CN103219213A - 用于蚀刻设备的上部电极 - Google Patents
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Abstract
本发明用于蚀刻设备的上部电极，包括：铝基板，在所述铝基板上设有安装孔，所述安装孔的数量至少为一个；以及陶瓷气孔，所述陶瓷气孔设置在所述安装孔内。本发明用于蚀刻设备的上部电极取消了整块铝基板打孔的做法，在原先的工作气孔位置嵌入陶瓷气孔。由于陶瓷本身具有非常优异的绝缘性能和耐酸碱腐蚀等特点，加上陶瓷表面易加工成比较光滑平整的特性，使用本新型陶瓷孔电极可避免气孔内部因长期通过腐蚀性工作气体被腐蚀的缺点，满足工作气体均匀通过；之前的电极因气孔内壁阳极膜失效会经常更换、返修，采用本新型电极可极大提高运行周期，节省维护成本，并提升生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体，LED，TFT-LCD和太阳能光伏生产设备部件新的应用，特别是一种陶瓷气孔在干蚀刻上部电极的应用。
背景技术
当前半导体，LED，TFT-LCD和太阳能光伏生产行业比较集中，生产设备也有很多的相通之处，在干蚀刻制程的设备一般会使用到上部电极，作为该设备的关键部件，绝大部分为铝基板加工很多通气气孔，整体进行阳极氧化来达到绝缘阴极耐蚀效果。受制于阳极氧化本身工艺限制，气孔内部表面的氧化膜厚度一般只有平面厚度的一半左右，比较容易先出现问题。虽各个代次的尺寸不一，或蚀刻要求不同，也只是气孔的位置和数量有差异，其存在的缺点都相同----气孔会随着不断的使用和返修逐渐腐蚀、扩大。一方面，制程需求气孔孔径必须在一定范围并且保持整体均匀，以确保通过的工作气体比较均匀，气孔内部不断腐蚀恶化，导致该需求逐渐不能满足；另一方面，随着孔内部状况的恶化，设备维修厂商在返修时再生的阳极膜质量难以达到很高品质，存在机台运行过程中的局部刻穿而引发的arching（放电）、气孔堵塞等隐患。
发明内容
本发明的目的在于提供一种提高运行周期，节省维护成本，并提升生产效率的用于蚀刻设备的上部电极。
为解决上述技术问题，本发明用于蚀刻设备的上部电极，包括：铝基板，在所述铝基板上设有安装孔，所述安装孔的数量至少为一个；以及陶瓷气孔，所述陶瓷气孔设置在所述安装孔内。
在所述安装孔内设有安装架。所述陶瓷气孔包括气孔本体以及设置在所述气孔本体两端的定位架；其中所述定位架与所述安装架固定。
在所述陶瓷气孔表面涂有耐腐蚀材料。所述耐腐蚀材料为特氟龙。
本发明用于蚀刻设备的上部电极取消了整块铝基板打孔的做法，在原先的工作气孔位置嵌入陶瓷气孔。由于陶瓷本身具有非常优异的绝缘性能和耐酸碱腐蚀等特点，加上陶瓷表面易加工成比较光滑平整的特性，使用本新型陶瓷孔电极可避免气孔内部因长期通过腐蚀性工作气体被腐蚀的缺点，满足工作气体均匀通过；之前的电极因气孔内壁阳极膜失效会经常更换、返修，采用本新型电极可极大提高运行周期，节省维护成本，并提升生产效率。
附图说明
图1为本发明用于蚀刻设备的上部电极剖视图。
本发明用于蚀刻设备的上部电极附图中附图标记说明：
1-铝基板 2-安装孔 3-安装架
4-气孔本体 5-定位架
具体实施方式
下面结合附图对本发明用于蚀刻设备的上部电极作进一步详细说明。
如图1所示，本发明用于蚀刻设备的上部电极，包括：铝基板1，在铝基板1上设有多个安装孔2，在安装孔2内设有安装架3；陶瓷气孔包括气孔本体4以及设置在气孔本体4两端的定位架5，陶瓷气孔设置在安装孔2内，通过定位架5与安装架3固定。并且在陶瓷气孔表面涂有特氟龙。
本发明用于蚀刻设备的上部电极陶瓷内孔的孔径均匀性，受设备工艺制程需求，气孔孔径必须符合一定范围，并整体均匀一致；陶瓷气孔嵌入位置准确、状况良好，正确的位置确保通过的工作气体符合工艺设定，状况良好确保工作过程中不发生损坏、掉落等意外事故；铝基板尤其是镶嵌陶瓷柱的结合部位处理得当，包括所有的表面、界面阳极完好，也包括陶瓷柱与基板的密封性能等。
本发明用于蚀刻设备的上部电极取消了整块铝基板打孔的做法，在原先的工作气孔位置嵌入陶瓷气孔。由于陶瓷本身具有非常优异的绝缘性能和耐酸碱腐蚀等特点，加上陶瓷表面易加工成比较光滑平整的特性，使用本新型陶瓷孔电极可避免气孔内部因长期通过腐蚀性工作气体被腐蚀的缺点，满足工作气体均匀通过；之前的电极因气孔内壁阳极膜失效会经常更换、返修，采用本新型电极可极大提高运行周期，节省维护成本，并提升生产效率。
以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (5)
1.用于蚀刻设备的上部电极，其特征在于，包括：
铝基板，在所述铝基板上设有安装孔，所述安装孔的数量至少为一个；以及
陶瓷气孔，所述陶瓷气孔设置在所述安装孔内。
2.根据权利要求1所述的用于蚀刻设备的上部电极，其特征在于，在所述安装孔内设有安装架。
3.根据权利要求2所述的用于蚀刻设备的上部电极，其特征在于，所述陶瓷气孔包括气孔本体以及设置在所述气孔本体两端的定位架；其中所述定位架与所述安装架固定。
4.根据权利要求1或3所述的用于蚀刻设备的上部电极，其特征在于，在所述陶瓷气孔表面涂有耐腐蚀材料。
5.根据权利要求4所述的用于蚀刻设备的上部电极，其特征在于，所述耐腐蚀材料为特氟龙。
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Publications (1)
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| CN103219213A true CN103219213A (zh) | 2013-07-24 |
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2013
- 2013-04-19 CN CN2013101390537A patent/CN103219213A/zh active Pending
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|---|---|---|---|
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| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130724 |