提供的固体激光回馈干涉仪的结构以及光路示意图。

图6为本发明第六实施例提供的固体激光回馈干涉仪的结构以及光路示意图。

主要元件符号说明

Figure 2013101311963100002DEST_PATH_IMAGE002

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

以下将结合附图详细说明本发明实施例提供的固体激光回馈干涉仪。

请参阅图1，本发明第一实施例提供一种固体激光回馈干涉仪100，包括：微片激光器1，第一分光镜2，第一移频器3，第二移频器4，汇聚透镜5，共路器6，光电探测器9，电信号处理系统10，以及数据采集处理系统11。其中，所述共路器6包括一反射镜7以及一共路单元8。

所述微片激光器1为一种固体激光器，用于输出激光。本发明实施例中所述微片激光器1为Nd：YAG激光器，该Nd：YAG激光器输出的激光为波长为1064纳米的不可见光。此外，只要是固体激光器均在本发明要求保护的范围之内。

所述第一分光镜2设置在所述输出激光的出射光路上，并将所述激光分成两路，一路为透射光L_T，通过所述第一分光镜2；一路被所述第一分光镜2反射形成反射光L_R。本实施例中，该微片激光器1射出的激光直接入射到该第一分光镜2。

所述第一移频器3和第二移频器4依次设置在所述透射光L_T的光路上，用于使所述透射光L_T以特定的频率衍射。本发明实施例中所述第一移频器3与第二移频器4均为声光移频器。所述第一移频器3与第二移频器4能够产生的移频频率不相同。所述透射光L_T经过所述第一移频器3、第二移频器4后，部分的所述透射光L_T经过两次衍射后出射，部分的所述透射光L_T未经过任何衍射直接出射。该从第一分光镜2射出的光可直接入射到该第一移频器3，从该第一移频器3射出的光可直接入射到该第二移频器4。具体地，本发明实施例中，所述透射光L_T首先入射到所述第一移频器3，该第一移频器3将该透射光分成两路，一路光未经衍射，频率为，另外一路为-1级衍射光，频率为。其中

Figure 2013101311963100002DEST_PATH_IMAGE005

为所述第一移频器3的驱动频率。所述第二移频器4将所述频率为

的激光分成两路，其中一路为未经衍射的光，另外一路为+1级衍射光，频率为

，其中，

Figure 2013101311963100002DEST_PATH_IMAGE007

，

为所述第二移频器4的驱动频率。所述第二移频器4将所述频率为

的激光分成两路，其中一路为未经衍射的光，另外一路为+1级衍射光，频率为。经过所述第一移频器3和第二移频器4两次衍射的透射光作为测量光L₁，经过所述第一移频器3和第二移频器4后未经过衍射的透射光作为参考光L₂。仅经过一次衍射的光为不需要的光，可利用挡光板挡掉。

所述汇聚透镜5设置在所述第二移频器4之后，用于汇聚测量光L₁以及参考光L₂，所述汇聚透镜5将所述测量光L₁汇聚到一待测目标20上。从汇聚透镜5到待测目标20之间，所述测量光L₁的光路不再变化。本发明实施例中，所述汇聚透镜5与所述测量光L₁共轴设置，并将所述测量光L₁直接汇聚到所述待测目标20上。所述测量光L₁到达该待测目标20后通过反射沿测量光L₁的原光路返回到所述微片激光器1中作为测量回馈光L_1’。

所述共路器6设置在所述汇聚透镜5之后。具体地，所述反射镜7和共路单元8依次设置在所述汇聚透镜5之后。所述反射镜7将所述参考光L₂沿平行于所述测量光L₁的方向入射到所述共路单元8中。通过该反射镜7的设置可使所述参考光L₂与测量光L₁沿两条平行的光路并行且不重合，从而可避免所述参考光L₂与测量光L₁的串扰。本发明实施例中所述反射镜7为一平面反射镜。经所述反射镜7反射后的参考光L₂进入所述共路单元8，所述共路单元8用于将入射的参考光L₂沿平行于所述测量光L₁传播路径的方向返回到所述微片激光器1中作为参考回馈光L_2’。此外，所述共路单元8使参考回馈光L_2’沿平行于所述测量回馈光L_1’传播路径返回的同时不经过所述反射镜7，从而避免了所述参考回馈光L_2’与所述测量回馈光L_1’的不平行。

所述共路单元8靠近所述待测目标20设置。相对于现有技术中位置固定、无法移动的反射镜而言，所述共路单元8可以移动。具体地，现有技术中的反射镜与其他元件均设置在一壳体内封装，而本发明实施例所述共路单元8可设置在壳体之外来自由移动。因此，该共路单元8可以根据待测目标20的位置的变化而变化，从而能最大限度地靠近所述待测目标20，从而可以减小空程，并有效地消除空程误差，提高该固体激光回馈干涉仪100的抗环境干扰能力，特别是大量程下固体激光回馈干涉仪100的抗环境干扰能力以及测量精度。

所述共路单元8的结构不限，只要能实现将经所述反射镜7反射后的参考光L₂以平行于所述测量光L₁传播路径的方向返回到所述微片激光器1中即可。优选地，所述共路单元8包括一反射棱镜84第一猫眼逆反镜86以及一通光孔88。经所述反射镜7反射后的参考光L₂直接经该反射棱镜84反射进入所述猫眼逆反镜86中，然后经猫眼逆反镜86再次进入所述反射棱镜84，并通过该反射棱镜84反射直接沿平行于所述测量光L₁传播路径的方向返回到所述微片激光器1中。所述反射棱镜84具有一反射面，入射该反射棱镜84的参考光L₂与经反射后又从该反射棱镜84出射形成的参考回馈光L_2’的光路相互平行。所述测量光L₁可通过该通光孔88到达直接所述待测目标20。该通光孔88在该共路单元8中的位置可通过所述测量光L₁与参考光L₂之间的角度以及所述反射镜7的位置来确定。

所述测量光L₁并不经过所述共路器6中的光学元件，而是直接通过空气介质到达所述待测目标20。因此，所述参考回馈光L_2’与所述测量回馈光L_1’相互之间并不受影响，从而可以提高该固体激光回馈干涉仪100的位移测量精度。

所述光电探测器9设置在所述第一分光镜2的反射光L_R的光路上，所述参考回馈光L_2’以及测量回馈光L_1’经所述微片激光器1调制后进入所述光电探测器9进行光电转换。

所述电信号处理系统10与所述光电探测器9电连接，用来提取所述参考回馈光L_2’的相位变化量以及测量回馈光L_1’的相位变化量。此外，所述电信号处理系统10与所述第一移频器3以及第二移频器4电连接，用来驱动所述第一移频器3以及第二移频器4。

所述数据采集处理系统11与所述电信号处理系统10电连接，该数据采集系统11根据所述参考回馈光L_2’和测量回馈光L_1’的相位变化量来获得所述待测目标20的位移信息。本发明实施例中利用相位外差测量法来获得所述待测目标20的运动位移信息。

请参阅图2，本发明第二实施例进一步提供一种固体激光回馈干涉仪200，该固体激光回馈干涉仪200与所述固体激光回馈干涉仪100的结构基本相同，区别在于，所述固体激光回馈干涉仪200可进一步包括一准直扩束装置12。该准直扩束装置12可进一步提高该固体激光回馈干涉仪200的量程。该准直扩束装置12设置在该固体激光回馈干涉仪200的透射光L_T的光路上来准直扩束所述透射光L_T。优选地，所述准直扩束装置12设置于所述汇聚透镜5与所述共路器6之间。该设置在所述汇聚透镜5与所述共路器6之间的准直扩束装置12一方面可实现所述透射光L_T的准直扩束，另一方面可使所述参考回馈光L_2’以及测量回馈光L_1’尽可能多的返回到所述微片激光器1中，从而可进一步提高该固体激光回馈干涉仪200的量程。该准直扩束装置12可根据所述固体激光回馈干涉仪200量程的需要选用适合倍数的扩束镜。本发明实施例中，所述准直扩束装置12为一倒置望远镜系统，该倒置望远镜系统包括一凹透镜122以及一凸透镜124，所述凹透镜122与凸透镜124沿所述微片激光器1发出的激光方向依次设置，该倒置望远镜系统的扩束倍数可由该凹透镜122以及凸透镜124的焦距来确定。此外，也可以使用其他类型的用于扩束准直的倒置望远镜系统。该倒置望远镜系统设置在所述汇聚透镜5与所述共路器6之间，不仅可以对所述透射光准直扩束，还可以使所述参考回馈光L_2’以及测量回馈光L_1’尽可能多的返回到所述微片激光器1中，从而可进一步提高该固体激光回馈干涉仪200的量程。

所述固体激光回馈干涉仪200可进一步包括一可见光目标指示器13。该可见光目标指示器13设置在所述固体激光回馈干涉仪100的透射光L_T的光路上用来指示所述测量光L₁。

该可见光目标指示器13包括一第二分光镜132以及一可见光发生器134。所述第二分光镜132具有一反射光路，所述可见光发生器134设置在所述第二分光镜132的反射光路上发出可见光L_V，具体地，所述可见光L_V的光路与所述第二分光镜132的反射光路共路。所述可见光L_V经所述第二分光镜13反射进入该固体激光回馈干涉仪200透射光L_T的光路中并与该测量光L₁共路，并且该第二分光镜132可以阻止从待测目标20反射并沿该测量回馈光L_1’的光路入射至该第二分光镜132的可见光透射。所述可见光发生器134可以为半导体激光器，也可以为其它类型的可以发出可见光L_V的激光器。所述第二分光镜132表面具有镀膜，所述镀膜可以使所述可见光L_V全反射，同时可以使所述微片激光器1发出的激光透射。由于所述可见光发生器134设置在所述第二分光镜132的反射光路进入所述固体激光回馈干涉仪200的光路，因此，该可见光目标指示器13既可以指示所述不可见的测量光L₁，又可以保证所述可见光L_V不会返回到所述微片激光器1中影响所述微片激光器1对所述测量回馈光L_1’以及参考回馈光L_2’的调制。本发明实施例中所述镀膜为一双色膜，该双色膜可使所述可见光全反射，并且使所述微片激光器1发出的不可见激光全透射或部分透射部分反射。

该可见光目标指示器13可设置在所述固体激光回馈干涉仪200的可以形成所述测量光L₁的透射光的光路的任一位置，只要能指示所述测量光L₁即可。本发明实施中所述可见光目标指示器13设置在所述汇聚透镜5之后。具体地，所述第二分光镜132设置在所述汇聚透镜5之后，通过所述汇聚透镜5的激光从所述第二分光镜132透射。所述可见光发生器134设置在所述第二分光镜132的反射光路上，可见光L_V入射到所述第二分光镜132后全反射进入光路与所述固体激光回馈干涉仪200的透射光共路。通过首次调节使所述可见光L_V与所述测量光L₁完全重合来指示所述测量光L₁。

通过该可见光目标指示器13的设置，使固体激光回馈干涉仪200的光路可见，大大简化了所述固体激光回馈干涉仪200的光路调节和使用。从而避免了传统的位移测量装置在调节使用时，需要使用特殊的感光卡带来的使用不便。

该第二实施例的所述固体激光回馈干涉仪200可进一步包括一空气折射率补偿系统14。该空气折射率补偿系统14用于检测所述激光传播介质空气的折射率变化，并将该空气折射率的变化输入到所述数据采集处理系统11中进行空气折射率校正。所述空气折射率补偿系统14可对空气的流动、温度、湿度或气压等的变化进行检测。通过检测校正可进一步提高该固体激光回馈干涉仪200的测量精度和准确度。本发明实施例中，所述空气折射率补偿系统14包括一温度湿度气压传感器，该温度湿度气压传感器设置在所述待测目标的表面，从而可实时且精确地检测空气折射率的变化。所述空气折射率的补偿方式可以通过各种原理来实现，本发明实施例利用Edlen公式实现所述空气折射率的实时补偿。

请参阅图3，本发明第三实施例提供一种固体激光回馈干涉仪300，该固体激光回馈干涉仪300与所述固体激光回馈干涉仪200的结构基本相同，区别在于，所述共路单元8选用一角锥棱镜来实现。所述角锥棱镜可以使入射的光线经反射后以平行于所述入射光线的方向返回。所述测量光L₁不经过该角锥棱镜，而是直接到达所述待测目标20选用所述角锥棱镜作为所述共路单元8进一步简化了该激光干涉仪300的结构。

请参阅图4，本发明第四实施例进一步提供一种固体激光回馈干涉仪400，该固体激光回馈干涉仪400与所述固体激光回馈干涉仪200的结构基本相同。区别在于，所述固体激光回馈干涉仪400不包括所述可见光目标指示器13，而是通过所述第一分光镜2来实现测量光L₁的光路可见。具体地，所述第一分光镜2表面设置有所述镀膜，所述可见光发生器134设置于所述第一分光镜2的反射光路上，可见光L_V入射到所述第一分光镜2进入该固体激光回馈干涉仪400的激光光路中。由于所述第一分光镜2设置在所述微片激光器1的出射光路上，因此，该固体激光回馈干涉仪400的整个光路中均有所述可见光L_V，通过首次调节可使该固体激光回馈干涉仪400的整个光路都可见。从而使该固体激光回馈干涉仪400易于调节和使用。

请参阅图5，本发明第五实施例提供一种固体激光回馈干涉仪500，该固体激光回馈干涉仪500的结构与所述固体激光回馈干涉仪400基本相同，区别在于，所述共路单元8选取所述角锥棱镜来实现。

请参阅图6，本发明第六实施例提供一种固体激光回馈干涉仪600，该固体激光回馈干涉仪600的结构与所述固体激光回馈干涉仪100基本相同，区别之一在于，所述所述共路器6进一步包括一四分之一波片15设置在所述反射镜7和共路单元8之间。所述参考光L₂经所述反射镜7反射后进入所述四分之一波片15中，经反射后的所述参考光L₂与所述四分之一波片15共轴设置。该四分之一波片15仅改变该参考光L₂的振动方向，并不改变该参考光L₂的光传播路径，即通过该四分之一波片15的参考光L₂仍然以平行于所述测量光L₁的方向进入所述共路单元8中。区别之二在于，本发明第六实施例中，该共路单元8中的所述反射棱镜选取为偏振分光棱镜84’（PBS），所述测量光L₁也通过该偏振分光棱镜84’。该偏振分光棱镜84’一方面可对通过所述四分之一波片15的参考光L₂进行反射，另一方面，该偏振分光棱镜84’又可使所述测量光L₁以不变的光路直接透过该偏振分光棱镜84’。具体地，通过所述四分之一波片15的参考光L₂反射进入所述猫眼逆反镜86，然后经猫眼逆反镜86再次进入所述偏振分光棱镜84’，并通过该偏振分光棱镜84’反射直接沿平行于所述测量光L₁传播路径的方向返回到所述微片激光器1中。同时，所述测量光L₁以不变的光路直接透过该偏振分光棱镜84’达到所述待测目标20。需要说明的是，从汇聚透镜5到待测目标20之间，所述测量光L₁的光路并没有发生变化，此外，在所述通过所述四分之一波片15的参考光L₂通过所述共路单元8以沿平行于所述测量光L₁传播路径的方向返回时并不经过所述四分之一波片15。本发明第六实施例中由于所述四分之一波片15以及偏振分光棱镜84’的相互配合，从而使所述共路单元8无需设置所述通光孔88，而且也不需要再去调节所述共路单元8的位置来避开所述测量光L₁。因此，可进一步简化该固体激光干涉仪600的光路调节。此外，该固体激光回馈干涉仪600可进一步包括所述准直扩束装置12、可见光目标指示器13以及空气折射率补偿系统14中的至少一种元件。该准直扩束装置12、可见光目标指示器13以及空气折射率补偿系统14的设置方式可与所述第二实施例或第四实施例中对应元件的设置方式相同，在此不再赘述。

本发明实施例中所述固体激光回馈干涉仪具有以下优点：（1）、该固体激光回馈干涉仪包括一具有所述反射镜7和共路单元8的共路器，所述反射镜7可以使所述参考光沿与所述测量光平行的方向传播，并且经反射镜7反射后的参考光通过所述共路单元8又可以沿平行且不重合于所述测量光的方向返回，避免了回馈光之间的干扰。从而提高了该固体激光回馈干涉仪的测量精度；（2）、共路单元8的位置可以根据所述待测目标位置的改变而改变，从而可以有效地减小该固体激光回馈干涉仪的空程误差，大大提高了该固体激光回馈干涉仪的抗环境干扰能力，从而进一步提高了该固体激光回馈干涉仪的测量精度；（3）、由于该固体激光回馈干涉仪可以设置有所述准直扩束装置，从而可以大大提高该固体激光回馈干涉仪的量程：传统Nd：YAG激光回馈干涉仪的量程仅有1米，本发明实施例提供的固体激光回馈干涉仪的量程提高了5倍多；（4）、通过设置可见光目标指示器使该固体激光回馈干涉仪的光路可见，从而可以更方便地调节和使用该固体激光回馈干涉仪；（5）通过设置所述空气折射率补偿系统来对空气折射率的实时监测补偿可更进一步地提高该固体激光回馈干涉仪的测量精度。

另外，本领域技术人员还可在本发明精神内做其它变化，当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims

1.一种固体激光回馈干涉仪，包括：

微片激光器，用于发出激光；

第一分光镜，设置在所述激光的出射光路上，并将激光分成两路，一路为透射光，一路为反射光；

第一移频器和第二移频器，所述第一移频器、第二移频器依次设置在所述透射光的光路上，所述透射光经过所述第一移频器、第二移频器后，部分的所述透射光经过两次衍射，部分的所述透射光未经过衍射，所述经过两次衍射的透射光作为测量光，所述未经过衍射的透射光作为参考光；

汇聚透镜，该汇聚透镜设置在所述第二移频器之后，用于汇聚所述测量光以及参考光，该汇聚透镜将所述测量光汇聚到一待测目标上，所述测量光经该待测目标反射，沿该测量光的原光路返回到所述微片激光器中作为测量回馈光；

光电探测器，设置在所述反射光的光路上；

电信号处理系统，与所述光电探测器电连接；以及

数据采集处理系统，与所述电信号处理系统电连接；

其特征在于，进一步包括共路器，设置在所述汇聚透镜之后，该共路器包括一反射镜以及一共路单元，所述反射镜将所述参考光沿平行于所述测量光的方向入射到所述共路单元中，所述共路单元用于将入射的所述参考光沿平行于所述测量光的光路返回到所述微片激光器中作为参考回馈光，该电信号处理系统分别输出所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量，该数据采集处理系统根据所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量计算所述待测目标的位移信息。

2.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述共路单元能够随所述待测目标位置的改变而改变。

3.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述共路单元包括一反射棱镜，猫眼逆反镜以及一通光孔，入射的所述参考光通过该反射棱镜反射进入所述猫眼逆反镜，然后通过从所述猫眼逆反镜出射的光再次经所述反射棱镜反射后以平行于所述测量光的光路返回到所述微片激光器。

4.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述共路单元为一角锥棱镜。

5.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，进一步包括一可见光发生器用于发出可见光，所述第一分光镜具有一反射光路，所述可见光发生器设置在所述第一分光镜的反射光路上，所述第一分光镜表面具有镀膜，该镀膜用于全反射所述可见光并且透射所述微片激光器发出的激光，所述可见光通过所述第一分光镜反射后进入该固体激光回馈干涉仪的光路中来指示所述测量光。

6.如权利要求5所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述镀膜为双色膜，该双色膜对红外光部分透射部分反射，对可见光全反射。

7.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，进一步包括一可见光目标指示器设置在所述透射光的光路上来指示所述测量光，该可见光目标指示器包括一可见光发生器，以及一第二分光镜，所述可见光发生器用于发出可见光，所述第二分光镜表面设置一镀膜，该镀膜全反射所述可见光且透射所述微片激光器发出的激光，所述第二分光镜具有一反射光路，所述可见光发生器设置在所述第二分光镜的反射光路上，所述可见光经该第二分光镜全反射进入所述固体激光回馈干涉仪的光路中来指示所述测量光。

8.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，进一步包括一准直扩束装置，该准直扩束装置设置在所述汇聚透镜与所述共路器之间。

9.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述共路器进一步包括一四分之一波片，该四分之一波片设置在所述反射镜与所述共路单元之间，该四分之一波片与经所述反射镜以沿平行于所述测量光的方向反射后的所述参考光共轴设置，所述共路单元包括一偏振分光棱镜以及一猫眼逆反镜，通过所述四分之一波片的所述参考光通过该偏振分光棱镜反射进入所述猫眼逆反镜，然后通过从所述猫眼逆反镜出射的光再次经所述偏振分光棱镜反射后以平行于所述测量光的光路返回到所述微片激光器，通过所述汇聚透镜的测量光以不变的光路通过该偏振分光棱镜到达所述待测目标。

10.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，进一步包括一空气折射率补偿系统，该空气折射率补偿系统检测周围空气环境信息并反馈到所述数据采集处理系统中进行空气折射率补偿。