CN202018942U - 真空显示器的抽真空装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空显示器的抽真空装置，该抽真空装置于一第一吸气结构连接有一第二吸气结构以及一离子泵，该第一吸气结构设有第一吸气剂，该第二吸气结构设有第二吸气剂，以第一吸气结构与真空显示器连接，其抽真空方法为先进行加热排气工艺并在完成后，将第二吸气剂予以活化，利用第二吸气剂吸收真空显示器于老练工艺中所释放的气体，老练工艺完成后，再将第一吸气剂予以活化，利用刚活化完成的第一吸气剂可确实吸收真空显示器内部的微量残余气体，以长久维持真空显示器内部具有高真空度，进而使真空显示器的使用寿命获得延长。

Description

真空显示器的抽真空装置

技术领域

本实用新型是有关于显示器，尤指一种可长久维持真空显示器内部具有高真空度的真空显示器的抽真空装置。

背景技术

显示器是用于显示图像及色彩的电子产品，又显示器依据显像原理的不同而区分有多种类型，其中使用栅控电子枪(control gate electron gun)进行显像的为真空显示器，例如：场发射显示器(field emission display；FED)，请参见图7所示，为中国台湾新型专利公告号第M296465号“场发射显示器的真空气导结构”专利案，其真空显示器70主要结构具有相互结合的一阴极板71及一阳极板72，该阴极板71与该阳极板72之间形成有一腔室73，阴极板71穿设有连通于该腔室73的一抽气孔74，于腔室73中且相邻该抽气孔74处设有吸气剂(getter)75，又腔室73呈现真空状态，藉以避免电子枪发射出的电子撞击至气体而产生离子化并造成内部元件毁损。

现有技术的真空显示器的抽真空方法，其步骤是依序进行加热排气工艺(exhaust process)及老练工艺(aging process)，首先，于真空显示器70外部相对于抽气孔74处连接有一管体76，该管体76另端连接于一真空泵80，将真空显示器70设置于一加热排气台(图中未示)上加热，使真空显示器70内部元件在高温下释出气体，并由真空泵80抽走，且吸气剂75在高温下将同时进行活化(activation)释出气体，同样由真空泵80抽走，持续数小时后，即完成加热排气工艺；接下来的步骤为进行老练工艺，将真空显示器70连接有电源，使阴极板71产生高动能电子束撞击至阳极板72，阳极板72会释出气体并经该管体76由真空泵80抽走，持续数天后，当阳极板72不再释出气体，即完成老练工艺，最后，将抽气孔74封闭，且通过活化后的吸气剂75具有吸气能力，可吸收真空显示器70内部的微量残余气体，由于此类残余气体为吸附力较强的气体或封闭抽气孔74时逸入的气体经由吸气剂75的作用后，进而以确保真空显示器70内部具有高真空度。

然而，上述的抽真空装置及使用的抽真空方法存在有以下的缺点：

1.吸气剂75于加热排气工艺时即进行活化而具有吸气能力，故老练工艺时阳极板72释出的气体除了会被真空泵80抽走外，亦同时会被吸气剂75所吸收，当吸气剂75的吸气量到达一定程度，吸气剂75即呈饱和状态进而将丧失吸气能力且容易碎裂，因此，完成老练工艺时，吸气剂75可能就已丧失吸气能力而无法吸收真空显示器70内部所释出的微量残余气体，进而影响真空显示器70内部的真空度，使得产品良率降低且使用寿命缩短。

2.由于抽真空作业全程皆需仰赖加热排气台，故同一时间能进行抽真空作业的真空显示器70将受到加热排气台数量的限制，因而影响生产效率，往往无法满足所需产能，又加热排气台的价格昂贵，使得抽真空作业的成本居高不下。

实用新型内容

有鉴于前述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种真空显示器的抽真空装置，通过设计有第一吸气剂及第二吸气剂，并于第二吸气剂活化后，再将第一吸气剂予以活化，进而得以长久确保真空显示器内部具有高真空度。

为达到前述的实用新型目的，本实用新型所设计的真空显示器的抽真空装置，其包括有一第一吸气结构、一第二吸气结构以及一离子泵，其中：该第一吸气结构具有一第一壳体，该第一壳体内部设置有第一吸气剂；该第二吸气结构具有一第二壳体，该第二壳体内部设置有第二吸气剂；该离子泵具有一真空显示仪，该离子泵与第一吸气结构及第二吸气结构连接，使第一壳体内部、第二壳体内部与离子泵相互连通。

所述的真空显示器的抽真空装置，其中该第一壳体以金属制成并具有一开口，于该开口周缘处间隔设有两绝缘环，该两绝缘环之间设有一电极环，该第一吸气剂设有两电极，该第一吸气剂以其所设的两电极分别与电极环及第一壳体构成电连接。

所述的真空显示器的抽真空装置，其中该第二壳体以金属制成并具有两半部壳体，该两半部壳体之间设有一绝缘环，该第二吸气剂设有两电极，第二吸气剂以其所设的两电极分别与第二壳体的两半部壳体构成电连接。

所述的真空显示器的抽真空装置，其中：该第一壳体外部连接有一第一管体；该第二壳体外部连接有一第二管体；该离子泵外部连接有一第三管体，该离子泵以该第三管体分别连接于第一管体及第二管体。

所述的真空显示器的抽真空装置，其中：该第一壳体外部连接有一第一管体；该第二壳体外部连接有一第二管体；该离子泵外部连接有一第三管体，该离子泵以该第三管体连接于第二管体，而第二管体连接于第一管体。

本实用新型所提供的真空显示器的抽真空装置，可以获得的优点及功效增进至少包括：

1.于加热排气工艺完成后，将第二吸气剂予以活化，利用第二吸气剂吸收真空显示器于老练工艺中所释放的气体，此时第一吸气剂尚未被活化故不具吸气能力，老练工艺完成后，再将第一吸气剂予以活化，此时刚活化完成的第一吸气剂具有强大的吸气能力可吸收真空显示器内部释出的微量残余气体，故真空显示器内部得以长久维持高真空度，使得产品良率提升且使用寿命获得延长。

2.于进行老练工艺时不需仰赖加热排气台，可将真空显示器自加热排气台取下并搬移到任意适当的场所，利用活化后的第二吸气剂具有强大的吸气能力即可吸收真空显示器于老练工艺中所释放的气体，故真空显示器的老练工艺将不再受加热排气台数量的限制，大量的真空显示器可于同一时间进行老练工艺，进而提升生产效率，并确实满足所需产能，又吸气剂的价格低廉，可使抽真空作业的成本有效降低。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型进行加热排气工艺示意图。

图3是本实用新型进行第二吸气剂活化示意图。

图4是本实用新型进行老练工艺及第一吸气剂活化示意图。

图5是本实用新型进行最终剪管示意图。

图6是本实用新型的另一实施例整体结构示意图。

图7是现有技术的整体结构示意图。

附图标号：

10第一吸气结构                11第一壳体

12第一吸气剂                  121、121A电极

13、13A绝缘环                 14电极环

15第一管体                    20第二吸气结构

21第二壳体                    22第二吸气剂

221、221A电极                 23绝缘环

24第二管体                    30离子泵

31真空显示仪                  32第三管体

40真空显示器                  41抽气孔

50加热排气台                  51加热罩

52真空抽气系统                521离子泵

522涡轮泵                     523无油粗抽泵

61、62、63电源                70真空显示器

71阴极板                        72阳极板

73腔室                          74抽气孔

75吸气剂                        76管体

80真空泵

具体实施方式

请参见图1所示，本实用新型的真空显示器的抽真空装置，其是包括有一第一吸气结构10、一第二吸气结构20以及一离子泵(ion pump)30，其中：

该第一吸气结构10具有一中空金属材质制成的第一壳体11，该第一壳体11内部设置有第一吸气剂12，该第一吸气剂12设有两电极121、121A，第一壳体11具有一开口，于该开口周缘处间隔设有两陶瓷绝缘环13、13A，该两绝缘环13、13A之间设有一金属电极环14，第一吸气剂12以其所设的两电极121、121A分别与电极环14及第一壳体11构成电连接，且第一吸气剂12亦以其所设的两电极121、121A分别与电极环14及第一壳体11连接，第一吸气剂12未与电极环14及第一壳体11接触，使得该第一吸气剂12以悬空形态设置于第一壳体11内部，又第一壳体11外部连接有一金属材质制成的第一管体15，使得第一壳体11的内部与该第一管体15的内部为相通。

该第二吸气结构20具有一中空金属材质制成的第二壳体21，该第二壳体21内部设置有第二吸气剂22，该第二吸气剂22设有两电极221、221A，第二壳体21具有两半部壳体，该两半部壳体之间设有一陶瓷绝缘环23，使得该两半部壳体不相互电导通，第二吸气剂22以其所设的两电极221、221A分别与第二壳体21的两半部壳体构成电连接，且第二吸气剂22亦以其所设的两电极221、221A分别与第二壳体21的两半部壳体电连接，第二吸气剂22未与第二壳体21的两半部壳体接触，使得该第二吸气剂22以悬空形态设置于第二壳体21内部，又第二壳体21外部连接有一金属材质制成的第二管体24，使得第一壳体21的内部与该第二管体24的内部为相通。

该离子泵30具有一真空显示仪31，且离子泵30外部连接有一第三管体32，于图中所示的具体实施例，该离子泵30以该第三管体32分别连接于第一管体15及第二管体24，使第一壳体11内部、第二壳体21内部与离子泵30相互连通，请参见图6所示，该离子泵30亦可以该第三管体32连接于第二管体24，而第二管体24连接于第一管体15，使第一壳体11内部、第二壳体21内部与离子泵30相互连通。

本实用新型实际使用将真空显示器40抽真空的步骤流程如下：

1.加热排气工艺：本实用新型的抽真空装置以第一吸气结构10与组装完成的真空显示器40连接，请参见图1所示，且以第一壳体11的开口对应于真空显示器40的抽气孔41，再请参见图2所示，将真空显示器40与本实用新型的抽真空装置设置于一加热排气台50上，该加热排气台50由一加热罩51及一真空抽气系统52所组成，该加热罩51罩设于真空显示器40与本实用新型的抽真空装置外侧，该真空抽气系统52与真空装置的离子泵30连接，该真空抽气系统52设有相互连接的一离子泵521、一涡轮泵(turbo pump)522及一无油粗抽泵(oil-free roughing pump)523，利用加热罩51对真空显示器40加热，使真空显示器40内部元件在高温下释出气体，并由真空抽气系统52抽走。

2.第二吸气剂活化：请参见图3所示，于第二吸气结构20连接通有可分离的电源61，使连接的该电源61、第二壳体21的两半部壳体与第二吸气剂22构成电流回路，并以电流加热活化第二吸气剂22，第二吸气剂22于活化时，所释出的气体由真空抽气系统52抽走，于第二吸气剂22完全活化后，将电源61撤去而与第二吸气剂22形成没有电连接。

3.老练工艺：将真空显示器40自加热排气台50取下，请参见图4所示，于真空显示器40上连接通有可分离的电源62，使真空显示器40释出气体并由经活化后的第二吸气剂22吸收，且当离子泵30的真空度显示仪31所显示的真空度为良好时，代表不再有气体释放，即完成老练工艺，并将电源62撤去而与真空显示器40形成没有电连接。

4.第一吸气剂活化：于第一吸气结构10连接通有可分离的电源63，使连接的该电源63、第一壳体11及电极环14与第一吸气剂12构成电流回路，并以电流加热活化第一吸气剂12，第一吸气剂12于活化时，所释出的气体由第二吸气剂22所吸收，且当离子泵30的真空度显示仪31所显示的真空度为良好时，即完成第一吸气剂11活化，并将电源63撤去而与第一吸气剂12形成没有电连接。

5.最终剪管：请参见图5所示，将第一管体15剪断，使第二吸气结构20及离子泵30与第一吸气结构10分离，利用经活化后的第一吸气剂12具有吸气能力，可吸收真空显示器40内部所释出的微量残余气体，进而长久维持真空显示器40内部具有高真空度。

本实用新型于加热排气工艺完成后，将第二吸气剂22予以活化，利用第二吸气剂22吸收真空显示器40于老练工艺中所释放的气体，于老练工艺完成后，再将第一吸气剂12予以活化，此时刚活化完成的第一吸气剂12具有强大的吸气能力可吸收真空显示器40内部的微量残余气体，故真空显示器40内部得以长久维持高真空度，进而使得产品良率提升且使用寿命获得延长。

Claims (6)

1.一种真空显示器的抽真空装置，其特征在于，所述真空显示器的抽真空装置包括：一第一吸气结构、一第二吸气结构以及一离子泵，其中：

所述第一吸气结构具有一第一壳体，所述第一壳体内部设置有第一吸气剂；

所述第二吸气结构具有一第二壳体，所述第二壳体内部设置有第二吸气剂；

所述离子泵具有一真空显示仪，所述离子泵与第一吸气结构及第二吸气结构连接，使第一壳体内部、第二壳体内部与离子泵相互连通。

2.如权利要求1所述的真空显示器的抽真空装置，其特征在于，所述第一壳体以金属制成并具有一开口，于所述开口周缘处间隔设有两绝缘环，所述两绝缘环之间设有一电极环，所述第一吸气剂设有两电极，所述第一吸气剂以其所设的两电极分别与电极环及第一壳体构成电连接。

3.如权利要求1所述的真空显示器的抽真空装置，其特征在于，所述第二壳体以金属制成并具有两半部壳体，所述两半部壳体之间设有一绝缘环，所述第二吸气剂设有两电极，第二吸气剂以其所设的两电极分别与第二壳体的两半部壳体构成电连接。

4.如权利要求2所述的真空显示器的抽真空装置，其特征在于，所述第二壳体以金属制成并具有两半部壳体，所述两半部壳体之间设有一绝缘环，所述第二吸气剂设有两电极，第二吸气剂以其所设的两电极分别与第二壳体的两半部壳体构成电连接。

5.如权利要求1至4中任一权利要求所述的真空显示器的抽真空装置，其特征在于，所述第一壳体外部连接有一第一管体；所述第二壳体外部连接有一第二管体；所述离子泵外部连接有一第三管体，所述离子泵以所述第三管体分别连接于第一管体及第二管体。

6.如权利要求1至4中任一权利要求所述的真空显示器的抽真空装置，其特征在于，所述第一壳体外部连接有一第一管体；所述第二壳体外部连接有一第二管体；所述离子泵外部连接有一第三管体，所述离子泵以所述第三管体连接于第二管体，而第二管体连接于第一管体。

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