CN103140014A - 电子加速器的电子枪在线拆装设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种不破坏电子加速器的加速管真空环境的电子枪在线拆装设备。其结构包括被真空隔离部件分隔为上下两部分的密闭管件，密闭管件的下端与加速管的入口端相连接，密闭管件的上部空间连接真空泵抽气管道，密闭管件的下部空间内设有电子枪定位部件，电子枪安装在电子枪定位部件的底部，电子枪定位部件通过连接杆与设在密闭管件顶端的保真空伸缩部件相连接。本发明在更换电子枪时不会破坏加速管的真空环境，而电子枪和加速管的距离很近，从而满足了束流传输光学的要求。
Description
技术领域
本发明涉及电子加速器的拆装技术，具体涉及一种不破坏电子加速器的加速管真空环境的电子枪在线拆装设备。
背景技术
电子枪是电子加速器的关键部件之一，也是一个易损部件，无论电子枪的性能指标如何，都有一定的寿命，其中发射电子的发射极是电子枪最主要的易损零件。有些加速器的电子枪外壳不在真空环境中，但是电子发射极都是在真空环境中。
在更换损坏的或即将到达寿命期限的电子枪的时候，常常希望最好不要破坏与电子枪相连的加速管真空环境。因为如果加速管的真空被破坏，重新工作时就需要重新进行高压老练，这个老练过程是费时费力的，如果加速器是用于工业生产领域的，必然严重影响生产秩序。
另一方面，从束流光学的角度看，希望电子枪离加速管的距离越近越好，否则对于强流电子束而言，长距离空间距离传输的空间电荷力会引起束流发射度的增加，导致束流品质的下降，使得电子容易在加速管内损失，降低输出电子束的功率。
发明内容
本发明的目的在于针对电子枪更换拆装的技术要求，提供一种不破坏电子加速器的加速管真空环境的电子枪在线拆装设备。
本发明的技术方案如下：一种电子加速器的电子枪在线拆装设备，包括被真空隔离部件分隔为上下两部分的密闭管件，密闭管件的下端与加速管的入口端相连接，密闭管件的上部空间连接真空泵抽气管道，密闭管件的下部空间内设有电子枪定位部件，电子枪安装在电子枪定位部件的底部，电子枪定位部件通过连接杆与设在密闭管件上方的保真空伸缩部件相连接。
进一步，如上所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其中，所述的电子枪定位部件包括结构相互适配的中间运动件和周边固定件，中间运动件的上端与连接杆相连接，电子枪安装在中间运动件的底部；所述的中间运动件分为上下两部分，上部的外表面为直面，下部的外表面为斜面；所述的中间运动件的外表面为一个整体斜面，如圆锥面或多边形锥面。
更进一步，如上所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其中，当所述的中间运动件分为上下两部分时，其上部外表面为圆柱面或多边形柱面，下部外表面为圆锥面或多边形锥面。
进一步，如上所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其中，所述的真空隔离部件为真空闸板阀。
进一步，如上所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其中，所述的保真空伸缩部件为可伸缩的波纹管，也可以为活塞管。
本发明的有益效果如下：本发明在保持真空条件下，能够使电子枪较大范围地纵向运动和较小范围地横向运动，纵向运动用来进行电子枪的拆装，横向运动用来电子枪的对中安装。真空隔离部件在电子枪拆离时，用机械的手段将电子枪发射面和加速管的真空隔离，从而实现了更换电子枪时不会影响加速管真空环境的效果。电子枪定位部件除了实现限定电子枪的空间坐标位置，还实现了限定电子枪的轴向方向。本发明在更换电子枪时不会破坏加速管的真空环境，而电子枪和加速管的距离很近，从而满足了束流传输光学的要求。
附图说明
图1为电子加速器的电子枪在线拆装设备的结构示意图；
图2为在线拆装设备中电子枪定位部件的局部示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。
如图1所示，电子加速器的电子枪在线拆装设备包括被真空隔离部件6分隔为上下两部分的密闭管件2，密闭管件2的下端与加速管3的入口端相连接，密闭管件2的上部空间连接真空泵抽气管道5，密闭管件2的下部空间内设有电子枪定位部件7，电子枪8安装在电子枪定位部件7的底部，电子枪定位部件7通过连接杆4与设在密闭管件2上方的保真空伸缩部件1相连接。
密闭管件2的下部空间总是为真空状态，当电子枪8被连接杆4提升至密闭管件2的上部空间进行拆装更换的时候，真空隔离部件6将密闭管件2的上下两部分隔离，从而保证下部空间的真空环境。在本实施例中，真空隔离部件6采用真空闸板阀，当然，也可以考虑采用其它用于开启和封闭空间的闸门装置。
连接杆4的运动是通过设在密闭管件2上方的保真空伸缩部件1的工作来实现的。本实施例中，保真空伸缩部件1为可伸缩的波纹管，波纹管的可压缩行程是其原长度的一半。另外，保真空伸缩部件还可以考虑采用活塞管来实现，连接杆4与活塞管内的活塞连接，通过活塞的运动来带动连接杆的升降。当然，其它实现连接杆上下运动的机构也是可以考虑采用的。
与连接杆4的下端连接的电子枪定位部件7包括结构相互适配的中间运动件71和周边固定件72，如图2所示，电子枪定位部件7是一个止口结构。中间运动件71的上端与连接杆4相连接，电子枪8安装在中间运动件71的底部。本实施例中，所述的中间运动件71分为上下两部分，上部的外表面为直面，下部的外表面为斜面。直面是指部件表面与连接杆4的运动方向平行，直面可以是一个圆柱面，或者是一个方柱面，也可以是其它多边形的柱面。斜面是指其与连接杆4的运动方向有一个角度，可以是圆锥面或者是一个多边形锥面。斜面的作用首先是方便中间运动件71插入周边固定件72相应的凹孔内，其次是限定电子枪定位部件的纵向位置；直面的作用主要是限制电子枪定位部件横向运动。另外，从简化结构的角度加以考虑，中间运动件71的外表面可以为一个整体斜面，如圆锥面或多边形锥面。
本发明的工作过程如下：
更换电子枪的时候，首先拉伸提起保真空伸缩部件1，通过连接杆4使电子枪和电子枪定位部件7脱离与加速管3的接触，直到上升到真空隔离部件6以上。然后，关闭真空隔离部件6，使其上下两部分的真空隔离。这时通过真空泵抽气管道5将真空隔离部件上方的空间放气后，打开保真空伸缩部件1的法兰更换电子枪。
更换完电子枪后，将保真空伸缩部件1的法兰安装好，通过真空泵抽气管道5所连接的真空泵将真空隔离部件6上方的真空抽到接近下方的真空水平，打开真空隔离部件6。压缩保真空伸缩部件1，由连接杆4将电子枪和电子枪定位部件7传送到加速管3的入口。当保真空伸缩部件1到位后，就可以进行正常的调试运行了。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若对本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其同等技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (8)
1.一种电子加速器的电子枪在线拆装设备，其特征在于：包括被真空隔离部件(6)分隔为上下两部分的密闭管件(2)，密闭管件(2)的下端与加速管(3)的入口端相连接，密闭管件(2)的上部空间连接真空泵抽气管道(5)，密闭管件(2)的下部空间内设有电子枪定位部件(7)，电子枪(8)安装在电子枪定位部件(7)的底部，电子枪定位部件(7)通过连接杆(4)与设在密闭管件(2)上方的保真空伸缩部件(1)相连接。
2.如权利要求1所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其特征在于：所述的电子枪定位部件(7)包括结构相互适配的中间运动件(71)和周边固定件(72)，中间运动件(71)的上端与连接杆(4)相连接，电子枪(8)安装在中间运动件(71)的底部。
3.如权利要求2所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其特征在于：所述的中间运动件(71)分为上下两部分，上部的外表面为直面，下部的外表面为斜面。
4.如权利要求3所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其特征在于：所述的中间运动件(71)的上部外表面为圆柱面或多边形柱面；下部外表面为圆锥面或多边形锥面。
5.如权利要求2所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其特征在于：所述的中间运动件(71)的外表面为圆锥面或多边形锥面。
6.如权利要求1所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其特征在于：所述的真空隔离部件(6)为真空闸板阀。
7.如权利要求1所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其特征在于：所述的保真空伸缩部件(1)为可伸缩的波纹管。
8.如权利要求1所述的电子加速器的电子枪在线拆装设备，其特征在于：所述的保真空伸缩部件(1)为活塞管。
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2011
- 2011-11-25 CN CN201110380412.9A patent/CN103140014B/zh active Active
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